焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサ
【課題】低温で焼成しても特性を損なうことなく緻密化した焼結体を得ることができる焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサを提供する。
【解決手段】Ｓｉ化合物からなる第１成分、Ｂ化合物及びＡｌ化合物の少なくともいずれかを含む第２成分、Ｂａ化合物、Ｚｎ化合物及びカルシウムＣａ化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分のモル比による組成比は、図１に表される三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たす。
【解決手段】Ｓｉ化合物からなる第１成分、Ｂ化合物及びＡｌ化合物の少なくともいずれかを含む第２成分、Ｂａ化合物、Ｚｎ化合物及びカルシウムＣａ化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分のモル比による組成比は、図１に表される三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たす。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼結助剤、この焼結助剤を添加した焼結体、及びこの焼結体を誘電体層として用いたセラミックコンデンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体層の材料として、チタン酸バリウムがよく用いられているが、この種の粉末は、そのままでは焼結し難いことから、焼結を促進させる焼結助剤を添加した上で焼成を行っている（例えば、特許文献１、２）。
【０００３】
近年、電子回路の小型化、高密度化に伴い、セラミックコンデンサの小型大容量化が強く求められている。そして、セラミックコンデンサの小型大容量化のために、内部電極層及び誘電体層の薄層化と積層数の増加が試みられている。しかし、内部電極の薄層化が進むと、特に内部電極の材料として安価なＮｉやＮｉ合金を用いた場合には、Ｎｉの球状化収縮による内部電極の切れやデラミネーション（層間剥離）などが起こりやすくなり、それに伴い容量が低下するという問題がある。これを防ぐべく焼成温度を下げることが考えられるが、焼成温度が低いと、焼結しない、緻密な焼結体が得られない、電気特性が低下するといった問題が生じる。
【特許文献１】特開２００２−３３８３３２号公報
【特許文献２】特開２００２−３３８３３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、低温で焼成しても特性を損なうことなく緻密化した焼結体を得ることができる焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、シリコン（Ｓｉ）の化合物からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物、亜鉛（Ｚｎ）の化合物及びカルシウム（Ｃａ）の化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を含む焼結助剤であって、前記第１成分のモル比をＸ、前記第２成分のモル比をＹ、前記第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たすことを特徴とする焼結助剤が提供される。
【０００６】
また、本発明の他の一態様によれば、チタン酸バリウムを主成分として含む原料に、上記焼結助剤を添加して焼成してなることを特徴とする焼結体が提供される。
【０００７】
また、本発明のさらに他の一態様によれば、複数の電極と、これら電極間に設けられ、上記焼結体からなる誘電体層と、を備えたことを特徴とするセラミックコンデンサが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、低温で焼成しても特性を損なうことなく緻密化した焼結体を得ることができる焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
【００１０】
本発明の実施形態に係る焼結助剤は、シリコン（Ｓｉ）の化合物（例えばＳｉＯ２）からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物（例えばＢ２Ｏ３）及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物（例えばＡｌ２Ｏ３）の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物（例えばＢａＣＯ３）、亜鉛（Ｚｎ）の化合物（例えばＺｎＯ）及びカルシウム（Ｃａ）の化合物（例えばＣａＣＯ３）のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を有する。
【００１１】
第１成分のモル比をＸ、第２成分のモル比をＹ、第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする図１に表される三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たす。
【００１２】
本発明者等は、上記第１〜第３成分の組成比（モル比）を様々に変えた１３個の焼結助剤のサンプルＡ〜Ｍを試作した。各サンプルＡ〜Ｍにおける、第１〜第３成分の組成比（モル比）を表１に表す。
【００１３】
【表１】
【００１４】
サンプルＡにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）で表される。
