試験装置、試験方法及び開閉装置
【課題】使用寿命が延長すると共に信頼性が向上し、試験装置等に適用することのできる接触通電装置を提供する。
【解決手段】載置台１１ａに被試験デバイス１３が載置され、炭素材で構成されたコンタクト部１２ｇが、載置台１１ａに対向配置され、載置台１１ａ上の被試験デバイス１３の、電極端子１３ｅが配置された表面を圧接し、電極端子１３ｅと通電して被試験デバイス１３の電気特性が試験される。コンタクト部１２ｇは、繰り返し試験されてもスパーク、溶融等による損傷が抑制されるため、使用寿命が延長し、被試験デバイス１３の商品価値の劣化を防止できる。
【解決手段】載置台１１ａに被試験デバイス１３が載置され、炭素材で構成されたコンタクト部１２ｇが、載置台１１ａに対向配置され、載置台１１ａ上の被試験デバイス１３の、電極端子１３ｅが配置された表面を圧接し、電極端子１３ｅと通電して被試験デバイス１３の電気特性が試験される。コンタクト部１２ｇは、繰り返し試験されてもスパーク、溶融等による損傷が抑制されるため、使用寿命が延長し、被試験デバイス１３の商品価値の劣化を防止できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大電流の通電経路を接触方式により確保する接触通電装置に関し、特に半導体デバイス等の電気特性を試験する試験装置、試験方法、及び電気回路を開閉する開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パワー半導体、コンデンサ等の電気・電子部品、インバータ、電源、無停電源装置（ＵＰＳ：Uninterruptible Power Supply）、バッテリ充電器等の電機装置については、通常、製品出荷前に所定の電気特性の試験が行われる。以下、当該試験を行う試験装置の概要について説明する。なお、以下、試験装置によって試験される被試験デバイスとして、半導体デバイスを例に挙げて説明する。
【０００３】
図１１は半導体デバイスの試験を行う試験装置の概念図である。
被試験デバイス１３の電気特性を試験する試験装置１００は、被試験デバイス１３に対して離接可能なコンタクト部１０１を備えるコンタクト装置１００ａと、コンタクト装置１００ａと電気的に接続されたテスタ１００ｂとを有する。
【０００４】
当該試験装置１００では、コンタクト部１０１を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させて、試験装置１００と被試験デバイス１３との通電ルートを確保した状態で、テスタ１００ｂから様々な試験条件の電流・電圧がコンタクト部１０１を介して被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに印加される。なお、コンタクト装置１００ａの製造コストや試験の作業効率を考慮して、プローブ型、ブロック型、またはソケット型や板バネ方式によるもの等の形状のコンタクト部１０１を用いて接触通電させるのが一般的である。
【０００５】
そして、テスタ１００ｂは、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３の応答を得ることで電気特性の測定を行う。また、例えば、テスタ１００ｂは測定した被試験デバイス１３の電気特性に基づいて、被試験デバイス１３が良品又は不良品であるかを判別するようにすることも可能である。
【０００６】
当該試験の実施に際し、被試験デバイス１３がパワー半導体等の場合には、被試験デバイス１３に対して数百Ａ以上の大電流を通電させる場合がある。このような大電流を用いた試験を実施すると、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との互いの接触面が磨耗し、また、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との接触通電によって当該接触面が発熱してしまう。このような発熱等により、コンタクト部１０１と電極端子１３ｅとの間にスパークが発生し、また、コンタクト部１０１と被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触面が溶融してしまい、コンタクト部１０１と電極端子１３ｅとが損傷を受けてしまう。なお、このような問題が顕著になる接触通電は、経験的には、およそ５０Ａ以上であることが分かっている。
【０００７】
そこで、大電流を通電させる試験を行う場合には、試験装置１００では、使用寿命が短くなるコンタクト部１０１を極めて高頻度で交換したり、または／及び、テスタ１００ｂに電気的に接続されている圧着端子を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに直接ねじで固定して、通電させたりしている。
【０００８】
以下、被試験デバイス１３を試験する試験装置の具体例について説明する。
図１２は具体的な半導体デバイスの試験装置の模式図である。
なお、図１２（Ａ）は、弾性を有するコンタクト部１０１を電極端子１３ｅに接触させて被試験デバイス１３の試験を行う試験装置１００の側面図である。また、図１２（Ｂ）は、圧着端子１０５を電極端子１３ｅにねじで固定して被試験デバイス１３の試験を行う試験装置２００の要部拡大側面図である。
【０００９】
試験装置１００が具備するコンタクト装置１２０は、コンタクト部１０１を構成する複数のＬ字加工された金属板１０１ａ〜１０１ｃが、長手方向の終端部に金属スペーサ１０２ａ，１０２ｂを介してねじ１０３で固定されている。なお、高精度測定が要求される場合には、主に四端子法が適用される。この場合、センス端子とフォース端子とを分離させるために金属スペーサに代わって絶縁体のスペーサを用いる。
【００１０】
また、試験装置１００が具備する図示しないテスタが当該コンタクト装置１２０に配線１０４を介して電気的に接続されている。試験実施時に金属板１０１ａ〜１０１ｃの短手方向の先端部が被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ面に対し垂直かつ同時に接触するように、金属板１０１ａ〜１０１ｃは先端部を揃えた上でコンタクト装置１２０にそれぞれ固定されている。
【００１１】
なお、金属板１０１ａ〜１０１ｃは、耐摩耗性を確保する目的でタングステン系の材料、または、弾性を確保する目的でリン青銅、ベリリウム銅系の材料を使用することが望ましい。また、その金属板１０１ａ〜１０１ｃの表面は酸化防止のために、金、銀またはニッケル等でめっき処理を施すことが望ましい。
【００１２】
このような試験装置１００，２００で試験される被試験デバイス１３は、半導体チップ（図示を省略）を内部に格納する樹脂ケース１３ａと、樹脂ケース１３ａの主面に形成され、ナット１３ｃがねじ孔１３ｄに嵌合されると共に、上部に電極端子１３ｅの端部が配置された固定部材１３ｂとを備える。なお、電極端子１３ｅは、一方の端部が樹脂ケース１３ａ内で当該半導体チップと電気的に接続されており、他方の端部は樹脂ケース１３ａ外に延伸し、他方の端部に形成された開口孔１３ｆがねじ孔１３ｄと位置合わせされている。
【００１３】
次に、試験装置１００による被試験デバイス１３の試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を試験装置１００の所定領域にセットする。そして、コンタクト装置１２０を下降して、コンタクト部１０１の先端部を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる。
【００１４】
被試験デバイス１３の試験を行う際には、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１とが接触を開始する高さを基準として、コンタクト装置１２０を当該基準から、図１２（Ａ）に示す矢印の方向に移動（オーバードライブ）させる。すると、コンタクト部１０１の金属板１０１ａ〜１０１ｃの長手方向が撓み、板ばね効果により電極端子１３ｅに所望の大きさの接触圧が加わり、被試験デバイス１３に大電流を通電させることができる。また、被試験デバイス１３に対して大電流を通電させるために、金属板１０１ａ〜１０１ｃの枚数を変えて、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との接触面積を調整するようにしても構わない。その他、金属板１０１ａ〜１０１ｃの種類（弾性率）、寸法、オーバードライブ量を適宜選択して接触荷重を制御するようにしても構わない。
【００１５】
また、試験装置２００では、図１２（Ｂ）に示されるように、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ上に、図示しないテスタに配線１０４で電気的に接続された圧着端子１０５が載置され、当該圧着端子１０５がボルト１０６とナット１３ｃによりねじ締めされて固定されている。
【００１６】
この場合の被試験デバイス１３の試験方法は、テスタからの電流・電圧が配線１０４並びに圧着端子１０５を介して被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに印加される。一方、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３からの応答が電極端子１３ｅ、圧着端子１０５並びに配線１０４、もしくは図示しない別の電極端子並びにコンタクト部を介してテスタに出力される。
【００１７】
上記の他に、被試験デバイス１３の半導体チップの電極に対する損傷、並びにコンタクト部１０１の溶融の防止手段として、被試験デバイス１３の半導体チップの電極の構成材料よりも弾性係数が小さく、略平坦な面を有する導電性繊維の集合体から構成されるコンタクト部を利用することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１８】
ところで、鉄道車両のパンダグラフ（集電すり板）には、過酷な条件下での高速走行による割れや欠けの発生を抑制するために、靭性及び導電性に優れた炭素材が適用されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００６−３３７２４７号公報
【特許文献２】特開平７−１２６７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
上記の金属板１０１ａ〜１０１ｃで構成されるコンタクト部１０１と被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触が繰り返し行われると、コンタクト部１０１の接触面が徐々に磨耗されて、コンタクト部１０１のめっきが剥がれ、母材が部分的に露出して接触面に凹凸が生じてしまう。また、母材が露出した状態のコンタクト部１０１で試験が繰り返し行われると、接触通電の発熱により、母材の露出箇所の酸化が進んでしまう。
【００２１】
コンタクト部１０１の接触面の損傷及び酸化が進行するにつれて、接触面積が縮小し、また、部分的に接触抵抗が大きくなり接触通電が不安定化する。さらにこの状態が進行すれば、通電時の接触面の温度がコンタクト部１０１の融点を超えて、溶融やスパークが発生し、接触面のさらなる悪化を招いてしまう。そして、以降の繰り返し行われる試験に耐えられなくなってしまう。また、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ自体も、電極端子１３ｅの接触面が溶融し、コンタクト部１０１の溶融物の付着により商品価値が低下する。
【００２２】
特許文献１に記載されている略平坦な面を有する導電性繊維の集合体から構成されるコンタクト部を利用すれば、電極端子１３ｅの接触面が溶融してコンタクト部１０１の溶融物が付着するという不具合は防止できる。しかし、繊維の集合体ということからバルクに比べ電流容量が低く、非常に大きな電流に対してはそのままでは使えないという課題がある。
【００２３】
また、上記試験装置２００の場合では、被試験デバイス１３の１個あたり、２〜２０箇所存在する大電流に耐えうる電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を実施する必要があり、被試験デバイス１３の試験コストが嵩むことになる。
【００２４】
本願はこのような点に鑑みてなされたものであり、大電流の通電が可能で、使用寿命が延長し、信頼性が向上すると共に、試験コストの抑制が可能な試験装置、試験方法及び開閉装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
上記目的を達成するために、被試験デバイスの電気特性を試験する試験装置が提供される。
この試験装置は、前記被試験デバイスが載置される載置台と、前記載置台に対向配置され、前記載置台上の前記被試験デバイスの、電極が配置された表面を圧接し、前記電極と通電して前記電気特性を試験する炭素材で構成された接触子と、を有する。
【００２６】
また、上記目的を達成するために、被試験デバイスの電気特性を試験する試験方法が提供される。
この試験方法は、前記被試験デバイスの、電極が配置された表面に炭素材で構成された接触子を圧接して、前記電極と通電して、前記電気特性を試験する。
【００２７】
このような試験装置及び試験方法によれば、被試験デバイスの、電極が配置された表面が炭素材で構成された接触子で圧接されて、電極と通電して、電気特性が試験される。
