【課題】被検面の下地の状態にかかわらず、該被検面の位置を正確に検出できるようにする。
【解決手段】被検面Ｗ上の第１照射領域に第１検出光ＤＬ１を斜め方向から照射する第１送光光学系１１ａと、被検面Ｗ上の前記第１照射領域を含み前記第１照射領域よりも大きい第２照射領域に第２検出光ＤＬ２を斜め方向から照射する第２送光光学系１１ｂと、被検面Ｗで反射された第１検出光ＤＬ１及び第２検出光ＤＬ２を検出する検出手段２８を有する受光光学系１２と、第１送光光学系１１ａによる第１検出光ＤＬ１の照射及び第２送光光学系１１ｂによる第２検出光ＤＬ２の照射を選択的に切り換えるとともに、検出手段２８による第１検出光ＤＬ１に基づく検出値を検出手段２８による第２検出光ＤＬ２に基づく検出値により補正して、当該補正された検出値に基づいて、被検面Ｗの面位置を検出する制御手段２９とを備える面位置検出装置である。 （もっと読む）

【課題】透明な基板のエッジ位置を該基板に特別な加工を施すことなく非接触で検出することができるとともに、低コスト化を図ることができる透明基板のエッジ位置検出方法及びエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】透明基板Ｗのエッジ位置検出装置１０は、透明な基板Ｗを保持可能であるとともに、基板Ｗのエッジに対して交差する方向に延びるマーク１２が設けられた基板保持部１１と、マーク１２と基板Ｗとを光の屈折を利用して撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３による基板Ｗを通したマーク１２の撮像画像と基板Ｗのエッジ外でのマーク１２の撮像画像との境部の位置情報を基に基板Ｗのエッジ位置を検出する位置検出手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法で、電気回路部品の下端等、特定部位の高さ方向位置を取得し、あるいは電気回路部品の特定部位の高さ寸法を取得する方法、およびその方法の実施に好適な装置を得る。
【解決手段】ＢＧＡ１１０を吸着ノズル８０ｂにより部品供給装置から取り出した後、下方側部品撮像装置により下方から撮像し、その後、側方側部品撮像装置１８０により真横から撮像する。撮像装置１８０の撮像可能領域の水平方向の幅はＢＧＡ１１０の側面の水平方向の寸法より小さく、下方からの撮像に基づいて得られるＢＧＡ１１０の撮像装置１８０に対する相対位置に基づいてＢＧＡ１１０を、対角線上に並ぶ複数のはんだボール１２０が撮像装置１８０の撮像中心線上に位置する位置に位置決めし、撮像装置１８０に撮像させる。撮像により得られる画像データに基づいてはんだボール１２０の下端の高さ方向位置を取得し、装着時における下降速度の制御等に使用する。 （もっと読む）

【課題】１台の撮像装置のみであっても電子部品の吸着姿勢を正確に認識することができる部品認識装置、および電子部品の姿勢を正確に認識して基板に実装することができる実装機を提供する。
【解決手段】吸着ノズル１５に吸着された電子部品２を撮像して同電子部品２の吸着姿勢を認識する部品認識装置２０であって、前記電子部品２の下面を照らす第１光源２５と、前記第１光源２５から照射される光とは異なる波長の光を照射して前記電子部品２の側面を照らす第２光源２６と、前記電子部品２からの光を一台の撮像装置２２へ導く光学手段２７，２８，２９と、前記第２光源２６からの光の前記電子部品２から前記撮像装置２２までの光路内に配置され、前記第２光源２６からの光の透過率よりも第１光源２５からの光の透過率が低い光学フィルタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置１では、ワーク２を照明する円環状の光源部３３を有する照明部３と、ワーク２を撮影する撮影部４とが設けられ、ワーク２を保持する保持部５が、照明部３と撮影部４との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部３の光源部３３からワーク２に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部４が配されている。そして、ワーク２に異物を含む不確定な物がある場合、光源部３３からワーク２に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部４にて撮影される。 （もっと読む）

【課題】三次元画像再生装置の各部材の三次元的な相対的な位置ずれや部品精度を検査するための検査装置を提供する。
【解決手段】二次元的に複数の画素が配列された液晶ディスプレイ１０１と、ピンホールアレイ１０９を有した三次元画像再生装置１００にテストパターンを表示させる信号発生装置２２と、テストパターンが表示された画像上の検査位置からの光を透過するレンズ１４と、結像レンズ１６と、カメラ２０と、カメラ２０で撮像した画像の輝度分布の周期と位置と、レンズ１４から液晶ディスプレイ１０１までの距離に基づいて、前記検査位置におけるピンホールアレイ１０９と液晶ディスプレイ１０１の三次元的な相対位置を解析する解析装置１３とを有する。 （もっと読む）

