液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置
【課題】レーザのエネルギー効率を図りつつ液滴の空中乾燥を行うことができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θの方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面との間の空間に向かって照射させるようにした。そして、ノズルピッチをL、液滴の直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴が隙間なく並ぶ、すなわち、液滴と液滴との間を、通過する照射光Leが無く、最も効率よく照射光Leを液滴に照射する帯状の照射光Leの角度θを、L・SINθ=2r、の式が成立する角度θとした。これにより、帯状の照射光Leの端から端まで無駄なく液滴に照射させることができ、レーザ光のエネルギー効率のよい液滴の空中乾燥ができる。
【解決手段】液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θの方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面との間の空間に向かって照射させるようにした。そして、ノズルピッチをL、液滴の直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴が隙間なく並ぶ、すなわち、液滴と液滴との間を、通過する照射光Leが無く、最も効率よく照射光Leを液滴に照射する帯状の照射光Leの角度θを、L・SINθ=2r、の式が成立する角度θとした。これにより、帯状の照射光Leの端から端まで無駄なく液滴に照射させることができ、レーザ光のエネルギー効率のよい液滴の空中乾燥ができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、液滴吐出装置を使用してパターン形成材料を含んだ液状体を液滴として吐出させて基板上に線状のパターンを形成することが知られている。
一般に、液滴吐出装置は、ステージに載置した基板と、パターン形成材料を含んだ液状体を液滴として基板に吐出する液滴吐出ヘッドと、基板(ステージ)と液滴吐出ヘッドを2次元的に相対移動させる機構を備えている。そして、液滴吐出ヘッドから吐出させた液滴を基板表面の任意の位置に配置させる。このとき、基板表面に順次配置される各液滴について、その液滴の濡れ拡がる範囲が互いに重なるように液滴を順次配置することにより、基板表面に隙間無く機能液で覆われた線状パターンを形成することができる。
【0003】
ところで、基板に着弾した液滴は、速やかに乾燥されることが、生産性、高精細なパターンを形成する上で好ましい。
そこで、基板を予め加熱して着弾した液滴を速やかに乾燥させることが提案されている。また、吐出ヘッドと基板との間(プラテンギャップ)に空気流を流し、基板に着弾した液滴の蒸気を排気し乾燥を促進させることが種々提案されている(例えば、特許文献1〜4)。
【0004】
さらに、基板に着弾した液滴や吐出ヘッドから基板の間を飛行中の液滴にレーザを照射して、該液滴を速やかに乾燥させることが試みられている。この種のレーザにて液滴を乾燥させる方法は、図11の模式図に示すように、液滴吐出ヘッド100のノズルプレートに直線上に形成された各ノズル孔から一斉に吐出された各液滴Dに対して、その飛行途中においてレーザ光よりなる帯状の照射光Leを照射するものである。即ち、帯状の照射光Leをノズル列方向(X軸方向)に対してY軸方向から垂直に照射して、一列であって等間隔に吐出された各液滴Dを一斉に照射して乾燥させる。
【特許文献1】特開平8−1924号 公報
【特許文献2】特開平8−281923号 公報
【特許文献3】特開2002−127398号 公報
【特許文献4】特開2005−59478号 公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、帯状の照射光Leは、ノズル列方向(X軸方向)に等間隔の吐出された各液滴Dに照射されるものの、液滴Dが当たらない液滴Dと液滴Dの間を通過する照射光Leは乾燥に寄与せず無駄になっていた。
【0006】
また、帯状の照射光Leの幅は、少なくともノズルプレートに直線上に一列に形成されたノズル孔の列幅分必要となり、照射光(レーザ光)Leをその幅まで伸ばすには非常に高度な光学系の設計技術を必要としていた。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、レーザのエネルギー効率を図りつつ液滴の空中乾燥を行うことができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の液滴吐出装置の液滴乾燥方法は、吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置の液滴乾燥方法であって、前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、前記液滴の吐出方向に対して垂直方向から前記レーザ光を照射し、前記各液滴を同時に乾燥するとき、前記各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、帯状のレーザ光を照射する。
【0009】
本発明の液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、帯状のレーザ光を傾斜させたので、液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減でき、レーザ光のエネルギー効率の向上を図ることができる。しかも、短い幅の帯状のレーザ光で各液滴を乾燥できる。
【0010】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、L・SINθ=2r、の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0011】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル孔から吐出された液滴は、全て同時にレーザ光が照射され、乾燥される。この時、帯状のレーザ光は、全て各液滴に照射され、無駄にならない。
【0012】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記ノズルプレートには、前記副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は前記主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射してもよい。
【0013】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル列毎に設けた帯状のレーザ光を傾斜させたので、各ノズル列毎において液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減する。
【0014】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、ノズル列毎に設けた、帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、tanθ<(A−2r)/(B+L/2)、の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0015】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル列に設けた帯状のレーザ光は、液滴と液滴との間を通過することなく、それぞれ各液滴に無駄なく照射される。
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記吐出ヘッドのノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、全ノズル列に対して、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、1つの帯状のレーザ光を照射するとともに、各ノズル列から吐出される液滴が、前記レーザ光の照射方向にある他のノズル列から吐出される液滴にて前記レーザ光が遮られる場合、前記遮られる液滴の吐出タイミングを、前記遮る液滴に遮られない吐出タイミングに変更してもよい。
【0016】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、1つの帯状のレーザ光を、各ノズル列の全ての液滴に確実に照射することができる。
本発明の液滴吐出装置は、吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置であって、前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度から、前記吐出ヘッドのノ
ズルプレートと前記基板の間に、帯状のレーザ光を照射するレーザ出力手段を設けた。
【0017】
本発明の液滴吐出装置によれば、レーザ出力手段は、帯状のレーザ光を、ノズルプレートと前記基板の間にであってノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で照射できる。その結果、液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減でき、レーザ光のエネルギー効率の向上を図ることができる。しかも、短い幅の帯状のレーザ光で各液滴を乾燥できる。
【0018】
