【課題】デバイス画像を生成するための方法、システムおよびコンピュータ・プログラムを開示する。
【解決手段】方法は、デバイスの第一および第二画像を撮像するステップであって、該第一および第二画像はオーバーラップする部分を有する、撮像するステップと、オーバーラップする部分を予測して、第一および第二画像を近似的に整列するためのおおよそのシフト量を得るステップと、を含む。方法は、定義された相互相関アルゴリズムを使ってオーバーラップする部分を解析し、第一および第二画像を整列するための厳密なシフト量を計算するステップと、厳密なシフト量を使って第一および第二画像を一緒に結合するステップと、をさらに含む。一つの実施形態において、光学システムを使って画像が撮像され、第一および第二画像を撮像するために、ステージを使ってデバイスまたは光学システムのいずれかが移動され、予測するステップは、ステージの移動量を用いてオーバーラップする部分を予測するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ３を移動可能な試料台４上に搬送する搬送装置と、試料台４上のウェハ３表面の測定点Ｐを観察する光学顕微鏡１０と、その測定点Ｐに多波長の偏光された光Ｌ₃を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系４０と、ウェハ３の測定点Ｐにレーザ光を照射してウェハ３に関する他の情報を出力するラマン分光光学系２０と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの回転に影響されることなく実装対象物および被実装対象物にそれぞれ設けられたアライメントマークを上方から認識手段により読取りつつ、ヘッドを回転することにより実装対象物および被実装対象物の回転方向における相対的な位置調整を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】空間ＯＳにヘッド２と非接触状態で２視野光学系レンズ１４ａが挿入されてアライメントマーク２０ａ，２２ａが上方から光学的に読取られるため、ヘッド２が回転しても、２視野光学系レンズ１４ａによる光路の変換方向がＣＣＤカメラ１４ｂに向かう方向からずれないため、ヘッド２の回転の影響を受けることなくアライメントマーク２０ａ，２２ａを上方から上下マーク認識手段１４により読取りつつ、部品２０および基板２２の回転方向における相対的な位置調整を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】明るさの分布を有する照明光の全体の明るさが低下するのを抑制することが可能な位相シフト画像撮像装置を提供する。
【解決手段】この部品撮像装置６０（位相シフト画像撮像装置）は、それぞれＡ方向に延びるとともにＢ方向に間隔ｄ２で略平行に配置され、それぞれ線状パターンに発光する複数の発光素子列６２ａを含み、複数の発光素子列６２ａの少なくとも一部を発光させることによりＢ方向への明るさの分布を有する照明光を生成して部品１２０に対して照射する照明部６１と、照明部６１からの照明光を用いて部品１２０を撮像する撮像素子６３とを備え、照明部６１は、発光させる発光素子列６２ａを変更することにより部品１２０に照射する照明光の明るさの分布の位置をＢ方向へ変更可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板に搭載した各部品の搭載状態を、高さを含めて短時間で検査する。
【解決手段】搬入された基板Ｓａを待機させるインバッファ１２と、該インバッファから搬送される基板を位置決めし、該基板に部品を搭載させるセンタバッファ１０と、該センタバッファで部品が搭載された搭載済み基板Ｓｂを、搬出されるまで待機させるアウトバッファ１４とからなる基板搬送部２を備えていると共に、前記インバッファ及びアウトバッファに、搬送される基板の形状を測定する３次元測定器２０Ａ、２０Ｂがそれぞれ配設されている。 （もっと読む）

【課題】
計測対象物の色や光沢に左右されることなく、計測対象物を撮像した画像における計測対象物と背景とのコントラストの差を簡易な構成で確実に大きくし、計測対象物の位置および姿勢を高精度に計測すること。
【解決手段】
計測対象物を撮像するカメラと、カメラ側から計測対象物に向けて発光する第１照明と、前記計測対象物を挟んで前記第１照明と反対側に設けられた第２照明と、計測対象物の輪郭より大きな開口部を備え、遮光部材によって第２照明を覆うカバーと、第１照明の点灯および消灯を制御する第１照明制御部と前記第２照明の点灯および消灯を制御する第２照明制御部と撮像画像に基づいて画像処理により、計測対象物の位置および姿勢を計測する。 （もっと読む）

【課題】光反射型部品検出システムにおいて、検出環境に応じた判別条件の設定を容易にするとともに判別の確実性を得る。
【解決手段】本発明の光反射型部品検出システム１１０は、搬送される部品が通過する搬送経路１０２中に設定された既定の検出範囲Ｓｐからの反射光の量を検出する受光素子１１７と、該受光素子で検出された前記反射光の量を所定の判別条件に基づいて判別する判別手段１２０とを具備する光反射型部品検出システムにおいて、前記検出範囲の背後に光反射面１１４ａを備えた動作部材１１４を配置し、該動作部材を動作させて前記光反射面の位置又は姿勢を変化させることで前記検出範囲に前記部品が配置されていないときの背景からの反射光量が変化するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 端子の側縁に平行して異物が存在する場合でも、端子の側縁の検出精度が低下することのない電子部品の端子位置検出方法、および電子部品の端子位置検出システムを提供する。
【解決手段】電子部品１の端子１１の先端面を撮像装置２により撮像し（Ｓ１）、撮像結果の濃淡画像から微分方向値を求め（Ｓ２）、端子１１の各側縁に相当する微分方向値を画素値とする画素のうち垂直方向に連続する上下列の連続個数を検出する（Ｓ３）。検出した連続個数が上限および下限の範囲内で最大になる上下列を各側縁に対応して検出する（Ｓ４）。当該検出した各上下列のうちの最上端を上基準位置とする（Ｓ５）。上基準位置に対して設定した指定範囲内で端子１１の先端面の上縁に相当する微分方向値を画素値とする画素のうち水平方向に連続する個数が上閾値以上である左右列を検出し、左右列のうちもっとも上に位置する左右列の位置を端子の先端面の上縁の位置とする（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ピック・アンド・プレイス機械のノズルに保持されたときに部品のオフセットおよび方向を検知するセンサを提供する。
【解決手段】センサは、複数の２次元カメラ３００と、バックライト照明装置３０６と、コントローラ３０８とを含む。各カメラはピック・アンド・プレイス機械のノズルを含む視野を有する。バックライト照明装置は照明を複数の２次元カメラに向けるように構成されている。バックライト照明装置は複数の２次元カメラからノズルの反対側に位置決めされている。コントローラは複数の２次元カメラおよびバックライト照明装置に接続されている。コントローラは、複数の２次元カメラによって検出された、バックライトで照らされた複数の影の画像に基づいて（複数の）部品３０２のオフセットおよび方向情報を決定するように構成されている。コントローラはオフセットおよび方向情報をピック・アンド・プレイス機械のコントローラに供給する。 （もっと読む）