また上記目的を達成するために、電気回路を開閉する開閉装置が提供される。
【００２８】
この開閉装置は、前記電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板と、前記第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、前記第１金属板が前記第２金属板に圧接されると前記第１，第２金属板間を通電させる、炭素材で構成された接触子と、を有する。
【００２９】
このような開閉装置は、電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、炭素材で構成された接触子により、第１金属板を第２金属板に圧接すると第１，第２金属板間が通電する。
【発明の効果】
【００３０】
上記試験装置、試験方法及び開閉装置では、通電が安定し、使用寿命が延びると共に、試験コストの抑制が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施の形態における試験装置の側面図である。
【図２】従来のコンタクト材を用いたコンタクト部の、オーバードライブ量に応じた抵抗値を表すグラフである。
【図３】炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部の抵抗値の押し付け荷重依存性を表すグラフである。
【図４】炭素材からなるコンタクト部の圧力に応じた抵抗値を、接触面積別に表すグラフである。
【図５】試験回数によるコンタクト部の抵抗値の変化を表すグラフである。
【図６】実施例１−１に係る、押圧手段にソレノイドが用いられた試験装置の側面図である。
【図７】実施例１−２に係る、押圧手段に電動シリンダが用いられた試験装置の側面図である。
【図８】実施例１−３に係る、押圧手段にばねが用いられた試験装置の側面図である。
【図９】実施例２に係る、四端子法が適用された試験装置の側面図である。
【図１０】実施例３に係る開閉装置の要部側面図である。
【図１１】半導体デバイスの試験を行う試験装置の概念図である。
【図１２】具体的な半導体デバイスの試験装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、実施の形態について説明する。
図１は実施の形態における試験装置の側面図である。
ここでは、エアシリンダ１２ａによって押圧されて移動した金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇ（接触子）の位置を二点鎖線で表している。
【００３３】
試験装置１０は、試験対象の被試験デバイス１３がセットされる載置部１１と、押圧部１２と、押圧部１２と電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、各構成について説明する。
【００３４】
載置部１１は、被試験デバイス１３がセットされる載置台１１ａと、載置台１１ａにセットされた被試験デバイス１３を所定位置に調整または案内する位置決めガイド１１ｂとで構成されている。
【００３５】
押圧部１２は、載置部１１に対向配置されている。当該押圧部１２は、押圧手段としてエアシリンダ１２ａと、エアシリンダ１２ａに一方の端部が案内されており、エアシリンダ１２ａの駆動に応じて図１中上下にピストン運動するロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。
【００３６】
さらに、絶縁板１２ｃの載置部１１側に取り付けられ、テスタへの電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの載置部１１側に、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対向するように、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。なお、金属板１２ｆには配線１２ｅが接続された圧着端子１２ｄがねじ１２ｈにより取り付けられていて、金属板１２ｆは当該配線１２ｅを介してテスタに接続されている。また、このような押圧部１２を構成する各構成要素はねじ締めによって接続し、または、電気抵抗が比較的小さな、ろう付け、溶接等によって接合することもできる。
【００３７】
なお、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇの詳細については後述する。
テスタは、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３に接触して、試験装置１０と被試験デバイス１３との通電ルートが確保された状態で、様々な試験条件の電流・電圧をコンタクト部１２ｇを介して被試験デバイス１３に印加する。また、テスタは、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３の応答から被試験デバイス１３の電気特性を測定し、また、例えば、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００３８】
また、被試験デバイス１３は、回路基板に実装され、当該回路基板とワイヤやはんだ等で接続された半導体チップ（図示を省略）を内部に格納する樹脂ケース１３ａと、樹脂ケース１３ａの主面に形成され、ねじ孔１３ｄにナット１３ｃが嵌合されると共に、上部に電極端子１３ｅの端部が配置された固定部材１３ｂとを備える。なお、電極端子１３ｅは、一方の端部が樹脂ケース１３ａ内で当該半導体チップと電気的に接続されており、他方の端部は樹脂ケース１３ａ外に延伸し、他方の端部に形成された開口孔１３ｆがねじ孔１３ｄに合致している。また、電極端子１３ｅは母材が、例えば、銅系合金、表面に無電解ニッケルめっき処理が施されている。
【００３９】
次に、上記の構成を有する試験装置１０で行われる被試験デバイス１３に対する試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を載置部１１の載置台１１ａ上にセットして、位置決めガイド１１ｂにより被試験デバイス１３の電極端子１３ｅがコンタクト部１２ｇと対向する所定領域に位置合わせして固定する。
【００４０】
次に、エアシリンダ１２ａを動作してロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる（図１中の二点鎖線の位置を参照。）。
【００４１】
なお、エアシリンダ１２ａを動作させるためには、圧縮エアーを供給することでコンタクト部１２ｇを下降させることができる。なお、圧縮エアーを供給する圧縮エアー配管（図示を省略）にはレギュレータが接続されており、供給圧力を調整できる。ここで、コンタクト部１２ｇの被試験デバイス１３の電極端子１３ｅへの押し付け荷重は、エアー圧力×ピストンの受圧面積×シリンダ効率で得られる。
【００４２】
また、所定の押し付け荷重については、予め、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとコンタクト部１２ｇとを用いて、押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値（コンタクト部１２ｇの固有抵抗＋電極端子１３ｅとの接触抵抗）の関係を取得しておく。所定の抵抗値が得られる接触面圧力を算出（または測定）した上で、その接触面圧力が得られる押し付け荷重を、接触面積も利用して算出しておく。押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係は、電極端子１３ｅ及びコンタクト部１２ｇとのそれぞれの材質、形状及び温度に依存する。このため、これらのパラメータが変わる場合は、その都度、各パラメータ間の関係を確認して、最適な押し付け荷重を算出することが必要となる。
【００４３】
なお、コンタクト部１２ｇにおける押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係の詳細については後述する。
コンタクト部１２ｇを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させた状態で、所定の時間テスタから所定の電流・電圧を印加して、コンタクト部１２ｇから電極端子１３ｅに通電させる。
【００４４】
そして、テスタは、通電に応じた被試験デバイス１３からの応答に基づき被試験デバイス１３の例えば、抵抗値等の電気特性を測定する。また、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００４５】
所定の測定の終了後、エアシリンダ１２ａに上昇用の圧縮エアーを供給することによりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅから離れる（開放される）。
【００４６】
そして、被試験デバイス１３の別の電極端子について試験を行う場合には、コンタクト部１２ｇと同様のコンタクト部が別の電極端子に対しても設けられていて、当該コンタクト部がコンタクト部１２ｇと同様に別の電極端子に接触して試験が行われる。
【００４７】
このようにして、被試験デバイス１３の電極端子について上記の試験方法が行われる。
次に、コンタクト部１２ｇについて説明する。
一般に、コンタクト部１２ｇの使用寿命は、通電条件（電流、接触時間等）、接触条件（接触圧力等）、温度、コンタクト部１２ｇの物性に依存する。また、コンタクト部１２ｇの物性でも、特に、比抵抗、耐摩耗性、酸化しやすさが重要となる。
【００４８】
また、コンタクト部１２ｇ自体の固有の抵抗値はできる限り低くすることが望まれる。その理由として、まず、コンタクト部１２ｇと他の回路との固有抵抗による電圧降下分を小さくすることにより、被試験デバイス１３に所定の電圧を印加するための通電回路の電源に要求される容量（最大電圧）を低減することができる（電源の出力電圧は、上記電圧降下分と被試験デバイス１３に印加される電圧との和である。）。もしくは、電源の容量を変えずに被試験デバイス１３に印加できる電圧値を上げることができる。また、コンタクト部１２ｇの固有抵抗と電極端子１３ｅとの接触抵抗とによるジュール熱による発熱が抑制されるため、コンタクト部１２ｇと被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触面の溶融を防止することができる。
【００４９】
例えば、図１２（Ａ）において、コンタクト部１０１が８枚のリン青銅の金属板で構成され、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅの形状が平坦で、材質が脱酸銅の表面にニッケルめっきが施されている場合について考える。この場合に、通電条件が６００Ａ、５０ｍｓで、通電回路の電源容量が６００Ａ、１０Ｖの範囲で規定されていて、デバイスの最大オン電圧を４Ｖとすれば、コンタクト部１０１の許容抵抗値（固有抵抗＋接触抵抗）の最大値は５ｍΩとなる（電流の入口と出口とで被試験デバイス１３にコンタクト部１０１が２箇所あることとした。）。したがって、抵抗値は５ｍΩ以下であることが望ましい。
【００５０】
また、コンタクト部１２ｇは、低固有抵抗であることに加えて、耐摩耗性が高く、酸化しにくい材料であることが求められる。これに対し、発明者らは靭性及び導電性に優れた炭素を適用することを発案した。
【００５１】
試験装置１０では、試験実施のために、コンタクト部１２ｇと被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触・非接触を数千回以上繰り返すものであるため、コンタクト部１２ｇの接触面が酸化して絶縁性酸化膜が生成されると大きな問題となる。
【００５２】
特許文献２の鉄道車両の集電すり板の場合は、電線と接触摺動させながら通電させるものであり、たとえ酸化膜が生成したとしても、電線に削られて除去される。しかしながら、試験装置にはそのような摺動させて酸化膜を削り取る構造が存在しないこともあり、他分野で適用されているバルク状の炭素材を試験装置に適用することは今まで検討されていなかった。そこで、発明者は様々な検討を行い、所定の特性を有する炭素材をコンタクト部１２ｇに適用することにより、スパーク及び溶融を防止することができるという知見を得ることができた。当該知見に基づき、コンタクト部１２ｇに適用できる炭素材として、例えば、炭素繊維を用いた炭素材の炭素繊維強化炭素材、あるいは銅またはアルミニウム等の金属を含浸させた炭素材の金属含浸炭素材等を挙げることができる。
【００５３】
コンタクト部１２ｇを構成するこのような炭素繊維強化炭素材、金属含浸炭素材は、例えば、以下のように製造することができる。
炭素繊維強化炭素材は、まず、例えば、石油、石炭、コールタール等のピッチ系またはＰＡＮ（PolyAcryloNitrile）系の炭素繊維に、樹脂を含浸させてプリプレグにする。
【００５４】
次いで、当該プリプレグを積層して硬化し、または、炭素繊維の織物に樹脂を含浸させて加熱して硬化する等によって形成する。このようにして形成されたものを還元雰囲気で炭化することにより製造することができる。
【００５５】
なお、場合によっては、ピッチまたは熱硬化性樹脂を含浸、焼成する処理を数回繰り返し、緻密化を行う。その後、高温で熱処理を行い、黒鉛化処理を行う。また、高温（約２０００℃）でハロゲンガスと反応させて高純度化処理を行っても良い。また、ピッチ及び熱硬化性樹脂を併用して緻密化を行っても構わない。
