【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度にて非接触で、安価に、かつ簡易的に、かつリアルタイムに測定できる方法及びそれに用いる光学系を提供する。
【解決手段】光反射性とした第一被測定面５と、光反射性とした第二被測定面６に対し、ミラー８を第二被測定面に垂直に配置し、半透過部材１０を第二被測定面６及びミラー８のいずれに対しても４５度の角度になるように配置し、入射光ビーム２４が半透過部材１０を通過し、ミラー８で反射され、再び半透過部材１０を通過して入射方向へ戻る光の角度を測定し、入射光ビーム２４が半透過部材１０を通過し、ミラー８で反射され、半透過部材１０で第二被測定面６方向に向かい、第二被測定面６で反射され、半透過部材１０を通過し、第一被測定面５で反射され、そして半透過部材１０で反射されて入射方向へ戻る光の角度を測定し、得られた二つの角度から、被測定面５，６の角度差を測定する。 （もっと読む）

【課題】基板のずれ及び／又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板１０６の少なくとも２つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも２つのセンサ１４０Ａ、１４０Ｂを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット１１４又は１３０と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 （もっと読む）

【課題】被覆電線の端部の状態を的確に検査することのできる被覆電線検査装置およびそれを備えた電線処理機を提供する。
【解決手段】被覆電線検査装置Ａは、被覆Ｈが剥ぎ取られた芯線Ｓの端面Ｔを撮像するＣＣＤカメラ３と、ＣＣＤカメラ３により撮像された画像から芯線Ｓの本数を計測可能な計測手段９ａと、計測された芯線Ｓの本数が予め定められた所定の本数と一致するか否かに基づいて、被覆電線Ｄの端部の状態の良否を判定する判定手段９ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ビットマップ画像における図形の輪郭線に関するデータを高速かつ正確に生成するデータ生成方法および、このデータ生成方法を用いた画像検査方法を実現する。
【解決手段】図形の輪郭線に関するデータを生成する処理を演算処理装置により実行するデータ生成方法は、設計上の図形の中心線をビットマップ画像に重ね合わせるステップと、中心線が重ね合わされたビットマップ画像上において、中心線上に位置する各探索基準点について所定の探査方向に向かって中心線上に位置するビットの色とは異なる色のビットを探索し、検出したビットを輪郭候補点とするステップと、各探索基準点に対して、輪郭候補点の中から当該探索基準点からの距離が最短となるもの抽出してこれを所望の図形の輪郭を構成する輪郭点とするステップと、対応する探索基準点の配列順に輪郭点間を結線したラインを輪郭線として確定して輪郭線に関するデータを出力するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】線幅測定においてインラインで測定可能な測定技術を提供し、線幅の変化を抑えた高精細カラーフィルターを低コストで供給可能な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基板上に該透明基板とは異なるＯＤ値を有する規則的な遮光パターンが形成された被測定物における該遮光パターンの線幅を測定する測定装置であって、該被測定物を支持するステージと、該遮光パターンの所定領域を撮像する撮像手段と、該被測定物に対して、該撮像手段と反対側から白色光を照射する照明手段と、該撮像手段で撮像した画像データを画像処理する画像処理手段と、該画像処理手段によって得られたデータから遮光積算量を算出する算出手段と予め測定した遮光パターンの線幅と遮光積算量のデータを格納するデータ格納手段と、該算出手段により算出された遮光積算量と、該データ格納手段に格納された線幅と遮光積算量の関係から前記遮光パターンの線幅を算出する演算手段を備えることを特徴とする線幅測定装置。 （もっと読む）

