説明

薄板状材料搬送装置

【課題】ガラス基板等の薄板状材料をエアコンベアで搬送し、且つ搬送方向を90°転換する場合に、アライメントローラを用いることなく位置決めし、高速且つ確実に方向転換・搬送できるようにした薄板状材料搬送装置を提供する。
【解決手段】薄板状材料搬送装置10は、第1、第2の直進エアコンベア14、18の間に、搬送するガラス基板の搬送方向を90°変換する方向転換エアコンベア16を有し、方向転換エアコンベアは、エアテーブルユニット20の間に複数の方向転換ローラユニット30を有し、方向転換ローラユニットは、吸引用パイプによってガラス基板を吸引して送りローラ34に接触可能とし、送りローラは、その回転軸が、水平面内で一定範囲で姿勢変更可能とされ、方向転換位置でのガラス基板の4隅の角を、4個の方向転換位置センサ3A〜3Dにより検出して、位置制御装置により、送りローラを駆動して、方向転換位置からのずれを矯正する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、液晶ディスプレイ(LCD)パネル、プラズマディスプレイパネル(PDP)等のフラットパネルディスプレイ(FPD)に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する際に、アライメントシリンダ・ローラを用いることなく、パスラインに沿って、正確に搬送できるようにした薄板状材料搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、その搬送の際には、表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【0003】
このような搬送手段の1つとして、ローラコンベアがあるが、搬送路が直角に曲げる場合、2つの直進ローラコンベアの間に直角方向に進むコンベアを配置し、ガラス基板を直角に方向転換する際には、コンベアを上昇させ、ガラス基板のパスラインを約20〜50mm上げて搬送していた。
【0004】
又、直交して配置された2つの直進ローラコンベアの交点位置にガラス基板を持ち上げて旋回させる機構を設けたり、直進ローラコンベア全体を旋回させる方法があるが、どちらも、近年のガラス基板の大型化に伴い、構造も大きくなり、運転のための動力や製造コストも大幅に増大し、又タクトタイムの短縮も困難であるという問題点があった。
【0005】
又、ローラコンベアに替えて、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている(例えば特許文献1参照)。
【0006】
このようなエアテーブルの場合、ガラス基板を浮上させた状態でその搬送方向を変更したり、ガラス基板自身を旋回させることは、圧力エア上でのガラス基板の挙動を制御することが困難であり、浮上しているガラス基板の端縁をガイドローラによってガイドすることも考えられるが、ガラス基板は、例えば第8世代においては、W2200mm×L2500mmという大きさに比べて厚さが0.5〜0.7mm程度と非常に薄く、慣性でガラス基板端縁がガイドローラに衝突した場合に非常に割れ易いという問題点がある。したがって従来は、ガラス基板の高速搬送あるいは高速方向変換や高速旋回ができなかった。
【0007】
又、エアテーブルからなる直進エアコンベアを用いてガラス基板を搬送させる場合、ガラス基板の幅方向両側端を、例えばアライメントシリンダ・ローラを用いて押すことにより、ガラス基板をパスラインの中心線上に合わせることがなされているが、非常に薄いガラス基板を、これが破損しないように、幅方向両側端を押すことは、制御が困難であるという問題点がある。
【0008】
同様に、直進エアコンベアからガラス基板を受け取って、これを方向変換や旋回させた後に、他の直進エアコンベアに移載する方向転換エアコンベアが考えられるが、この場合、ガラス基板の中心と、方向転換エアコンベア上における方向変換や旋回の中心とを一致させるためには、上記のようなアライメントシリンダ・ローラを例えば、前記中心に対してその周囲に4箇所に設けたりする必要があり、これも、アライメントに時間がかかったり、又高速且つ精密な制御が困難であるという問題点があった。
【0009】
【特許文献1】特開平10−139160号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
この発明は、エアテーブルユニットを用いて薄板状材料を非接触で支持且つ搬送しつつ、アライメントシリンダ・ローラ等を用いることなく、薄板状材料の搬送方向の、高速転換あるいは高速旋回を可能とした薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【0011】
又、直進エアテーブル上を薄板状材料を搬送する際に、その幅方向のアライメントを、薄板状材料の幅方向両端縁を押したりすることなく、従って薄板状材料の幅方向両端縁を損傷させたりすることなく幅方向位置の調整ができる薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【0012】
更に又、エアフーブルを用い、ガラス基板の方向変換や旋回をさせるための方向転換エアコンベアにおいて、薄板状材料の中心と方向変換や旋回時の中心とを、アライメントシリンダ・ローラを用いることなく調整して一致させることができる薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
以下の各実施例により、上記課題を解決することができる。
【0014】