【００１５】
サンプルＢにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）で表される。
【００１６】
サンプルＣにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）で表される。
【００１７】
サンプルＤにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）で表される。
【００１８】
サンプルＥにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）で表される。
【００１９】
サンプルＦにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で表される。
【００２０】
サンプルＧにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｇ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３１、０．２８５、０．４０５）で表される。
【００２１】
サンプルＨにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｈ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６５、０．２４５、０．３９）で表される。
【００２２】
サンプルＩにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｉ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４、０．２４、０．３６）で表される。
【００２３】
サンプルＪにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｊ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４５、０．２４５、０．３０５）で表される。
【００２４】
サンプルＫにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｋ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２０４、０．２２４、０．５７３）で表される。
【００２５】
サンプルＬにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｌ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４１６、０．１０２、０．４８２）で表される。
【００２６】
サンプルＭにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｍ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６２４、０．１３９、０．２３７）で表される。
【００２７】
焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍは、図２に表すステップにしたがって製造される。
【００２８】
まず、ステップＳ１として、表１に表す組成比に基づいて、各成分の化合物を調合し、乾式混合を行い、粉末を得る。または、各成分の化合物を調合し、湿式混合・粉砕を行いスラリーとし、このスラリーを脱水乾燥して、粉末を得るようにしてもよい。
【００２９】
その得られた粉末を例えば（Ｐｔ−Ｒｈ）からなるルツボに入れ、大気中、１２００〜１７００℃で、３〜４時間溶融し（ステップＳ２）、その溶湯を鋳型に流し込み（ステップＳ３）、急冷してガラス化させた（ステップＳ４）。このガラスを粉砕して（ステップＳ５）、焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍを得た。
【００３０】
主成分としてチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を、副成分としてバリウムの炭酸塩（ＢａＣＯ３）、ディスプロシウムの酸化物（Ｄｙ２Ｏ３）、マグネシウムの酸化物（ＭｇＯ）、マンガンの酸化物（Ｍｎ３Ｏ４）を含む原料に、前述した図１に表される三角図における点Ａ、ＢおよびＣで囲まれる範囲内を満たす組成を有する焼結助剤を添加し、それらを、例えば還元性雰囲気で焼成してなる。
【００３１】
前述した図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤を添加して、チタン酸バリウムを主成分とする粉末を焼成することで、低温（１０５０℃以下）の焼成温度であっても焼結を促進させることができ、緻密で、また電気特性の悪化も抑制された焼結体を得ることができる。さらに、低温での焼成により、製造コストの低減も図れる。
【００３２】
図３は、本実施形態に係るセラミックコンデンサの断面構造を例示する模式断面図である。
【００３３】
このセラミックコンデンサは、対向する内部電極２間に、前述した図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤を添加して焼成された焼結体を含む誘電体層１が設けられた構造を有する。これは、その焼結体をシート状に成形したグリーンシートの片面に内部電極２を形成し、これを複数枚積層して焼成することで得られる。また、この積層体の側面には、内部電極２の端部に接続された外部電極３、４が設けられている。
【００３４】
