【課題】光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、第１姿勢矯正ユニットＢ１０と、第２姿勢矯正ユニットＣ１０と、第１撮像ユニットＤ１０と、第２撮像ユニットＥ１０と、第３撮像ユニットＦ１０と、第４撮像ユニットＧ１０と、第５撮像ユニットＨ１０と、第６撮像ユニットＩ１０と、良品回収ユニットＪ１０と、不良品回収ユニットＫ１０と、制御部１２とを備える。透明テーブルＴの周縁近傍には、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、第１撮像ユニットＤ１０、第２撮像ユニットＥ１０、第３撮像ユニットＦ１０、第４撮像ユニットＧ１０、第５撮像ユニットＨ１０及び第６撮像ユニットＩ１０がこの順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】実時間（１フレーム）で、干渉範囲内の頂点位置等の検査と高さ計測を可能とするとともに、外部振動に対して、その影響の除去を電気信号処理で行なえるようにする。
【解決手段】時間相関イメージセンサ（カメラ１０）を使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、被測定物８が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段（変位センサ４２）と、該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段（参照信号発生手段５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数個が配列されてまとめて挿入されたプレスフィット端子の個々の挿入状態を簡易かつ正確に判定することができ，挿入状態が良好なプレスフィット端子と基板との結合品を容易に製造できるプレスフィット端子の挿入状態検査装置およびその方法とプレスフィット端子と基板との結合品の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の検査装置１は，プリント配線板２３の挿入穴２７に挿入されたプレスフィット端子２１におけるプリント配線板２３からはみ出た箇所に光を照射する光源部１４と，光源部１４の光のプレスフィット端子２１による透過画像または反射画像を取得する受光部１５，１７と，受光部１５，１７で取得した画像からプレスフィット端子２１の検査用貫通穴３８の図形を抽出するとともに，その検査用貫通穴３８の図形に基づいて，プレスフィット端子２１の挿入状態の良否を判定するＣＰＵ１３とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】複数のコーナ部を有する電子部品を撮像して得られる対象画像に基づいて、テンプレートデータと高速且つ高精度でパターンマッチングできるようにする。
【解決手段】複数のコーナを有する電子部品を撮像して基準画像Ｇを取得し、取得された基準画像から各コーナＣを抽出し、抽出された各コーナを基準に設定された所定の抽出領域Ｂからエッジを抽出し、抽出されたエッジから、コーナ近傍Ａを除く直線状エッジＥのみを選択し、選択された直線状エッジをテンプレートデータとして保存すると共に、対象とする同種の電子部品を撮像して対象画像を取得し、取得された対象画像から各コーナを抽出し、抽出された各コーナを基準に設定された所定の抽出領域からエッジを抽出し、抽出されたエッジから、コーナ近傍を除く直線状エッジのみを選択し、選択された直線状エッジと、前記テンプレートデータとに基づいて、対象とする電子部品を照合する。 （もっと読む）

【課題】簡便でばらつきを抑制した素体形状の測定方法を提供する。
【解決手段】略直方体形状のグリーン素体の角部の削り量を測定する。削り量は、グリーン素体の２つの側面の交線と角部との間の距離である。まず、変位計が、２つの側面の交線と垂直な断面上の角部領域のプロファイルを計測する（計測ステップＳ３１）。次に、算出装置が、プロファイルの極値点の座標を特定する（ステップＳ３２）。プロファイルのうち２つの側面それぞれの一部の前記断面上のプロファイルを示す２つの直線と、極値点を通るプロファイルの接線と平行な直線との２つの交点の座標を算出する（ステップＳ３３）。次に、２つの交点の座標に基づいて、２つの交点間の距離を算出する（ステップＳ３４）。２つの交点間の距離を２で割った値から、接線と平行な直線との間の距離を引いた値を算出し、当該値を前記削り量とする（ステップＳ３５）。 （もっと読む）

【課題】複数の基本パターンが反復する反復パターンが形成された試料表面を走査し、複数の基本パターン相互の対応部分の画像同士を比較する欠陥検査において、ダブルデテクションで比較される３画像を同一方向に向かう主走査で取得しかつ正逆両方向において主走査を行う。