(1)薄板状材料を気体により浮上させた状態で、パスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの幅方向両側の端部近傍であって、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の幅方向両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出可能な幅方向センサ群と、前記幅方向センサ群からの検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニット、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の搬送用ローラユニット及び、前記エアテーブル上の薄板状材料を前記搬送方向と直交する幅方向に移動可能に幅方向ローラユニット、を含んで構成され、前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【0015】
(2)前記直進ローラユニットは、前記搬送方向に離間して配置された少なくとも一対の幅方向ローラユニットを有してなり、これら幅方向ローラユニットは、前記薄板状材料を、前記幅方向の相異なる方向に駆動して、薄板状材料の、その表面に対して直交するθ軸廻りのアライメント可能とされたことを特徴とする(1)に記載の薄板状材料搬送装置。
【0016】
(3)前記幅方向センサ群は、矩形の前記薄板状材料の4隅の角部近傍位置に配置された4個の幅方向センサを有してなることを特徴とする(1)又は(2)に記載の薄板状材料搬送装置。
【0017】
(4)前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットの少なくとも一方における前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【0018】
(5)前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の薄板状材料搬送用装置。
【0019】
(6)薄板状材料を気体により浮上させた状態でパスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの幅方向両側の端部近傍であって、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出する幅方向センサ群と、前記幅方向センサ群の検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された搬送用ローラユニットとを含んで構成され、前記搬送用ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【0020】
(7)前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする(6)に記載の薄板状材料搬送用装置。
【0021】
(8)薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、この方向転換コンベア上における前記薄板状材料の外周線に相当する位置に配置され、前記直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の外周の少なくとも3箇所を検出可能な転換位置センサ群と、前記転換位置センサ群からの検出信号が入力される転換位置制御装置と、を有してなり、前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に、前記方向転換時に転換中心となる中心点を囲んで配置された複数の方向転換ローラユニットとを含んで構成され、前記方向転換ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記転換位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前期方向転換ローラユニットを駆動して、前期薄板状材料の、前期パスライン方向の位置、このパスラインと直交する方向の位置、及び、形状中心廻りの角度位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【0022】
(9)前記転換位置センサ群は、前記中心点に形状中心が一致した状態の前記薄板状材料の4隅となる位置に配置されたことを特徴とする(8)に記載の薄板状材料搬送装置。
【0023】
(10)前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする(6)乃至(9)のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【0024】
(11)前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする(8)乃至(10)のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【0025】
(12)前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする(11)に記載の薄板状材料搬送装置。
【発明の効果】
【0026】
本発明によれば、アライメントシリンダ・ローラ等を用いることなく、ガラス基板等の薄板状材料を正確に位置決めして搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0027】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0028】