内部電極２や外部電極３、４の材料としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ等の金属もしくはこれらの合金、Ｉｎ−Ｇａ、Ａｇ、Ａｇ−１０Ｐｄ合金等、または、カーボン、グラファイト、カーボンとグラファイトの混合物等を用いることができる。
【００３５】
内部電極２は、例えば、上記の主たる材料からなる粉末に、有機バインダ、分散剤、有機溶剤、必要に応じて還元剤等を所定量加えた後に混練し、所定の粘度とした導電ペーストを、グリーンシートの片面に所定のパターンとなるように印刷し、還元雰囲気中で焼成することにより形成される。内部電極２としては、比較的安価なＮｉまたはＮｉ合金が望ましい。
【００３６】
また、外部電極３、４としては、低抵抗で安価であることからＣｕが望ましい。外部電極３、４は、内部電極２及び誘電体層１からなる積層体に対して、その外側面に塗布法などを用いて形成される。
【００３７】
本実施形態に係るセラミックコンデンサによれば、１０５０℃以下の低温焼成が可能になることから、特にＮｉやＮｉ合金を内部電極２に用いた場合でも、Ｎｉの球状化収縮を抑制でき、これに起因する電極の切れやデラミネーションなどの構造欠陥を防げる。これにより、コンデンサの容量低下を抑制できる。また、内部電極２として、空気中で容易に酸化されやすい卑金属であるＮｉまたはＮｉ合金を用いた場合には、そのＮｉまたはＮｉ合金が酸化されないような還元性雰囲気で焼成する必要があるが、この場合に、前述した本実施形態に係る焼結助剤を添加して焼成された焼結体は耐還元性に優れ、この焼結体を用いた誘電体層１の還元を抑制できる。これにより、誘電体層１の比誘電率を高くでき、セラミックコンデンサの容量を大きくできる。
【００３８】
次に、本実施形態に係るセラミックコンデンサの製造方法の一例について説明する。
【００３９】
まず、誘電体層の主成分ＢａＴｉＯ３の原料として、例えばＢａＣＯ３、ＴｉＯ２を調合する。
【００４０】
次に、上記主成分の化合物をボールミルに入れ、水を加えて湿式で約２０時間混合・粉砕を行いスラリーとする。そして、このスラリーを脱水・乾燥し、１０００℃以上で仮焼した後、粉砕して、平均粒子径が０．３μｍ未満となるように整粒した。なお、平均粒径は、走査型電子顕微鏡によって粉末を観察し、１００個の粒子の粒子径を測長して求めた。
【００４１】
次に、上記主成分に対して、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４の粉末と、さらに、前述の焼結助剤の粉末と、をボールミルに入れ、トルエン−エタノール混合溶剤、ポリビニルブチラール系バインダおよび可塑剤とともに適度な粘度になるまで混合し、ドクターブレード法によりグリーンシートを作製した。
【００４２】
次に、各グリーンシート上に、Ｎｉ粉末からなる導電ペーストを用いて内部電極を所定形状にスクリーン印刷した後、その導電ペーストが印刷されたグリーンシートを複数積層し、熱圧着して一体化し、積層体を作製した。
【００４３】
そして、その積層体を空気中にて加熱することで有機バインダを除去した後、１１００℃の還元性雰囲気で２時間焼成した後、さらに１０００℃のＮ２ガス雰囲気中で２時間再酸化処理し、この後、内部電極が露出している積層体の端面部に外部電極を焼き付け、図３に例示される構造が得られる。
【００４４】
本発明者等は、前述した焼結助剤のサンプルＡ〜Ｍを添加して得た焼結体について、比誘電率ε、誘電損失ｔａｎδ、比抵抗、容量変化率、密度を測定し、その評価を行った。その結果を、表２、表３に表す。
【００４５】
【表２】
【表３】
【００４６】
評価試料は、以下のようにして作製した。主成分としてチタン酸バリウムを、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４を、さらに、前述のサンプルＡ〜Ｍを焼結助剤として含むグリーンシートを１（ｃｍ）角に切り、厚みが１（ｍｍ）となるように積み重ねた。次に、それを１０００（ｋｇ／ｃｍ３）の圧力で成型した。次に、樹脂成分を焼却するため、３００℃で１０時間、大気中で焼成を行い、その後、Ｎ２、Ｈ２及びＨ２Ｏからなる混合ガスの還元雰囲気中で、表２に示す焼成温度で還元雰囲気中で２時間焼成した。この後、窒素ガス中で、１０００℃に安定させ２時間再酸化処理を行った。
【００４７】
各評価試料において、主成分であるチタン酸バリウムにおける（Ｂａ／Ｔｉ）比は、０．９９８から１．００３である。その主成分に対して、Ｂａ元素の添加量は１．０モルパーセント、Ｄｙ元素の添加量は０．９モルパーセント、Ｍｇ元素の添加量は１．１モルパーセント、Ｍｎ元素の添加量は０．２モルパーセントである。焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍの、主成分に対する添加量（重量部）は、表２に表すように様々に変えた。
【００４８】
密度（ｇ／ｃｍ３）は、アルキメデス法を用いて測定した。
各種電気特性の測定は、上記評価試料の両端面にＩｎ−Ｇａを塗布してコンデンサ構造とした上で行った。
【００４９】
比誘電率εは、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定し、この測定によって得られた静電容量、誘電体層の厚さ、及び電極面積から算出した。
【００５０】
誘電損失ｔａｎδ（％）は、上記比誘電率と同一条件下で、ＬＣＲメーターを用いて測定した。
【００５１】
比抵抗（Ω・ｃｍ）は、２５℃の条件下で、直流２５０［Ｖ］の電圧を１分間印加し測定した。
【００５２】
密度が５．７（ｇ／ｃｍ３）以上、比誘電率が１６００以上、誘電損失が３．０（％）以下の内、少なくともいずれかを満たさない場合、所望の特性が得られていないとして、評価結果を「ＮＧ」とした。