【解決手段】欠陥検査装置１は、試料の表面を撮像する撮像手段１３、撮像手段１３及び試料を相対移動させる移動手段１１、この相対移動により撮像手段１３で試料を２次元走査する走査制御手段４０、３個以上の基本パターン上で行われる反対向きの主走査を含む２回以上の主走査で得られる画像を格納する画像記憶手段２２、格納された画像のうち複数の基本パターンの対応部分を同一方向に向かって主走査して得られた画像を選択する選択手段２３、選択された画像間で比較を行い欠陥候補を検出する欠陥候補検出手段２４、欠陥候補がどの基本パターンにあるのかを決定する決定手段２５を備える。 （もっと読む）

【課題】曲面に映像を投射表示する際、歪みのない映像表示を実現する表示装置を提供することにある。
【解決手段】対象物までの距離を示す距離情報を出力する測定手段と、当該測定手段から得られる距離情報に基づき、曲面形状を精度良く検出し、検出した曲面形状に合わせて表示画像の画素配置を不均等に再配置させ、少なくとも曲面歪みに対応して補正した映像情報を出力するようにすることによって、曲面に映像を投射表示する際、歪みのない映像表示を実現する。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板の目視検査を容易にする検査装置の提供
【解決手段】この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、ガラス基盤１０の目視検査が容易になる。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】最小二乗法を用いた精密位置決めの精度、特に回転角度の精度を向上させる。
【解決手段】登録画像から輪郭を抽出し、登録画像のパターンモデルを構築する工程と、サーチ対象画像を取得すると共に、該サーチ対象画像中に含まれる登録画像に対応する初期位置を取得し、該初期位置に従って、前記パターンモデルをサーチ対象画像上に重ねるように配置する工程と、前記パターンモデルを構成する各円弧セグメントに対応するサーチ対象画像上の個々の対応エッジ点を求める工程と、各円弧セグメントとその対応エッジ点との関係を評価値とし、該評価値の累積値が最小又は最大となるように、前記与えられた初期位置の精度よりも高い精度で精密位置決めを行う工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板の処理面の位置情報に基づいて、位置決め誤差を解決した位置決め装置を提供する。
【解決手段】表面状態計測部（顕微鏡カメラ９、表面計測部５３ａ）は、基板の表面状態を観察して画像データとして計測する。位置計測部５３ｂは、インクジェットヘッド１０および表面状態計測部の位置を計測する。記憶部５３ｃは、予め基板の表面状態を記憶している。誤差量演算部５３ｄは、インクジェットヘッド１０の移動において、位置計測部５３ｂにより計測された、表面状態計測部の移動前の位置および表面状態計測部の移動量を基に、記憶部５３ｃから移動後の基板の予想される表面状態を求めて、予想される表面状態と、移動後の位置における表面状態計測部により計測された表面状態とを、比較することで、移動誤差量を求める。位置補正部５３ｅは、誤差量演算部５３ｄにより求められた移動誤差量を基に、インクジェットヘッド１０の位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】
光学的な表面を有する基板の検査方法において、特に、原器あるいはマスターから複製される基板の適切な表面検査方法が開発されていないため、高密度化する記録媒体や光学素子の量産化が遅れている。
【解決手段】
原器あるいはマスターとそれから複製される基板とをそれぞれ反射ミラーとするような構成のマイケルソン型干渉計あるいは、マッハツェンダー型干渉計を構築することにより、原器あるいはマスターから反射する位相情報を含む光と、検査対象から反射する光とが干渉し干渉縞を観測する。干渉縞を解析することにより、原器あるいはマスターの表面が有する特定の光学的構造と、検査対象の表面構造との差異を観測することができ、検査対象の表面状態を検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークに付着した異物の存在を検出し、検出された異物の影響を排除してアライメントマークの重心を決定する。