図1に示されるように、この実施形態に係る薄板状材料搬送装置10は、図1において左から右方向に、例えば大型のLCD用のガラス基板(薄板状材料)12を非接触で直線状の水平のパスライン(幅方向中心線P1で示す)に沿って搬送する第1の直進エアコンベア14と、この第1の直進エアコンベア14の、図1において右端に接続された方向転換エアコンベア16と、この方向転換エアコンベア16の、図1において上側の端部に接続され、且つ第1の直進エアコンベア14のパスラインP1と直交するパスラインP2に沿ってガラス基板12を直線的に搬送可能な第2の直進エアコンベア18と、から構成されている。
【0029】
図1において、符号1は第1の幅方向センサ群、2は第2の幅方向センサ群、3は転換位置センサ群、5A、5B、5Cは徐行位置センサ、6A、6B、6Cは停止位置センサをそれぞれ示す。
【0030】
第1の幅方向センサ群1は、2個の幅方向センサ1A、1Bから構成されている。これらの幅方向センサ1A、1Bは、反射型あるいは透過型光センサ等から構成されていて、第1の直進エアコンベア14における幅方向両側の端部近傍であって、パスラインP1を中心として、ガラス基板12の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向では停止位置でのガラス基板12の搬送方向中間部における幅方向両端に相当する位置に配置され、第1の直進エアコンベア14により搬送されてきたガラス基板12の幅方向両外側端縁を搬送方向の中間位置で検出可能とされている。
【0031】
第2の幅方向センサ群2も、前記と同様に、2個の幅方向センサ2A、2Bから構成され、これらの幅方向センサ2A、2Bは、幅方向センサ1A、1Bと同様に反射型あるいは透過型光センサ等から構成されていて、第2の直進エアコンベア18の幅方向両側の端部近傍であって、パスラインP3を中心としてガラス基板12の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向では停止位置でのガラス基板12の搬送方向中間部における幅方向両側端に相当する位置に配置され、該第2の直進エアコンベア18により搬送されてきたガラス基板12の幅方向両側端を、搬送方向の中間位置で検出可能に構成されている。
【0032】
又、前記徐行位置センサ5A〜5C及び停止位置センサ6A〜6Cはいずれも、前記幅方向センサと同様に、透過型あるいは反射型光センサから構成されている。
【0033】
徐行位置センサ5Aと停止位置センサ6Aは第1の直進エアコンベア14上に配置され、搬送されてくるガラス基板12の先端縁が徐行開始位置に到達したことを検出し、又停止位置センサ6Aは、同先端縁が停止位置となった時にこれを検出するようにされている。
【0034】
同様に、徐行位置センサ5B及び停止位置センサ6Bは、方向転換エアコンベア16上において、ガラス基板12の先端縁が徐行開始位置及び停止位置となった時を検出するものである。又、徐行位置センサ5C、停止位置センサ6Cは、第2の直進エアコンベア18上において、搬送されてくるガラス基板12の先端縁が徐行開始位置となった時及び停止位置となった時にこれを検出するようにされている。
【0035】
前記転換位置センサ群3は、4個の転換位置センサ3A〜3Dからなり、これら転換位置センサ3A〜3Dは、方向転換エアコンベア16上において、ガラス基板12が方向転換開始位置となった時の四隅の先端角部に相当する位置に配置され、これらを光学的に検出するようにされた透過型又は反射型光センサから構成されている。
【0036】
前記幅方向センサ1A、1B、2A、2B、転換位置センサ3A〜3D、徐行位置センサ5A〜5C、停止位置センサ6A〜6Cの出力信号は、図2に示されるように、位置制御装置4に入力されるようになっている。
【0037】
第1の直進エアコンベア14及び第2の直進エアコンベア18は、それぞれ、複数のエアテーブルユニット20及び直進ローラユニット22とを組合せて構成されている。又、方向転換エアコンベア16は、前記と同様の複数のエアテーブルユニット20と、方向転換ローラユニット30とを組み合わせて構成されている。
【0038】
エアテーブルユニット20は、図3、図4に示されるように、ガラス基板12の下面に対して空気(気体)を供給してガラス基板12を非接触で支持するためのエアテーブル26と、エアテーブル26に正圧の空気を供給するための、例えばブロワーからなる正圧発生装置28と、を備えて構成されている。
【0039】
エアテーブル26は、上面部27が略平坦なほぼ直方体の箱状体であって、ガラス基板12の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔27Aが上面部27に形成されている。
【0040】
第1及び第2の直進エアコンベア14、18は、2〜4基のエアテーブル26をその長手方向に並べて1列とし、且つ、5列(CV−1A〜CV1E、CV−2A〜CV−2E)横並びとして構成されている。又、5列のうち幅方向両外側の列CV−1A、CV−1E、CV−2A、CV−2Eにおける各エアテーブルユニット20間には、直進ローラユニット22が配置されている。
【0041】
エアテーブルユニット20の列CV−1BとCV−1Dの途中の前記幅方向センサ1A、1Bの間、又、列CV−2BとCV−2Dの途中の幅方向センサ2A、2Bの間には、これらと、搬送方向に同等の位置に各々2基の幅方向ローラユニット24が配置されている。これら幅方向ローラユニット24は、パスラインP1、P2に対して直交する方向、即ち、搬送方向に対して幅方向にガラス基板12を送るように配置されている。
【0042】
方向転換エアコンベア16は、第1の直進エアコンベア14の搬送方向における幅方向両側のエアテーブルユニット20の列CV−1A、CV−1Eに接続して、2列(CV−3A、CV−3E)のエアテーブルユニット20が設けられ、その列CV−3A、CV−3Eは、それぞれ2基のエアテーブルユニット20と、これらエアテーブルユニット20の間にそれぞれ設けられた方向転換ローラユニット30とを有している。