【００５３】
表２によれば、図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤であれば、主成分（チタン酸バリウム）に対する添加量を適切に設定することで、上記各条件を満たす緻密で電気特性にも優れた焼結体及びコンデンサを、１０５０℃以下の低温焼成で得られるとの結果が得られた。
【００５４】
また、本発明者等は、誘電体層と電極とを積層した試料についての各種評価を行った。この結果を、表４に示す。
【００５５】
【表４】
【００５６】
誘電体層一層あたりの厚さは５μｍで、有効誘電体層は１０層とした。また、一層あたりの内部（対向）電極面積は、０.９１［ｍｍ２］とした。
誘電体層は、表２を参照して前述した評価試験と同様に、以下のようにして作製した。主成分としてチタン酸バリウムを、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４を、さらに、表４に表される種類の焼結助剤を含むスラリーをドクターブレード法によりペットフィルムに塗布し、焼成後５μｍとなるグリーンシートを成型した。得られたグリーンシートに内部電極であるＮｉペーストを印刷により形成した。これらを１０層に積層し、熱圧着することにより積層体を得た。次いで、この積層体を幅２．０ｍｍ、長さが３．８ｍｍ、厚さ０．６ｍｍとなるように加工した。次にこれを大気中にて、３００℃で１０時間加熱して勇気バインダ(樹脂成分)を焼却した。その後、Ｎ２、Ｈ２及びＨ２Ｏからなる混合ガスの還元雰囲気中で、表４に示す焼成温度で２時間焼成した。次に窒素ガス雰囲気中で、１０００℃に安定させ２時間再酸化処理を行った。その後、焼結させた積層体の外側面（対向する位置にある切断面）にＣｕからなる導電性ペーストを塗布し、Ｎ２ガス雰囲気中で６５０℃の温度で焼き付け、図３に示すように内部電極と電気的に接続された外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを作成した。各評価試料において、主成分であるチタン酸バリウムにおける（Ｂａ／Ｔｉ）比は、０．９９８である。その主成分に対して、Ｂａ元素の添加量は、Ｂａ化合物のＢａに換算して１．０モル部であり、Ｄｙ元素の添加量は、Ｄｙ化合物のＤｙに換算して０．９モル部であり、Ｍｇ元素の添加量は、Ｍｇ化合物のＭｇに換算して１．１モル部であり、Ｍｎ元素の添加量は、Ｍｎ化合物のＭｎに換算して０．２モル部である。焼結助剤の各サンプルの、主成分に対する添加量（重量部）は、表４に表す通りである。各種特性の測定方法で、比誘電率εは、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定し、この測定によって得られた静電容量、誘電体層の厚さ、及び内部電極面積から算出した。誘電損失ｔａｎδ（％）は、比誘電率と同一条件下で、ＬＣＲメーターを用いて測定した。容量変化率は、各積層セラミックコンデンサを恒温槽に入れ、−５５℃から８５℃の各温度において、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定した。
【００５７】
表４の結果より、前述した本実施形態に係る焼結助剤を用いて得られた積層体は、ＥＩＡ（Electronic Industries Association）のＸ５Ｒ規格（−５５℃から８５℃の容量変化率（２５℃基準）がプラスマイナス１５％）に適合することが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態に係る焼結助剤に含まれる第１〜第３成分の組成範囲を表す三角図である。
【図２】本発明の実施形態に係る焼結助剤の製造方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施形態に係るセラミックコンデンサの断面構造を例示する模式断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…誘電体層、２…内部電極、３，４…外部電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼結助剤、この焼結助剤を添加した焼結体、及びこの焼結体を誘電体層として用いたセラミックコンデンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体層の材料として、チタン酸バリウムがよく用いられているが、この種の粉末は、そのままでは焼結し難いことから、焼結を促進させる焼結助剤を添加した上で焼成を行っている（例えば、特許文献１、２）。
【０００３】
近年、電子回路の小型化、高密度化に伴い、セラミックコンデンサの小型大容量化が強く求められている。そして、セラミックコンデンサの小型大容量化のために、内部電極層及び誘電体層の薄層化と積層数の増加が試みられている。しかし、内部電極の薄層化が進むと、特に内部電極の材料として安価なＮｉやＮｉ合金を用いた場合には、Ｎｉの球状化収縮による内部電極の切れやデラミネーション（層間剥離）などが起こりやすくなり、それに伴い容量が低下するという問題がある。これを防ぐべく焼成温度を下げることが考えられるが、焼成温度が低いと、焼結しない、緻密な焼結体が得られない、電気特性が低下するといった問題が生じる。
【特許文献１】特開２００２−３３８３３２号公報
