【課題】光ファイバ用のファイバガイドを備えた渦式流量計及び相応のファイバガイド自体を提供する。
【解決手段】ファイバガイドは、流量計壁内のファイバ通路、ファイバ通路に突入する、光ファイバに対する接触面を備えた第１のシール部材、光ファイバに対する接触面を備えた第２のシール部材を有しており、第２のシール部材は、流量計壁内の案内部内で案内されていて、ファイバガイドのシール状態において、第２のシール部材はその接触面で第１のシール部材の接触面に調節手段によって押圧されており、これにより第１のシール部材の接触面と第２のシール部材の接触面との間に配置された光ファイバの周面に、第１のシール部材の接触面及び／又は第２のシール部材の接触面が密着して、ファイバ通路が第１のシール部材、第２のシール部材及び第１のシール部材と第２のシール部材との間に案内された光ファイバにより閉塞されている。 （もっと読む）

【課題】自らの内圧を求め、過大な圧力損失を表示できるピストン・シリンダユニットを提供する。
【解決手段】中心長手方向軸（Ａ）、第１の端部（３）、流体で満たされたシリンダ（２）、シリンダ（２）の中に摺動自在に配置されていて、シリンダ（２）を第１の端部（３）から遠い第１の動作室（１１）と前記第１の端部（３）に近い第２の動作室（１２）とに区分するピストン（１３）、ピストン（１３）に配置されていて、第１の動作室（１１）を突き抜け、中心長手方向軸（Ａ）に対して同心で第１の端部（３）と向き合った第２の端部（６）においてガイド／シール装置（７）により封止された形でシリンダ（２）から外へ通じているピストンロッド（８）を備えたピストン・シリンダユニット（１）に、特に、ピストン・シリンダユニット（１）の内圧を直接的又は間接的に検出するセンサ装置（１４）を備え付ける。 （もっと読む）

【課題】密封容器の内圧に基づく変形量を計測して内圧の良否を正確かつ簡単に判定する。
【解決手段】胴部４の上端部と下端部との少なくともいずれか一方に蓋部５を有し、内圧によってその蓋部５が変形する密封容器１の内圧検査装置において、前記蓋部５にレーザービームを照射して前記蓋部との間の距離を測定するレーザー式変位センサー１３が、前記蓋部５と平行な平面に沿う方向に前記蓋部５に対して相対移動可能に配置され、前記蓋部５を前記胴部４に対して一体化させている結合部よりも前記蓋部５の中心側の部分の複数箇所のうち前記レーザー式変位センサー１３との距離が短い所定の基準箇所および長い所定の基準箇所のいずれか一方の基準箇所と他の箇所との相対変位量の積分値を求め、その積分値に基づいて前記内圧の良否を判定するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な圧力伝達機構を用いる必要がなく、簡単な構造のセンサを用いて感度よく測定することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ１０の片側に光源１１、他方側に光検出部１２とを備え、光ファイバ１０の中間領域に水圧を検出する水圧センサ部１３が設けられ、水圧センサ部１３は、光ファイバで形成される感圧部１０ａと、周期の溝面が形成され、溝面を感圧部の光ファイバに対し軸方向に沿って当接させる棒状の溝付き部材１５と、感圧部１０ａが溝付き部材１５の溝面に圧接されるように固定するファイバ圧接部材１６とからなる光透過型のＬＰＦＧにより構成されるようにすることで、ＬＰＦＧによる特定波長の減衰量を水圧に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】損傷することなくスプレーの噴出状態を精度よく測定できるスプレー圧力測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバー２５０を保持する板ばねの第一ばね部材２６０の長手方向の中央に、該第一ばね部材２６０より小さいばね定数の板ばねの第二ばね部材２７０を、圧力伝達部２２２の変位に応じて弾性変形する状態に設ける。微小な圧力で、かつ電磁波ノイズが生じる環境でも、微小な圧力を精度良く測定できる。過大圧が加わって圧力伝達部２２２が大きく変位する状況でも、第二ばね部材２７０が大きく弾性変形し、光ファイバー２５０を保持する第一ばね部材２６０は比較的に小さい弾性変形量となる。光ファイバー２５０に急激に大きな引張力が作用することを防止でき、光ファイバー２５０が断線するなどの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドに起こった環境状態の異常を検知することができる光学式センサを実現する。
【解決手段】本発明に係る光学式圧力センサ１のセンサヘッド２は、光源５から発せられた光を伝送する出射用光ファイバ１０と、出射用光ファイバ１０の端面に対する相対位置が圧力に応じて変位し、出射用光ファイバ１０の端面から出射された光を反射する反射板１５と、反射板１５が反射した光が入射される端面を有し、入射した光をそれぞれ第１および第２光検出器６・７に伝送する第１受光用光ファイバ１１および第２受光用光ファイバ１２とを備え、さらに、センサヘッド２内の湿度の変化に応じて、出射用光ファイバ１０の伝送損失を変化させる損失変化部１６を備える。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でＳＮＲを高め、非定常な流体現象を精度良く把握することができる変動画像解析方法および変動画像解析システムを提供する。
【解決手段】圧力の変化によって表面の発光の強さが変化する、感圧塗料を塗った測定対象１の画像を経時的に連続して取得し、それと併行して、測定対象１の表面または近傍で、基準となる圧力を経時的に測定する。測定された基準圧力の時間変化に基づいて、所定の周波数を有する圧力変動をバンドパスフィルタにより抽出する。各画像を取得した時刻に基づいて、抽出された圧力変動周期における各画像の位相を求める。求めた各画像の位相に基づいて各画像を複数の位相帯に配分し、各位相帯に含まれる複数の画像を平均化して、各位相帯ごとの平均化画像を得る。 （もっと読む）