【0043】
又、これら2列CV−3A、CV−3Eの間には、第2の直進エアコンベア18におけるエアテーブルユニット20の列と平行に6列のエアテーブルユニット20A〜20Fが配置され、図1において左側(第1の直進エアコンベア14側)の第1列と第2列のエアテーブルユニット20Aと20Bとの間及び第5列と第6列のエアテーブルユニット20Eと20Fとの間には方向転換ローラユニット30が配置されている。なお、エアテーブルユニット20の列CV−3Eの外側(図1において下側)にもエアテーブルユニット20が配置され、ガラス基板12の旋回時に、これを浮上できるようにしている。
【0044】
この方向転換エアコンベア16における4基の方向転換ローラユニット30は、第1及び第2の直進エアコンベア14、18のパスラインP1、P2の延長線の交点を中心点CRとして、この中心点CRから等距離、即ち、同一円周上にあるように配置されている。
【0045】
次に、方向転換ユニット30の詳細な構成について説明する。
【0046】
図5、図6に示されるように、方向転換ローラユニット30は、上端に開口33Aを備えた鉛直方向の吸引用パイプ32と、この吸引用パイプ32の内側に、水平面内の回転軸34Aにより回転自在に支持され、且つ、上端が吸引用パイプ32の上端の開口33Aよりも僅かに突出可能とされた送りローラ34と、吸引用パイプ32に負圧を印加する負圧源であるブロワー36とを備えて構成されている。
【0047】
吸引用パイプ32は、送りローラ34近傍を囲む小径部32Aと、この小径部32Aの下端に接続され、ここからブロワー36の上端面まで到達する大径部32Bとから構成されている。更に、吸引用パイプ32の大径部32Bの上部には、4本のブラケット32Cが一体的に形成されていて、このブラケット32Cの先端において、ガラス基板12のパスラインP1、P2を含む搬送面よりも下方位置で固定されるようになっている(図示省略)。
【0048】
方向転換ローラユニット30は、送りローラ上下動装置38を備えている。この送りローラ上下動装置38は、送りローラ34を、その上端が、吸引用パイプ32の上端面33Bから僅かに突出し、前記パスラインP1、P2に到達する搬送位置(図6、図7参照)及びこれよりも上端が上端面33Bよりも下方に引き込んで、パスラインP1、P2上のガラス基板12と非接触の待機位置(図5、図8参照)との間で変位可能に支持している。
【0049】
送りローラ上下動装置38は、吸引用パイプ32の大径部32B内に配置され、ブロワー36の上面に固定された基板40上に設けられたソレノイド装置から構成されている。
【0050】
この、ソレノイド装置である送りローラ上下動装置38の可動部38Aは基板40に対して一定範囲で上下動可能とされていて、この可動部38Aの上端には、支持板39が支持され、この支持板39の下側にはローラ上下動装置38に隣接して送りローラ姿勢制御装置42が支持されている。
【0051】
送りローラ姿勢制御装置42は、送りローラ34の頂点を通る鉛直方向の中心軸線32CL上の姿勢制御軸43を有し、例えばカム機構(図示省略)からなる装置を内蔵して、図5、図6において鉛直方向の姿勢制御軸43を、鉛直状態のまま、少なくとも90°の範囲で、中心軸線32CL廻りに揺動できるようにされている。
【0052】
姿勢制御軸43は、前記支持板39の中心を貫通して上方に突出し、その上端にローラ支持体44及び駆動モータ46を支持している。
【0053】
ローラ支持体44は、駆動モータ46よりも高い位置に設けられた円盤状の支持台45を備え、この支持台45上には、送りローラ34の回転軸34Aが水平に支持されている。
【0054】
送りローラ34は、マグネットローラであって、この送りローラ34の前面位置において支持台45に回転自在に支持された駆動マグネットローラ35によって、非接触状態で駆動されるようになっている。
【0055】
マグネットローラ35の回転軸35Aは、駆動モータ46の駆動軸46Aと直結されて、該駆動モータ46により回転駆動されるようになっている。
【0056】
又、送りローラ姿勢制御装置42によって、図8に示されるような、パスラインP1と平行な面内で回転する姿勢、及び、図9に示されるような、パスラインP2と平行な面内で回転する姿勢となるように、中心軸線32CL周りに少なくとも90°の角度範囲で位置調整可能とされている。
【0057】
第1及び第2の直進エアコンベア14、18に用いられている直進ローラユニット22は、図10に示されるように、それぞれのパスラインP1、P2と平行な鉛直面内で回転可能な直進送りローラ22Aと、上端面が直進送りローラ22Aの上端よりも僅かに低く配置された鉛直方向の吸引用パイプ22Bと、この吸引用パイプ22Bの下端に給気孔が連結して配置されたブロワー22Cと、マグネットローラである直進送りローラ22Aを非接触で駆動するためのマグネット駆動ローラ22Dと、マグネット駆動ローラ22Dを駆動するためのモータ22Eとを備えて構成されている。
【0058】
前記幅方向ローラユニット24は、幅方向送りローラ24Aの送り方向が、直進ローラユニット22における直進送りローラ22Aと直交する方向とされた点においてのみ相違し、他の構成が、直進ローラユニット22と同一とされるものである。
【0059】
次に、上記薄板状材料搬送装置10によってガラス基板12を、第1の直進エアコンベア14から方向転換エアコンベア16を経て、ここで旋回させることなく、第2の直進エアコンベア18に搬送する過程について説明する。
【0060】