この液滴吐出装置において、前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、L・SINθ=2rの式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0019】
この液滴吐出装置によれば、レーザ出力手段の帯状のレーザ光は、全て各液滴に照射されて、無駄にならない。
この液滴吐出装置において、前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、レーザ出力手段は、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射してもよい。
【0020】
この液滴吐出装置によれば、各ノズル列毎に設けた帯状のレーザ光は、各ノズル列毎において液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光が低減する。
この液滴吐出装置において、前記ノズル列毎に設けたレーザ出力手段による帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、tanθ<(A−2r)/(B+L/2)の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0021】
この液滴吐出装置によれば、各ノズル列に設けた帯状のレーザ光は、液滴と液滴との間を通過することなく、それぞれ各液滴に無駄なく照射される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0022】
(第1実施形態)
以下、本発明を具体化した第1実施形態を図1〜図5に従って説明する。図1は、液滴吐出装置10の全体斜視図である。
【0023】
図1において、液滴吐出装置10は、一つの方向に延びる基台11と、基台11の上に搭載されて基板S1を載置するステージ12を有している。ステージ12は、基板S1の一つの面を上に向けた状態で該基板S1を位置決め固定して、基台11の長手方向に沿って基板S1を搬送する。
【0024】
基板S1としては、グリーンシート、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、樹脂フィルム、紙等の各種の基板が用いられる。
なお、本実施形態では、ステージ12に基板S1を載置したときの基板S1の上面を吐出面SAという。また、基板S1が搬送される方向であって、図1において左上方向に向かう方向を+Y方向という。また、+Y方向と直交する方向であって、図1において右下方向に向かう方向を+X方向とし、基板S1の方向の法線をZ方向という。
【0025】
液滴吐出装置10は、基台11を跨ぐ門型のガイド部材13と、ガイド部材13の上側に配設されるインクタンク14とを有する。インクタンク14は、液状体としての所定のインクIkを貯留するとともに、貯留するインクIkを所定の圧力で導出する。インクI
kとしては、パターン形成材料としての銀微粒子を含む銀インク、パターン形成材料としてのITO(Indium Tin Oxide)微粒子を含むITOインク、パターン形成材料としての顔料を含む顔料インク等の各種のインクが用いられる。
【0026】
ガイド部材13は、キャリッジ15を+X方向及び+X方向の反対方向(−X方向)に沿って移動可能に支持している。キャリッジ15は、下側に支持プレート18が前記ステージ12と平行に配設され、その支持プレート18には複数の液滴吐出ヘッド20が取着されている。
【0027】
尚、本実施例では、基板S1を+Y方向及び−Y方向に搬送する動作を主走査とし、キャリッジ15を+X方向及び−X方向に搬送する動作を副走査という。
(液滴吐出ヘッド20)
次に、キャリッジ15の下面に設けた支持プレート18に取着された複数の液滴吐出ヘッド20について以下に説明する。
【0028】
図2は、支持プレート18に取着される1つの液滴吐出ヘッド20をステージ12側から見た斜視図である。図3は、各液滴吐出ヘッド20の配置をステージ12側から見た図である。図4は、図3の4−4線断面図であって液滴吐出ヘッド20の吐出動作を示す図である。
【0029】
図2において、液滴吐出ヘッド20は、支持プレート18に対して+X方向に延びるように固着されるヘッド基板21と、ヘッド基板21の下面21bに対して同じく+X方向に延びるように固着される吐出ヘッド本体22を有する。
【0030】
ヘッド基板21は支持プレート18に位置決め固定される。つまり、液滴吐出ヘッド20は、図4に示すように、支持プレート18に形成した貫通穴19を同プレート18の上面18aから吐出ヘッド本体22を貫通させ、吐出ヘッド本体22を支持プレート18の下面18bから突出させる。吐出ヘッド本体22を支持プレート18の下面18bから突出させた状態で、支持プレート18の上面18aとヘッド基板21を密着固定することによって、液滴吐出ヘッド20は、支持プレート18に支持固定される。従って、液滴吐出ヘッド20は、キャリッジ15とともに+X方向及び−X方向に沿って移動する。
【0031】
また、ヘッド基板21は、その上面21a一側端に入力端子21cを有するとともに、入力端子21cに入力される駆動波形信号をヘッド基板21の下面21bに固着した吐出ヘッド本体22に出力する。
【0032】
吐出ヘッド本体22は、図4に示すように、基板S1と対向する側にノズルプレート23を有し、ノズルプレート23は、基板S1と相対向する面をノズル形成面23aという。ノズル形成面23aは、液滴吐出ヘッド20が基板S1と対向するとき、吐出面SAと略平行に配置される。
【0033】
図2に示すように、ノズル形成面23aは、その+X方向の全幅にわたってi個(iは2以上の整数であって、1インチ当たり180個)のノズルNを有する。各ノズルNは、それぞれZ方向に沿ってノズルプレート23に貫通形成されているとともに、+X方向に沿って所定のピッチで配列されている。ノズルプレート23は、このi個のノズルNによって一列のノズル列を形成する、本実施形態においては、ノズルNのピッチをノズルピッチDxという。また、ノズルプレート23の+X方向に沿う幅(1インチの幅)を、ヘッド幅Dwという。
【0034】
図4において、液滴吐出ヘッド20は、各ノズルNの上側にそれぞれキャビティ26、
振動板27及び圧電素子PZを有している。各キャビティ26は、それぞれ共通のインクタンク14に接続され、同インクタンク14からインクIkを収容し、そのインクIkをノズルNに供給する。振動板27は、各キャビティ26に対向する領域をZ方向に振動することによって、該キャビティ26の容積を拡大及び縮小させて、これに伴ってノズルNのメニスカスを振動させる。各圧電素子PZは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Z方向に収縮して伸張することによって、振動板27の各領域をZ方向に振動させる。各キャビティ26は、それぞれの振動板27がZ方向に振動するとき、収容するインクIkの一部を所定重量の液滴DにしてノズルNから吐出させる。
【0035】
吐出される液滴Dは、ノズルNに対向する基板S1の吐出面SA上の位置、即ち目標点T0に着弾する。そして、目標点T0に着弾した液滴Dは、基板S1の主走査によって+Y方向に移動する。
【0036】
そして、支持プレート18に取着される複数の液滴吐出ヘッド20は、図3に示すように、XY平面において、+X方向及び+Y方向に対して階段状に配列されている。詳述すると、隣接する液滴吐出ヘッド20は、+Y方向から見て、一方の+X方向の端部と、他方の−X方向の端部を重畳させている。これによって、隣接する液滴吐出ヘッド20は、それぞれ+Y方向からみて、隣接するノズル列の間隔をノズルピッチDxにする。そして、複数の液滴吐出ヘッド20の各々は、+X方向の解像度を吐出面SAの+X方向略全幅にわたって均一にする。尚、図3においては、液滴吐出ヘッド20の配置を説明するために、ノズルNの数量を省略している。
【0037】
図3に示すように、基板S1の吐出面SAは、一点鎖線で示すようにドットパターン格子によって仮想分割されている。ドットパターン格子は、その+Y方向の格子間隔と+X方向の格子間隔とがそれぞれ液滴Dの吐出ピッチDyによって規定されている。+Y方向における吐出ピッチDyは、液滴Dの吐出周波数と基板S1の主走査速度Vsによって決まる。また、+X方向の吐出ピッチは、ノズルピッチDxによって決まる。そして、液滴Dを吐出するか否かの選択は、このドットパターン格子の格子点Tごとに規定されている。
【0038】
液滴Dの吐出処理を実行するとき、+Y方向に配列される一群の格子点Tは、それぞれキャリッジ15の副走査と基板S1の主走査とによって、共通する一つのノズルNの直下を通過する。
【0039】
本実施形態では、+Y方向の格子間隔、即ち+Y方向の液滴Dのピッチを吐出ピッチDyという。
図3において、支持プレート18であって、各液滴吐出ヘッド20の+Y方向側には、矩形状の出射孔41がそれぞれ+X方向と所定の角度θkをなして貫通形成されている。各出射孔41は、その長手方向の幅が予め定めた幅W(液滴吐出ヘッド20のノズルNの総数にノズルNの直径を掛けた長さ)で形成されている。図4に示すように、各出射孔41の上側には、半導体レーザLDが配設されている。
【0040】
半導体レーザLDは、出射孔41の長手方向全幅に広がる帯状のコリメートされたレーザ光を下方に向けて出射する。半導体レーザLDの出射するレーザ光の波長は、液滴D(インクIk)に対して吸収率が高い領域の波長に設定されている。即ち、半導体レーザLDは、液滴Dに照射し、該液滴Dを乾燥させるためのレーザ光を出射するものである。
【0041】
