【課題】カメラの撮影時の解像度を変更しながら部品の撮影を行なう外観検査機において、解像度の切り替えタイミングおよびカメラの移動経路を最適化する。
【解決手段】複数の解像度で基板上の部品を撮影し、前記部品の実装状態を検査する外観検査機における検査条件を決定する検査条件決定方法であって、前記部品の撮影時に要求される解像度は予め定められており、前記複数の解像度の各々について、当該解像度で撮影されるべき部品を含むように少なくとも１つの撮影領域を決定する撮影領域決定ステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、前記撮影領域決定ステップで決定された撮影領域を巡回する最短の経路を決定する経路決定ステップ（Ｓ１０）とを含む。 （もっと読む）

支持基板（１６）に取り付けられたパッケージ形マイクロ電子デバイス（１４）の１つ又は２つ以上の周縁（１３ａ）に沿うフィレット形成具合の自動化検査システム及び方法であって、かかるシステム（１０）は、フィレット形成を制御するフィードバックループを有する。より詳細には、システム（１０）は、アンダーフィル材料（２２）を支持基板（１６）上に小出しするよう構成された小出しシステム（１８）を有する。システム（１０）は、フィレット（１２）の測定可能な属性の値を求め、例えばフィレット（１２）の寸法形状が正しいかどうかを判定するよう構成された自動化光学検査（ＡＯＩ）システム（１９）を更に有する。フィードバックループ（６６）が小出しシステム（１８）と自動化光学検査システム（１９）との間に設けられる。
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【課題】カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、気泡を選別処理するガラス基板内の気泡選別処理法を提供する。
【解決手段】１）顕微鏡１４Ｃを用い、欠陥Ｄ４の上方よりガラス基板２０上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する検査画素の明るさを２値化して２値検査画素２Ｋ−０とし、４）２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する選別処理を行う。 （もっと読む）

【課題】被測定物の連続的かつ機械的な駆動なしに焦点面の異なる画像情報を短時間で得られる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光量センサー２はセンサー素子２ａ〜２ｄを１次元方向に備える。センサー素子２ａ〜２ｄは光学系（図示せず）によって、被測定物１の計測線１２近傍の高さＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄに焦点Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄを結ぶ。被測定物１の表面１３は黒白に塗り分けられ、センサー素子２ａ〜２ｄと光学系を被測定物１の領域Ｙ１から領域Ｙ８方向に移動走査する。時刻で各センサー素子の光量値を読み出し、その値を位置とともに記録する。各センサー素子の光量値は、被測定物１の表面１３に合焦ならば表面色の黒１３ｂまたは白１３ｗに対応し、合焦でなければ黒と白が混ざった灰色の値を持つ。この黒，白，灰色の光量値に基づき高さＨａ〜Ｈｄについて合焦評価を行うことで、各領域Ｙについての高さを同定できる。 （もっと読む）

【課題】連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行うこと。
【解決手段】外観画像検査システム１は、カメラ２と照明５，６とを備え、照明５，６の照明条件を切り替えつつカメラ２による連続撮影を行う外観画像検査システム１であって、カメラ２の露光終了タイミングに応じて、照明条件の切り替えを開始する。これにより、露光終了タイミングに応じて照明条件を切り替えることができるので、好適な照明条件の切り替えのために利用可能な期間をフル活用することができる。したがって、連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行える。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンを表す画像のパターン間にノイズが存在する場合でも、正確な欠陥検査を行う形状検査手法を提供する。
【解決手段】形状検査は、被検査パターンの輪郭を推定し、被検査パターンが正しい形状にどの程度近いかを算出する処理である。被検査領域中を各々の被検査パターンを含む個別領域に分割し、第１の形状検査を行う。次に、第１の形状検査が不合格であった個別領域に対して、より限定した領域のみを対象として第２の形状検査を行い、推定輪郭を修正する。領域の限定には、個別領域の周囲に位置する、第１の形状検査に合格した被検査パターンの輪郭を用いる。第２の形状検査では、まず正しい形状を備えた周囲の被検査パターンに基づいて、検査対象の個別領域に含まれる被検査パターンが正しい形状を備えている場合の輪郭を推定する。そして、推定された輪郭を含み、かつ個別領域全体より小さな領域を検査範囲として形状検査を行う。 （もっと読む）