【００５６】
一方、金属含浸炭素材は、まず、炭素焼結体または炭素繊維強化炭素材を減圧含浸炉に装入し、減圧含浸炉内を減圧する。次いで、炭素焼結体または炭素繊維強化炭素材を溶融温度以上に加熱した金属の溶湯に浸漬し、圧力を付加して金属含浸を行うことで、金属含浸炭素材を製造することができる。含浸する金属は特に限定されないが、例えば、銅、アルミニウム等が用いられる。
【００５７】
なお、後述の実施例等でコンタクト部１２ｇとして用いる炭素を主材とした炭素材は、以下のようにして製造した。
まず、長さが３０〜１００ｍｍ程度となるように切断したピッチ系炭素繊維を、ランダムな方向に分散させ、炭素繊維１００質量部に対して３０質量部のフェノール樹脂を用いて炭素繊維を固定し、シート状のプリプレグを作製した。このプリプレグを約１００℃にて予備乾燥した後、約１００枚重ねてホットプレスを用いて加圧・成形し、約２０００℃で熱処理することにより、炭素繊維積層体を得た。この炭素繊維積層体に熱分解炭素を堆積させ、易黒鉛化性の熱ピッチの含浸と熱処理とを５回繰り返した後、約３０００℃で熱処理して黒鉛化させ、炭素材を得た。
【００５８】
次に、コンタクト部１２ｇの押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係について説明する。
まず、比較のために、図１２（Ａ）のコンタクト部１０１について説明する。
【００５９】
図２は、従来のコンタクト材を用いたコンタクト部の、オーバードライブ量に応じた抵抗値を表すグラフである。
なお、横軸は、電極端子１３ｅとの接触開始時を基準としたオーバードライブ量（ｍｍ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、図２の場合は、８枚の金属板で構成されたコンタクト部１０１に関して２つのサンプルについてそれぞれ表している。
【００６０】
２つのサンプルのいずれにおいても、オーバードライブ量の増加、すなわち、押し付け荷重の増加に連れて、抵抗値が減少している。そして、オーバードライブ量が約２ｍｍを超えた辺りから抵抗値が安定して、ほぼ一定値（約１．５ｍΩ）を示している。オーバードライブ量が約２ｍｍの場合の押し付け荷重は、コンタクト部１０１のばね部の寸法、材質に基づき、およそ１０〜２０Ｎ（１〜２ｋｇｆ）に相当する。
【００６１】
次いで、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇについて説明する。
図３は、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部の抵抗値の押し付け荷重依存性を表すグラフである。
【００６２】
なお、炭素は弾性率が大きいため、接触条件を決めるパラメータとしてオーバードライブ量の代わりに、押し付け荷重を用いている。また、横軸は押し付け荷重（ｋｇｆ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、図３の場合は、炭素を主材とするコンタクト部１２ｇの電極端子１３ｅに対する接触面積は約２０ｍｍ2であって、当該コンタクト部１２ｇに関して３つのサンプルについてそれぞれ表している。
【００６３】
３つのサンプルのいずれにおいても、図２の場合の抵抗値と比較すると、大きな押し付け荷重が必要ではあるものの、押し付け荷重の増加に伴って、抵抗値が大きく減少している。そして、押し付け荷重が２０ｋｇｆ（１９６Ｎ）を超えた辺りから８０ｋｇｆ（７８５Ｎ）まで、図２の場合よりも小さい、ほぼ一定の抵抗値（約１．０ｍΩ）を示している。
【００６４】
図２及び図３のグラフから、当該コンタクト部１２ｇを利用することにより、金属板で構成されるコンタクト部１０１よりも抵抗値を小さくできることがわかる。
それでは、コンタクト部１２ｇの電極端子１３ｅとの接触面積に応じた抵抗値について説明する。
【００６５】
図４は、炭素材からなるコンタクト部の圧力に応じた抵抗値を、接触面積別に表すグラフである。
なお、横軸は電極端子１３ｅに対する圧力（ＭＰａ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、３つのグラフは、それぞれ接触面積が２０，７０，２００ｍｍ2の場合の測定値を表している。
【００６６】
どの接触面積においても、圧力の増加に伴って、抵抗値が大きく減少している。そして、所定の圧力を超えた辺りから、ほぼ一定の抵抗値を示している。一定になった抵抗値はいずれも図２の場合よりも小さいことがわかる。特に、接触面積が一番大きな２００ｍｍ2の場合が、圧力に対応する抵抗値が最も小さい。
【００６７】
したがって、電極端子１３ｅに対する圧力が一定の場合には、コンタクト部１２ｇの接触面はできるだけ大きくすることが望ましい。コンタクト部１２ｇの形状としてはブロック形状（直方体形状）、円柱状等であれば、接触面積を確保でき、作成も容易である。
【００６８】
次いで、試験回数に応じたコンタクト部１２ｇの抵抗値について説明する。なお、比較のため、金属板で構成されたコンタクト部１０１についても説明する。
図５は、試験回数によるコンタクト部の抵抗値の変化を表すグラフである。
【００６９】
なお、横軸は試験回数（接触回数）（回）を、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、８枚の金属板で構成されたコンタクト部１０１の３つのサンプル（金属系）、及び炭素を主材としたコンタクト部１２ｇの４つのサンプル（炭素系）の測定結果を表している。図５では、コンタクト部１０１，１２ｇの各サンプルの抵抗値が一定になったそれぞれの押し付け荷重を保ちながら、常温環境下で４５０Ａ、１００ｍｓのパルス通電を行い、次にコンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅから離す、ということを繰り返し行った場合について示している。
【００７０】
金属板で構成されたコンタクト部１０１のいずれの場合においても、試験回数が５０００回辺りを超えると抵抗値が増加し始める。これは、既述の通り、コンタクト部１０１の接触面に損傷が生じ始めたことに起因すると考えられる。実際、試験回数が７５００回で、いずれのサンプルにおいてもスパーク痕（溶融痕跡）が確認された。
【００７１】
一方、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇについては、いずれのサンプルの抵抗値も、若干増加した後はほぼ安定していることがわかる。実際、試験回数が７５００回では、いずれのサンプルにおいてもスパーク痕（溶融痕跡）は確認されなかった。
【００７２】
上記の結果により、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇは、繰り返し通電されてもスパーク、溶融等による損傷が抑制されるため、使用寿命が延長すると共に、被試験デバイスの商品価値の劣化を防止させることができる。
【００７３】
このようなコンタクト部１２ｇが適用された試験装置１０では、通電が安定し、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇを交換する煩雑さが減少する。また、コンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅに対して接触・非接触させて試験を行うことができるため、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を行う必要が無くなり、被試験デバイス１３の製造コスト（試験コスト）を低減することもできる。
【００７４】
以下では、上記実施の形態を踏まえた様々な例について説明する。
まず、エアシリンダ１２ａ以外の押圧手段が適用された実施例について説明する。
［実施例１−１］
図６は、実施例１−１に係る、押圧手段にソレノイドが用いられた試験装置の側面図である。
【００７５】
試験装置２０は、載置部１１と、押圧部２２と、押圧部２２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部２２の構成について説明する。
【００７６】
押圧部２２は、載置部１１に対向配置されており、押圧手段として、フレーム２２ａと、フレーム２２ａで覆われた円筒状のコイル２２ｃと、コイル２２ｃの中心に案内されたプランジャ２２ｂとで構成されたソレノイドを具備している。なお、プランジャ２２ｂの一方の端部には、プランジャ２２ｂがコイル２２ｃから外れないためのストッパ部材２２ｄが形成されている。そして、プランジャ２２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃを有する。その他の構成については図１と同様である。
【００７７】
当該試験装置２０では、ソレノイドのコイル２２ｃに所定の電流を印加して、磁場を発生させて、プランジャ２２ｂを上下動させることができる。そして、プランジャ２２ｂを下降させてコンタクト部１２ｇを所定の押し付け荷重で被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させることができる。なお、ソレノイドを利用する場合には、予め、使用するソレノイドの電流−推力カーブ、ストローク−推力カーブを確認し、必要な押し付け荷重を確保しておく必要がある。
【００７８】
［実施例１−２］
図７は、実施例１−２に係る、押圧手段に電動シリンダが用いられた試験装置の側面図である。
【００７９】
試験装置３０は、載置部１１と、押圧部３２と、押圧部３２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部３２の構成について説明する。
【００８０】
押圧部３２は、載置部１１に対向配置されており、押圧手段として、モータ３２ａ１と、モータ３２ａ１に接続されたボールネジ３２ａ２と、一方の端部がボールネジ３２ａ２に接続されたロッド１２ｂとで構成された電動シリンダ３２ａを具備している。なお、ロッド１２ｂの他方の端部には絶縁板１２ｃが取り付けられている。その他の構成については図１と同様である。
【００８１】
当該試験装置３０では、モータ３２ａ１の回転運動をボールネジ３２ａ２で直線運動に変換し、ロッド１２ｂを上下動させることができる。そして、ロッド１２ｂを下降させてコンタクト部１２ｇを所定の押し付け荷重で被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させることができる。
【００８２】
［実施例１−３］
図８は、実施例１−３に係る、押圧手段にばねが用いられた試験装置の側面図である。
試験装置４０は、載置部１１と、押圧部４２と、押圧部４２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部４２の構成について説明する。
【００８３】
押圧部４２は、載置部１１に対向配置されており、ハンドレバー４２ａと、連結部材４２ｃと、ハンドレバー４２ａ及び連結部材４２ｃを回転可能にする回転軸を有する部材４２ｂと、連結部材４２ｃの一方の端部に遥動自在に軸支されてハンドレバー４２ａの回転に応じて上下動するロッド１２ｂとからなるトグルクランプを備えている。また、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた連結部材４２ｄと、連結部材４２ｄに一組のばね４２ｅを介して連結された連結部材４２ｆと、連結部材４２ｆの端部に載置部１１側に延伸するように形成されたストッパ４２ｈとを有する。さらに、連結部材４２ｆにばね４２ｇを介して、絶縁板１２ｃが連結されている。なお、ばね４２ｅのばね定数はばね４２ｇのばね定数よりも大きい。その他の構成については図１と同様である。
【００８４】
当該押圧部４２では、まず、ハンドレバー４２ａを回転させるとロッド１２ｂの下降に伴って、ロッド１２ｂ以下の構成も下降して、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対して接触を開始する。
【００８５】
さらに、ハンドレバー４２ａを回転させてロッド１２ｂを下降させると、ばね４２ｇが撓み始め、しかる後に、ストッパ４２ｈによりコンタクト部１２ｇの下降が抑制される。なお、所定の荷重（荷重＝ばね定数×ストローク量）が得られる程度のばね４２ｇの撓み量が確保されるように、ストッパ４２ｈと載置台１１ａとの距離が予め設定されている。ハンドレバー４２ａを下死点まで回転させると、ばね４２ｇは、既述の通り、ストッパ４２ｈにより撓み量が維持されるため、コンタクト部１２ｇには当該撓み量に相当する荷重がかかり、ストッパ４２ｈによりコンタクト部１２ｇの下降が停止された後のロッド１２ｂの下降による余分な荷重はばね４２ｅにより吸収される。
【００８６】
なお、当該押圧部４２では、ばね４２ｅ，４２ｇを撓ませてコンタクト部１２ｇを接触させるために、トグルクランプのハンドレバー４２ａを回転させることによりロッド１２ｂを下降させている。本実施例で重要なのは、動作時のばね４２ｅのストローク量が予め設定されていて、これにより所定の荷重を得ることができ、それ以上の余分な荷重はばね４２ｇに吸収されることにある。このため、トグルクランプに替えて、上記図６及び図７で用いた押圧手段によりロッド１２ｂを下降させても構わない。
【００８７】