出射孔41の内部には、シリンドリカルレンズ42が配設されている。シリンドリカルレンズ42は、長手方向に対して直交する短手方向にのみ曲率を有するレンズであり、レンズ面の長手方向の幅が予め定めた幅W(液滴吐出ヘッド20のノズルNの総数にノズル
Nの直径を掛けた長さ)と同じサイズで形成されている。シリンドリカルレンズ42は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、そのレーザ光の走査方向に沿う成分のみを収束し、帯状の照射光Leとして下方に出射する。
【0042】
尚、本実施形態では、シリンドリカルレンズ42を使用したが、シリンドリカルレンズ42では、光強度がノズル列方向において中央部で強く両端部で弱いガウシアンビームとなるため、シリンドリカルレンズ42に代えて光強度分布が均一な帯状ビームになるように回折光学素子を使って実施してもよい。
【0043】
図4に示すように、出射孔41の下側には、支持プレート18の下方に延びる一対のアーム43と、一対にアーム43の先端部間に回動可能に支持された反射ミラー44とが配設されている。
【0044】
反射ミラー44は、シリンドリカルレンズ42側に反射面を有した平面ミラーであって、反射面の長手方向の幅が予め定めた幅W(ノズルNの総数にノズルNの直径を掛けた長さ)と同じサイズで形成されている。反射ミラー44は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、シリンドリカルレンズ42からの帯状の照射光Leを、吐出ヘッド本体22から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって反射させる。
【0045】
つまり、本実施形態では、吐出ヘッド本体22から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射される帯状の照射光Leは、端から端までのレーザ光が無駄なく液滴Dに照射されるようになっている。
【0046】
そして、図5の模式図で示すように、ヘッド20の全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、帯状の照射光Leの中で液滴Dに照射されない部分がなく、全てが液滴Dに照射されように、位置決め設定されている。
【0047】
詳述すると、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴Dが隙間なく並ぶ、すなわち、液滴Dと液滴Dとの間を、通過する照射光Leが無く、かつ、他の液滴Dに遮られ離ことなく最も効率よく照射光Leを液滴Dに照射する帯状の照射光Leの角度θ(=90度−θk)は、
L・SINθ=2r
の式が成立する角度θである。
【0048】
そして、帯状の照射光Leの幅Wが、
W=2r・i
であって、その帯状の照射光Leの一端が一方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その帯状の照射光Leの他端が他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0049】
そして、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間を、+X方向に対して角度θに照射された照射光Leは、ノズルプレート23の各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dに照射して乾燥を促進させることができる。その結果、基板S1に着弾した液滴Dの濡れ広がりを抑えることができる。
【0050】
また、このとき、照射光Leは液滴Dと液滴Dとの間を、通過する部分が無く、最も効率よく液滴Dに照射するため、消費電力の低減を図ることができる。しかも、照射光Le
の幅を、W=2r・iとすることがで、非常に細い帯状の照射光Leとすることができ、非常に安価なレーザ装置を使用することができる。
【0051】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)の方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射させるようにした。
【0052】
そして、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴Dが隙間なく並ぶ、すなわち、液滴Dと液滴Dとの間を、通過する照射光Leが無く、最も効率よく照射光Leを液滴Dに照射する帯状の照射光Leの角度θ(=90度−θk)を、
L・SINθ=2r
の式が成立する角度θとした。
【0053】
従って、帯状の照射光Leの端から端まで無駄なく液滴Dに照射させることができる。その結果、レーザ光のエネルギー効率のよい液滴Dの空中乾燥ができる。
(2)上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)の方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射させるようにしたので、帯状の照射光Leの幅(=W=2r・i)を短くすることができる。従って、安価な光学系機器を使って、帯状の照射光Leを生成することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明を具体化した第2実施形態を図6及び図7に従って説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッド20に形成されたノズルNが、第1実施形態と相違する。従って、説明の便宜上、相違する部分について詳細に説明する。
【0054】
図6に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッド20は、ノズル形成面23aには、+X方向に沿って配列された複数のノズルNからなるノズル列が2つ有している。そして、一対のノズル列、即ち、+Y方向側の第1ノズル列NLaと−Y方向側の第2ノズル列NLbには、第1実施形態と同様に、180個のノズルNがそれぞれ形成されている。
【0055】
一対のノズル列NLa,NLbでは、+Y矢印方向から見て、第1ノズル列NLaの各ノズルNが、第2ノズル列NLbの各ノズルNの間を補間する。すなわち、液滴吐出ヘッド20は、+X方向に、1インチ当りに180個×2=360個のノズルNを有する(最大解像度が360dpiである)。
【0056】
尚、第1ノズル列NLaと第2ノズル列NLbの距離を、ノズル間距離Aという。また、第1及び第2ノズル列NLa,NLbのそれぞれのノズルNのノズルピッチDxは同じである。
【0057】
本実施形態では、第1及び第2ノズル列NLa,NLbに対して、それぞれ異なる帯状の照射光Leを生成するようになっている。即ち、図7(a)に示すように、第1ノズル列NLaに対して帯状の第1照射光Le1が、図7(b)に示すように、第2ノズル列NLbに対して帯状の第2照射光Le2がそれぞれ設けられている。
【0058】
そして、図7(a)の模式図で示すように、第1照射光Le1は、第1ノズル列NLaの全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、該帯状の第1照射光Le1の中で液滴Dに照射されない部分がなく全てが液滴Dに照射されとともに、該帯状の第1照射光Le1が第2ノズル列NLbのノズルNからの液滴Dを照射することがないように位置決
め設定されている。
【0059】
また、図7(b)の模式図で示すように、第2照射光Le2は、第2ノズル列NLbの全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、該帯状の第2照射光Le2の中で液滴Dに照射されない部分がなく、全てが液滴Dに照射されるとともに、該帯状の第2照射光Le2が第1ノズル列NLaのノズルNからの液滴Dを照射することがないように位置決め設定されている。
【0060】
詳述すると、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅DwをBとした時、第1及び第2照射光Le1,Le2が、上記条件が成立する、ノズル列から見た照射する角度θは、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θである。
【0061】
そして、帯状の第1及び第2照射光Le1,Le2の幅Wは、
W=2r・i
である。
【0062】
そして、第1照射光Le1の一端が第1ノズル列NLaの一端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その第1照射光Le1の他端が第1ノズル列NLaの他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0063】
さらに、第2照射光Le2の一端が第2ノズル列NLbの一端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その第2照射光Le2の他端が第1ノズル列NLaの他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0064】