【課題】照明手段を備えた二次元測定機において、測定物を常に高コントラストで撮像できるようにするとともに、常に充分な光量を得ることできるようにする。
【解決手段】測定物（１）を拡大する顕微鏡（５）と、測定物を照明する照明手段（１１）とを備えた二次元測定装置において、照明手段は、それぞれ異なる波長（λ_１、λ_２、λ_３、λ_４、λ_５）の光（１４）を出射する複数のＬＥＤ照明（１２）を備えており、複数のＬＥＤ照明のうちから選択した１つのＬＥＤ照明から出射された光（１４）が、コリメータレンズ（１３）で平行光線とされ、顕微鏡内に配置された半透明プリズム（１６）で測定個所（２０）に向けて反射される。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥検出をすることができる欠陥検方法および欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物を撮像し、撮像画像データを取得する撮像工程ＳＴ１と、エッジ検出工程ＳＴ３と、頂点検出工程ＳＴ４と、基準検出工程ＳＴ６と、欠陥検出工程ＳＴ９とを備える。基準検出工程ＳＴ６はエッジ追跡方向に沿って順に各頂点のエッジ回転方向を検出した際に、エッジ回転方向の向きが変化する頂点の直前の頂点を基準点として設定し、エッジ追跡方向に沿う基準点間のエッジに対し、後段の基準点におけるエッジ回転方向を基準回転方向として設定し、欠陥検出工程ＳＴ９は基準点間のエッジを追跡し、エッジ回転方向が、基準回転方向と異なる点を欠陥点として検出する。 （もっと読む）

検査対象物から検出しようとする検査領域が高倍率の画像中央に位置するようにする映像センタリング方法に関するものであり、映像センタリング方法において検査対象物を第１の倍率の光学系で撮影し、撮影された第１の倍率の画像で検出しようとする検査領域の位置を設定してモデル画像として登録する登録ステップと、前記検査対象物を、第１の倍率よりも高倍率である第２の倍率の光学系で撮影してターゲット画像を取得する撮影ステップと、前記撮影ステップで取得した対象画像を第１の倍率の大きさに縮小して検査画像として登録する縮小ステップと、前記モデル画像で前記検査画像を検索するマッチングステップと、前記マッチングステップで前記検査画像が検出された場合、前記登録ステップで設定された前記検査領域の位置に対応するように前記第２の倍率の光学系、または前記検査対象物を移動させるセンタリングステップと、を備える。
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【課題】本発明は、パターン検査の検査精度を向上させることができるパターン検査装置、パターン検査方法、および微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】被検査体に形成されたパターンに関する参照データと、前記パターンを検出することで得られた検出データと、を比較して前記パターンの検査を行うパターン検査装置であって、前記パターンを複数の領域に分割して前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の補正条件を求め、前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の少なくともいずれかにおいて対応する補正条件を適用して前記参照データを作成する補正処理部を備えたこと、を特徴とするパターン検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】撮影画像から対象物の画像を精度よく検出する。
【解決手段】コンピュータ１は、設定モードにおいて撮影部１８が撮影した対象物の撮影画像を、表示部３に表示する。そして、キーボード６Ａからの外部入力に従い高さの閾値データを受付ける。撮影画像について検出された高さ情報と、受付けた閾値データとに基づき、撮影画像から、閾値データが指示する高さ情報を有した部分画像を抽出して表示部３に表示する。運転モードでは、コンピュータ１は、対象物を撮影することにより取得した画像を表示部３に表示し、当該撮影画像について検出された高さ情報と、設定モードにおいて予め受付けた閾値データとに基づき、当該撮影画像から、当該閾値データが指示する高さ情報を有した部分画像を抽出する。運転モードで抽出された画像データは、対象物の欠陥検査のために適用される。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の焦点の調整に必要な情報を設定する作業を容易にする。
【解決手段】表面に電極５１が形成された透光性を有する基板５０と、この基板５０の電極５１に異方性導電膜８５を介して電気接続されることにより基板５０に一体に設けられた付属物６１とを具備するワークを、付属物６１が接続された面とは反対の面を上に向けた状態で配置し、撮像装置１０および同軸照明用の照明部１３、ならびに変位センサ１５を含む撮像ユニット１により撮像して、生成された画像を用いて圧痕５２の状態を判別する。検査の前のティーチング処理では、圧痕５２が消失した画像が生成されたときの変位センサ１５の計測値を特定し、検査では、特定された計測値に所定大きさの正または負のオフセット値を加算した値を基準の高さとして、撮像ユニット１の高さを調整する。 （もっと読む）