まず、方向転換エアコンベア16における方向転換ローラユニット30を、予め、図1、図10に示されるように送りローラ34の回転面が第1の直進エアコンベア14のパスラインP1と平行となるようにしておく。
【0061】
又、幅方向ローラユニット24は、ブロワー22Cを非駆動とすることによって、ガラス基板12が吸引されることなく、即ち、ガラス基板12が幅方向送りローラ24Aと非接触となるようにしておく。
【0062】
第1の直進エアコンベア14上のガラス基板12を、エアテーブル26から噴出される正圧の空気によって浮上させ、且つ、このとき直進ローラユニット22におけるブロワー22Cを駆動させると、吸引用パイプ22Bからガラス基板12の下面に負圧が作用して、ガラス基板12を搬送位置にある直進送りローラ22Aの上端に接触するように吸引する。
【0063】
第1の直進エアコンベア14上を搬送されるガラス基板12の先端が、徐行位置センサ5Aの位置に到達すると、この徐行位置センサ5Aが、先端検出信号を位置制御装置4に出力し、位置制御装置4は、直進ローラユニット22のモータ22Eの回転速度を低下させて、徐行搬送状態とする。
【0064】
徐行状態となったガラス基板12の先端が停止位置センサ6Aの位置に到達すると、その検出信号が停止位置センサ6Aから位置制御装置4に出力され、位置制御装置4は、直進ローラユニット22の直進送りローラ22Aを停止状態とする。この時、ブロワー22Cは駆動状態のままとして、ガラス基板12をその位置に固定する。
【0065】
この時、幅方向センサ1A、1Bは、ガラス基板12の幅方向両側端を検出することになるが、ガラス基板12が、パスラインP1に対して幅方向にずれていると、幅方向センサ1A、1Bの一部又は全部がガラス基板12の幅方向側端を検出することができない。
【0066】
従って、位置制御装置4は、幅方向センサ1A、1Bのいずれかがガラス基板12を検出し、且つ、いずれかが検出しないかによって、ガラス基板12のパスラインP1に対するずれを検出することができる。
【0067】
位置制御装置4は、幅方向センサ1A、1Bの両方がガラス基板12を検出するまで、前記ずれを補正する方向に幅方向ローラユニット24における幅方向送りローラ24Aを駆動して、ガラス基板12の幅方向中心とパスラインP1とを一致させる。この時、幅方向ローラユニット24は、ブロワー22Cを駆動して、ガラス基板12を、幅方向送りローラ24Aと接触するように吸引状態としておき、幅方向送りローラ24Aが駆動されると、ガラス基板12が幅方向に駆動される。なお、幅方向送りローラ24Aによってガラス基板12を駆動する際には、直進ローラユニット22のブロワー22Cの駆動を停止して、ガラス基板12と直進送りローラ22Aとを非接触としておく。
【0068】
ガラス基板12の幅方向位置の矯正後、幅方向ローラユニット24におけるブロワーによる吸引を停止して、幅方向送りローラ24Aとガラス基板12とが非接触となるようにする。
【0069】
方向転換エアコンベア16におけるエアテーブル26から予め正圧の空気を供給しておけば、ガラス基板12は方向転換エアコンベア16上に円滑に移動していく。このとき、方向転換ローラユニット30における吸引用パイプ32にブロワー36から負圧を印加すると、駆動マグネットローラ35によって回転される送りローラ34に向けてガラス基板12が吸引されて、その接触圧によって確実に搬送される。
【0070】
なお、方向転換ローラユニット30では、予め送りローラ上下動装置38によって、送
りローラ34を、その上端が吸引用パイプ32の上端面33Bから僅かに突出した搬送位置となるようにセットしておく。
【0071】
ガラス基板12が方向転換エアコンベア16上を移動して、その先端が徐行位置センサ5Bに到達した時、送りローラ34は徐行速度になり、更に、停止位置センサ6Bの位置に移動したとき、送りローラ34による搬送を停止し、次に、負圧印加を停止するとともに、送りローラ上下動装置38によって、送りローラ34を待機位置まで下降させる。
【0072】
この待機位置の状態で、4基のうち、パスラインP1上の2基の方向転換ローラユニット30において、送りローラ姿勢制御装置42を作動させて、姿勢制御軸43を介して、送りローラ34の回転軸34Aを中心軸線32CL周りに90°回転させて、図11に示されるように、送りローラ34の回転面が第2の直進エアコンベア18における直進送りローラ22Aの回転面及びパスラインP2と平行となるようにする。
【0073】
なお、このとき又は前後に、転換位置センサ3A〜3Dによって、ガラス基板12の中心と、中心点CRとの一致又はそのずれを検出し、位置制御装置4によって、4基の方向転換ローラユニット30を駆動してガラス基板12を回転させたり、あるいは4基のうちの2基を駆動して、ガラス基板をパスラインP1方向及び/又はP2方向に駆動して、ガラス基板12の中心と第1及び第2の直進エアコンベア14、18の幅方向中心(パスラインP1、P2)及び方向転換エアコンベア16の中心点CRとを整合させる。
【0074】
次に、前記送りローラ34の回転面がパスラインP1と平行となっている方向転換ローラユニット30の送りローラ34を待機位置まで下降させてから、その回転面がパスラインP2と平行となるようにする。
【0075】
更に、送りローラ上下動装置38によって送りローラ34を搬送位置にまで上昇させ、同時に、ブロワー36を起動して、ガラス基板12に負圧を印加して、該ガラス基板12を送りローラ34の上端に接触させる。この状態で、送りローラ34を、ガラス基板12が第2の直進エアコンベア18方向に移動するように駆動する(図12参照)。
【0076】