この条件を満たすように、支持プレート18に、矩形状の出射孔41をそれぞれ+X方向と所定の角度θk(=90度−θ)をなして貫通形成する。そして、各出射孔41の上側にレーザ出力手段としての半導体レーザLDが配設する。また、出射孔41の内部には、シリンドリカルレンズ42を配設し半導体レーザLDのレーザ光を第1照射光Le1として下方に出射する。出射孔41の下側に、アーム43と、同アーム43に回動可能に支持された反射ミラー44とを配設する。反射ミラー44は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、シリンドリカルレンズ42からの第1及び第2照射光Le1、Le2を、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θの方向から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって反射することになる。
【0065】
そして、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間を、+X方向に対して角度θに照射された第1及び第2照射光Le1,Le2は、それぞれノズルプレート23の第1及び第2ノズル列NLa,NLbの各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dに対してそれぞれ照射して乾燥を促進させることができる。その結果、基板S1に着弾した液滴Dの濡れ広がりを抑えることができる。
【0066】
また、このとき、第1及び第2照射光Le1,Le2は液滴Dと液滴Dとの間を、通過する部分が無く、最も効率よく液滴Dに照射するため、消費電力の低減を図ることができる。しかも、第1及び第2照射光Le1,Le2の幅を、W=2r・iとすることがで、非常に細い帯状の照射光Leとすることができ、非常に安価なレーザ装置を使用することができる。
(第3実施形態)
次に、本発明を具体化した第3実施形態を図8〜図10に従って説明する。本実施形態は、第2実施形態で示した2つのノズル列NLa,NLbを有する液滴吐出ヘッド20を
用い、第1実施形態で示した1つの帯状の照射光Leを使用して、各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dを乾燥するものである。
【0067】
そして、図8及び図9に示すように、第1ノズル列NLaの液滴Dと第2ノズル列NLbの液滴Dにおいて、1つの帯状の照射光Leに対して重なり合ってしまう第1ノズル列NLaの液滴D(これを先行液滴D1という)と第2ノズル列NLbの液滴D(これを後続液滴D2という)が発生する場合がある。つまり、第1ノズル列NLaの液滴D(先行液滴D1)が照射光Leを遮って、第2ノズル列NLbの液滴D(後続液滴D2)に照射光Leが照射されない場合がある。
【0068】
本実施形態では、このような先行液滴D1と重なり合ってしまって、照射光Leが照射されない後続液滴D2に対して照射光Leが照射され乾燥を促進させることができるようにしたものでる。
【0069】
すなわち、本実施形態では、照射光Leが遮られる後続液滴D2の吐出タイミングと、照射光Leを遮る先行液滴D1の吐出タイミングとを異ならした。つまり、図10に示すように、先行液滴D1を後続液滴D2より速いタイミングで吐出させている。
【0070】
詳述すると、液滴D1,D2の半径をr、液滴D1,D2の速度をV、とした時、先行液滴D1と後続液滴D2の時間差Δtは、
Δt>2r/V
の式が成立する時間差Δtである。
【0071】
この条件を満たすことにより、先行液滴D1によって照射光Leが遮られ、後続液滴D2に照射光Leが照射されなくなることはなくなる。
従って、本実施形態によれば、1つの帯状のレーザ光(照射光Le)を、各ノズル列の全ての液滴に確実に照射することができる。
【0072】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、図4に示すように、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に照射する第1照射光Le1は、吐出面SAとノズル形成面23aには当たらない幅に設定した。これを、吐出面SA及びノズル形成面23aに当たる幅の第1照射光Le1で実施してもよい。これによれば、広い範囲で、液滴を乾燥することができるので、より効率の良い乾燥が行える。
【0073】
○上記実施形態では、基板S1(グリーンシート、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、樹脂フィルム、紙等)に配線パターンを描画する液滴吐出装置に具体化したが、これに限定されるものではなく、例えば、絶縁層を形成する液滴吐出装置、カラーフィルタを形成するために液滴吐出装置、配向膜を形成する液滴吐出装置等、各種の液滴吐出装置に応用してもよい。
【0074】
○上記実施形態では、液滴吐出手段を、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド20に具体化した。これに限らず、液滴吐出ヘッドを、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【0075】
【図1】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図2】液滴吐出ヘッドを下側から見た図。
【図3】キャリッジに設けられた各液滴吐出ヘッドの配置を示す図。
【図4】図3の4−4線断面図であって液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す図。
【図5】レーザ光と各液滴との関係を説明するための模式図。
【図6】第2実施形態の2つのノズル列を持つ液滴吐出ヘッドを下側から見た図。
【図7】(a)第1ノズル列の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図、(b)第2ノズル列の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図8】第3実施形態のレーザ光が先行液滴により後続液滴に照射されない場合の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図9】第3実施形態のレーザ光が先行液滴により後続液滴に照射されない場合の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図10】第3実施形態の先行液滴と後続液滴の吐出タイミングとレーザ光の関係を説明する模式図。
【図11】従来のレーザ光と各液滴との関係を説明するための模式図。
【符号の説明】
【0076】
10…液滴吐出装置、11…基台、12…ステージ、15…キャリッジ、20…液滴吐出ヘッド、22…吐出ヘッド本体、23…ノズルプレート、41…出射孔、42…シリンドリカルレンズ、43…アーム、44…反射ミラー、S1…基板、SA…吐出面、Le…照射光、Le1…第1照射光、Le2…第2照射光、LD…半導体レーザ、Ik…インク、D,D1,D2…液滴、N…ノズル、θ…傾斜角度、NLa…第1ノズル列、NLb…第2ノズル列。
【技術分野】
【0001】
本発明は、液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、液滴吐出装置を使用してパターン形成材料を含んだ液状体を液滴として吐出させて基板上に線状のパターンを形成することが知られている。
一般に、液滴吐出装置は、ステージに載置した基板と、パターン形成材料を含んだ液状体を液滴として基板に吐出する液滴吐出ヘッドと、基板(ステージ)と液滴吐出ヘッドを2次元的に相対移動させる機構を備えている。そして、液滴吐出ヘッドから吐出させた液滴を基板表面の任意の位置に配置させる。このとき、基板表面に順次配置される各液滴について、その液滴の濡れ拡がる範囲が互いに重なるように液滴を順次配置することにより、基板表面に隙間無く機能液で覆われた線状パターンを形成することができる。
【0003】
ところで、基板に着弾した液滴は、速やかに乾燥されることが、生産性、高精細なパターンを形成する上で好ましい。
そこで、基板を予め加熱して着弾した液滴を速やかに乾燥させることが提案されている。また、吐出ヘッドと基板との間(プラテンギャップ)に空気流を流し、基板に着弾した液滴の蒸気を排気し乾燥を促進させることが種々提案されている(例えば、特許文献1〜4)。
【0004】
さらに、基板に着弾した液滴や吐出ヘッドから基板の間を飛行中の液滴にレーザを照射して、該液滴を速やかに乾燥させることが試みられている。この種のレーザにて液滴を乾燥させる方法は、図11の模式図に示すように、液滴吐出ヘッド100のノズルプレートに直線上に形成された各ノズル孔から一斉に吐出された各液滴Dに対して、その飛行途中においてレーザ光よりなる帯状の照射光Leを照射するものである。即ち、帯状の照射光Leをノズル列方向(X軸方向)に対してY軸方向から垂直に照射して、一列であって等間隔に吐出された各液滴Dを一斉に照射して乾燥させる。
【特許文献1】特開平8−1924号 公報
【特許文献2】特開平8−281923号 公報
【特許文献3】特開2002−127398号 公報
【特許文献4】特開2005−59478号 公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、帯状の照射光Leは、ノズル列方向(X軸方向)に等間隔の吐出された各液滴Dに照射されるものの、液滴Dが当たらない液滴Dと液滴Dの間を通過する照射光Leは乾燥に寄与せず無駄になっていた。
【0006】
