【課題】中間素材１４等の被測定物の外形の一部を表した複数のデータを繋ぎ合わせた場合にも、全体としての測定精度を十分に確保できる測定方法及び測定装置を実現する。
【解決手段】測定子２４により測定可能な部分に測定基準部２７ａ、２７ｂを設けた試料支持板１９に、上記中間素材１４を支持する。そして、この試料支持板１９の傾斜角度を変えつつ、この中間素材１４の表面形状の一部及び上記測定基準部２７ａ、２７ｂの表面形状を測定する。その後、複数の測定データを、この測定基準部２７ａ、２７ｂの表面形状の測定データを介して繋ぎ合わせる。上記中間素材１４等の被測定物の形状精度に関係なく、複数の測定データを精度良く繋ぎ合わせられる為、この被測定物の外形に関して、信頼性の高い測定結果を得られる。 （もっと読む）

【課題】孔壁の形状に影響されずに正確な測定ができる孔壁測定装置を提供する。
【解決手段】地盤を掘削して形成される孔壁の形状を測定する孔壁測定装置３である。
そして、地上から吊り下げられる鉛直軸部３１と、この鉛直軸部３１に摺動自在に嵌め合わされる本体部３２と、傾斜計が設けられて本体部３２に上下方向回動自在に取り付けられる複数の測定腕部３３，・・・と、鉛直軸部３１と測定腕部３３とを連繋する連繋手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】地すべり、土砂崩れ、雪崩、土木構造物建設中の事故、建築構造物建設中の事故、建設機械の倒壊、古い建造物の崩壊、アミューズメント施設の異常作動などの災害・事故から市民及び工事関係者を守るために不可欠な動態観測を低コストで実現し、周辺環境で起こりつつある変化をリアルタイムに周辺関係者（住民、作業関係者、観客など）に情報開示するため、任意の観測点間の相対変位を光の色で表示する装置を提供する。
【解決手段】任意の２点間の相対変位を計測する計測部と、複数のＬＥＤ光源を配列させたＬＥＤチューブと、計測部で得られた変状量からＬＥＤ光源の色を決定するスイッチ部とを備え、スイッチ部は、非導電体と導電体とを適宜配列したスイッチパネルと、変状量に応じて移動し得る各ＬＥＤチップの電源ラインの接触点とから構成され、原位置でリアルタイムにその変状を光の色で告知する。 （もっと読む）

【課題】測定結果の安定性を向上する。
【解決手段】接触子２０を保持するアーム部２と、アーム部２を変位可能にする機構と、アーム部２の変位量を検知するセンサ部８と、アーム部２を直動変位可能に付勢するための付勢部材６を備えている。付勢部材６は、所定間隔を置いて平行に組み付けられた二枚の付勢板バネ６０と、各付勢板バネ６０の一部に設けられた補強部材６２と、各補強部材６２を平行に保つための平行保持部材６３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】周囲温度によって変化するスタイラスの長さ変化を、簡易にかつ短時間で求めることができ、これを基に測定値を補正できる表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】スタイラス、加振素子４、検出素子５を有するセンサ１と、これを被測定物に対して相対移動させる駆動用アクチュエータ１１と、センサによる被測定物の測定位置を測定位置情報として出力する検出器１２と、設定周波数の加振信号を発振し加振素子に与える発振器３４と、制御手段３１とを備える。制御手段は、検出素子からの検出信号の振幅が最大となる周波数に発振器の設定周波数を補正する周波数補正手段と、この周波数補正手段によって補正された設定周波数を共振周波数としてスタイラスの長さ情報を取得するスタイラス長さ情報取得手段と、このスタイラス長さ情報取得手段によって取得されたスタイラス長さ情報を補正値として測定位置情報を補正する測定位置情報補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計による形状測定時に発生する力を短時間で正確に算出できるようにする表面形状測定用触針式段差計の空気抵抗補正方法。
【解決手段】支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の空気抵抗補正方法において、針圧発生装置を作動させて探針を上端から下げ、下端で一回跳ね返る際の探針変位の時間変化を測定し、測定した探針変位の時間変化に基づき探針の速度と力の関係を求め、探針の速度がほぼゼロにあるときの力を求め、求めた力に基づいて設定値とのずれを補正し、針圧発生装置に流す電流と探針にかかる力との正しい関係を求め、設定したい力に対応するコイル電流を算出する。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて高精度に且つ簡単な手法により、ピエゾ素子への印加電圧変化に対する走査部材の昇降方向への移動量を求めることができる表面形状測定器の較正方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 Ｚステージ１１を試料表面に向けて移動させて、レーザホロスケール１２により測定した前記Ｚステージ１１の移動量と、変位検出部６により測定した前記カンチレバー５の変位量との関係を求める。次に、ピエゾ素子７に印加する電圧を変化させて、前記ピエゾ素子７に印加した電圧変化量と、前記変位検出部により測定した前記カンチレバー５の変位量との関係を求める。２つの検出結果から求められる各比率を、組み合わせることにより、ピエゾ素子７への印加電圧変化に対するカンチレバー５の昇降方向への移動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に形成された貫通孔の直径（内径）の測定精度を向上させることが可能な磁気記録媒体用ガラス基板の寸法測定方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板５に形成された貫通孔５１に、互いに１２０度の間隔を置いて配置された３本の測定端子３１〜３３を挿入する。測定端子３１〜３３を、貫通孔５１の側面（内周端面）に接触するまで、基準位置から側面に向けて移動させ、側面に接触するまでの移動量を求める。その移動量に基づいて、各測定端子３１〜３３が側面に接触する接触点の位置を求め、各接触点を通る仮想の円を求め、その仮想の円の直径を貫通孔５１の直径とする。 （もっと読む）