第2の直進エアコンベア18は、予め、直進送りローラ22Aを搬送位置として、且つ、送り方向に駆動すると共に、ブロワー22Cによって吸引用パイプ22Bに負圧を印加しておく。
【0077】
送りローラ34の駆動によって、ガラス基板12は、方向転換エアコンベア16上から第2の直進エアコンベア18上に移動し、更に、この第2の直進エアコンベア18によって、図1、図12において上方に、パスラインP2に沿って移動され、ガラス基板12のその搬送方向先端が徐行位置センサ5Cの位置に到達した時、前述と同様にガラス基板12の搬送速度が徐行速度となり、更に移動して、停止位置センサ6Cの位置で停止する。
【0078】
ここでも、第1の直進エアコンベア14上においてと同じように、幅方向センサ2A、2Bによって、ガラス基板12の幅方向両側端が検出され、その検出信号に応じて、位置制御装置4により、幅方向送りローラ24Aが上昇された幅方向ローラユニット24によって、ガラス基板12の幅方向位置が調整され、次に下降され更に搬送されて、搬送を終了する。
【0079】
上記ガラス基板12の搬送過程は、ガラス基板12を旋回させることなく搬送方向を90°変換するものであるが、次に、ガラス基板12を方向転換エアコンベア16上において90°旋回させて搬送する過程について説明する。
【0080】
このガラス基板搬送過程は、図1に示される状態から図11に示される状態までは前記と同一であるので、説明を省略する。
【0081】
ガラス基板12を方向転換エアコンベア16上で旋回させる場合は、図11に示される状態で、ガラス基板12が方向転換エアコンベア16における送りローラ34上に移載された状態から、方向転換ローラユニット30に負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ34を搬送位置として、この状態で、方向転換エアコンベア16における4基の送りローラ34を、図13に示されるようにガラス基板12が反時計方向に回転されるように方向を揃えて駆動させる。すると、ガラス基板12は、方向転換エアコンベア16の中心点CRを中心として回転され、90°反時計方向に回転されたときガラス基板12の旋回を停止させる。
【0082】
転換位置センサ3A〜3Dによって、ガラス基板12の中心と、中心点CRとの一致又はそのずれを検出し、位置制御装置4によって、前記のずれを補正する。
【0083】
次に、方向転換エアコンベア16における、パスラインP2上の一対の送りローラ34を、各々の送りローラ姿勢制御装置42によって、回転面がパスラインP2と平行な鉛直面となるように回転させる(図12参照)。この際、送りローラ34を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【0084】
90°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ34を搬送位置として、この状態で送りローラ34を回転させると、ガラス基板12は方向転換エアコンベア16上から第2の直進エアコンベア18上に移載され、そのまま搬送される。その途中における幅方向センサ2A、2Bによるガラス基板12の幅方向位置の矯正は、前述と同様である。
【0085】
上記実施形態においては、直進ローラユニット22は、その直進送りローラ22Aの回転面がパスライン方向とされ、又幅方向ローラユニット24は、その幅方向送りローラ24Aの回転面がパスラインと直交する方向とされているが、これら直進ローラユニット22及び幅方向ローラユニット24の一方又は両方を、前記方向転換ローラユニット30と同様に構成して、同一の送りローラが、パスライン方向又はパスラインと直交する方向に回転面を有するようにしてもよい。
【0086】
更に、直進エアコンベアにおいて、幅方向ローラユニットを設けることなく、方向転換ローラユニット30と同様の構成の直進ローラユニットを設けるようにしてもよい。
【0087】
この場合、図14に示されるように、方向転換ローラユニット50が直進ローラユニットに代えて設けられ、その送りローラ52は、パスラインに沿ったガラス基板12の搬送時には、回転面がパスラインと平行に、又位置センサによって検出された信号に基づいてガラス基板12の幅方向位置を調整する場合には、送りローラ52の回転面はパスラインと直交する方向となるようにされている。
【0088】
さらに、上記実施形態においては、第1、第2の幅方向センサ群1、2は、共に2個の幅方向センサから構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ガラス基板の幅方向両側端を搬送方向の2箇所、合計4箇所で検出する4個の幅方向センサから構成してもよい。また、幅方向センサによる検出位置は、ガラス基板12の、搬送方向中間位置でセットされているが、これは、ガラス基板12の先端縁における幅方向両端あるいは後端縁における幅方向両端であってもよい。
【0089】
図15に、薄板状材料搬送装置における直進エアコンベア及び幅方向センサ群、幅方向ローラユニットの他の実施形態を示す。
【0090】
この実施形態は、幅方向センサ群が、4個の幅方向センサ1C、1D、1E、1Fから構成され、且つ、これらは、停止位置におけるガラス基板12の4隅の角部を検出するように配置されている。又、幅方向ローラユニット25は、パスラインP1に沿って搬送方向に離間した2箇所に設けられていて、これら幅方向ローラユニット25の幅方向送りローラ25Aは、図15において矢印で示されるように、相互に異なる方向に回転可能とされている。この幅方向ローラユニット25における幅方向送りローラ25Aを含む他の構成は、前記幅方向ローラユニット24と同一であるので説明を省略する。
【0091】