【課題】缶詰の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 搬送されている缶詰１の缶端部に於ける内圧によって変形する部分Ｂの変位を計測して缶詰１の内圧の良否を判定する缶詰内圧判定方法に於いて、帯状にレーザ光を缶端部に照射して、その缶端部の内圧によって変形する部分Ｂと、変形しない部分Ａ，Ｃとを同時に計測し、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｂの平均変位量を求め、そのレーザ光の向きを変えて上記と同様に計測して、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｅの他の平均変位量を求め、上記二つの平均変位量からさらに平均値を算出して、その平均値と予め設定した許容設定範囲とを比較して缶詰内圧の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】缶詰１の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 四本のスポット式レーザ変位センサ４１，４２，４３，４４から半導体レーザ光をスポット的に缶詰１の缶端部の搬送方向下流側表面に照射して、その反射光から内圧によって変形する部分での基準点からの距離を一箇所測定し、内圧によって変形しない部分での基準点からの距離を二箇計測し、内圧によって変形する部分の距離から内圧によって変形しない部分での距離をそれぞれ差し引いて内圧によって変形する部分に於ける二個の変位量を求め、その二個の変位量を平均して第１の平均変位量を算出し、さらに缶詰搬送方向の下流側でも上流側と同様に第２の平均変位量を算出し、内圧によって変形する部分に於ける各平均変位量からさらに平均値を算出し、その変位量の平均値が予め設定しておいた許容設定範囲内に有るか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価でコンパクトな構成でありながら、複数気筒であっても内燃機関の筒内圧に関連する情報を精度良く取得することができる筒内圧センサを提供する。
【解決手段】 本発明に係る内燃機関の筒内圧センサは、内燃機関の筒内圧力に関連する情報を取得する内燃機関の筒内圧センサであって、光ファイバ１０のコア１２に格子間隔に応じた特定波長の光を反射するブラッグ格子部１３が設けられたＦＢＧ光ファイバセンサ１の当該ブラッグ格子部１３を内燃機関の気筒付近に配設すると共に、前記ブラッグ格子部１３において反射された特定波長の光の波長変化に基づいて筒内圧力に関連する情報を取得することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】差圧を簡易に測定可能な圧力測定システムを提供する。
【解決手段】第１の波長帯域の蛍光及び第１の波長帯域とは異なる第２の波長帯域の蛍光を発する少なくとも一つの蛍光体２と、第１の圧力Ｐ_O1を受け、少なくとも第１の波長帯域の蛍光に第１の変調を与える第１の受圧素子３と、第２の圧力Ｐ_O2を受け、少なくとも第２の波長帯域の蛍光に第２の変調を与える第２の受圧素子４と、第１の変調を与えられた第１の波長帯域の蛍光及び第２の変調を与えられた第２の波長帯域の蛍光の結合光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、第１及び第２の圧力の差圧ΔＰを算出する差圧算出部３０２と、を備える圧力測定システムを提供する。 （もっと読む）