【課題】モアレ式熱変形測定装置について、黒色や鏡面の表面を有している測定対象物についても塗料の塗布などの前処理を不要にできるようにする。
【解決手段】モアレ式熱変形測定装置１は、恒温チャンバ２中で測定対象物６に所望の温度変化を与え、その温度変化による測定対象物の熱変形をモアレセンサ３により恒温チャンバの窓部１１における透明板１２を通して測定するようにされている。そしてモアレセンサは、所定の格子パターンが形成された格子１５、格子を通して照明光を測定対象物に照射することで変形格子パターンを測定対象物に生じさせる照明系１６、および格子を通して測定対象物における変形格子パターンを撮像することでモアレ縞を含む画像を得る撮像系１７を有してなり、その照明系における照明光として平行光線が用いられている。 （もっと読む）

本発明により、両面微細構造化製品を製造する方法、及びこの方法のために使用することができる位置決め構造が提供される。この方法には、基板シート５０の第１の表面に一次製品フィーチャ８０を提供するステップ８００と、反対側の表面に二次製品フィーチャ９０を提供するステップ８１０と、位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の相互位置合わせを表示するステップ８２０と、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の準備を位置合わせさせるステップ８３０が含まれている。位置決め構造は、第１の表面に集束エレメント２０の位置決めアレイを備えており、また、反対側の表面に、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０と位置合わせされた、製品フィーチャの８０、９０の位置合わせを推定するために基準オブジェクト３０のホログラフィ表現１０を提供する、基準オブジェクト３０の位置決めアレイを備えている。
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【課題】画像位置検出部の位置ずれを較正し、組立精度を低下させない組立装置及び位置較正方法を提供すること。
【解決手段】ベース部３に下部ガラスチャート１５と、下部カメラ１２ａと、下部高さ位置検出部１１とを備え、ベース部３の上方に設けられたユニット固定プレート２０に、上部ガラスチャート２５と、上部カメラ２３ａと、上部高さ位置検出部２４ａとを有し、上部カメラ２３ａ及び下部カメラ１２ａにより撮影された画像から下部ガラスチャート１５及び上部ガラスチャート２５の位置及び方向を検出する画像位置検出部４２と、ユニット固定プレート２０における上部カメラ２３ａの水平面内の位置ずれ量及び方向ずれ量と、ユニット固定プレート２０における上部高さ位置検出部２３ａの高さ位置ずれ量と算出する位置ずれ算出手段４３とを備えていることを特徴とする組立装置１００とした。 （もっと読む）

【課題】接触対象間の平行度やねじれにおいて、誤差の少ない接触を効率的に行うことが可能になる、接触方法および接触装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２の配置面２ａ，３ａ上に第１及び第２の反射体５，６を配置し、計測装置８から第１の反射体５の側方反射面５１ｂに第１の測定光１７Ａを照射して反射した光１７Ａを受光し、その受光位置に基づいて計測装置８の姿勢を調整し、計測装置８から第１の反射体５の４５度反射面５１ｃに第２の測定光１７Ｂを照射し、その面５１ｃで反射し、第２の反射体６の平行反射面６１ｂで反射し、再び４５度反射面５１ｃで反射した光１７Ｂを受光し、その受光位置に基づいて両配置面２ａ，３ａ間の平行度を調整し、第１の配置面２ａ上に第１の反射体５に代えて第１の接触対象を担持した第１の基板を配置し、第２の配置面３ａ上に第２の反射体６に代えて第２の接触対象を配置し、両接触対象の接触、接合を行う。 （もっと読む）

【課題】圧痕の状態を判別する検査およびダミー電極の位置関係を判別する検査を、同じ検査装置で精度良く実行できるようにする。
【解決手段】カラー画像用のカメラ１０と、カメラ１０の光軸に沿って緑色光Ｌ_Ｇを照射する第１の照明部１２と、光軸に対して斜めになる方向から赤色光Ｌ_Ｒを照射する第２の照明部１３とを用いて、液晶パネルのガラス基板とＩＣ，ＦＰＣとの接続状態を検査する。異方性導電膜による接続によってガラス基板の基板側電極に生じた圧痕の状態を検査する場合には、カラー画像データの緑色成分の強度に基づき、圧痕の数および面積の適否を判別する。また、ダミー電極の位置関係を検査する場合には、ガラス基板側のダミー電極を表す緑色パターンとＩＣ，ＦＰＣ側のダミー電極を表す赤色パターンとを検出し、これらのパターン間の位置関係の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】ＩＣのリードの浮きによる高さのような微小な高さを測定する際に測定装置の構成を簡易にし、繰り返し測定精度を高め、測定に要する時間を短くし、スループットを高められようにする。
【解決手段】リード先端部分の形状を矩形関数で表し、その形状関数と点応答関数のコンボリューション積分で表されるリード先端部分の像の強度分布のフーリエ変換を求める。そのフーリエ変換から、リード先端部分の画像における強度分布とリード先端の高さとの関係の式を求め、この式からリードの浮きによる高さを求める。この高さを求める解析演算を行う装置としては、既存の撮影手段と画像解析ソフトウェアとからなる２次元検査装置に高さを求める演算を行うための解析用ソフトウェアを追加モジュールとして付加したものとする。 （もっと読む）

