【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部１４によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ１８によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部３２によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】照明ユニットの交換費用を抑えることができとともに、生産効率の向上を図ることができ、さらに、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる光学式測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置本体１と、この測定装置本体に着脱可能に装着されＬＥＤ４４、４９を光源とする照明ユニット４，５と、光量指令値に応じて照明ユニットを制御する照明用コントローラ６とを備えた光学式測定装置であって、照明ユニットには、光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部４８が設けられており、照明用コントローラは、光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応するキャリブレーション値を照明ユニットの記憶部から読み出し、このキャリブレーション値に基づいてＬＥＤ４４，４９を制御する。 （もっと読む）

【課題】多様なパターンで温度及び形状が変化する被測定物の三次元の熱変形特性を正確に測定できること。
【解決手段】同期信号Ｓtrgを時系列で発生させ，その同期信号Ｓtrgに同期して，サーモカメラ２０及び複数の可視カメラ２１から撮像時点が同じ前記熱画像及び複数の前記可視画像のデータの組合せをサンプリングし，撮像時点ごとの可視画像のデータに基づくステレオ画像処理を通じて，撮像時点ごとの三次元形状のデータを算出し，撮像時点が異なる複数の可視画像のデータに基づくデジタル画像相関法でのパターン追跡処理を通じて，前記撮像時点ごとの観測部位の像の前記可視画像上での変位量を算出し，それら算出結果に基づいて，観測部位の撮像時点ごとの三次元座標系での位置及び温度のデータが対応付けられたデータを記録する。 （もっと読む）

【課題】電子回路の外観検査前の設定作業を効率化する。
【解決手段】検査条件設定装置（検査装置１）は、半導体、液晶回路、またはプリント基板などの電子回路を複数搭載する被検査物の外観検査をＣＡＤデータ（４１）と被検査物画像（４３）との対比によって行う前に、当該外観検査の条件を予め設定する。当該装置は、粗画像生成手段（ＳＴ２１）と、輪郭抽出手段（ＳＴ２２）と、認識手段（ＳＴ２３）と、を備える。粗画像生成手段は、上記対比を行うために上記ＣＡＤデータから生成する模範画像よりも、粗い画素密度の粗画像（４５）を、上記ＣＡＤデータから生成する。輪郭抽出手段は、上記粗画像から、ひとまとまりの個片（６１、６２等）の輪郭を各々抽出する。認識手段は、上記輪郭から、上記個片のパターンの一致を判定し、１または複数のパターンの個片を認識し、同一パターンのグループごとに上記個片を分類する。 （もっと読む）

【課題】可変コンデンサの動作制御の基準となる前記コンデンサのシャフト回転の原点を正確に且つコンデンサにストレスを与えることなく検出する。
【解決手段】可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置まで前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】画像処理を用いた回路パターンの欠陥検査では、検査対象となる回路パターンの画像を撮影する。このとき、撮影する毎にカメラを移動・停止していると、画像データの取得に時間がかかってしまうという課題があった。
【解決手段】複数の被検査物（回路パターン）が配列された基板に対して、撮影用のカメラを一定速度で移動させながら、予め決めておいた視野位置で連続的に撮影を行う。このため被検査物の配列情報とシステム側のハード的、ソフト的な拘束条件から、移動速度、撮影タイミングなどを予め求めておく。 （もっと読む）