【特許文献２】特開２００２−３３８３３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、低温で焼成しても特性を損なうことなく緻密化した焼結体を得ることができる焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、シリコン（Ｓｉ）の化合物からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物、亜鉛（Ｚｎ）の化合物及びカルシウム（Ｃａ）の化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を含む焼結助剤であって、前記第１成分のモル比をＸ、前記第２成分のモル比をＹ、前記第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たすことを特徴とする焼結助剤が提供される。
【０００６】
また、本発明の他の一態様によれば、チタン酸バリウムを主成分として含む原料に、上記焼結助剤を添加して焼成してなることを特徴とする焼結体が提供される。
【０００７】
また、本発明のさらに他の一態様によれば、複数の電極と、これら電極間に設けられ、上記焼結体からなる誘電体層と、を備えたことを特徴とするセラミックコンデンサが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、低温で焼成しても特性を損なうことなく緻密化した焼結体を得ることができる焼結助剤、焼結体及セラミックコンデンサが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
【００１０】
本発明の実施形態に係る焼結助剤は、シリコン（Ｓｉ）の化合物（例えばＳｉＯ２）からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物（例えばＢ２Ｏ３）及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物（例えばＡｌ２Ｏ３）の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物（例えばＢａＣＯ３）、亜鉛（Ｚｎ）の化合物（例えばＺｎＯ）及びカルシウム（Ｃａ）の化合物（例えばＣａＣＯ３）のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を有する。
【００１１】
第１成分のモル比をＸ、第２成分のモル比をＹ、第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする図１に表される三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たす。
【００１２】
本発明者等は、上記第１〜第３成分の組成比（モル比）を様々に変えた１３個の焼結助剤のサンプルＡ〜Ｍを試作した。各サンプルＡ〜Ｍにおける、第１〜第３成分の組成比（モル比）を表１に表す。
【００１３】
【表１】
【００１４】
サンプルＡにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）で表される。
【００１５】
サンプルＢにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）で表される。
【００１６】
サンプルＣにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）で表される。
【００１７】
サンプルＤにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）で表される。
【００１８】
サンプルＥにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）で表される。
【００１９】
サンプルＦにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で表される。
【００２０】
サンプルＧにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｇ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３１、０．２８５、０．４０５）で表される。
【００２１】
サンプルＨにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｈ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６５、０．２４５、０．３９）で表される。
【００２２】
サンプルＩにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｉ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４、０．２４、０．３６）で表される。
【００２３】
サンプルＪにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｊ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４５、０．２４５、０．３０５）で表される。
【００２４】
サンプルＫにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｋ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２０４、０．２２４、０．５７３）で表される。
【００２５】
サンプルＬにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｌ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４１６、０．１０２、０．４８２）で表される。
【００２６】