この実施形態においては、4個の幅方向センサ1C〜1Fが停止位置におけるガラス基板12の4隅の角部の位置のずれを検出することができ、従って、ガラス基板12の、パスラインP1と直交する方向のずれのみならず、図15に示されるような、ガラス基板12の中心軸(θ軸)廻りのずれ(θ)も間接的に検出することができる。
【0092】
図14の場合、ガラス基板12は、前記中心点廻りに反時計方向に角度θだけずれた状態である。
【0093】
図の実施形態の場合は、パスラインP1を、図14において左側から見たとき、前側の幅方向送りローラ25Aを時計方向に、又後側の幅方向送りローラ25Aを反時計方向にそれぞれ回転させることによって、ガラス基板12の中心軸廻りのずれ角θを矯正することができる。
【0094】
なお、転換位置センサ3A〜3Dは、ガラス基板12の4隅の角部を検出するものでなくてもよく、4辺の側端縁を検出するようにしてもよく、又、転換位置センサ群3は、少なくとも3個の転換位置センサから構成されるものであればよい。
【0095】
更に、上記実施形態において、方向転換ローラユニット30は、その送りローラ34が、吸引用パイプ32の上端面32Bに対して上下動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、送りローラ34を、吸引用パイプ32と共に上下動させるようにしても良い。
【0096】
同様に、送りローラ34の回転面を送りローラ姿勢制御装置42によって、中心軸線32CL周りに回転させるようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、要すれば、送りローラ34を、その送り方向が90°転換されるように回転軸34Aを水平面内で回転できるものであれば良く、従って、送りローラ34及びその回転軸34Aを、吸引用パイプ32と共に回転するようにしても良い。
【0097】
また、送りローラ姿勢制御装置42における送りローラ上下動装置、送りローラ姿勢制御装置の構成は、実施形態の例に限定されず、他の構成であってもよい。例えばカム機構、ロータリーソレノイド、空気圧アクチェータ等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0098】
【図1】本発明の実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【図2】同薄板状材料搬送装置の制御系を示すブロック図
【図3】同薄板状材料搬送装置における直進エアコンベアにおけるエアテーブルユニットを示す略示断面図
【図4】同エアテーブルユニットを拡大して示す断面図
【図5】同薄板状材料搬送装置の方向転換エアコンベアに用いる方向転換ローラユニットを示す一部断面とした斜視図
【図6】同方向転換ローラユニットを、吸引用パイプを取り除いた状態で示す斜視図
【図7】同方向転換ローラユニットにおいて送りローラがガラス基板と接触する搬送位置の状態を模式的に示す断面図
【図8】同送りローラの待機位置の状態を示す図6と同様の断面図
【図9】同方向転換ローラユニットの送りローラを90°姿勢を変えた状態を模式的に示す図6と同様の断面図
【図10】同実施形態における直進エアコンベアに用いられる直進ローラユニットを模式的に示す断面図
【図11】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板の搬送方向を90°転換する第1過程を模式的に示す平面図
【図12】同第2過程を模式的に示す平面図
【図13】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板を途中で90°旋回して搬送する第1過程を模式的に示す平面図
【図14】同薄板状材料搬送装置における方向転換エアコンベアの他の実施形態を示す斜視図
【図15】直進エアコンベアの他の実施形態を模式的に示す平面図
【符号の説明】
【0099】
P1、P2…パスライン
1…第1の幅方向センサ群
2…第2の幅方向センサ群
1A〜1F、2A、2B…幅方向センサ
3…転換位置センサ群
3A〜3D…転換位置センサ
4…位置制御装置
5A〜5C…徐行位置センサ
6A〜6C…停止位置センサ
CR…中心点
10…薄板状材料搬送装置
12…ガラス基板(薄板状材料)
14…第1の直進エアコンベア
16…方向転換エアコンベア
18…第2の直進エアコンベア
20…エアテーブルユニット
22…直進ローラユニット
22A…直進送りローラ
24、25…幅方向ローラユニット
24A、25A…幅方向送りローラ
26…エアテーブル
27…上面部
27A…給気孔
28…正圧発生装置
30、50…方向転換ローラユニット
32…吸引用パイプ
32CL…中心軸線
33A…開口
33B…上端面
34、52…送りローラ
34A…回転軸
35…駆動マグネットローラ
36…ブロワー
38…送りローラ上下動装置
42…送りローラ姿勢制御装置
46…駆動モータ

【特許請求の範囲】
【請求項1】
薄板状材料を気体により浮上させた状態で、パスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側の端部近傍であって、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の幅方向両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出可能な幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群からの検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニット、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の搬送用ローラユニット及び、前記エアテーブル上の薄板状材料を前記搬送方向と直交する幅方向に移動可能に幅方向ローラユニット、を含んで構成され、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項2】