本発明は、軸線Ａを有するハウジング（２）と、圧力空間（３）に晒される平坦な端面（４）と、該端面（４）に配置されハウジング（２）に固定的に接続されたダイヤフラム（５）とを備える、射出成型において使用される低粘度媒体の圧力を測定するセンサに関する。ダイヤフラム（５）の撓みに基づき圧力空間（３）内に存在する圧力を推定することができる測定素子（１３）が、ダイヤフラム（５）の裏側に配置される。本発明によれば、端面においてセンサに密接に接続されるとともにこの接続部（１２’）の裏側にギャップ（１７）を有してハウジング（２）から一定の距離に配置された圧力スリーブ（６）が、ハウジング（２）の外側で該ハウジングの軸線Ａと同軸に配置される。この場合、このギャップ（１７）が、圧力空間（３）から離れる方向に、力の経路（１９）の領域よりも更に測定素子（１３）を越えて軸方向に延在している。
（もっと読む）

【課題】光学式圧力センサなどの光学装置の検出精度および製造効率を高める。
【解決手段】光学式圧力センサ１は、シリコン基板２の一方の基板面に形成された光導波路３と、他方の基板面に形成された受圧室５と、この受圧室５の底部に形成されたダイアフラム６とを備える。つまり、１つのシリコン基板に光導波路３、受圧室５およびダイアフラム６が一体形成されている。これにより、受圧室５に流入した流体の圧力により、ダイアフラム６が上下方向などに変位すると、その変位が正確かつ直接的にブラッググレーティング４に伝達される。従って、流体の圧力を高精度に、かつ、応答性良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】波長変化の検出精度を向上させる波長検出装置、圧力検出装置、除振装置、および露光装置を提供する。
【解決手段】前記光源部から射出される光を複数の光に分離し、当該分離した複数の光のうち少なくとも２つの光を干渉させる光学部と、前記干渉によって得られた干渉光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された干渉光の干渉強度を検出する検出部とを備え、前記光学部は、前記干渉させる２つの光のうちいずれか一方の光を測定対象となる媒質に透過させる測定媒質部を備える。 （もっと読む）

【課題】測定レンジが広く、応用性にも富む面圧力計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の面圧力計測装置は、圧力による面外変位が独立して発生する粘弾性ゲルの領域１２を平面状に多数備えた圧力センサ・マトリックス１０と、前記領域の面外変位を光学的に計測する光計測手段２０とを備えている。圧力センサ・マトリックス１０の各領域１２での面外変位は、その領域の圧力により生じるから、各領域１２の面外変位を計測することで２次元的な圧力分布を求めることができる。この装置では、ｋＰａ以下の低い面圧力を高精度に測定することが可能であり、また、面圧力の時間変化に迅速に応答することができる。 （もっと読む）

【課題】密封された被検査物の内部に同梱が可能な圧力センサーの提供。
【解決手段】厚み方向に変位可能に形成された可動部１１を備え、光透過性を有する第１の基板１０と、第１の基板１０との間で可動部１１の変位を許容する内部空間３０を形成し、第１の基板１０に気密に接合された光透過性を有する第２の基板２０と、可動部１１の第２の基板２０側の面１６に設けられた第１の反射膜１７と、第２の基板２０に第１の反射膜１７に対向するように設けられた第２の反射膜２３とを備え、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１を外部へ出射可能に構成され、内部空間３０が、所定の圧力に保持され、内部空間３０と外部との圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、圧力差に応じて変化する。 （もっと読む）

圧力測定セル構造は光学式の隔膜圧力変換器２３を含んでおり、該隔膜圧力変換器は、ハウジング本体１およびこれからわずかな間隔をおいて配置された隔膜５を含んでおり、該隔膜は測定されるべき気体状の媒体を有するプロセス空間１２に暴露されており、ハウジング本体１は光学的に透明な窓３を有している。この窓３から間隔をおきながら光学経路９を介して隔膜５の表面へ光を入力結合および出力結合するための光ファイバ２２を備える信号記録ユニット３２が設けられており、それによって隔膜５の撓みを信号評価ユニット２４で検出するための測定区間が形成されており、それによってファブリ・ペロ干渉計構造が構成される。このときプロセス空間１２は室壁３０により大気１０に対して遮蔽するように取り囲まれており、プロセス空間１２は分離手段２５で区切られており、それにより分離手段２５，３１とこれから間隔をおく室壁３０との間に人工気象空間１１が形成されている。信号記録ユニット３２は光学的に挿通するように室壁３０に配置されており、分離手段２５は少なくとも光学経路９の領域に光学的に透明な手段２５ａを有しており、それにより隔膜圧力変換器２３と信号記録ユニット３２との間で光学的な圧力信号を伝送するための光学的な結合が成立している。
（もっと読む）