【解決手段】２値化された画像データから、アライメントマークの画素値とは異なるマーク非対応画素値で形成されるマーク非対応領域の特徴値を算出する領域特徴値算出手段１０３と、領域特徴値算出手段１０３が算出したマーク非対応領域の特徴値がしきい値の範囲内に入っているか否か判定する判定手段１０４と、判定手段１０４がマーク非対応領域の特徴値がしきい値の範囲内に入っていると判定した場合に、そのマーク非対応領域の画素値をアライメントマークの画素値であるマーク対応画素値に変換する画素値変換手段１０５と、画素値変換手段１０５が変換処理を実行した後のマーク対応画素値で形成される領域をアライメントマークと見なして重心を決定する重心決定手段１０６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】母材ガラス板を加熱延伸しながらガラス条の反りを測定できるガラス条の反りの測定方法およびこれを用いたガラス条の製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱延伸装置を用いて母材ガラス板を加熱延伸しながら、該延伸して形成したガラス条の幅方向の中心および両端部近傍を含む少なくとも３点において該ガラス条の表面および裏面の相対位置を検出し、該検出した相対位置に基づいて前記ガラス条の反りを測定する。好ましくは、前記ガラス条に向かって光を照射し、該ガラス条の表面および裏面からの前記光の反射光を測定することによって、前記相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】梱包状態にある電子部品の外観を検査するに当たって、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止する。
【解決手段】撮像過程では、透光性を有するカバーテープＰ２を通して端子Ｔを含む電子部品Ｄの濃淡画像を撮像する。その後、補正値算出過程では、各端子Ｔごとに端子Ｔ周辺の背景領域に周辺ウィンドウＷを設定して周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値を検出し、各端子Ｔごとに、周辺ウィンドウＷの平均濃淡値と基準値との差分値を補正値として算出する。補正過程においては、濃淡画像における各端子Ｔの濃淡値をそれぞれ前記補正値の分だけ高くなるように補正する。しかして、第１検出過程では、補正後の端子Ｔの平均濃淡値に基づいて端子Ｔの厚み方向の曲がりを検出することにより、影Ｎの影響を受けることなく端子Ｔの曲がりを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】少ない情報で波形ライブラリの作成を可能にし、かつ、小さな波形ライブラリで高い計測分解能を達成する。
【解決手段】プロセスパラメータを変化させてパターンの断面形状をシミュレーションにて予測し、予測した断面形状から分光波形をシミュレーションにて算出し、各プロセスパラメータに対応づけることにより波形ライブラリを形成する。該波形ライブラリを参照することにより、所望の形状が得られるように設定されたプロセスパラメータを用いて実際に作成された計測対象としてのパターンから実際に取得した分光波形に対応する最適なプロセスパラメータを算出し、得られた最適なプロセスパラメータに対応する最適なパターン断面形状を生成して計測を行う。 （もっと読む）

【課題】基板に影響を及ぼす可能性が高い塗布ムラの有無を効率的に判定することができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】第１の端部から第２の端部へ向かって塗布材料が塗布された基板における塗布ムラを検査する塗布ムラ検査装置４０は、干渉現象を利用して得られた基板の画像を取得する取得手段４３１と、基板の画像から、基板の第１の端部から所定距離離れた所定領域に対応する検査画像を抽出する抽出手段４３２と、検査画像を塗布材料の塗布方向へと投影することによって投影データを取得する投影手段４３３と、投影データが所定の条件を満たすか否かを判定する判定手段４３６Ａ（４３６Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射型検出を高度化する。
【解決手段】表示面１１と、表示面１１内で少なくとも一方向に非連続な出射領域をもつ赤外光Ｌ(IR)を出力する検出光出力部５０と、赤外光Ｌ(IR)が表示面１１から外部に出射され、外部で反射されて表示面１１から入射するときの反射検出光を受光し、当該反射検出光の分布に応じた検出信号を出力する複数の受光素子３６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】余分な構成を必要とせずに、基準格子からの反射回折光によるノイズを除去することができるモアレ縞測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基準格子Ｌからの反射回折光によるノイズ成分については、アダマール変換部３２で変換された直交変換画像において、周囲の画素の画素値に対して特異な画素値を有する画素となる特異画素に変換される。したがって、特異画素算出部３３で求められた特異画素の画素値を周囲の画素の画素値で補間部３４が補間し、その補間部３４で補間された直交変換画像に対して逆アダマール変換部３５は逆アダマール変換を施して元の画像に戻すことで、ノイズを除去することになる。その結果、余分な構成を必要とせずに、基準格子Ｌからの反射回折光によるノイズを除去することができる。 （もっと読む）