また、帯状の照射光Leの幅は、少なくともノズルプレートに直線上に一列に形成されたノズル孔の列幅分必要となり、照射光(レーザ光)Leをその幅まで伸ばすには非常に高度な光学系の設計技術を必要としていた。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、レーザのエネルギー効率を図りつつ液滴の空中乾燥を行うことができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の液滴吐出装置の液滴乾燥方法は、吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置の液滴乾燥方法であって、前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、前記液滴の吐出方向に対して垂直方向から前記レーザ光を照射し、前記各液滴を同時に乾燥するとき、前記各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、帯状のレーザ光を照射する。
【0009】
本発明の液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、帯状のレーザ光を傾斜させたので、液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減でき、レーザ光のエネルギー効率の向上を図ることができる。しかも、短い幅の帯状のレーザ光で各液滴を乾燥できる。
【0010】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、L・SINθ=2r、の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0011】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル孔から吐出された液滴は、全て同時にレーザ光が照射され、乾燥される。この時、帯状のレーザ光は、全て各液滴に照射され、無駄にならない。
【0012】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記ノズルプレートには、前記副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は前記主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射してもよい。
【0013】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル列毎に設けた帯状のレーザ光を傾斜させたので、各ノズル列毎において液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減する。
【0014】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、ノズル列毎に設けた、帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、tanθ<(A−2r)/(B+L/2)、の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0015】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、各ノズル列に設けた帯状のレーザ光は、液滴と液滴との間を通過することなく、それぞれ各液滴に無駄なく照射される。
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、前記吐出ヘッドのノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、全ノズル列に対して、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、1つの帯状のレーザ光を照射するとともに、各ノズル列から吐出される液滴が、前記レーザ光の照射方向にある他のノズル列から吐出される液滴にて前記レーザ光が遮られる場合、前記遮られる液滴の吐出タイミングを、前記遮る液滴に遮られない吐出タイミングに変更してもよい。
【0016】
この液滴吐出装置の液滴乾燥方法によれば、1つの帯状のレーザ光を、各ノズル列の全ての液滴に確実に照射することができる。
本発明の液滴吐出装置は、吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置であって、前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度から、前記吐出ヘッドのノ
ズルプレートと前記基板の間に、帯状のレーザ光を照射するレーザ出力手段を設けた。
【0017】
本発明の液滴吐出装置によれば、レーザ出力手段は、帯状のレーザ光を、ノズルプレートと前記基板の間にであってノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で照射できる。その結果、液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光は低減でき、レーザ光のエネルギー効率の向上を図ることができる。しかも、短い幅の帯状のレーザ光で各液滴を乾燥できる。
【0018】
この液滴吐出装置において、前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、L・SINθ=2rの式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0019】
この液滴吐出装置によれば、レーザ出力手段の帯状のレーザ光は、全て各液滴に照射されて、無駄にならない。
この液滴吐出装置において、前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、レーザ出力手段は、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射してもよい。
【0020】
この液滴吐出装置によれば、各ノズル列毎に設けた帯状のレーザ光は、各ノズル列毎において液滴と液滴との間を、無駄に通過するレーザ光が低減する。
この液滴吐出装置において、前記ノズル列毎に設けたレーザ出力手段による帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、tanθ<(A−2r)/(B+L/2)の式が成立する傾斜角度θであってもよい。
【0021】
この液滴吐出装置によれば、各ノズル列に設けた帯状のレーザ光は、液滴と液滴との間を通過することなく、それぞれ各液滴に無駄なく照射される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0022】
(第1実施形態)
以下、本発明を具体化した第1実施形態を図1〜図5に従って説明する。図1は、液滴吐出装置10の全体斜視図である。
【0023】
図1において、液滴吐出装置10は、一つの方向に延びる基台11と、基台11の上に搭載されて基板S1を載置するステージ12を有している。ステージ12は、基板S1の一つの面を上に向けた状態で該基板S1を位置決め固定して、基台11の長手方向に沿って基板S1を搬送する。
【0024】
基板S1としては、グリーンシート、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、樹脂フィルム、紙等の各種の基板が用いられる。
なお、本実施形態では、ステージ12に基板S1を載置したときの基板S1の上面を吐出面SAという。また、基板S1が搬送される方向であって、図1において左上方向に向かう方向を+Y方向という。また、+Y方向と直交する方向であって、図1において右下方向に向かう方向を+X方向とし、基板S1の方向の法線をZ方向という。
【0025】
液滴吐出装置10は、基台11を跨ぐ門型のガイド部材13と、ガイド部材13の上側に配設されるインクタンク14とを有する。インクタンク14は、液状体としての所定のインクIkを貯留するとともに、貯留するインクIkを所定の圧力で導出する。インクI
kとしては、パターン形成材料としての銀微粒子を含む銀インク、パターン形成材料としてのITO(Indium Tin Oxide)微粒子を含むITOインク、パターン形成材料としての顔料を含む顔料インク等の各種のインクが用いられる。
【0026】
ガイド部材13は、キャリッジ15を+X方向及び+X方向の反対方向(−X方向)に沿って移動可能に支持している。キャリッジ15は、下側に支持プレート18が前記ステージ12と平行に配設され、その支持プレート18には複数の液滴吐出ヘッド20が取着されている。
【0027】
尚、本実施例では、基板S1を+Y方向及び−Y方向に搬送する動作を主走査とし、キャリッジ15を+X方向及び−X方向に搬送する動作を副走査という。
(液滴吐出ヘッド20)
次に、キャリッジ15の下面に設けた支持プレート18に取着された複数の液滴吐出ヘッド20について以下に説明する。
【0028】
図2は、支持プレート18に取着される1つの液滴吐出ヘッド20をステージ12側から見た斜視図である。図3は、各液滴吐出ヘッド20の配置をステージ12側から見た図である。図4は、図3の4−4線断面図であって液滴吐出ヘッド20の吐出動作を示す図である。
【0029】
図2において、液滴吐出ヘッド20は、支持プレート18に対して+X方向に延びるように固着されるヘッド基板21と、ヘッド基板21の下面21bに対して同じく+X方向に延びるように固着される吐出ヘッド本体22を有する。
【0030】
ヘッド基板21は支持プレート18に位置決め固定される。つまり、液滴吐出ヘッド20は、図4に示すように、支持プレート18に形成した貫通穴19を同プレート18の上面18aから吐出ヘッド本体22を貫通させ、吐出ヘッド本体22を支持プレート18の下面18bから突出させる。吐出ヘッド本体22を支持プレート18の下面18bから突出させた状態で、支持プレート18の上面18aとヘッド基板21を密着固定することによって、液滴吐出ヘッド20は、支持プレート18に支持固定される。従って、液滴吐出ヘッド20は、キャリッジ15とともに+X方向及び−X方向に沿って移動する。