【課題】被検査対象基板上に繰り返して形成される様々な回路パターン上に生じる欠陥または異物を、光学条件に依存せず、正常な回路パターンと弁別して欠陥を検出する欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】被検査対象基板から取得した画像信号に対して、着目画素を含むその周囲に切り出す着目局所領域と、前記着目画素に対応する複数の対応画素の各々を含むその周囲に切り出す複数の対応局所領域の各々を設定し、該設定された着目局所領域の画像信号と前記局所領域設定ステップで設定された複数の対応局所領域の画像信号との類似度を探索し、該探索される類似度情報を用いて、前記着目局所領域の画像信号に類似する前記対応局所領域の画像信号を複数決定し、該決定した前記複数の対応局所領域の画像信号と前記着目局所領域の画像信号とを比較して総合的に欠陥を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】事前の煩雑な準備を必要とせずに、搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を、インラインにより検出する。
【解決手段】浮上搬送装置により搬送される薄板Ｗの搬送面Ｓを、搬送方向の全体に亘って複数のカメラ３により撮影する。薄板Ｗの載置位置に載置されたターゲットＴの搬送面Ｓに対する相対位置を、カメラ３で撮影した薄板Ｗの写った画像の画像データから検出し、検出した相対位置から、ターゲットＴの載置位置における薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部と、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対して光を照射する照明装置と、被検査基材１０を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラ２２と、カラーセンサカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、カラー画像のうちパッド部からの反射率が低く、めっき層からの反射率が高くなる特定波長成分のみを含む画像成分を抽出する成分抽出部３２と、特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部３３と、めっき層の欠けを判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部１１ａ、１１ｂと、パッド部１１ａ、１１ｂと異なる色彩をもつめっき層１２とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対してパッド部１１ａ、１１ｂからの反射率と、めっき層１２からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置２３ａ−２３ｃと、被検査基材１０を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラ２２と、モノクロカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、モノクロカメラ２２からのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部３３と、白黒画像に基づいてめっき層１２の未着を判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置および向きを精度良く認識することが可能な対象物認識方法および対象物認識装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２１が対象物１を撮像することにより第一撮像画像を取得し、対象物１の二次元外形データと第一撮像画像とを比較することにより撮像装置１２１と対象物１との相対位置を判定し、当該相対位置に基づいて仮想空間に撮像装置１２１、照明装置１１０および対象物１の配置を設定し、当該仮想空間に基づいて第一仮想空間画像を生成し、第一仮想空間画像と第一撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定し、撮像装置１２１が対象物１を撮像する位置を変更して撮像することにより第二撮像画像を取得し、当該変更を仮想空間に反映して第二仮想空間画像を生成し、第二仮想空間画像と第二撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で品質管理に用いる管理値を精度良く算出できるチップ型電子部品の形状測定方法、及びこれを用いたチップ型電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】このチップ型電子部品の形状測定方法では、素体１の角部１ｂにレーザ変位計４を走査して得られる形状プロファイル１０のうち、微分プロファイル２０の微分値ｆ’（ｘ）が予め設定された抽出閾値の絶対値の範囲内となる部分を抽出して円フィッティングを行っている。この方法では、素体１の角部１ｂにおける円弧状部分１２と、角部１ｂを形成している素体１の側面１ｃ，１ｄに相当する平面部分１１，１３と、これらの境界付近に存在するダレ部分１４，５とを容易に判別することができる。抽出閾値を用いて形状プロファイル１０から円弧状部分１２を抽出することにより、簡単且つ精度良く角部１ｂの円フィッティングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ高精度に被測定面の位置を測定することが可能な測定装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】被測定面の位置を測定する測定装置１００は、光源１１２からの広帯域光を分離して一方を計測光として被測定面に導き、他方を参照光として参照面に導く投光光学系１２０と、計測光と参照光とを合成して両者の干渉光を検出する受光光学系１３０と、を有し、投光光学系１２０と受光光学系１３０は全体として複数のビームスプリッタ１２５、１３２を有し、各ビームスプリッタは、参照光が複数のビームスプリッタ１２５、１３２において反射及び透過する回数と、計測光が複数のビームスプリッタ１２５、１３２において反射及び透過する回数と、が等しくなるように配置されている。 （もっと読む）

被験物体からの試験光と参照光とを合成して、検出器上に干渉パターンを形成する光学系を含む広帯域走査干渉計システムから構成される装置。本装置は、共通の光源から検出器への試験光と参照光との間の光路差（ＯＰＤ）を走査するように構成されたステージと、一連のＯＰＤ増分の各々に対する干渉パターンを記録する検出器を含む検出系であって、各ＯＰＤ増分の周波数がフレームレートを定義する、検出系とを含む。光学系は、走査時のＯＰＤの変化を示す少なくとも２つの監視干渉信号を生成するように構成され、検出系は、監視干渉信号を記録するように構成される。本装置は、フレームレートより高い周波数において、ＯＰＤ増分への摂動に対する感度でＯＰＤ増分に関する情報を決定するように構成されたプロセッサを含む。
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【課題】膜厚測定を行ったとしても、被検査体に形成された薄膜の品質が劣化することを防ぎ、次に続く工程や実際の最終製品においても被検査体を使用できるようにする膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】測定室Ｍ内において被検査体Ｅの膜厚を測定するものであって、前記測定室Ｍの外側に形成された送風経路Ｓと、前記測定室Ｍに形成され、前記送風経路Ｓの一端が接続される流入口Ｍ１と、前記流入口Ｍ１に設けられたフィルタ３３と、を備えており、前記送風経路Ｓに非反応性ガスを導入する導入口３５を設けた。 （もっと読む）