また、本発明は、ストッパ４２ｈ及びばね４２ｅ，４２ｇに関する図８の構成に限定されず、荷重がかかったばね４２ｇが所定の撓み量だけ撓んだ際にそれ以上の荷重を吸収するような構成を適宜選択することができる。
【００８８】
［実施例２］
上記では、炭素材からなるコンタクト部１２ｇによる試験について説明してきた。一方、低抵抗値を測定する場合等、高精度での電気特性の試験・測定が必要な場合には、二端子法で生じる接触抵抗及びリード線の残留抵抗で生じる誤差を除くことができる四端子法を利用することができる。実施例２では四端子法に対応した試験装置について説明する。
【００８９】
図９は、実施例２に係る、四端子法が適用された試験装置の側面図である。
試験装置５０は、載置部１１と、押圧部５２と、押圧部５２と電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部５２の構成について説明する。
【００９０】
押圧部５２は、これまでの例と同様に、載置部１１に対向配置されている。当該押圧部５２は、任意の押圧手段（図示を省略）と、押圧手段によって図９中の上下方向に駆動されるロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。なお、押圧手段は、例えば、上記で説明した装置・機構を適用することができる。
【００９１】
また、絶縁板１２ｃの載置部１１側に取り付けられた、テスタへの電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの載置部１１側に、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対向するように、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。金属板１２ｆには大電流を流す配線１２ｅ（フォースライン）が接続された圧着端子１２ｄがねじ１２ｈにより取り付けられており、金属板１２ｆは当該配線１２ｅを介してテスタに接続されている。
【００９２】
また、実施例２では、金属板１２ｆの載置部１１側の面に、絶縁板５２ａを介してＬ字形状の金属板のコンタクト部５２ｂが当該絶縁板５２ａに絶縁性のねじ５２ｃで固定されている。なお、コンタクト部５２ｂはＬ字形状の金属板に限らず、ポゴピンまたはカンチレバー等の汎用のコンタクト材を使用してもよい。また、耐摩耗性を確保する目的でタングステン系の材料、または、弾性を確保する目的でリン青銅、ベリリウム銅系の材料を使用することが望ましい。コンタクト部５２ｂの表面は酸化防止のために、金、銀またはニッケル等でめっき処理を施すことが望ましい。また、コンタクト部５２ｂには、電圧測定等の信号線である配線５２ｄ（センスライン）が接続されており、コンタクト部５２ｂは当該配線５２ｄを介してテスタに接続されている。
【００９３】
次に、上記の構成を有する試験装置５０で行われる被試験デバイス１３に対する試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を載置部１１の載置台１１ａ上にセットして、位置決めガイド１１ｂにより被試験デバイス１３をその電極端子１３ｅがコンタクト部１２ｇ，５２ｂと対向する所定領域に位置するよう位置合わせして固定する。
【００９４】
任意の押圧手段によってロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇ，５２ｂを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる。
当該押し付け荷重を維持した状態で、テスタから所定の電流・電圧を所定の時間印加して、コンタクト部１２ｇから電極端子１３ｅに通電させる。また、この時のコンタクト部５２ｂは長手方向が撓み、板はね効果により電極端子１３ｅに所望の大きさの圧力が加わり、所望の電極端子１３ｅとの接触抵抗が得られる。
【００９５】
そして、テスタは、通電に応じた被試験デバイス１３の応答がコンタクト部５２ｂを介して入力されることにより、被試験デバイス１３の電気特性、例えば抵抗値を測定する。また、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００９６】
所定の測定の終了後、押圧手段によりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅから離れる（開放される）。
そして、被試験デバイス１３の別の電極端子について試験を行う場合には、コンタクト部１２ｇと同様のコンタクト部が別の電極端子に対しても設けられていて、当該コンタクト部がコンタクト部１２ｇと同様に別の電極端子に接触して試験が行われる。
【００９７】
このようにして、被試験デバイス１３の電極端子について上記の試験方法が行われる。
このようなコンタクト部１２ｇが適用された試験装置５０では、通電が安定し、高精度での電気特性の試験・測定を行え、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇを交換する煩雑さが減少する。また、コンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅに対して接触・非接触させて試験を行うことができるため、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を行う必要が無くなり、被試験デバイス１３の製造コスト（試験コスト）を低減することもできる。
【００９８】
［実施例３］
実施例３では、これまでに説明した炭素材からなるコンタクト部１２ｇによる接触方式を適用した開閉装置（スイッチ）について説明する。
【００９９】
図１０は、実施例３に係る開閉装置の要部側面図である。
開閉装置６０は、押圧部１２と、押圧部１２と対向配置する下部押圧部６１とで構成されている。以下、各構成について説明する。
【０１００】
押圧部１２は、任意の押圧手段（図示を省略）と、押圧手段によって図１０中の上下方向に駆動されるロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。なお、押圧手段は、例えば、上記で説明した装置・機構を適用することができる。
【０１０１】
さらに、絶縁板１２ｃの下部押圧部６１側に取り付けられ、電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの下部押圧部６１側に、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。また、金属板１２ｆと炭素材からなるコンタクト部１２ｇでスイッチ（開閉装置６０）の端子１を構成している。なお、金属板１２ｆには、端子１に対する配線１２ｅが接続された圧着端子１２ｄが取り付けられており、当該配線１２ｅを介して、図示しない所定の電気回路または電源に接続されている。
【０１０２】
下部押圧部６１は、押圧部１２と対向配置して固定されている。当該下部押圧部６１は、電極取り出し口である金属板６１ａと、金属板６１ａの押圧部１２側に、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部６１ｂが取り付けられている。金属板６１ａと炭素材からなるコンタクト部６１ｂでスイッチ（開閉装置６０）の端子２を構成している。なお、金属板６１ａには、端子２に対する配線６１ｄが接続された圧着端子６１ｃが取り付けられており、当該配線６１ｄを介して所定の電気回路に接続されている。
【０１０３】
なお、押圧部１２及び下部押圧部６１には炭素材からなるコンタクト部１２ｇ，６１ｂをそれぞれ配置しているが、いずれか一方だけでも構わない。
また、端子１，２からの配線の取り出しを圧着端子１２ｄ，６１ｃで行っているが、金属板１２ｆ，６１ａに直接配線１２ｅ，６１ｄを接続してもよいし、コネクタを用いても構わない。
【０１０４】
次に、上記の構成を有する開閉装置６０で行われる開閉方法について説明する。
必要に応じて、図示しない押圧手段によってロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇを下部押圧部６１のコンタクト部６１ｂに接触させる。これにより、スイッチがオンになる。
【０１０５】
しかる後に、押圧手段によりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇと下部押圧部６１のコンタクト部６１ｂとの接触を断つ（開放する）。これにより、スイッチがオフになる。
【０１０６】
このように、押圧手段によりロッド１２ｂを上下動させてコンタクト部１２ｇとコンタクト部６１ｂの接触を制御することにより、スイッチ動作が実現される。
このようなコンタクト部１２ｇ，６１ｂが適用された開閉装置６０では、大電流を通電させても通電が安定し、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇ，６１ｂの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇ，６１ｂを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇ，６１ｂを交換する煩雑さが減少する。
【０１０７】
また、上述の各実施の形態では、押圧手段によりコンタクト部１２ｇを上下動させてコンタクト部１２ｇと電極端子１３ｅとをコンタクトさせる試験装置の実施例について説明してきたが、コンタクト部１２ｇを固定し、載置部１２を上下動させて両者をコンタクトさせるようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１０，２０，３０，４０，５０ 試験装置
１１ 載置部
１１ａ 載置台
１１ｂ 位置決めガイド
１２，２２，３２，４２，５２ 押圧部
１２ａ エアシリンダ
１２ｂ ロッド
１２ｃ，５２ａ 絶縁板
１２ｄ，６１ｃ 圧着端子
１２ｅ，５２ｄ，６１ｄ 配線
１２ｆ，６１ａ 金属板
１２ｇ，５２ｂ，６１ｂ コンタクト部
１２ｈ，５２ｃ ねじ
１３ 被試験デバイス
１３ａ 樹脂ケース
１３ｂ 固定部材
１３ｃ ナット
１３ｄ ねじ孔
１３ｅ 電極端子
１３ｆ 開口孔
２２ａ フレーム
２２ｂ プランジャ
２２ｃ コイル
２２ｄ ストッパ部材
３２ａ 電動シリンダ
３２ａ１ モータ
３２ａ２ ボールネジ
４２ａ ハンドレバー
４２ｂ 部材
４２ｃ，４２ｄ，４２ｆ 連結部材
４２ｅ，４２ｇ ばね
４２ｈ ストッパ
６０ 開閉装置
６１ 下部押圧部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大電流の通電経路を接触方式により確保する接触通電装置に関し、特に半導体デバイス等の電気特性を試験する試験装置、試験方法、及び電気回路を開閉する開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パワー半導体、コンデンサ等の電気・電子部品、インバータ、電源、無停電源装置（ＵＰＳ：Uninterruptible Power Supply）、バッテリ充電器等の電機装置については、通常、製品出荷前に所定の電気特性の試験が行われる。以下、当該試験を行う試験装置の概要について説明する。なお、以下、試験装置によって試験される被試験デバイスとして、半導体デバイスを例に挙げて説明する。
【０００３】
図１１は半導体デバイスの試験を行う試験装置の概念図である。
被試験デバイス１３の電気特性を試験する試験装置１００は、被試験デバイス１３に対して離接可能なコンタクト部１０１を備えるコンタクト装置１００ａと、コンタクト装置１００ａと電気的に接続されたテスタ１００ｂとを有する。
【０００４】
当該試験装置１００では、コンタクト部１０１を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させて、試験装置１００と被試験デバイス１３との通電ルートを確保した状態で、テスタ１００ｂから様々な試験条件の電流・電圧がコンタクト部１０１を介して被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに印加される。なお、コンタクト装置１００ａの製造コストや試験の作業効率を考慮して、プローブ型、ブロック型、またはソケット型や板バネ方式によるもの等の形状のコンタクト部１０１を用いて接触通電させるのが一般的である。
【０００５】
そして、テスタ１００ｂは、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３の応答を得ることで電気特性の測定を行う。また、例えば、テスタ１００ｂは測定した被試験デバイス１３の電気特性に基づいて、被試験デバイス１３が良品又は不良品であるかを判別するようにすることも可能である。
【０００６】
当該試験の実施に際し、被試験デバイス１３がパワー半導体等の場合には、被試験デバイス１３に対して数百Ａ以上の大電流を通電させる場合がある。このような大電流を用いた試験を実施すると、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との互いの接触面が磨耗し、また、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との接触通電によって当該接触面が発熱してしまう。このような発熱等により、コンタクト部１０１と電極端子１３ｅとの間にスパークが発生し、また、コンタクト部１０１と被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触面が溶融してしまい、コンタクト部１０１と電極端子１３ｅとが損傷を受けてしまう。なお、このような問題が顕著になる接触通電は、経験的には、およそ５０Ａ以上であることが分かっている。