【課題】測定を迅速に実行可能な画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムを提供する。
【解決手段】画像測定装置は、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられたリード部を有するワークの画像を測定する。画像測定装置は、リード部の画像ＩＭ１１を取得する画像取得部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づきリード部の輪郭を含む領域（第１領域）ＡＲ１を抽出する第１抽出部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づき段差を含む領域ＡＲ２１（第２領域）を抽出する第２抽出部と、領域ＡＲ１及び領域ＡＲ２１に基づきリード部における段差の位置ＡＲ３を特定する特定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単でしかも正確にアームオフセット取得が可能な、両面基板検査装置におけるアームオフセット取得方法を提供する。
【解決手段】第１及び第２測定ユニット１０、２０を備えた両面基板検査装置１におけるアームオフセット取得方法において、（ａ）第１測定ユニット１０をＸ−Ｙ座標の所定の位置に移動し、Ｚ軸ユニット１４の上下機構を駆動し、プローブ１５をプロービング位置へと下降させ、（ｂ）第２測定ユニット２０の位置補正カメラ２６を第１測定ユニット１０のプローブ１５と同じ座標位置に移動し、第２測定ユニット２０の位置補正カメラ２６によって、第１測定ユニット１０のプローブ１５の先端を撮影してその位置を検出し、理論値との誤差を数値化し、第１測定ユニット１０のアームオフセット取得を行い、第２測定ユニット２０に対しても同様のアームオフセット取得を行う。 （もっと読む）

本発明は測定対象物の表面の２Ｄイメージを撮像する表面形状測定装置に関する。本発明による表面形状測定装置は、第１単色光を前記測定対象物の表面に照射する第１光源と；前記第１単色光と相異なる色相の第２単色光を前記測定対象物の表面に照射する第２光源と；前記第１光源及び前記第２光源から照射されて前記測定対象物の表面で反射した前記第１単色光及び前記第２単色光を撮像する白黒カメラと；前記第１単色光及び前記第２単色光が前記測定対象物の表面にそれぞれ照射される状態で前記第１単色光及び前記第２単色光にそれぞれ対応する第１白黒イメージデータ及び第２白黒イメージデータが獲得されるように前記第１光源、前記第２光源及び前記白黒カメラを制御し、前記第１白黒イメージデータ及び前記第２白黒イメージデータを利用して前記測定対象物の表面に関する合成カラーイメージを生成する制御部とを含むことを特徴とする。これにより、低コストの白黒カメラを利用してカラー２Ｄイメージが獲得でき、カラーカメラより処理速度が速い白黒カメラを利用することによって処理速度も向上することができる。
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【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】光量過多によるノイズの影響を極力排する高さ測定装置および高さ測定方法を提供する。
【解決手段】電子部品１７に向けて鉛直方向にレーザ光を投射するレーザ発振器１０と、電子部品１７の表面で反射したレーザ光を鉛直方向に対して異なる角度をなす位置でそれぞれ受光する１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤからなる３Ｄセンサ２において、電子部品１７の反射特性に基づいて、１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤのうち受光量が過多とならない何れかのＰＳＤを選択し、この選択したＰＳＤから発せられた電気信号に基づいて電子部品１７の高さを計測する。 （もっと読む）

【課題】光の多重反射等により生じるノイズ等に起因する検査精度の低下を招くことなく、光切断法による計測を用いることができ、コイルエンドの形状について、ケースに対する絶縁不良につながる形状不良の有無を、非破壊（非接触）・自動・高速で精度良く検査することが可能となるステータコイルの形状検査方法を提供すること。
【解決手段】スリット光１１を照射することで得られる反射光の二次元画像１３を取得する光切断法を用い、ステータコイル１０のコイルエンド１０ｂの部分の形状の良否判定を行う形状検査方法であって、二次元画像１３の取得に適した表面処理が施され、コイルエンド１０ｂの部分の外形形状について良品として許容される最大外形形状を有する部分を備える基準ワークを用い、基準ワークについての計測点群に基づき基準データを作成し、ステータコイル１０についての計測点を、基準データと比較することにより、前記良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】製品品質の検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】製品品質の検査システムは、検査機具と、撮影装置及び検査モジュールを含む。前記検査機具は検査対象としての完成品を位置決めするためであり、撮影装置をその上に架設し、両者の位置の対応関係を恒に変わらぬよう保持し、検査モジュールはデジタル信号の処理を行う。 （もっと読む）

【課題】被測定物を再利用可能な状態で簡便かつ良好に固定保持することができ、気温等の影響を受けることなく精度の高い変位の測定を行なうことができる積層電子部品の変位測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】被測定物５０をテーブル３０の吸引穴４０Ａ〜４０Ｄのいずれかに所望の向きで置くとともに、開閉弁２２Ａ〜２２Ｄを「開」として真空ポンプ１４で吸引すると、被測定物５０はテーブル３０上に吸着される。位置調整部６４でレーザ照射検出部６０の位置を調整し、レーザ光を被測定物５０に照射する。被測定物５０を横に置けばセラミックス積層体５２にレーザ光が当たり、被測定物５０を縦に置けば電極５４にレーザ光が当たる。この状態で、通電部６２から被測定物５０に対して所定の通電を行なうと、被測定物５０が変位し、レーザ光に周波数変化が生ずる。これをレーザ照射検出部６０で検出することで、被測定物５０の変位が測定される。 （もっと読む）