サンプルＭにおける第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、図１の三角図において点Ｍ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６２４、０．１３９、０．２３７）で表される。
【００２７】
焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍは、図２に表すステップにしたがって製造される。
【００２８】
まず、ステップＳ１として、表１に表す組成比に基づいて、各成分の化合物を調合し、乾式混合を行い、粉末を得る。または、各成分の化合物を調合し、湿式混合・粉砕を行いスラリーとし、このスラリーを脱水乾燥して、粉末を得るようにしてもよい。
【００２９】
その得られた粉末を例えば（Ｐｔ−Ｒｈ）からなるルツボに入れ、大気中、１２００〜１７００℃で、３〜４時間溶融し（ステップＳ２）、その溶湯を鋳型に流し込み（ステップＳ３）、急冷してガラス化させた（ステップＳ４）。このガラスを粉砕して（ステップＳ５）、焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍを得た。
【００３０】
主成分としてチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を、副成分としてバリウムの炭酸塩（ＢａＣＯ３）、ディスプロシウムの酸化物（Ｄｙ２Ｏ３）、マグネシウムの酸化物（ＭｇＯ）、マンガンの酸化物（Ｍｎ３Ｏ４）を含む原料に、前述した図１に表される三角図における点Ａ、ＢおよびＣで囲まれる範囲内を満たす組成を有する焼結助剤を添加し、それらを、例えば還元性雰囲気で焼成してなる。
【００３１】
前述した図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤を添加して、チタン酸バリウムを主成分とする粉末を焼成することで、低温（１０５０℃以下）の焼成温度であっても焼結を促進させることができ、緻密で、また電気特性の悪化も抑制された焼結体を得ることができる。さらに、低温での焼成により、製造コストの低減も図れる。
【００３２】
図３は、本実施形態に係るセラミックコンデンサの断面構造を例示する模式断面図である。
【００３３】
このセラミックコンデンサは、対向する内部電極２間に、前述した図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤を添加して焼成された焼結体を含む誘電体層１が設けられた構造を有する。これは、その焼結体をシート状に成形したグリーンシートの片面に内部電極２を形成し、これを複数枚積層して焼成することで得られる。また、この積層体の側面には、内部電極２の端部に接続された外部電極３、４が設けられている。
【００３４】
内部電極２や外部電極３、４の材料としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ等の金属もしくはこれらの合金、Ｉｎ−Ｇａ、Ａｇ、Ａｇ−１０Ｐｄ合金等、または、カーボン、グラファイト、カーボンとグラファイトの混合物等を用いることができる。
【００３５】
内部電極２は、例えば、上記の主たる材料からなる粉末に、有機バインダ、分散剤、有機溶剤、必要に応じて還元剤等を所定量加えた後に混練し、所定の粘度とした導電ペーストを、グリーンシートの片面に所定のパターンとなるように印刷し、還元雰囲気中で焼成することにより形成される。内部電極２としては、比較的安価なＮｉまたはＮｉ合金が望ましい。
【００３６】
また、外部電極３、４としては、低抵抗で安価であることからＣｕが望ましい。外部電極３、４は、内部電極２及び誘電体層１からなる積層体に対して、その外側面に塗布法などを用いて形成される。
【００３７】
本実施形態に係るセラミックコンデンサによれば、１０５０℃以下の低温焼成が可能になることから、特にＮｉやＮｉ合金を内部電極２に用いた場合でも、Ｎｉの球状化収縮を抑制でき、これに起因する電極の切れやデラミネーションなどの構造欠陥を防げる。これにより、コンデンサの容量低下を抑制できる。また、内部電極２として、空気中で容易に酸化されやすい卑金属であるＮｉまたはＮｉ合金を用いた場合には、そのＮｉまたはＮｉ合金が酸化されないような還元性雰囲気で焼成する必要があるが、この場合に、前述した本実施形態に係る焼結助剤を添加して焼成された焼結体は耐還元性に優れ、この焼結体を用いた誘電体層１の還元を抑制できる。これにより、誘電体層１の比誘電率を高くでき、セラミックコンデンサの容量を大きくできる。
【００３８】
次に、本実施形態に係るセラミックコンデンサの製造方法の一例について説明する。
【００３９】
まず、誘電体層の主成分ＢａＴｉＯ３の原料として、例えばＢａＣＯ３、ＴｉＯ２を調合する。
【００４０】
次に、上記主成分の化合物をボールミルに入れ、水を加えて湿式で約２０時間混合・粉砕を行いスラリーとする。そして、このスラリーを脱水・乾燥し、１０００℃以上で仮焼した後、粉砕して、平均粒子径が０．３μｍ未満となるように整粒した。なお、平均粒径は、走査型電子顕微鏡によって粉末を観察し、１００個の粒子の粒子径を測長して求めた。
【００４１】
次に、上記主成分に対して、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４の粉末と、さらに、前述の焼結助剤の粉末と、をボールミルに入れ、トルエン−エタノール混合溶剤、ポリビニルブチラール系バインダおよび可塑剤とともに適度な粘度になるまで混合し、ドクターブレード法によりグリーンシートを作製した。
【００４２】