【０００７】
そこで、大電流を通電させる試験を行う場合には、試験装置１００では、使用寿命が短くなるコンタクト部１０１を極めて高頻度で交換したり、または／及び、テスタ１００ｂに電気的に接続されている圧着端子を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに直接ねじで固定して、通電させたりしている。
【０００８】
以下、被試験デバイス１３を試験する試験装置の具体例について説明する。
図１２は具体的な半導体デバイスの試験装置の模式図である。
なお、図１２（Ａ）は、弾性を有するコンタクト部１０１を電極端子１３ｅに接触させて被試験デバイス１３の試験を行う試験装置１００の側面図である。また、図１２（Ｂ）は、圧着端子１０５を電極端子１３ｅにねじで固定して被試験デバイス１３の試験を行う試験装置２００の要部拡大側面図である。
【０００９】
試験装置１００が具備するコンタクト装置１２０は、コンタクト部１０１を構成する複数のＬ字加工された金属板１０１ａ〜１０１ｃが、長手方向の終端部に金属スペーサ１０２ａ，１０２ｂを介してねじ１０３で固定されている。なお、高精度測定が要求される場合には、主に四端子法が適用される。この場合、センス端子とフォース端子とを分離させるために金属スペーサに代わって絶縁体のスペーサを用いる。
【００１０】
また、試験装置１００が具備する図示しないテスタが当該コンタクト装置１２０に配線１０４を介して電気的に接続されている。試験実施時に金属板１０１ａ〜１０１ｃの短手方向の先端部が被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ面に対し垂直かつ同時に接触するように、金属板１０１ａ〜１０１ｃは先端部を揃えた上でコンタクト装置１２０にそれぞれ固定されている。
【００１１】
なお、金属板１０１ａ〜１０１ｃは、耐摩耗性を確保する目的でタングステン系の材料、または、弾性を確保する目的でリン青銅、ベリリウム銅系の材料を使用することが望ましい。また、その金属板１０１ａ〜１０１ｃの表面は酸化防止のために、金、銀またはニッケル等でめっき処理を施すことが望ましい。
【００１２】
このような試験装置１００，２００で試験される被試験デバイス１３は、半導体チップ（図示を省略）を内部に格納する樹脂ケース１３ａと、樹脂ケース１３ａの主面に形成され、ナット１３ｃがねじ孔１３ｄに嵌合されると共に、上部に電極端子１３ｅの端部が配置された固定部材１３ｂとを備える。なお、電極端子１３ｅは、一方の端部が樹脂ケース１３ａ内で当該半導体チップと電気的に接続されており、他方の端部は樹脂ケース１３ａ外に延伸し、他方の端部に形成された開口孔１３ｆがねじ孔１３ｄと位置合わせされている。
【００１３】
次に、試験装置１００による被試験デバイス１３の試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を試験装置１００の所定領域にセットする。そして、コンタクト装置１２０を下降して、コンタクト部１０１の先端部を被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる。
【００１４】
被試験デバイス１３の試験を行う際には、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１とが接触を開始する高さを基準として、コンタクト装置１２０を当該基準から、図１２（Ａ）に示す矢印の方向に移動（オーバードライブ）させる。すると、コンタクト部１０１の金属板１０１ａ〜１０１ｃの長手方向が撓み、板ばね効果により電極端子１３ｅに所望の大きさの接触圧が加わり、被試験デバイス１３に大電流を通電させることができる。また、被試験デバイス１３に対して大電流を通電させるために、金属板１０１ａ〜１０１ｃの枚数を変えて、電極端子１３ｅとコンタクト部１０１との接触面積を調整するようにしても構わない。その他、金属板１０１ａ〜１０１ｃの種類（弾性率）、寸法、オーバードライブ量を適宜選択して接触荷重を制御するようにしても構わない。
【００１５】
また、試験装置２００では、図１２（Ｂ）に示されるように、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ上に、図示しないテスタに配線１０４で電気的に接続された圧着端子１０５が載置され、当該圧着端子１０５がボルト１０６とナット１３ｃによりねじ締めされて固定されている。
【００１６】
この場合の被試験デバイス１３の試験方法は、テスタからの電流・電圧が配線１０４並びに圧着端子１０５を介して被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに印加される。一方、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３からの応答が電極端子１３ｅ、圧着端子１０５並びに配線１０４、もしくは図示しない別の電極端子並びにコンタクト部を介してテスタに出力される。
【００１７】
上記の他に、被試験デバイス１３の半導体チップの電極に対する損傷、並びにコンタクト部１０１の溶融の防止手段として、被試験デバイス１３の半導体チップの電極の構成材料よりも弾性係数が小さく、略平坦な面を有する導電性繊維の集合体から構成されるコンタクト部を利用することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１８】
ところで、鉄道車両のパンダグラフ（集電すり板）には、過酷な条件下での高速走行による割れや欠けの発生を抑制するために、靭性及び導電性に優れた炭素材が適用されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００６−３３７２４７号公報
【特許文献２】特開平７−１２６７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
上記の金属板１０１ａ〜１０１ｃで構成されるコンタクト部１０１と被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触が繰り返し行われると、コンタクト部１０１の接触面が徐々に磨耗されて、コンタクト部１０１のめっきが剥がれ、母材が部分的に露出して接触面に凹凸が生じてしまう。また、母材が露出した状態のコンタクト部１０１で試験が繰り返し行われると、接触通電の発熱により、母材の露出箇所の酸化が進んでしまう。
【００２１】
コンタクト部１０１の接触面の損傷及び酸化が進行するにつれて、接触面積が縮小し、また、部分的に接触抵抗が大きくなり接触通電が不安定化する。さらにこの状態が進行すれば、通電時の接触面の温度がコンタクト部１０１の融点を超えて、溶融やスパークが発生し、接触面のさらなる悪化を招いてしまう。そして、以降の繰り返し行われる試験に耐えられなくなってしまう。また、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅ自体も、電極端子１３ｅの接触面が溶融し、コンタクト部１０１の溶融物の付着により商品価値が低下する。
【００２２】
特許文献１に記載されている略平坦な面を有する導電性繊維の集合体から構成されるコンタクト部を利用すれば、電極端子１３ｅの接触面が溶融してコンタクト部１０１の溶融物が付着するという不具合は防止できる。しかし、繊維の集合体ということからバルクに比べ電流容量が低く、非常に大きな電流に対してはそのままでは使えないという課題がある。
【００２３】
また、上記試験装置２００の場合では、被試験デバイス１３の１個あたり、２〜２０箇所存在する大電流に耐えうる電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を実施する必要があり、被試験デバイス１３の試験コストが嵩むことになる。
【００２４】
本願はこのような点に鑑みてなされたものであり、大電流の通電が可能で、使用寿命が延長し、信頼性が向上すると共に、試験コストの抑制が可能な試験装置、試験方法及び開閉装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
上記目的を達成するために、被試験デバイスの電気特性を試験する試験装置が提供される。
この試験装置は、前記被試験デバイスが載置される載置台と、前記載置台に対向配置され、前記載置台上の前記被試験デバイスの、電極が配置された表面を圧接し、前記電極と通電して前記電気特性を試験する炭素材で構成された接触子と、を有する。
【００２６】
また、上記目的を達成するために、被試験デバイスの電気特性を試験する試験方法が提供される。
この試験方法は、前記被試験デバイスの、電極が配置された表面に炭素材で構成された接触子を圧接して、前記電極と通電して、前記電気特性を試験する。
【００２７】
このような試験装置及び試験方法によれば、被試験デバイスの、電極が配置された表面が炭素材で構成された接触子で圧接されて、電極と通電して、電気特性が試験される。
また上記目的を達成するために、電気回路を開閉する開閉装置が提供される。
【００２８】
この開閉装置は、前記電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板と、前記第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、前記第１金属板が前記第２金属板に圧接されると前記第１，第２金属板間を通電させる、炭素材で構成された接触子と、を有する。
【００２９】
このような開閉装置は、電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、炭素材で構成された接触子により、第１金属板を第２金属板に圧接すると第１，第２金属板間が通電する。
【発明の効果】
【００３０】
上記試験装置、試験方法及び開閉装置では、通電が安定し、使用寿命が延びると共に、試験コストの抑制が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施の形態における試験装置の側面図である。
【図２】従来のコンタクト材を用いたコンタクト部の、オーバードライブ量に応じた抵抗値を表すグラフである。
【図３】炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部の抵抗値の押し付け荷重依存性を表すグラフである。
【図４】炭素材からなるコンタクト部の圧力に応じた抵抗値を、接触面積別に表すグラフである。
【図５】試験回数によるコンタクト部の抵抗値の変化を表すグラフである。
【図６】実施例１−１に係る、押圧手段にソレノイドが用いられた試験装置の側面図である。
【図７】実施例１−２に係る、押圧手段に電動シリンダが用いられた試験装置の側面図である。
【図８】実施例１−３に係る、押圧手段にばねが用いられた試験装置の側面図である。
【図９】実施例２に係る、四端子法が適用された試験装置の側面図である。
【図１０】実施例３に係る開閉装置の要部側面図である。
【図１１】半導体デバイスの試験を行う試験装置の概念図である。
【図１２】具体的な半導体デバイスの試験装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、実施の形態について説明する。
図１は実施の形態における試験装置の側面図である。
ここでは、エアシリンダ１２ａによって押圧されて移動した金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇ（接触子）の位置を二点鎖線で表している。
【００３３】
試験装置１０は、試験対象の被試験デバイス１３がセットされる載置部１１と、押圧部１２と、押圧部１２と電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、各構成について説明する。
【００３４】
載置部１１は、被試験デバイス１３がセットされる載置台１１ａと、載置台１１ａにセットされた被試験デバイス１３を所定位置に調整または案内する位置決めガイド１１ｂとで構成されている。
【００３５】
押圧部１２は、載置部１１に対向配置されている。当該押圧部１２は、押圧手段としてエアシリンダ１２ａと、エアシリンダ１２ａに一方の端部が案内されており、エアシリンダ１２ａの駆動に応じて図１中上下にピストン運動するロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。
【００３６】
さらに、絶縁板１２ｃの載置部１１側に取り付けられ、テスタへの電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの載置部１１側に、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対向するように、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。なお、金属板１２ｆには配線１２ｅが接続された圧着端子１２ｄがねじ１２ｈにより取り付けられていて、金属板１２ｆは当該配線１２ｅを介してテスタに接続されている。また、このような押圧部１２を構成する各構成要素はねじ締めによって接続し、または、電気抵抗が比較的小さな、ろう付け、溶接等によって接合することもできる。