【0031】
また、ヘッド基板21は、その上面21a一側端に入力端子21cを有するとともに、入力端子21cに入力される駆動波形信号をヘッド基板21の下面21bに固着した吐出ヘッド本体22に出力する。
【0032】
吐出ヘッド本体22は、図4に示すように、基板S1と対向する側にノズルプレート23を有し、ノズルプレート23は、基板S1と相対向する面をノズル形成面23aという。ノズル形成面23aは、液滴吐出ヘッド20が基板S1と対向するとき、吐出面SAと略平行に配置される。
【0033】
図2に示すように、ノズル形成面23aは、その+X方向の全幅にわたってi個(iは2以上の整数であって、1インチ当たり180個)のノズルNを有する。各ノズルNは、それぞれZ方向に沿ってノズルプレート23に貫通形成されているとともに、+X方向に沿って所定のピッチで配列されている。ノズルプレート23は、このi個のノズルNによって一列のノズル列を形成する、本実施形態においては、ノズルNのピッチをノズルピッチDxという。また、ノズルプレート23の+X方向に沿う幅(1インチの幅)を、ヘッド幅Dwという。
【0034】
図4において、液滴吐出ヘッド20は、各ノズルNの上側にそれぞれキャビティ26、
振動板27及び圧電素子PZを有している。各キャビティ26は、それぞれ共通のインクタンク14に接続され、同インクタンク14からインクIkを収容し、そのインクIkをノズルNに供給する。振動板27は、各キャビティ26に対向する領域をZ方向に振動することによって、該キャビティ26の容積を拡大及び縮小させて、これに伴ってノズルNのメニスカスを振動させる。各圧電素子PZは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Z方向に収縮して伸張することによって、振動板27の各領域をZ方向に振動させる。各キャビティ26は、それぞれの振動板27がZ方向に振動するとき、収容するインクIkの一部を所定重量の液滴DにしてノズルNから吐出させる。
【0035】
吐出される液滴Dは、ノズルNに対向する基板S1の吐出面SA上の位置、即ち目標点T0に着弾する。そして、目標点T0に着弾した液滴Dは、基板S1の主走査によって+Y方向に移動する。
【0036】
そして、支持プレート18に取着される複数の液滴吐出ヘッド20は、図3に示すように、XY平面において、+X方向及び+Y方向に対して階段状に配列されている。詳述すると、隣接する液滴吐出ヘッド20は、+Y方向から見て、一方の+X方向の端部と、他方の−X方向の端部を重畳させている。これによって、隣接する液滴吐出ヘッド20は、それぞれ+Y方向からみて、隣接するノズル列の間隔をノズルピッチDxにする。そして、複数の液滴吐出ヘッド20の各々は、+X方向の解像度を吐出面SAの+X方向略全幅にわたって均一にする。尚、図3においては、液滴吐出ヘッド20の配置を説明するために、ノズルNの数量を省略している。
【0037】
図3に示すように、基板S1の吐出面SAは、一点鎖線で示すようにドットパターン格子によって仮想分割されている。ドットパターン格子は、その+Y方向の格子間隔と+X方向の格子間隔とがそれぞれ液滴Dの吐出ピッチDyによって規定されている。+Y方向における吐出ピッチDyは、液滴Dの吐出周波数と基板S1の主走査速度Vsによって決まる。また、+X方向の吐出ピッチは、ノズルピッチDxによって決まる。そして、液滴Dを吐出するか否かの選択は、このドットパターン格子の格子点Tごとに規定されている。
【0038】
液滴Dの吐出処理を実行するとき、+Y方向に配列される一群の格子点Tは、それぞれキャリッジ15の副走査と基板S1の主走査とによって、共通する一つのノズルNの直下を通過する。
【0039】
本実施形態では、+Y方向の格子間隔、即ち+Y方向の液滴Dのピッチを吐出ピッチDyという。
図3において、支持プレート18であって、各液滴吐出ヘッド20の+Y方向側には、矩形状の出射孔41がそれぞれ+X方向と所定の角度θkをなして貫通形成されている。各出射孔41は、その長手方向の幅が予め定めた幅W(液滴吐出ヘッド20のノズルNの総数にノズルNの直径を掛けた長さ)で形成されている。図4に示すように、各出射孔41の上側には、半導体レーザLDが配設されている。
【0040】
半導体レーザLDは、出射孔41の長手方向全幅に広がる帯状のコリメートされたレーザ光を下方に向けて出射する。半導体レーザLDの出射するレーザ光の波長は、液滴D(インクIk)に対して吸収率が高い領域の波長に設定されている。即ち、半導体レーザLDは、液滴Dに照射し、該液滴Dを乾燥させるためのレーザ光を出射するものである。
【0041】
出射孔41の内部には、シリンドリカルレンズ42が配設されている。シリンドリカルレンズ42は、長手方向に対して直交する短手方向にのみ曲率を有するレンズであり、レンズ面の長手方向の幅が予め定めた幅W(液滴吐出ヘッド20のノズルNの総数にノズル
Nの直径を掛けた長さ)と同じサイズで形成されている。シリンドリカルレンズ42は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、そのレーザ光の走査方向に沿う成分のみを収束し、帯状の照射光Leとして下方に出射する。
【0042】
尚、本実施形態では、シリンドリカルレンズ42を使用したが、シリンドリカルレンズ42では、光強度がノズル列方向において中央部で強く両端部で弱いガウシアンビームとなるため、シリンドリカルレンズ42に代えて光強度分布が均一な帯状ビームになるように回折光学素子を使って実施してもよい。
【0043】
図4に示すように、出射孔41の下側には、支持プレート18の下方に延びる一対のアーム43と、一対にアーム43の先端部間に回動可能に支持された反射ミラー44とが配設されている。
【0044】
反射ミラー44は、シリンドリカルレンズ42側に反射面を有した平面ミラーであって、反射面の長手方向の幅が予め定めた幅W(ノズルNの総数にノズルNの直径を掛けた長さ)と同じサイズで形成されている。反射ミラー44は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、シリンドリカルレンズ42からの帯状の照射光Leを、吐出ヘッド本体22から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって反射させる。
【0045】
つまり、本実施形態では、吐出ヘッド本体22から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射される帯状の照射光Leは、端から端までのレーザ光が無駄なく液滴Dに照射されるようになっている。
【0046】
そして、図5の模式図で示すように、ヘッド20の全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、帯状の照射光Leの中で液滴Dに照射されない部分がなく、全てが液滴Dに照射されように、位置決め設定されている。
【0047】
詳述すると、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴Dが隙間なく並ぶ、すなわち、液滴Dと液滴Dとの間を、通過する照射光Leが無く、かつ、他の液滴Dに遮られ離ことなく最も効率よく照射光Leを液滴Dに照射する帯状の照射光Leの角度θ(=90度−θk)は、
L・SINθ=2r
の式が成立する角度θである。
【0048】
そして、帯状の照射光Leの幅Wが、
W=2r・i
であって、その帯状の照射光Leの一端が一方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その帯状の照射光Leの他端が他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0049】
そして、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間を、+X方向に対して角度θに照射された照射光Leは、ノズルプレート23の各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dに照射して乾燥を促進させることができる。その結果、基板S1に着弾した液滴Dの濡れ広がりを抑えることができる。
【0050】
また、このとき、照射光Leは液滴Dと液滴Dとの間を、通過する部分が無く、最も効率よく液滴Dに照射するため、消費電力の低減を図ることができる。しかも、照射光Le
の幅を、W=2r・iとすることがで、非常に細い帯状の照射光Leとすることができ、非常に安価なレーザ装置を使用することができる。
【0051】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)の方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射させるようにした。
【0052】
そして、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの直径を2r、ノズルNの総数がi個としたとき、帯状の照射光Leに対して液滴Dが隙間なく並ぶ、すなわち、液滴Dと液滴Dとの間を、通過する照射光Leが無く、最も効率よく照射光Leを液滴Dに照射する帯状の照射光Leの角度θ(=90度−θk)を、
L・SINθ=2r
の式が成立する角度θとした。
【0053】
従って、帯状の照射光Leの端から端まで無駄なく液滴Dに照射させることができる。その結果、レーザ光のエネルギー効率のよい液滴Dの空中乾燥ができる。