次に、各グリーンシート上に、Ｎｉ粉末からなる導電ペーストを用いて内部電極を所定形状にスクリーン印刷した後、その導電ペーストが印刷されたグリーンシートを複数積層し、熱圧着して一体化し、積層体を作製した。
【００４３】
そして、その積層体を空気中にて加熱することで有機バインダを除去した後、１１００℃の還元性雰囲気で２時間焼成した後、さらに１０００℃のＮ２ガス雰囲気中で２時間再酸化処理し、この後、内部電極が露出している積層体の端面部に外部電極を焼き付け、図３に例示される構造が得られる。
【００４４】
本発明者等は、前述した焼結助剤のサンプルＡ〜Ｍを添加して得た焼結体について、比誘電率ε、誘電損失ｔａｎδ、比抵抗、容量変化率、密度を測定し、その評価を行った。その結果を、表２、表３に表す。
【００４５】
【表２】
【表３】
【００４６】
評価試料は、以下のようにして作製した。主成分としてチタン酸バリウムを、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４を、さらに、前述のサンプルＡ〜Ｍを焼結助剤として含むグリーンシートを１（ｃｍ）角に切り、厚みが１（ｍｍ）となるように積み重ねた。次に、それを１０００（ｋｇ／ｃｍ３）の圧力で成型した。次に、樹脂成分を焼却するため、３００℃で１０時間、大気中で焼成を行い、その後、Ｎ２、Ｈ２及びＨ２Ｏからなる混合ガスの還元雰囲気中で、表２に示す焼成温度で還元雰囲気中で２時間焼成した。この後、窒素ガス中で、１０００℃に安定させ２時間再酸化処理を行った。
【００４７】
各評価試料において、主成分であるチタン酸バリウムにおける（Ｂａ／Ｔｉ）比は、０．９９８から１．００３である。その主成分に対して、Ｂａ元素の添加量は１．０モルパーセント、Ｄｙ元素の添加量は０．９モルパーセント、Ｍｇ元素の添加量は１．１モルパーセント、Ｍｎ元素の添加量は０．２モルパーセントである。焼結助剤の各サンプルＡ〜Ｍの、主成分に対する添加量（重量部）は、表２に表すように様々に変えた。
【００４８】
密度（ｇ／ｃｍ３）は、アルキメデス法を用いて測定した。
各種電気特性の測定は、上記評価試料の両端面にＩｎ−Ｇａを塗布してコンデンサ構造とした上で行った。
【００４９】
比誘電率εは、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定し、この測定によって得られた静電容量、誘電体層の厚さ、及び電極面積から算出した。
【００５０】
誘電損失ｔａｎδ（％）は、上記比誘電率と同一条件下で、ＬＣＲメーターを用いて測定した。
【００５１】
比抵抗（Ω・ｃｍ）は、２５℃の条件下で、直流２５０［Ｖ］の電圧を１分間印加し測定した。
【００５２】
密度が５．７（ｇ／ｃｍ３）以上、比誘電率が１６００以上、誘電損失が３．０（％）以下の内、少なくともいずれかを満たさない場合、所望の特性が得られていないとして、評価結果を「ＮＧ」とした。
【００５３】
表２によれば、図１に表される三角図における点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥおよびＦで囲まれる範囲内を満たす組成比の焼結助剤であれば、主成分（チタン酸バリウム）に対する添加量を適切に設定することで、上記各条件を満たす緻密で電気特性にも優れた焼結体及びコンデンサを、１０５０℃以下の低温焼成で得られるとの結果が得られた。
【００５４】
また、本発明者等は、誘電体層と電極とを積層した試料についての各種評価を行った。この結果を、表４に示す。
【００５５】
【表４】
【００５６】
誘電体層一層あたりの厚さは５μｍで、有効誘電体層は１０層とした。また、一層あたりの内部（対向）電極面積は、０.９１［ｍｍ２］とした。
誘電体層は、表２を参照して前述した評価試験と同様に、以下のようにして作製した。主成分としてチタン酸バリウムを、副成分としてＢａＣＯ３、Ｄｙ２Ｏ３、ＭｇＯ、Ｍｎ３Ｏ４を、さらに、表４に表される種類の焼結助剤を含むスラリーをドクターブレード法によりペットフィルムに塗布し、焼成後５μｍとなるグリーンシートを成型した。得られたグリーンシートに内部電極であるＮｉペーストを印刷により形成した。これらを１０層に積層し、熱圧着することにより積層体を得た。次いで、この積層体を幅２．０ｍｍ、長さが３．８ｍｍ、厚さ０．６ｍｍとなるように加工した。次にこれを大気中にて、３００℃で１０時間加熱して勇気バインダ(樹脂成分)を焼却した。その後、Ｎ２、Ｈ２及びＨ２Ｏからなる混合ガスの還元雰囲気中で、表４に示す焼成温度で２時間焼成した。次に窒素ガス雰囲気中で、１０００℃に安定させ２時間再酸化処理を行った。その後、焼結させた積層体の外側面（対向する位置にある切断面）にＣｕからなる導電性ペーストを塗布し、Ｎ２ガス雰囲気中で６５０℃の温度で焼き付け、図３に示すように内部電極と電気的に接続された外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを作成した。各評価試料において、主成分であるチタン酸バリウムにおける（Ｂａ／Ｔｉ）比は、０．９９８である。その主成分に対して、Ｂａ元素の添加量は、Ｂａ化合物のＢａに換算して１．０モル部であり、Ｄｙ元素の添加量は、Ｄｙ化合物のＤｙに換算して０．９モル部であり、Ｍｇ元素の添加量は、Ｍｇ化合物のＭｇに換算して１．１モル部であり、Ｍｎ元素の添加量は、Ｍｎ化合物のＭｎに換算して０．２モル部である。焼結助剤の各サンプルの、主成分に対する添加量（重量部）は、表４に表す通りである。各種特性の測定方法で、比誘電率εは、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定し、この測定によって得られた静電容量、誘電体層の厚さ、及び内部電極面積から算出した。誘電損失ｔａｎδ（％）は、比誘電率と同一条件下で、ＬＣＲメーターを用いて測定した。容量変化率は、各積層セラミックコンデンサを恒温槽に入れ、−５５℃から８５℃の各温度において、周波数１（ｋＨｚ）、電圧１．０（Ｖ）の条件で、ＬＣＲメーターを用いて静電容量を測定した。