【課題】仮り置きレールの既設レールからの離隔寸法及び仮り置きレールの頭部頂面の高低寸法の測定の容易化。
【解決手段】既設レール６，８の頭部に載置され、且つ係止する中空部材２とを設ける。そして、この中空部材２内に挿入さして表面に目盛１４が表示された水平方向の測定部材３を設ける。さらに、この水平方向の測定部材３の端に垂直方向の測定部材４を設ける。 （もっと読む）

【課題】アプローチ速度を極低速にして測定効率を低下させることなく、測定対象物の接触痕の発生を抑制する。
【解決手段】触針１６を一定の測定力Ｆで測定対象物（ワーク８）に接触させながら、測定対象物（８）の表面に沿って移動させる接触式プローブ（力センサ１０）の倣い制御に際して、触針１６に目標測定力よりも低い力が加わったことを検知するための接触検知レベルを設け、触針１６に加わる力が該接触検知レベルになった時点から、触針１６を目標測定力で測定対象物（８）に接触させるための力制御に移行する。前記接触検知レベルから目標測定力まで、力制御の指令値を徐々に増加させることにより、高応答化による衝撃増大やオーバーシュートを防ぐこともできる。 （もっと読む）

【課題】生産停止の必要がなく、コークス炉の内部形状を簡便にしかも正確に測定することができるコークス炉の内部形状測定方法及び測定冶具を提供する。
【解決手段】本発明のコークス炉の内部形状測定方法は、筒状体１１の下方部に燃焼室の内壁両面に接触して位置固定可能な可動部を収納した測定冶具１０を、コークス炉の燃焼室内部に挿入したうえ可動部を操作して位置固定し、この測定冶具１０の炉頂から露出した部位の座標を測量機で測定し、コークス炉の内部形状を把握する。測定冶具１０は、筒状体１１の下方部側面に開口部１４を形成し、この開口部に臨む位置に燃焼室の内壁両面に接触して位置固定可能なレバー状の可動部を、開口部から出没可能に収納した構造である。 （もっと読む）

【課題】互換性のある工具に対応する工具懸架台であって、従来の装置にあるような制約のないものを提案する。
【解決手段】
工具２００を収納する為の工具懸架台２０であり、各工具２００は、その座標計測器の可動アームに取り外し可能なように連結可能で、工具２００を収納する為の工具懸架部位があって、該懸架部位には、工具２００を、第一の方向に沿ってその懸架部位の中に挿入することができ、その第一の方向に沿ってその懸架部位の中から取り除くことができるような複数のガイド６０と、その工具２００が第二の方向に向かう動きをするのを制限する複数の保持表面とがあり、そのような複数のガイド６０と複数の保持表面とが、その工具２００に傾きを生じさせるように配置されている。 （もっと読む）

一実施形態において、座標測定装置は、第１の端および第２の端をそれらの間の少なくとも第１のアームセグメントおよび第２のアームセグメントとともに有する関節付きアームを含む。さらに、装置は、第１のアームセグメントを第２のアームセグメントに接続する少なくとも１つのボールソケット継ぎ手であって、ボール部材およびソケット部材を含むボールソケット継ぎ手と、上記関節付きアームの第１の端に取り付けられる測定プローブとを含むことができる。
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【課題】表裏を同時に共通の座標系で超高精度に測定し、非球面レンズの表裏面の傾きと偏心を超高精度に算出する。
【解決手段】ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。さらに、スタイラス５の変位検出ユニットを回折格子を使って薄くし、プローブの支持を滑車と定荷重バネを使うことによりさらに薄くし、構造が単純、小型化、製作容易にした。 （もっと読む）