【課題】 例えば、製造工程等において搬送されつつあるフィルムように、移動途中の測定対象物についても精度良く膜厚を測定し得るような膜厚測定方法を提供することを一の目的とする。
【解決手段】 薄膜表面に光を照射し、該薄膜からの反射光を分光して分光スペクトルを取得し、該分光スペクトルから前記薄膜の膜厚値を算出する膜厚測定方法であって、
１）取得した前記分光スペクトルから仮の膜厚値を求めるステップと、
２）前記仮の膜厚値の近傍から選択された複数の膜厚値毎に、前記薄膜に係る屈折率の波長分散式モデルを作成するステップと、
３）前記薄膜について別途得た所定波長に対する屈折率と、前記複数の膜厚値毎に作成された前記屈折率の波長分散式モデルから求められる該所定波長に対する各屈折率とをそれぞれ比較するステップと、
４）前記３）のステップで比較した屈折率の差を評価して最終的な膜厚値を求めるステップとを有することを特徴とする膜厚測定方法による。 （もっと読む）

【課題】投光ユニット及び受光ユニットの設置スペースに対して従来よりも広い検出領域を確保すること、投光ユニットと受光ユニットとの対向方向に並ぶ複数の検出対象物を個別に測定対象とすることのうち少なくとも１つを達成することが可能な測定装置ないし姿勢検出センサの受光ユニットを提供する。
【解決手段】測定装置５０の受光ユニット７０は、検出領域Ｅを介して投光ユニット６０に対向配置される測定装置の受光ユニットであって、受光レンズ８１及び受光手段８５は、ケーシング７１内において対向面７０Ｂに沿った対向面方向に並んで配置され、対向面の垂直方向に対する斜め方向Ｋから受光窓７２に進入した光Ｌを、対向面方向に反射させて受光レンズ及び受光手段に入光させる反射手段７４を備える。 （もっと読む）

【課題】計測範囲が狭く計測距離が限られ、ホールド機能を備えた距離センサを用いて、高精細な画像露光を可能とする。
【解決手段】制御ユニットは、予めレーザー光源部を発光させて、基板材料を載置した移動テーブルの計測移動を開始し、距離計測のタイミングとなると、距離センサで計測される距離Ｄを読込み、計測終了タイミングで距離Ｄの読込みを終了する（ステップ１００〜１１０）。この後、基板材料への走査露光が開始されたか否かを確認し、露光処理が開始されるとレーザー光源部の発光を停止し、距離センサでの計測値のホールドを解除し（ステップ１１２、１１４）、計測値がホールドされていることにより、有効レンジ外の基板材料に対して誤計測が生じるのを防止する。また、基板材料への走査露光が終了すると、レーザー発光部での発光を開始し、次の基板材料に対する距離計測が可能となるようにして（ステップ１１６、１１８）。 （もっと読む）

【課題】物品を検査する方法及び装置を提供する。
【解決手段】物品を検査する方法及び装置では、物品（５０）を２つ以上の方向から、イメージセンサ（１０）に貼り付けたベイヤーフィルタ（１２）のスペクトル応答に一致するスペクトル応答を有する光源（５２，５６）で照明する。画像データは色ごとに分離され、そして派生画像が生成され、次に処理されて欠陥群を検出する。 （もっと読む）

【課題】多値画像を比較するパターン検査において、２枚の画像が高周波領域にある場合に発生しやすい擬似欠陥の誤検出を防止して、欠陥検出精度を高くする。
【解決手段】特徴量算出部２１は、参照画像と被検査画像について着目画素の近傍における画素値の空間的変化量ΔＲＥＦ、ΔＯＢＪを画素ごとに求める。２つの空間的変化量の比較結果に応じて、被検査画像の着目画素と参照画像の着目画素のうち一方が許容画素、他方がターゲット画素として選択される。比較部２７は、許容画素に対して設定された許容範囲を考慮して、許容画素とターゲット画素の間で画素値の差分値ＶＴＭを求める。比較結果補正部２８は、２つの空間的変化量に基づき、差分値ＶＴＭを補正する。欠陥判定部３２は、補正後の差分値ＳＵＢに基づき被検査物における欠陥を検出する。 （もっと読む）