【００５７】
表４の結果より、前述した本実施形態に係る焼結助剤を用いて得られた積層体は、ＥＩＡ（Electronic Industries Association）のＸ５Ｒ規格（−５５℃から８５℃の容量変化率（２５℃基準）がプラスマイナス１５％）に適合することが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態に係る焼結助剤に含まれる第１〜第３成分の組成範囲を表す三角図である。
【図２】本発明の実施形態に係る焼結助剤の製造方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施形態に係るセラミックコンデンサの断面構造を例示する模式断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…誘電体層、２…内部電極、３，４…外部電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン（Ｓｉ）の化合物からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物、亜鉛（Ｚｎ）の化合物及びカルシウム（Ｃａ）の化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を含む焼結助剤であって、
前記第１成分のモル比をＸ、前記第２成分のモル比をＹ、前記第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たすことを特徴とする焼結助剤。
【請求項２】
チタン酸バリウムを主成分として含む原料に、請求項１記載の焼結助剤を添加して焼成してなることを特徴とする焼結体。
【請求項３】
複数の電極と、
前記電極間に設けられ、請求項２記載の焼結体からなる誘電体層と、
を備えたことを特徴とするセラミックコンデンサ。
【請求項４】
前記電極は、ＮｉまたはＮｉ合金を含むことを特徴とする請求項３記載のセラミックコンデンサ。
【請求項１】
シリコン（Ｓｉ）の化合物からなる第１成分と、ホウ素（Ｂ）の化合物及びアルミニウム（Ａｌ）の化合物の少なくともいずれかを含む第２成分と、バリウム（Ｂａ）の化合物、亜鉛（Ｚｎ）の化合物及びカルシウム（Ｃａ）の化合物のうち少なくとも１つを含む第３成分と、を含む焼結助剤であって、
前記第１成分のモル比をＸ、前記第２成分のモル比をＹ、前記第３成分のモル比をＺとした場合、これら第１成分、第２成分、第３成分のモル比による組成比（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（１、０、０）、点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、１、０）および点（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０、０、１）の３点を頂点とする三角図における、点Ａ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２１、０．３７、０．４２）、点Ｂ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．３６４、０．１９２、０．４４４）、点Ｃ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．４７、０．１７４、０．３５６）、点Ｄ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．１８２、０．２０）、点Ｅ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．６１８、０．２２８、０．１５４）および点Ｆ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＝（０．２６１、０．３７５、０．３６４）で囲まれる範囲内を満たすことを特徴とする焼結助剤。
【請求項２】
チタン酸バリウムを主成分として含む原料に、請求項１記載の焼結助剤を添加して焼成してなることを特徴とする焼結体。
【請求項３】
複数の電極と、
前記電極間に設けられ、請求項２記載の焼結体からなる誘電体層と、
を備えたことを特徴とするセラミックコンデンサ。
【請求項４】
前記電極は、ＮｉまたはＮｉ合金を含むことを特徴とする請求項３記載のセラミックコンデンサ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００８−１５６１８２（Ｐ２００８−１５６１８２Ａ）
【公開日】平成２０年７月１０日（２００８．７．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３４９４１５（Ｐ２００６−３４９４１５）
【出願日】平成１８年１２月２６日（２００６．１２．２６）
【出願人】（５９１００３７７０）三星電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年７月１０日（２００８．７．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月２６日（２００６．１２．２６）
【出願人】（５９１００３７７０）三星電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
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