(2)上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θ(=90度−θk)の方向から、帯状の照射光Leを、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって照射させるようにしたので、帯状の照射光Leの幅(=W=2r・i)を短くすることができる。従って、安価な光学系機器を使って、帯状の照射光Leを生成することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明を具体化した第2実施形態を図6及び図7に従って説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッド20に形成されたノズルNが、第1実施形態と相違する。従って、説明の便宜上、相違する部分について詳細に説明する。
【0054】
図6に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッド20は、ノズル形成面23aには、+X方向に沿って配列された複数のノズルNからなるノズル列が2つ有している。そして、一対のノズル列、即ち、+Y方向側の第1ノズル列NLaと−Y方向側の第2ノズル列NLbには、第1実施形態と同様に、180個のノズルNがそれぞれ形成されている。
【0055】
一対のノズル列NLa,NLbでは、+Y矢印方向から見て、第1ノズル列NLaの各ノズルNが、第2ノズル列NLbの各ノズルNの間を補間する。すなわち、液滴吐出ヘッド20は、+X方向に、1インチ当りに180個×2=360個のノズルNを有する(最大解像度が360dpiである)。
【0056】
尚、第1ノズル列NLaと第2ノズル列NLbの距離を、ノズル間距離Aという。また、第1及び第2ノズル列NLa,NLbのそれぞれのノズルNのノズルピッチDxは同じである。
【0057】
本実施形態では、第1及び第2ノズル列NLa,NLbに対して、それぞれ異なる帯状の照射光Leを生成するようになっている。即ち、図7(a)に示すように、第1ノズル列NLaに対して帯状の第1照射光Le1が、図7(b)に示すように、第2ノズル列NLbに対して帯状の第2照射光Le2がそれぞれ設けられている。
【0058】
そして、図7(a)の模式図で示すように、第1照射光Le1は、第1ノズル列NLaの全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、該帯状の第1照射光Le1の中で液滴Dに照射されない部分がなく全てが液滴Dに照射されとともに、該帯状の第1照射光Le1が第2ノズル列NLbのノズルNからの液滴Dを照射することがないように位置決
め設定されている。
【0059】
また、図7(b)の模式図で示すように、第2照射光Le2は、第2ノズル列NLbの全てのノズルNから同時に液滴Dが吐出されたとき、該帯状の第2照射光Le2の中で液滴Dに照射されない部分がなく、全てが液滴Dに照射されるとともに、該帯状の第2照射光Le2が第1ノズル列NLaのノズルNからの液滴Dを照射することがないように位置決め設定されている。
【0060】
詳述すると、ノズルピッチDx(隣合う液滴Dの間隔)をL、液滴Dの半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅DwをBとした時、第1及び第2照射光Le1,Le2が、上記条件が成立する、ノズル列から見た照射する角度θは、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θである。
【0061】
そして、帯状の第1及び第2照射光Le1,Le2の幅Wは、
W=2r・i
である。
【0062】
そして、第1照射光Le1の一端が第1ノズル列NLaの一端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その第1照射光Le1の他端が第1ノズル列NLaの他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0063】
さらに、第2照射光Le2の一端が第2ノズル列NLbの一端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Daに接するとともに、その第2照射光Le2の他端が第1ノズル列NLaの他方の端のノズルNから吐出された液滴Dの外周端Dbに接するようにする。
【0064】
この条件を満たすように、支持プレート18に、矩形状の出射孔41をそれぞれ+X方向と所定の角度θk(=90度−θ)をなして貫通形成する。そして、各出射孔41の上側にレーザ出力手段としての半導体レーザLDが配設する。また、出射孔41の内部には、シリンドリカルレンズ42を配設し半導体レーザLDのレーザ光を第1照射光Le1として下方に出射する。出射孔41の下側に、アーム43と、同アーム43に回動可能に支持された反射ミラー44とを配設する。反射ミラー44は、半導体レーザLDがレーザ光を出射するときに、シリンドリカルレンズ42からの第1及び第2照射光Le1、Le2を、液滴吐出ヘッド20から見て、+X方向に対して角度θの方向から、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に向かって反射することになる。
【0065】
そして、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間を、+X方向に対して角度θに照射された第1及び第2照射光Le1,Le2は、それぞれノズルプレート23の第1及び第2ノズル列NLa,NLbの各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dに対してそれぞれ照射して乾燥を促進させることができる。その結果、基板S1に着弾した液滴Dの濡れ広がりを抑えることができる。
【0066】
また、このとき、第1及び第2照射光Le1,Le2は液滴Dと液滴Dとの間を、通過する部分が無く、最も効率よく液滴Dに照射するため、消費電力の低減を図ることができる。しかも、第1及び第2照射光Le1,Le2の幅を、W=2r・iとすることがで、非常に細い帯状の照射光Leとすることができ、非常に安価なレーザ装置を使用することができる。
(第3実施形態)
次に、本発明を具体化した第3実施形態を図8〜図10に従って説明する。本実施形態は、第2実施形態で示した2つのノズル列NLa,NLbを有する液滴吐出ヘッド20を
用い、第1実施形態で示した1つの帯状の照射光Leを使用して、各ノズルNから吐出面SAに向かって飛行している液滴Dを乾燥するものである。
【0067】
そして、図8及び図9に示すように、第1ノズル列NLaの液滴Dと第2ノズル列NLbの液滴Dにおいて、1つの帯状の照射光Leに対して重なり合ってしまう第1ノズル列NLaの液滴D(これを先行液滴D1という)と第2ノズル列NLbの液滴D(これを後続液滴D2という)が発生する場合がある。つまり、第1ノズル列NLaの液滴D(先行液滴D1)が照射光Leを遮って、第2ノズル列NLbの液滴D(後続液滴D2)に照射光Leが照射されない場合がある。
【0068】
本実施形態では、このような先行液滴D1と重なり合ってしまって、照射光Leが照射されない後続液滴D2に対して照射光Leが照射され乾燥を促進させることができるようにしたものでる。
【0069】
すなわち、本実施形態では、照射光Leが遮られる後続液滴D2の吐出タイミングと、照射光Leを遮る先行液滴D1の吐出タイミングとを異ならした。つまり、図10に示すように、先行液滴D1を後続液滴D2より速いタイミングで吐出させている。
【0070】
詳述すると、液滴D1,D2の半径をr、液滴D1,D2の速度をV、とした時、先行液滴D1と後続液滴D2の時間差Δtは、
Δt>2r/V
の式が成立する時間差Δtである。
【0071】
この条件を満たすことにより、先行液滴D1によって照射光Leが遮られ、後続液滴D2に照射光Leが照射されなくなることはなくなる。
従って、本実施形態によれば、1つの帯状のレーザ光(照射光Le)を、各ノズル列の全ての液滴に確実に照射することができる。
【0072】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、図4に示すように、吐出面SAとノズル形成面23aとの間の空間に照射する第1照射光Le1は、吐出面SAとノズル形成面23aには当たらない幅に設定した。これを、吐出面SA及びノズル形成面23aに当たる幅の第1照射光Le1で実施してもよい。これによれば、広い範囲で、液滴を乾燥することができるので、より効率の良い乾燥が行える。
【0073】
○上記実施形態では、基板S1(グリーンシート、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、樹脂フィルム、紙等)に配線パターンを描画する液滴吐出装置に具体化したが、これに限定されるものではなく、例えば、絶縁層を形成する液滴吐出装置、カラーフィルタを形成するために液滴吐出装置、配向膜を形成する液滴吐出装置等、各種の液滴吐出装置に応用してもよい。
【0074】
○上記実施形態では、液滴吐出手段を、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド20に具体化した。これに限らず、液滴吐出ヘッドを、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【0075】
【図1】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図2】液滴吐出ヘッドを下側から見た図。
【図3】キャリッジに設けられた各液滴吐出ヘッドの配置を示す図。