方法は、試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と、試験対象物の位置に対して得られた走査干渉法信号とを比較することを有する。各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出し、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定すること、および、特定した表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さに対する、走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は、異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定することをさらに有する。
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【課題】半田等の接合部材を容易にかつ短時間で検査することができる検査方法を提供する。
【解決手段】測定対象物までの距離を非接触に測定する非接触式変位計１０を、電子部品搭載基板に対し基板のマウント表面と平行を成すように相対的に移動させて、前記基板のマウント表面までの距離と前記電子部品の表面までの距離を測定する工程と、前記測定した基板のマウント表面までの距離から、前記測定した電子部品の表面までの距離と電子部品の厚さとを減算して、基板と電子部品の間に介在した接合材の厚さを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】円盤状の測定対象物の端面の形状をその投影像に基づいて測定する場合に，測定対象物に投光される光束に非平行光成分が極力含まれないようにし，さらに，投光方向と測定対象物の表裏各面との平行状態を確保して正しい形状測定を行うことができること。
【解決手段】点光源２の出射光を通過させつつ投光方向Ｒ１においてコリメートするコリメータレンズ３と，コリメータレンズ３から測定対象物１側へ向かう光束のうち，投光方向Ｒ１から見たカメラのの撮像範囲の外側の範囲の光，又はその撮像範囲の内側かつ投光方向Ｒ１における測定部の投影像の外側の範囲に位置する境界線の外側の範囲の光の通過を遮断する１又は複数のアパーチャ８とを備える。さらに，中央吸着支持機構９により支持された測定対象物１における測定部に対し中央側の位置で測定対象物１の一方の面を投光方向Ｒ１に対して平行に支持する平行支持部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】オペレータが迷うことなく、迅速かつ確実に次に行うべき行動を実行することができるようにした部品実装関連装置のオペレータ支援装置及び支援方法を提供することを目的とする。
【解決手段】オペレータに与える行動指示を段階的な複数の行動指示に分割された状態で記憶させておき、行動指示選択部２２は、その記憶された段階的な行動指示の中から次にオペレータに与える行動指示を選択し、行動指示出力部２３は行動指示選択部２２で選択された行動指示を画面により外部出力する。一方、オペレータは、外部出力された行動指示に従って行動した結果に応じた回答を入力する。記憶された段階的な複数の行動指示の各々は、オペレータが与えられた行動指示に従って行動した結果に対して択一形式の回答で回答できる程度まで細分化されたものであり、行動指示選択部２２は、オペレータからの回答内容に基づいて、次にオペレータに与える行動指示を選択する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画像認識カメラのキャリブレーションを精度良く行うことができる画像認識カメラのキャリブレーション方法を提供する。
【解決手段】基準マークＭａ,Ｍａを形成した透光性の校正用マスク３１を用い、画像認識カメラ６により、上昇待機位置Ｓ２に移動した校正用マスク３１の基準マークＭａ,Ｍａを位置認識する第１マーク認識工程と、第１マーク認識工程の後に、校正用マスク３１を降下させワークテーブル４にセットするマスクセット工程と、マスクセット工程の後に、画像認識カメラ６により校正用マスク３１の基準マークＭａ,Ｍａを、位置認識する第２マーク認識工程と、第１マーク認識工程および第２マーク認識工程においてそれぞれ位置認識した２つの認識結果に基づいて、校正データを取得する校正データ取得工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】部品実装機の吸着ノズルに吸着した部品を側面方向からカメラで撮像した画像に基づいて簡単な処理で該吸着部品の表裏を判定できるようにする。
【解決手段】吸着ノズルに吸着した部品を側面方向（水平方向）からカメラで撮像して吸着部品の側面の画像を取り込んで画像処理する。そして、画像に表される吸着部品の左右両端又はいずれか一方の端の高さ位置と該吸着部品の最下端の高さ位置を測定し、該吸着部品の左右両端又はいずれか一方の端の高さ位置と該吸着部品の最下端の高さ位置との差分値を算出して、該差分値が表裏判定しきい値以上であるか否かで、該吸着部品の吸着姿勢が表裏反対であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】被測定試料のパターン検査を高速に実行できるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定試料のパターンに対応した測定データを生成する測定データ生成部と、被測定試料の設計データに基づいてイメージデータを生成し、イメージデータ上の図形の有無を検出するイメージデータ生成部と、イメージデータ上の図形の有無の情報を格納する図形有無情報格納部と、測定データとイメージデータを比較する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画像認識カメラのキャリブレーションを精度良く行うことができる。
【解決手段】基準マークＭａ,Ｍａを形成した透光性の校正用マスク３１を用い、所定の位置に移動した画像認識カメラ６により、保持ヘッド２に保持され上昇待機位置Ｓ２に移動した校正用マスク３１の基準マークＭａ,Ｍａを、一方の鏡筒２１,２２を介して位置認識すると共に、保持ヘッド２に保持され接合位置Ｓ１に移動した校正用マスク３１の基準マークＭａ,Ｍａを、他方の鏡筒２１,２２を介して位置認識するマーク認識工程と、マーク認識工程において位置認識した２つの認識結果に基づいて、校正データを取得する校正データ取得工程と、を備えた。 （もっと読む）