【課題】２つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１００は、第１ＰＬＣ１１０と第２ＰＬＣ１２０の２つのＰＬＣを接続して構成されている。そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。ＭＺＩ回路１０１は、一部が第２ＰＬＣ１２０に形成され、他の部分が第１ＰＬＣ１１０に形成されている。ＭＺＩ回路１０１を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Ｄを高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】認識精度を確保しつつ、一定の時間内に対象物を認識する処理を終了する。
【解決手段】認識対象物のモデルの特徴点群から各辺の長さが所定の基準値を満たす三角形を抽出し、モデル三角形として登録する。認識対象物の２次元画像から抽出された特徴点群についても同様に、基準値を満たす三角形を抽出して比較対象三角形として登録する。つぎにモデル三角形と比較対象三角形とを順に対応づけ、頂点の対応関係を複数とおりに設定して、対応づけられた頂点（ＡとＡ´、ＢとＢ´、ＣとＣ´）の座標を用いて、両三角形の対応関係を表す変換パラメータを算出する処理と、モデルの特徴点群と対象物の特徴点群との関係に対する当該変換パラメータの適合度を求める処理とを実行する。そして、対応づけ毎に求められた適合度に基づいてモデルの特徴点群と認識対象物の特徴点群との対応関係を示す変換パラメータを特定することによって、対象物を認識する。 （もっと読む）

【課題】ブラックマトリックスに対する着色画素の位置ズレを算出するバーニアで、顕微鏡の焦点深度に影響されず、測定用マークのフリンジ部に影響されず精度よく、安定して位置ズレを算出するバーニア、及び露光位置の測定方法を提供する。
【解決手段】１）バーニアＶ２は、第一測定用マークＭ１１と第二測定用マークＭ１２で構成され、２）第一測定用マークは、遮光部Ｓと第一開口部Ｋａ−Ａと第二開口部Ｋａ−Ｂからなり、第二測定用マークは、遮光部上に形成されており、３）第二測定用マークの重心Ｄは、第一開口部の重心Ａと第二開口部の重心Ｂを結ぶ直線を底辺とする二等辺三角形又は直角二等辺三角形の頂点Ｃに位置すること。バーニアから一定距離離れた位置に、測定に用いる顕微鏡を移動させるためのターゲットマークＴＭを備えていること。 （もっと読む）

【課題】 伸縮性を有する基板の伸縮状態を高精度に測定する。
【解決手段】 伸縮測定装置は、可撓性を有する基板を該基板の表面に沿って移送する移送部と、基板の移送方向に沿って所定間隔を隔てて基板に形成され基板の移送にともない該基板の移送経路上の第１及び第２検出領域内にそれぞれ移動された第１及び第２マークを検出する検出部と、第１及び第２検出領域間の移送経路に沿った基板の長さを基準長さに設定する基板長さ設定部と、第１及び第２マークの検出結果に基づいて基板の移送方向に関する伸縮情報を導出する導出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像した画像を用いて被検査体における凸部について正面の形状とともに側面をも同時に観察し、検査工程に要する時間を短縮するとともに、簡易な構成により被検査体における凸部の高さを求められるようにする。
【解決手段】一方の面において断面が二等辺三角形で同形同大の山形形状部が複数反復して一方向に延在するように連接された形状とされ他方の面が平坦な面であり透明材料からなるマイクロプリズムシート（ＭＰＳ）を被検査体（Ｓ）に近接した位置に配置し、このマイクロプリズムシートを介して被検査体を撮像可能な位置に撮像装置１０を配置する。撮像装置で撮像された画像により被検査体における凸部の正面とともに凸部の側面が観察され、被検査体上の１点に対応する画像上の２点の間隔に比例する量として被検査体における凸部の高さが求められる。 （もっと読む）