【００３７】
なお、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇの詳細については後述する。
テスタは、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３に接触して、試験装置１０と被試験デバイス１３との通電ルートが確保された状態で、様々な試験条件の電流・電圧をコンタクト部１２ｇを介して被試験デバイス１３に印加する。また、テスタは、印加された電流・電圧に応じた被試験デバイス１３の応答から被試験デバイス１３の電気特性を測定し、また、例えば、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００３８】
また、被試験デバイス１３は、回路基板に実装され、当該回路基板とワイヤやはんだ等で接続された半導体チップ（図示を省略）を内部に格納する樹脂ケース１３ａと、樹脂ケース１３ａの主面に形成され、ねじ孔１３ｄにナット１３ｃが嵌合されると共に、上部に電極端子１３ｅの端部が配置された固定部材１３ｂとを備える。なお、電極端子１３ｅは、一方の端部が樹脂ケース１３ａ内で当該半導体チップと電気的に接続されており、他方の端部は樹脂ケース１３ａ外に延伸し、他方の端部に形成された開口孔１３ｆがねじ孔１３ｄに合致している。また、電極端子１３ｅは母材が、例えば、銅系合金、表面に無電解ニッケルめっき処理が施されている。
【００３９】
次に、上記の構成を有する試験装置１０で行われる被試験デバイス１３に対する試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を載置部１１の載置台１１ａ上にセットして、位置決めガイド１１ｂにより被試験デバイス１３の電極端子１３ｅがコンタクト部１２ｇと対向する所定領域に位置合わせして固定する。
【００４０】
次に、エアシリンダ１２ａを動作してロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる（図１中の二点鎖線の位置を参照。）。
【００４１】
なお、エアシリンダ１２ａを動作させるためには、圧縮エアーを供給することでコンタクト部１２ｇを下降させることができる。なお、圧縮エアーを供給する圧縮エアー配管（図示を省略）にはレギュレータが接続されており、供給圧力を調整できる。ここで、コンタクト部１２ｇの被試験デバイス１３の電極端子１３ｅへの押し付け荷重は、エアー圧力×ピストンの受圧面積×シリンダ効率で得られる。
【００４２】
また、所定の押し付け荷重については、予め、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとコンタクト部１２ｇとを用いて、押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値（コンタクト部１２ｇの固有抵抗＋電極端子１３ｅとの接触抵抗）の関係を取得しておく。所定の抵抗値が得られる接触面圧力を算出（または測定）した上で、その接触面圧力が得られる押し付け荷重を、接触面積も利用して算出しておく。押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係は、電極端子１３ｅ及びコンタクト部１２ｇとのそれぞれの材質、形状及び温度に依存する。このため、これらのパラメータが変わる場合は、その都度、各パラメータ間の関係を確認して、最適な押し付け荷重を算出することが必要となる。
【００４３】
なお、コンタクト部１２ｇにおける押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係の詳細については後述する。
コンタクト部１２ｇを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させた状態で、所定の時間テスタから所定の電流・電圧を印加して、コンタクト部１２ｇから電極端子１３ｅに通電させる。
【００４４】
そして、テスタは、通電に応じた被試験デバイス１３からの応答に基づき被試験デバイス１３の例えば、抵抗値等の電気特性を測定する。また、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００４５】
所定の測定の終了後、エアシリンダ１２ａに上昇用の圧縮エアーを供給することによりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅから離れる（開放される）。
【００４６】
そして、被試験デバイス１３の別の電極端子について試験を行う場合には、コンタクト部１２ｇと同様のコンタクト部が別の電極端子に対しても設けられていて、当該コンタクト部がコンタクト部１２ｇと同様に別の電極端子に接触して試験が行われる。
【００４７】
このようにして、被試験デバイス１３の電極端子について上記の試験方法が行われる。
次に、コンタクト部１２ｇについて説明する。
一般に、コンタクト部１２ｇの使用寿命は、通電条件（電流、接触時間等）、接触条件（接触圧力等）、温度、コンタクト部１２ｇの物性に依存する。また、コンタクト部１２ｇの物性でも、特に、比抵抗、耐摩耗性、酸化しやすさが重要となる。
【００４８】
また、コンタクト部１２ｇ自体の固有の抵抗値はできる限り低くすることが望まれる。その理由として、まず、コンタクト部１２ｇと他の回路との固有抵抗による電圧降下分を小さくすることにより、被試験デバイス１３に所定の電圧を印加するための通電回路の電源に要求される容量（最大電圧）を低減することができる（電源の出力電圧は、上記電圧降下分と被試験デバイス１３に印加される電圧との和である。）。もしくは、電源の容量を変えずに被試験デバイス１３に印加できる電圧値を上げることができる。また、コンタクト部１２ｇの固有抵抗と電極端子１３ｅとの接触抵抗とによるジュール熱による発熱が抑制されるため、コンタクト部１２ｇと被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触面の溶融を防止することができる。
【００４９】
例えば、図１２（Ａ）において、コンタクト部１０１が８枚のリン青銅の金属板で構成され、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅの形状が平坦で、材質が脱酸銅の表面にニッケルめっきが施されている場合について考える。この場合に、通電条件が６００Ａ、５０ｍｓで、通電回路の電源容量が６００Ａ、１０Ｖの範囲で規定されていて、デバイスの最大オン電圧を４Ｖとすれば、コンタクト部１０１の許容抵抗値（固有抵抗＋接触抵抗）の最大値は５ｍΩとなる（電流の入口と出口とで被試験デバイス１３にコンタクト部１０１が２箇所あることとした。）。したがって、抵抗値は５ｍΩ以下であることが望ましい。
【００５０】
また、コンタクト部１２ｇは、低固有抵抗であることに加えて、耐摩耗性が高く、酸化しにくい材料であることが求められる。これに対し、発明者らは靭性及び導電性に優れた炭素を適用することを発案した。
【００５１】
試験装置１０では、試験実施のために、コンタクト部１２ｇと被試験デバイス１３の電極端子１３ｅとの接触・非接触を数千回以上繰り返すものであるため、コンタクト部１２ｇの接触面が酸化して絶縁性酸化膜が生成されると大きな問題となる。
【００５２】
特許文献２の鉄道車両の集電すり板の場合は、電線と接触摺動させながら通電させるものであり、たとえ酸化膜が生成したとしても、電線に削られて除去される。しかしながら、試験装置にはそのような摺動させて酸化膜を削り取る構造が存在しないこともあり、他分野で適用されているバルク状の炭素材を試験装置に適用することは今まで検討されていなかった。そこで、発明者は様々な検討を行い、所定の特性を有する炭素材をコンタクト部１２ｇに適用することにより、スパーク及び溶融を防止することができるという知見を得ることができた。当該知見に基づき、コンタクト部１２ｇに適用できる炭素材として、例えば、炭素繊維を用いた炭素材の炭素繊維強化炭素材、あるいは銅またはアルミニウム等の金属を含浸させた炭素材の金属含浸炭素材等を挙げることができる。
【００５３】
コンタクト部１２ｇを構成するこのような炭素繊維強化炭素材、金属含浸炭素材は、例えば、以下のように製造することができる。
炭素繊維強化炭素材は、まず、例えば、石油、石炭、コールタール等のピッチ系またはＰＡＮ（PolyAcryloNitrile）系の炭素繊維に、樹脂を含浸させてプリプレグにする。
【００５４】
次いで、当該プリプレグを積層して硬化し、または、炭素繊維の織物に樹脂を含浸させて加熱して硬化する等によって形成する。このようにして形成されたものを還元雰囲気で炭化することにより製造することができる。
【００５５】
なお、場合によっては、ピッチまたは熱硬化性樹脂を含浸、焼成する処理を数回繰り返し、緻密化を行う。その後、高温で熱処理を行い、黒鉛化処理を行う。また、高温（約２０００℃）でハロゲンガスと反応させて高純度化処理を行っても良い。また、ピッチ及び熱硬化性樹脂を併用して緻密化を行っても構わない。
【００５６】
一方、金属含浸炭素材は、まず、炭素焼結体または炭素繊維強化炭素材を減圧含浸炉に装入し、減圧含浸炉内を減圧する。次いで、炭素焼結体または炭素繊維強化炭素材を溶融温度以上に加熱した金属の溶湯に浸漬し、圧力を付加して金属含浸を行うことで、金属含浸炭素材を製造することができる。含浸する金属は特に限定されないが、例えば、銅、アルミニウム等が用いられる。
【００５７】
なお、後述の実施例等でコンタクト部１２ｇとして用いる炭素を主材とした炭素材は、以下のようにして製造した。
まず、長さが３０〜１００ｍｍ程度となるように切断したピッチ系炭素繊維を、ランダムな方向に分散させ、炭素繊維１００質量部に対して３０質量部のフェノール樹脂を用いて炭素繊維を固定し、シート状のプリプレグを作製した。このプリプレグを約１００℃にて予備乾燥した後、約１００枚重ねてホットプレスを用いて加圧・成形し、約２０００℃で熱処理することにより、炭素繊維積層体を得た。この炭素繊維積層体に熱分解炭素を堆積させ、易黒鉛化性の熱ピッチの含浸と熱処理とを５回繰り返した後、約３０００℃で熱処理して黒鉛化させ、炭素材を得た。
【００５８】
次に、コンタクト部１２ｇの押し付け荷重と接触面積、接触面圧力、抵抗値の関係について説明する。
まず、比較のために、図１２（Ａ）のコンタクト部１０１について説明する。
【００５９】
図２は、従来のコンタクト材を用いたコンタクト部の、オーバードライブ量に応じた抵抗値を表すグラフである。
なお、横軸は、電極端子１３ｅとの接触開始時を基準としたオーバードライブ量（ｍｍ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、図２の場合は、８枚の金属板で構成されたコンタクト部１０１に関して２つのサンプルについてそれぞれ表している。
【００６０】
２つのサンプルのいずれにおいても、オーバードライブ量の増加、すなわち、押し付け荷重の増加に連れて、抵抗値が減少している。そして、オーバードライブ量が約２ｍｍを超えた辺りから抵抗値が安定して、ほぼ一定値（約１．５ｍΩ）を示している。オーバードライブ量が約２ｍｍの場合の押し付け荷重は、コンタクト部１０１のばね部の寸法、材質に基づき、およそ１０〜２０Ｎ（１〜２ｋｇｆ）に相当する。
【００６１】
次いで、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇについて説明する。
図３は、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部の抵抗値の押し付け荷重依存性を表すグラフである。
【００６２】
なお、炭素は弾性率が大きいため、接触条件を決めるパラメータとしてオーバードライブ量の代わりに、押し付け荷重を用いている。また、横軸は押し付け荷重（ｋｇｆ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、図３の場合は、炭素を主材とするコンタクト部１２ｇの電極端子１３ｅに対する接触面積は約２０ｍｍ2であって、当該コンタクト部１２ｇに関して３つのサンプルについてそれぞれ表している。
【００６３】
３つのサンプルのいずれにおいても、図２の場合の抵抗値と比較すると、大きな押し付け荷重が必要ではあるものの、押し付け荷重の増加に伴って、抵抗値が大きく減少している。そして、押し付け荷重が２０ｋｇｆ（１９６Ｎ）を超えた辺りから８０ｋｇｆ（７８５Ｎ）まで、図２の場合よりも小さい、ほぼ一定の抵抗値（約１．０ｍΩ）を示している。
【００６４】
図２及び図３のグラフから、当該コンタクト部１２ｇを利用することにより、金属板で構成されるコンタクト部１０１よりも抵抗値を小さくできることがわかる。
それでは、コンタクト部１２ｇの電極端子１３ｅとの接触面積に応じた抵抗値について説明する。
【００６５】
図４は、炭素材からなるコンタクト部の圧力に応じた抵抗値を、接触面積別に表すグラフである。
なお、横軸は電極端子１３ｅに対する圧力（ＭＰａ）、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、３つのグラフは、それぞれ接触面積が２０，７０，２００ｍｍ2の場合の測定値を表している。
【００６６】