【課題】測定の不確かさを軽減し、測定対象物の姿勢及び変位量についての測定精度を向上させ、かつ、高速応答が可能な三次元センサを提供する。
【解決手段】光源２からの光を２分割し一方を参照光ｃ１として参照ミラー１０に照射し、他方を測定光ｃ２として測定対象物９に照射する第１のＰＢＳ３と、参照ミラー１０で反射した参照光ｃ１と測定対象物９で反射した測定光ｃ２とを２分割してそれぞれ干渉させる第２のＰＢＳ４と、一方の干渉光ｃ５を所定の測定直線１４上に導く第１の光学系５と、他方の干渉光ｃ６を光軸を法線とする平面にて９０度回転させて前記測定直線１４上に導く第２の光学系６と、測定直線１４上にて干渉光ｃ５，ｃ６を受光するラインイメージセンサ８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】工作機械や測定機械の主軸に装着された工具や工具ホルダの回転方向の位置決めを、通常の工具測定手段を用いて、自動的に精度良く行う。
【解決手段】工作機械１の主軸に工具ホルダを介してヘールバイトを装着し、工具ホルダは円柱形状部の一部を削り落した平取り部で成る基準面を有する。回転位置決め制御手段１３は、工具測定手段を用いて測定した主軸中心から工具ホルダの円柱面及び基準面までの複数箇所の半径の値の変化から、円柱面と基準面との境界点の回転位置を推定し、推定した回転位置を基にして工具ホルダの基準面を所望の方向に向ける概略位置決めを行う。その後基準面の２位置の位置測定を行って基準面の精密な回転位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】対向する基板間の位置ずれを簡易な構成で測定することができ、これにより歩留りが低下せずに形状精度の高い微小構造体を製造することができる基板位置測定方法、および微小構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】この基板位置測定方法は、ノギスの主尺パターン２１が形成されたターゲット基板１３を上部ステージ１１に取り付け、ノギスの副尺パターン２２が形成された相対位置測定用基板１４を上部ステージ１１に対向して配置された下部ステージ１２に取り付ける第１の工程と、上部ステージ１１を下部ステージ１２に対して相対的に移動させて主尺パターン２１と副尺パターン２２とを圧接させ、主尺パターン２１と副尺パターン２２との間で一致する目盛を検出することによりターゲット基板１３と相対位置測定用基板１４との相対的位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、スタイラスで測定されたデータを、より高精度に補正することのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】スタイラス１２の測定子２５でワーク２６（３６）上を測定軸方向にトレースして得られたデータの測定誤差を補正する補正機構１８を備え、該補正機構１８は、補正対象面内で該スタイラス１２を運動させ、該スタイラス１２の高さ方向位置に応じた測定子２５位置のずれ情報を含む校正測定データを得る校正測定手段１４と、該記測定子位置のずれ情報を補正するのに最適な予め所定数に分割された高さ方向測定範囲の各領域毎の補正パラメータの値を同時に求める補正パラメータ設定手段３２と、測定データの高さ方向値に基づき特定された該測定データの属する領域において最適な補正パラメータの値で該測定データを補正するデータ補正手段３４と、備えたことを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供する。
【解決手段】演算部２１２が、スケール部１９ｂとスライダ１６先端との間の相対変位特性に基づく補正用フィルタ２１２ａにおいて、スケール部１９ｂで検出されたスライダ１６の変位に補正用フィルタ２１２ａを適用した値を先端球１７ａの変位と加算して測定値を算出する構成とする。このような構成とすることにより、高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】容易かつ精度良く対象物の周面の形状を測定することが可能な形状測定装置および周面測定方法を提供する。
【解決手段】メインジャーナル３の周面の形状を測定する形状測定装置１に、軸線方向から見て１２０°の角度を成すプローブ１６・１７・１８からなる測定部材１５と、メインジャーナル３の周面において軸線方向から見た中心角が１２０°より大きくかつ両端部が互いに重複する第一測定領域３ａ、第二測定領域３ｂ、第三測定領域３ｃにプローブ１６・１７・１８が接触しつつ移動するときの座標情報３１・３２・３３を取得する測定子座標情報取得部２１ａと、座標情報３１・３２・３３のうち他の測定領域と重複する部分を削除する重複座標情報削除部２１ｂと、当該削除されたあとの有効座標情報３１ｃ・３２ｃ・３３ｃを繋ぎ合わせてメインジャーナル３の周面の形状情報を作成する対象物形状情報作成部２１ｃと、を具備した。 （もっと読む）