【課題】たとえ撮像部の設置位置がずれた場合でも、オブジェクトの目標位置への移動に時間が掛かることを抑制できるオブジェクト制御システムを提供する。
【解決手段】オブジェクト制御システムは、オブジェクトに対して予め定められた第１オブジェクト線を示す第１基準目印を含む第１画像を撮像する第１撮像部と、第１画像内の第１基準目印に基づいて、第１画像に対して予め定められた第１目標オブジェクト線と第１オブジェクト線との間の角度を示す第１差分角度を取得する角度取得部と、前記第１差分角度に基づいてオブジェクトを回転させる回転機構を制御するオブジェクト制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否を的確に検査することのできる被覆電線検査装置及び電線処理機を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｄの端部Ｔの状態を検査する被覆電線検査装置Ａであって、被覆が剥離された芯線Ｓの端面Ｔを撮像する第１撮像手段３ａと、被覆が剥離された芯線Ｓの側面を撮像する第２撮像手段３ｂと、前記各撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、有効測定範囲を認識可能で高精度な測定を実現できる光学式寸法測定装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出力する発光部１０と、レーザビームによりワークＸが配置される測定領域を走査する走査部２０と、測定領域を通過したレーザビームを受光する受光部３０と、受光部３０で得られた走査方向の明暗パターン（受光信号）からワークＸの寸法を算出する寸法算出プログラム５１２と、を備えた光学式寸法測定装置１００において、レーザビームの走査中における点灯区間及び消灯区間をユーザ操作により設定するためのキーボード４８と、設定された点灯区間及び消灯区間におけるレーザビームの点灯制御を行う点灯制御プログラム５１１と、を備え、寸法算出プログラム５１２は、点灯区間を測定領域中の有効測定範囲とし、有効測定範囲における受光信号からワークＸの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物を撮像し、その画像に基づいて行う局所的な位置補正の精度を高める。
【解決手段】検査装置は、複数の検査対象要素を有する被検査体を撮像して検査する。この検査装置は、被検査体画像において検査対象要素を相互に接続するパターンから特徴点を生成し、特徴点の基準位置からの変位に基づいて被検査体画像の位置ずれを補正する位置補正部と、位置が補正された被検査体画像を検査する検査部と、を備える。位置補正部は、パターンを表す折れ線上に特徴点を生成してもよい。位置補正部は、パターンを表す折れ線に含まれる線分の延長線上に特徴点を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップにダメージを与えないで最小厚さまでモールドを高速かつ精緻に、簡素な装置構成で除去できるモールド除去方法およびモールド除去装置を提供する。
【解決手段】モールドの除去条件を設定する工程と、レーザ光の出射位置にＩＣチップを設置する工程と、モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のＸおよびＹ方向座標位置の反射／散乱光量を測定し、測定値を記憶する測定工程と、前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したＸおよびＹ方向座標位置の測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、を備える。 （もっと読む）

物品は、複数の機能素子及び一体化した基準マークを含む光透過性基材を含む。基材は、全反射の臨界角、並びに基準面を画定する長さ及び幅を有する。基材は、主表面に配置される一体化した基準マークを含む。一体化した基準マークは、基準面に垂直である基準線と共に第１の半角及び第２の半角のそれぞれを画定する第１及び第２の円錐台形の表面によって形成される少なくとも１つの実質的に楕円状の特徴部を含む。第１及び第２の半角は、度で表される全反射の臨界角を９０度から差し引いたもの以下である。方法は、本開示による光透過性基材を提供することと、マシンビジョンシステムを用いて基準マークの位置を精密に検出することと、基材を光学的に精密に位置合わせすることと、を含む。
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【課題】周期性のあるパターンの被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を取得すること。
【解決手段】本発明の実施の形態１に係るむら検査装置は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０及び処理・制御部１００を具備している。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０の位置決め動作及び基板搬送動作が可能である。アライメント用撮像部３０は、被検査基板６０の位置決めを実施する。回折光強度測定部兼撮像部４０は、被検査基板６０からの回折光強度を取得し、また、被検査画像取得を実施する。処理・制御部１００の情報処理手段１０１は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０の動作管理及び制御を行う。 （もっと読む）