どの接触面積においても、圧力の増加に伴って、抵抗値が大きく減少している。そして、所定の圧力を超えた辺りから、ほぼ一定の抵抗値を示している。一定になった抵抗値はいずれも図２の場合よりも小さいことがわかる。特に、接触面積が一番大きな２００ｍｍ2の場合が、圧力に対応する抵抗値が最も小さい。
【００６７】
したがって、電極端子１３ｅに対する圧力が一定の場合には、コンタクト部１２ｇの接触面はできるだけ大きくすることが望ましい。コンタクト部１２ｇの形状としてはブロック形状（直方体形状）、円柱状等であれば、接触面積を確保でき、作成も容易である。
【００６８】
次いで、試験回数に応じたコンタクト部１２ｇの抵抗値について説明する。なお、比較のため、金属板で構成されたコンタクト部１０１についても説明する。
図５は、試験回数によるコンタクト部の抵抗値の変化を表すグラフである。
【００６９】
なお、横軸は試験回数（接触回数）（回）を、縦軸は抵抗値（電極端子１３ｅとの接触抵抗値＋固有抵抗値）（ｍΩ）をそれぞれ表す。また、８枚の金属板で構成されたコンタクト部１０１の３つのサンプル（金属系）、及び炭素を主材としたコンタクト部１２ｇの４つのサンプル（炭素系）の測定結果を表している。図５では、コンタクト部１０１，１２ｇの各サンプルの抵抗値が一定になったそれぞれの押し付け荷重を保ちながら、常温環境下で４５０Ａ、１００ｍｓのパルス通電を行い、次にコンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅから離す、ということを繰り返し行った場合について示している。
【００７０】
金属板で構成されたコンタクト部１０１のいずれの場合においても、試験回数が５０００回辺りを超えると抵抗値が増加し始める。これは、既述の通り、コンタクト部１０１の接触面に損傷が生じ始めたことに起因すると考えられる。実際、試験回数が７５００回で、いずれのサンプルにおいてもスパーク痕（溶融痕跡）が確認された。
【００７１】
一方、炭素を主材としたコンタクト部１２ｇについては、いずれのサンプルの抵抗値も、若干増加した後はほぼ安定していることがわかる。実際、試験回数が７５００回では、いずれのサンプルにおいてもスパーク痕（溶融痕跡）は確認されなかった。
【００７２】
上記の結果により、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇは、繰り返し通電されてもスパーク、溶融等による損傷が抑制されるため、使用寿命が延長すると共に、被試験デバイスの商品価値の劣化を防止させることができる。
【００７３】
このようなコンタクト部１２ｇが適用された試験装置１０では、通電が安定し、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇを交換する煩雑さが減少する。また、コンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅに対して接触・非接触させて試験を行うことができるため、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を行う必要が無くなり、被試験デバイス１３の製造コスト（試験コスト）を低減することもできる。
【００７４】
以下では、上記実施の形態を踏まえた様々な例について説明する。
まず、エアシリンダ１２ａ以外の押圧手段が適用された実施例について説明する。
［実施例１−１］
図６は、実施例１−１に係る、押圧手段にソレノイドが用いられた試験装置の側面図である。
【００７５】
試験装置２０は、載置部１１と、押圧部２２と、押圧部２２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部２２の構成について説明する。
【００７６】
押圧部２２は、載置部１１に対向配置されており、押圧手段として、フレーム２２ａと、フレーム２２ａで覆われた円筒状のコイル２２ｃと、コイル２２ｃの中心に案内されたプランジャ２２ｂとで構成されたソレノイドを具備している。なお、プランジャ２２ｂの一方の端部には、プランジャ２２ｂがコイル２２ｃから外れないためのストッパ部材２２ｄが形成されている。そして、プランジャ２２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃを有する。その他の構成については図１と同様である。
【００７７】
当該試験装置２０では、ソレノイドのコイル２２ｃに所定の電流を印加して、磁場を発生させて、プランジャ２２ｂを上下動させることができる。そして、プランジャ２２ｂを下降させてコンタクト部１２ｇを所定の押し付け荷重で被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させることができる。なお、ソレノイドを利用する場合には、予め、使用するソレノイドの電流−推力カーブ、ストローク−推力カーブを確認し、必要な押し付け荷重を確保しておく必要がある。
【００７８】
［実施例１−２］
図７は、実施例１−２に係る、押圧手段に電動シリンダが用いられた試験装置の側面図である。
【００７９】
試験装置３０は、載置部１１と、押圧部３２と、押圧部３２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部３２の構成について説明する。
【００８０】
押圧部３２は、載置部１１に対向配置されており、押圧手段として、モータ３２ａ１と、モータ３２ａ１に接続されたボールネジ３２ａ２と、一方の端部がボールネジ３２ａ２に接続されたロッド１２ｂとで構成された電動シリンダ３２ａを具備している。なお、ロッド１２ｂの他方の端部には絶縁板１２ｃが取り付けられている。その他の構成については図１と同様である。
【００８１】
当該試験装置３０では、モータ３２ａ１の回転運動をボールネジ３２ａ２で直線運動に変換し、ロッド１２ｂを上下動させることができる。そして、ロッド１２ｂを下降させてコンタクト部１２ｇを所定の押し付け荷重で被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させることができる。
【００８２】
［実施例１−３］
図８は、実施例１−３に係る、押圧手段にばねが用いられた試験装置の側面図である。
試験装置４０は、載置部１１と、押圧部４２と、押圧部４２の金属板１２ｆ及びコンタクト部１２ｇと電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部４２の構成について説明する。
【００８３】
押圧部４２は、載置部１１に対向配置されており、ハンドレバー４２ａと、連結部材４２ｃと、ハンドレバー４２ａ及び連結部材４２ｃを回転可能にする回転軸を有する部材４２ｂと、連結部材４２ｃの一方の端部に遥動自在に軸支されてハンドレバー４２ａの回転に応じて上下動するロッド１２ｂとからなるトグルクランプを備えている。また、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた連結部材４２ｄと、連結部材４２ｄに一組のばね４２ｅを介して連結された連結部材４２ｆと、連結部材４２ｆの端部に載置部１１側に延伸するように形成されたストッパ４２ｈとを有する。さらに、連結部材４２ｆにばね４２ｇを介して、絶縁板１２ｃが連結されている。なお、ばね４２ｅのばね定数はばね４２ｇのばね定数よりも大きい。その他の構成については図１と同様である。
【００８４】
当該押圧部４２では、まず、ハンドレバー４２ａを回転させるとロッド１２ｂの下降に伴って、ロッド１２ｂ以下の構成も下降して、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対して接触を開始する。
【００８５】
さらに、ハンドレバー４２ａを回転させてロッド１２ｂを下降させると、ばね４２ｇが撓み始め、しかる後に、ストッパ４２ｈによりコンタクト部１２ｇの下降が抑制される。なお、所定の荷重（荷重＝ばね定数×ストローク量）が得られる程度のばね４２ｇの撓み量が確保されるように、ストッパ４２ｈと載置台１１ａとの距離が予め設定されている。ハンドレバー４２ａを下死点まで回転させると、ばね４２ｇは、既述の通り、ストッパ４２ｈにより撓み量が維持されるため、コンタクト部１２ｇには当該撓み量に相当する荷重がかかり、ストッパ４２ｈによりコンタクト部１２ｇの下降が停止された後のロッド１２ｂの下降による余分な荷重はばね４２ｅにより吸収される。
【００８６】
なお、当該押圧部４２では、ばね４２ｅ，４２ｇを撓ませてコンタクト部１２ｇを接触させるために、トグルクランプのハンドレバー４２ａを回転させることによりロッド１２ｂを下降させている。本実施例で重要なのは、動作時のばね４２ｅのストローク量が予め設定されていて、これにより所定の荷重を得ることができ、それ以上の余分な荷重はばね４２ｇに吸収されることにある。このため、トグルクランプに替えて、上記図６及び図７で用いた押圧手段によりロッド１２ｂを下降させても構わない。
【００８７】
また、本発明は、ストッパ４２ｈ及びばね４２ｅ，４２ｇに関する図８の構成に限定されず、荷重がかかったばね４２ｇが所定の撓み量だけ撓んだ際にそれ以上の荷重を吸収するような構成を適宜選択することができる。
【００８８】
［実施例２］
上記では、炭素材からなるコンタクト部１２ｇによる試験について説明してきた。一方、低抵抗値を測定する場合等、高精度での電気特性の試験・測定が必要な場合には、二端子法で生じる接触抵抗及びリード線の残留抵抗で生じる誤差を除くことができる四端子法を利用することができる。実施例２では四端子法に対応した試験装置について説明する。
【００８９】
図９は、実施例２に係る、四端子法が適用された試験装置の側面図である。
試験装置５０は、載置部１１と、押圧部５２と、押圧部５２と電気的に接続された、図示しないテスタとで構成されている。以下、押圧部５２の構成について説明する。
【００９０】
押圧部５２は、これまでの例と同様に、載置部１１に対向配置されている。当該押圧部５２は、任意の押圧手段（図示を省略）と、押圧手段によって図９中の上下方向に駆動されるロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。なお、押圧手段は、例えば、上記で説明した装置・機構を適用することができる。
【００９１】
また、絶縁板１２ｃの載置部１１側に取り付けられた、テスタへの電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの載置部１１側に、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに対向するように、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。金属板１２ｆには大電流を流す配線１２ｅ（フォースライン）が接続された圧着端子１２ｄがねじ１２ｈにより取り付けられており、金属板１２ｆは当該配線１２ｅを介してテスタに接続されている。
【００９２】
また、実施例２では、金属板１２ｆの載置部１１側の面に、絶縁板５２ａを介してＬ字形状の金属板のコンタクト部５２ｂが当該絶縁板５２ａに絶縁性のねじ５２ｃで固定されている。なお、コンタクト部５２ｂはＬ字形状の金属板に限らず、ポゴピンまたはカンチレバー等の汎用のコンタクト材を使用してもよい。また、耐摩耗性を確保する目的でタングステン系の材料、または、弾性を確保する目的でリン青銅、ベリリウム銅系の材料を使用することが望ましい。コンタクト部５２ｂの表面は酸化防止のために、金、銀またはニッケル等でめっき処理を施すことが望ましい。また、コンタクト部５２ｂには、電圧測定等の信号線である配線５２ｄ（センスライン）が接続されており、コンタクト部５２ｂは当該配線５２ｄを介してテスタに接続されている。
【００９３】
次に、上記の構成を有する試験装置５０で行われる被試験デバイス１３に対する試験方法について説明する。
まず、被試験デバイス１３を載置部１１の載置台１１ａ上にセットして、位置決めガイド１１ｂにより被試験デバイス１３をその電極端子１３ｅがコンタクト部１２ｇ，５２ｂと対向する所定領域に位置するよう位置合わせして固定する。
【００９４】
任意の押圧手段によってロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇ，５２ｂを被試験デバイス１３の電極端子１３ｅに接触させる。
当該押し付け荷重を維持した状態で、テスタから所定の電流・電圧を所定の時間印加して、コンタクト部１２ｇから電極端子１３ｅに通電させる。また、この時のコンタクト部５２ｂは長手方向が撓み、板はね効果により電極端子１３ｅに所望の大きさの圧力が加わり、所望の電極端子１３ｅとの接触抵抗が得られる。
【００９５】
そして、テスタは、通電に応じた被試験デバイス１３の応答がコンタクト部５２ｂを介して入力されることにより、被試験デバイス１３の電気特性、例えば抵抗値を測定する。また、当該電気特性に基づいて、被試験デバイス１３の良品又は不良品を判別することもできる。
【００９６】
所定の測定の終了後、押圧手段によりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇが被試験デバイス１３の電極端子１３ｅから離れる（開放される）。
そして、被試験デバイス１３の別の電極端子について試験を行う場合には、コンタクト部１２ｇと同様のコンタクト部が別の電極端子に対しても設けられていて、当該コンタクト部がコンタクト部１２ｇと同様に別の電極端子に接触して試験が行われる。
【００９７】