【図4】図3の4−4線断面図であって液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す図。
【図5】レーザ光と各液滴との関係を説明するための模式図。
【図6】第2実施形態の2つのノズル列を持つ液滴吐出ヘッドを下側から見た図。
【図7】(a)第1ノズル列の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図、(b)第2ノズル列の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図8】第3実施形態のレーザ光が先行液滴により後続液滴に照射されない場合の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図9】第3実施形態のレーザ光が先行液滴により後続液滴に照射されない場合の各液滴とレーザ光の関係を説明する模式図。
【図10】第3実施形態の先行液滴と後続液滴の吐出タイミングとレーザ光の関係を説明する模式図。
【図11】従来のレーザ光と各液滴との関係を説明するための模式図。
【符号の説明】
【0076】
10…液滴吐出装置、11…基台、12…ステージ、15…キャリッジ、20…液滴吐出ヘッド、22…吐出ヘッド本体、23…ノズルプレート、41…出射孔、42…シリンドリカルレンズ、43…アーム、44…反射ミラー、S1…基板、SA…吐出面、Le…照射光、Le1…第1照射光、Le2…第2照射光、LD…半導体レーザ、Ik…インク、D,D1,D2…液滴、N…ノズル、θ…傾斜角度、NLa…第1ノズル列、NLb…第2ノズル列。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置の液滴乾燥方法であって、
前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、前記液滴の吐出方向に対して垂直方向から前記レーザ光を照射し、前記各液滴を同時に乾燥するとき、
前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項2】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、
L・SINθ=2r
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項3】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項4】
請求項3に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記ノズル列毎に設けた、帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項5】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記吐出ヘッドのノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、全ノズル列に対して、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、1つの帯状のレーザ光を照射するとともに、各ノズル列から吐出される液滴が、前記レーザ光の照射方向にある他のノズル列から吐出される液滴にて前記レーザ光が遮られる場合、前記遮られる液滴の吐出タイミングを、前記遮る液滴に遮られない吐出タイミングに変更するようにしたことを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項6】
吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置であって、
前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度から、前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、帯状のレーザ光を照射するレーザ出力手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項7】
請求項6に記載の液滴吐出装置において、
前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、
L・SINθ=2r
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項8】
請求項6に記載の液滴吐出装置において、
前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、レーザ出力手段は、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項9】
請求項8に記載の液滴吐出装置において、
前記ノズル列毎に設けたレーザ出力手段による帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項1】
吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置の液滴乾燥方法であって、
前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、前記液滴の吐出方向に対して垂直方向から前記レーザ光を照射し、前記各液滴を同時に乾燥するとき、
前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項2】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、
L・SINθ=2r
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項3】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項4】
請求項3に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記ノズル列毎に設けた、帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項5】
請求項1に記載の液滴吐出装置の液滴乾燥方法において、
前記吐出ヘッドのノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、全ノズル列に対して、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、1つの帯状のレーザ光を照射するとともに、各ノズル列から吐出される液滴が、前記レーザ光の照射方向にある他のノズル列から吐出される液滴にて前記レーザ光が遮られる場合、前記遮られる液滴の吐出タイミングを、前記遮る液滴に遮られない吐出タイミングに変更するようにしたことを特徴とする液滴吐出装置の液滴乾燥方法。
【請求項6】
吐出ヘッドから基板に向かって吐出された液滴を、前記基板に向かって飛行中に、帯状のレーザ光を照射して乾燥させる液滴吐出装置であって、
前記吐出ヘッドの各ノズル孔の配列方向に対して傾斜した傾斜角度から、前記吐出ヘッドのノズルプレートと前記基板の間に、帯状のレーザ光を照射するレーザ出力手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項7】
請求項6に記載の液滴吐出装置において、
前記傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記各ノズル孔のピッチをL、液滴の半径をr、とした時、
L・SINθ=2r
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項8】
請求項6に記載の液滴吐出装置において、
前記ノズルプレートには、副走査方向に等ピッチに形成された複数のノズル孔からなるノズル列が複数形成され、各ノズル列は主走査方向に対して予め離間した位置に形成され、かつ、隣合うノズル列に対して副走査方向に前記ピッチの半分のピッチずれて形成され、前記ノズル列毎に、レーザ出力手段は、各ノズル孔配列方向に対して傾斜した傾斜角度で、それぞれ異なる帯状のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項9】
請求項8に記載の液滴吐出装置において、
前記ノズル列毎に設けたレーザ出力手段による帯状のレーザ光の傾斜角度は、前記傾斜角度をθ、前記ピッチをL、液滴の半径をr、ノズル列間の距離をA、ノズル列の幅をB、とした時、
tanθ<(A−2r)/(B+L/2)
の式が成立する傾斜角度θであることを特徴とする液滴吐出装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2009−72728(P2009−72728A)
【公開日】平成21年4月9日(2009.4.9)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−245857(P2007−245857)
【出願日】平成19年9月21日(2007.9.21)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年4月9日(2009.4.9)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年9月21日(2007.9.21)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
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