【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度で安価、かつ簡易に測定できる二面の平行度を測定する方法とそれに用いる反射部材を提供する。
【解決手段】反射部材としてのビームスプリッタ７１の第２面９を上部ミラー５に向け、第３面１１を下部ミラー６に向けて配置し、第１面８に入射光ビーム２４を入射し、該第１面８からの第１反射ビーム２５と、該上部ミラー５で反射し該第１面８を透過して戻ってくる第２反射ビーム２６との乖離度を測定する。次に、該第１面８を該下部ミラー６に接して配置し、該第２面９に垂直な方向から該入射光ビーム２４を入射し、該第２面９から反射される第３反射ビームと、該入射光ビーム２４が該第２面９を透過し、さらに該下部ミラー６で反射し該第２面９を透過して戻ってくる第４反射ビームとの乖離度を測定する。該二つの乖離度から、該上部ミラー５と該下部ミラー６との平行性を計算する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【目的】対象物のパターンに依存することなくビームスプリッタの反射率を安定させることが可能な高さ検出装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の高さ検出装置１００は、対象物１０１面に照明光を照明する照明光学系２００と、対象物１０１面から反射された反射光を入射するλ／４板２７０と、λ／４板２７０を通過した反射光を分岐するビームスプリッタ２２２と、ビームスプリッタ２２２によって分岐された反射光の一方を前記反射光の結像点の前側で受光して、光量を検出する光量センサ２５２と、結像点の後側で受光して、光量を検出する光量センサ２５４と、光量センサ２５２，２５４の出力に基づいて対象物１０１面の高さを演算する演算回路２６０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターンマッチングにより位置認識を行う際、サーチエリアのサイズを小さくしても、認識エラーが発生する危険性を極めて低くできるようにする。
【解決手段】パターンマッチング処理手段１０２は、カメラによって撮像された画像上のサーチエリア内において、テンプレートとの相関値が最も高くなる第１のエリアの位置を求める。判別手段１０２は、テンプレートに最も類似した本来の認識すべきエリアである第２のエリアが、サーチエリアからはみ出しているか否かを判別する。サーチエリア変更手段１０４は、第２のエリアがサーチエリアからはみ出していると判別された場合、第１のエリアの相関値を利用して第２のエリアのはみ出し量を推測し、推測したはみ出し量に応じて上記画像上に設定するサーチエリアのサイズおよび位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板に装着された素子の検査方法において、素子に対応する形状テンプレートを生成する段階と、照明部の格子パターン光を基板に照射してピクセル別高さ情報を獲得する段階と、ピクセル別高さ情報に対応してコントラストマップを生成する段階と、コントラストマップと形状テンプレートとを比較する段階と、を含む。本発明によると、測定対象物を正確に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】高次局所自己相関特徴を用いて異常の有無と共にその位置を高い精度で検出できる高速かつ汎用的な異常領域検出装置を提供すること。
【解決手段】異常領域検出装置は、画像データから画素毎に高次局所自己相関によって特徴データを抽出する手段、画素毎に、その画素を含む所定の範囲の画素群について特徴データを加算する手段、正常領域を示す部分空間に対する特徴データの異常さを示す指標を計算する手段、指標に基づき異常判定する手段、異常と判定した画素位置を出力する手段とを備える。変位幅の異なる複数の高次局所自己相関特徴データを抽出してもよい。更に、特徴データから主成分分析手法により主成分ベクトルに基づく正常領域を示す部分空間を求める手段を備えていてもよい。画素対応に異常判定が可能であり、異常領域の位置を正確に検出可能である。 （もっと読む）

【課題】デバイス画像を生成するための方法、システムおよびコンピュータ・プログラムを開示する。
【解決手段】方法は、デバイスの第一および第二画像を撮像するステップであって、該第一および第二画像はオーバーラップする部分を有する、撮像するステップと、オーバーラップする部分を予測して、第一および第二画像を近似的に整列するためのおおよそのシフト量を得るステップと、を含む。方法は、定義された相互相関アルゴリズムを使ってオーバーラップする部分を解析し、第一および第二画像を整列するための厳密なシフト量を計算するステップと、厳密なシフト量を使って第一および第二画像を一緒に結合するステップと、をさらに含む。一つの実施形態において、光学システムを使って画像が撮像され、第一および第二画像を撮像するために、ステージを使ってデバイスまたは光学システムのいずれかが移動され、予測するステップは、ステージの移動量を用いてオーバーラップする部分を予測するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）