このようにして、被試験デバイス１３の電極端子について上記の試験方法が行われる。
このようなコンタクト部１２ｇが適用された試験装置５０では、通電が安定し、高精度での電気特性の試験・測定を行え、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇを交換する煩雑さが減少する。また、コンタクト部１２ｇを電極端子１３ｅに対して接触・非接触させて試験を行うことができるため、被試験デバイス１３の電極端子１３ｅそれぞれにねじ締め作業を行う必要が無くなり、被試験デバイス１３の製造コスト（試験コスト）を低減することもできる。
【００９８】
［実施例３］
実施例３では、これまでに説明した炭素材からなるコンタクト部１２ｇによる接触方式を適用した開閉装置（スイッチ）について説明する。
【００９９】
図１０は、実施例３に係る開閉装置の要部側面図である。
開閉装置６０は、押圧部１２と、押圧部１２と対向配置する下部押圧部６１とで構成されている。以下、各構成について説明する。
【０１００】
押圧部１２は、任意の押圧手段（図示を省略）と、押圧手段によって図１０中の上下方向に駆動されるロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの他方の端部に取り付けられた絶縁板１２ｃとを有する。なお、押圧手段は、例えば、上記で説明した装置・機構を適用することができる。
【０１０１】
さらに、絶縁板１２ｃの下部押圧部６１側に取り付けられ、電極取り出し口である金属板１２ｆと、金属板１２ｆの下部押圧部６１側に、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部１２ｇが取り付けられている。また、金属板１２ｆと炭素材からなるコンタクト部１２ｇでスイッチ（開閉装置６０）の端子１を構成している。なお、金属板１２ｆには、端子１に対する配線１２ｅが接続された圧着端子１２ｄが取り付けられており、当該配線１２ｅを介して、図示しない所定の電気回路または電源に接続されている。
【０１０２】
下部押圧部６１は、押圧部１２と対向配置して固定されている。当該下部押圧部６１は、電極取り出し口である金属板６１ａと、金属板６１ａの押圧部１２側に、炭素を主材とした炭素材からなるコンタクト部６１ｂが取り付けられている。金属板６１ａと炭素材からなるコンタクト部６１ｂでスイッチ（開閉装置６０）の端子２を構成している。なお、金属板６１ａには、端子２に対する配線６１ｄが接続された圧着端子６１ｃが取り付けられており、当該配線６１ｄを介して所定の電気回路に接続されている。
【０１０３】
なお、押圧部１２及び下部押圧部６１には炭素材からなるコンタクト部１２ｇ，６１ｂをそれぞれ配置しているが、いずれか一方だけでも構わない。
また、端子１，２からの配線の取り出しを圧着端子１２ｄ，６１ｃで行っているが、金属板１２ｆ，６１ａに直接配線１２ｅ，６１ｄを接続してもよいし、コネクタを用いても構わない。
【０１０４】
次に、上記の構成を有する開閉装置６０で行われる開閉方法について説明する。
必要に応じて、図示しない押圧手段によってロッド１２ｂを下降させて、所定の押し付け荷重でコンタクト部１２ｇを下部押圧部６１のコンタクト部６１ｂに接触させる。これにより、スイッチがオンになる。
【０１０５】
しかる後に、押圧手段によりロッド１２ｂを上昇させて、コンタクト部１２ｇと下部押圧部６１のコンタクト部６１ｂとの接触を断つ（開放する）。これにより、スイッチがオフになる。
【０１０６】
このように、押圧手段によりロッド１２ｂを上下動させてコンタクト部１２ｇとコンタクト部６１ｂの接触を制御することにより、スイッチ動作が実現される。
このようなコンタクト部１２ｇ，６１ｂが適用された開閉装置６０では、大電流を通電させても通電が安定し、信頼性が向上すると共に、コンタクト部１２ｇ，６１ｂの使用寿命が延びて、コンタクト部１２ｇ，６１ｂを頻繁に交換する必要が無くなり、コンタクト部１２ｇ，６１ｂを交換する煩雑さが減少する。
【０１０７】
また、上述の各実施の形態では、押圧手段によりコンタクト部１２ｇを上下動させてコンタクト部１２ｇと電極端子１３ｅとをコンタクトさせる試験装置の実施例について説明してきたが、コンタクト部１２ｇを固定し、載置部１２を上下動させて両者をコンタクトさせるようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１０，２０，３０，４０，５０ 試験装置
１１ 載置部
１１ａ 載置台
１１ｂ 位置決めガイド
１２，２２，３２，４２，５２ 押圧部
１２ａ エアシリンダ
１２ｂ ロッド
１２ｃ，５２ａ 絶縁板
１２ｄ，６１ｃ 圧着端子
１２ｅ，５２ｄ，６１ｄ 配線
１２ｆ，６１ａ 金属板
１２ｇ，５２ｂ，６１ｂ コンタクト部
１２ｈ，５２ｃ ねじ
１３ 被試験デバイス
１３ａ 樹脂ケース
１３ｂ 固定部材
１３ｃ ナット
１３ｄ ねじ孔
１３ｅ 電極端子
１３ｆ 開口孔
２２ａ フレーム
２２ｂ プランジャ
２２ｃ コイル
２２ｄ ストッパ部材
３２ａ 電動シリンダ
３２ａ１ モータ
３２ａ２ ボールネジ
４２ａ ハンドレバー
４２ｂ 部材
４２ｃ，４２ｄ，４２ｆ 連結部材
４２ｅ，４２ｇ ばね
４２ｈ ストッパ
６０ 開閉装置
６１ 下部押圧部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの電気特性を試験する試験装置において、
前記被試験デバイスが載置される載置台と、
前記載置台に対向配置され、前記載置台上の前記被試験デバイスの、電極が配置された表面を圧接し、前記電極と通電して前記電気特性を試験する炭素材で構成された接触子と、
を有することを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記接触子の固有の抵抗値と、前記接触子と前記電極との接触抵抗値との和は５ｍΩ以下であることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
前記接触子は、前記電極との接触面が平坦であるブロック形状であることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項４】
前記接触子と共に、前記載置台に対向配置され、前記電極を圧接し、前記被試験デバイスからの応答信号を前記電極を介して計測する金属材で構成された金属接触子をさらに有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項５】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するロッドが接続され、前記ロッドを前記ロッドの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させるエアシリンダを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項６】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するロッドが接続され、前記ロッドを前記ロッドの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させる電動シリンダを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項７】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するプランジャが接続され、前記プランジャを前記プランジャの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させるソレノイドを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項８】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持する弾性体を有し、前記弾性体を前記反対面の垂直方向に所定のストローク量、撓ませることにより前記接触子を前記電極に圧接させることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項９】
被試験デバイスの電気特性を試験する試験方法において、
前記被試験デバイスの、電極が配置された表面に炭素材で構成された接触子を圧接して、
前記電極と通電して前記電気特性を試験する、
ことを特徴とする試験方法。
【請求項１０】
電気回路を開閉する開閉装置であって、
前記電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板と、
前記第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、前記第１金属板が前記第２金属板に押圧されると前記第１，第２金属板間を通電させる、炭素材で構成された接触子と、
を有することを特徴とする開閉装置。
【請求項１】
被試験デバイスの電気特性を試験する試験装置において、
前記被試験デバイスが載置される載置台と、
前記載置台に対向配置され、前記載置台上の前記被試験デバイスの、電極が配置された表面を圧接し、前記電極と通電して前記電気特性を試験する炭素材で構成された接触子と、
を有することを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記接触子の固有の抵抗値と、前記接触子と前記電極との接触抵抗値との和は５ｍΩ以下であることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
前記接触子は、前記電極との接触面が平坦であるブロック形状であることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項４】
前記接触子と共に、前記載置台に対向配置され、前記電極を圧接し、前記被試験デバイスからの応答信号を前記電極を介して計測する金属材で構成された金属接触子をさらに有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項５】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するロッドが接続され、前記ロッドを前記ロッドの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させるエアシリンダを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項６】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するロッドが接続され、前記ロッドを前記ロッドの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させる電動シリンダを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項７】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持するプランジャが接続され、前記プランジャを前記プランジャの軸方向に移動させて、前記接触子を前記電極に圧接させるソレノイドを有することを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項８】
前記接触子の前記電極との圧接面の反対面を支持する弾性体を有し、前記弾性体を前記反対面の垂直方向に所定のストローク量、撓ませることにより前記接触子を前記電極に圧接させることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項９】
被試験デバイスの電気特性を試験する試験方法において、
前記被試験デバイスの、電極が配置された表面に炭素材で構成された接触子を圧接して、
前記電極と通電して前記電気特性を試験する、
ことを特徴とする試験方法。
【請求項１０】
電気回路を開閉する開閉装置であって、
前記電気回路にそれぞれ接続された、対向配置する第１，第２金属板と、
前記第１，第２金属板の対向する表面の少なくとも一方に配置され、前記第１金属板が前記第２金属板に押圧されると前記第１，第２金属板間を通電させる、炭素材で構成された接触子と、
を有することを特徴とする開閉装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１１−１３７７５６（Ｐ２０１１−１３７７５６Ａ）
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２９８８３８（Ｐ２００９−２９８８３８）
【出願日】平成２１年１２月２８日（２００９．１２．２８）
【出願人】（５０２１２８８００）株式会社オクテック (83)
【出願人】（０００００５２３４）富士電機株式会社 (3,146)
【出願人】（０００２２２８４２）東洋炭素株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月２８日（２００９．１２．２８）
【出願人】（５０２１２８８００）株式会社オクテック (83)
【出願人】（０００００５２３４）富士電機株式会社 (3,146)
【出願人】（０００２２２８４２）東洋炭素株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]