請求項1において、
前記直進ローラユニットは、前記搬送方向に離間して配置された少なくとも一対の幅方向ローラユニットを有してなり、
これら幅方向ローラユニットは、前記薄板状材料を、前記幅方向の相異なる方向に駆動して、薄板状材料の、その表面に対して直交するθ軸廻りのアライメント可能とされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項3】
請求項1又は2において、
前記幅方向センサ群は、矩形の前記薄板状材料の4隅の角部近傍位置に配置された4個の幅方向センサを有してなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項4】
請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットの少なくとも一方における前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項5】
請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。
【請求項6】
薄板状材料を気体により浮上させた状態でパスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側の端部近傍であって、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出する幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群の検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された搬送用ローラユニットとを含んで構成され、
前記搬送用ローラユニットは、
上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項7】
請求項6において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。
【請求項8】
薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、
この方向転換コンベア上における前記薄板状材料の外周線に相当する位置に配置され、前記直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の外周の少なくとも3箇所を検出可能な転換位置センサ群と、
前記転換位置センサ群からの検出信号が入力される転換位置制御装置と、を有してなり、
前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に、前記方向転換時に転換中心となる中心点を囲んで配置された複数の方向転換ローラユニットとを含んで構成され、
前記方向転換ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記転換位置制御装置は、前記入力した検出信号に基づいて、前記方向転換ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の、前記パスライン方向の位置、このパスラインと直交する方向の位置、及び、形状中心廻りの角度位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項9】
請求項8において、
前記転換位置センサ群は、前記中心点に形状中心が一致した状態の前記薄板状材料の4隅となる位置に配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項10】
請求項8又は9において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項11】
請求項8乃至10のいずれかにおいて、
前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項12】
請求項11において、
前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【図10】
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【図11】
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【図12】
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【図13】
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【図14】
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【図15】
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【公開番号】特開2009−35359(P2009−35359A)
【公開日】平成21年2月19日(2009.2.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−199608(P2007−199608)
【出願日】平成19年7月31日(2007.7.31)
【出願人】(592053778)株式会社日本設計工業 (18)
【Fターム(参考)】