【課題】円筒体９０に対する表面検査と回転フレ検査とを並行して行う。
【解決手段】円筒体９０に計測光４３を照射する発光部４１、および前記発光部４１による計測光４３を受光する受光部４２を有し、前記円筒体９０の回転フレ量を計測する回転フレ計測手段４と、前記円筒体９０の外表面を照明する照明１０、および前記照明１０により照明された前記円筒体９０の外表面を撮影するカメラ３０を有し、前記円筒体９０の表面状態を計測する表面状態計測手段５と、を備える。前記照明１０の照明光に、前記受光部４２の受光波長域の光を含まないことにより、回転フレ量を検出する受光部４２は、表面状態の検出のための照明光の影響を受けることを防止する。 （もっと読む）

【課題】 周囲温度の影響が小さく、温度変化や微小な荷重変化を検知せず、侵入者など検知対象による荷重変化だけを検知できる光ファイバ式荷重センサを得るものである。
【解決手段】 構造体５との間に隙間を設けて設置され、荷重により上記隙間が狭くなる方向にたわむ長尺状の第１の弾性体１と、この第１の弾性体１よりも断面積および幅が小さく、隙間の第１の弾性体１あるいは構造体５のいずれかに一方の端部が固定され、他方の端部と構造体あるいは第１の弾性体との間に空隙を有し、第１の弾性体１よりもたわみ易い第２の弾性体２と、この第２の弾性体に取り付けられた光ファイバブラッググレーティング３と、この光ファイバブラッググレーティングに連結した光検出器とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 撮像時の変調パターンが簡単に実現でき、この変調パターンの実装がし易く、且つ測定物体方面から戻る反射パルス光から距離（位相）決定を行うための単純で精度の高い形状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定物体２に光パターンである照射パターンを照射する照射手段３と、前記測定物体２表面で反射された光パターンである撮像パターンを得る、前記照射手段３と光学的に同じ位置にある撮像手段４、５、６とを備え、前記撮像パターンから前記測定物体２の表面形状を計算する形状測定装置において、前記測定物体２は前記照射手段３から或る距離の範囲に存在し、前記照射手段３は角周波数ωで変調した或る強度の照射パターンを前記測定物体２に照射し、前記撮像手段４、５、６は、前記測定物体２表面で反射され照射と同じ経路を逆にたどって前記撮像手段４、５、６に戻る反射光を、角周波数ω、位相φｄで変調を行った後に光量の時間平均を検知し、それにより前記測定物体２の距離Ｌを、複数の変調条件で得られた光量に基づいて求める。 （もっと読む）

本発明は、微小機械装置内の表面形状を光学的に測定することによって流体流動微小機械装置１００内の容積を測定する方法に関する。この方法は、ａ）表面形状を測定するための光学機器１０；５０；３０；７０を用意し配置するステップと、ｂ）形状を測定するための光学機器からの画像を取得し且つ処理するための取得処理手段２４；４４；６４；８４を用意するステップと、ｃ）可動部材１３３を第１の位置に配置してから第２の位置に配置し、さらに、表面形状を測定するための光学機器を動作させて光線を基準面上に向けると共に、取得処理手段を動作させて、可動部材１３３の第１の位置での第１の画像及び第２の位置での第２の画像を取得するステップと、ｄ）基準面の第２の画像と第１の画像とを比較して、可動部材の変形によって生じる空洞１３８の容積変化を決定するステップとを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、光ビームを光源からワークピースへ通信する１つ以上の入力光学路と、ワークピースから反射された光を検出器へ通信する１つ以上の出力光学路とを備えている。これら入力光学路及び出力光学路は、１つ以上のミラー及び１つ以上のレンズを含むことができる。光学路の少なくとも１つは、漂遊光を捕獲し及び／又は吸収するための層を含む。１つ以上のレンズは、レンズからの望ましからぬ光の反射により生じるノイズを減少するための反射防止コーティングを含む。光学路は、漂遊光を減少するための１つ以上のマスクを含む。１つ以上のマスクは、調整可能なアパーチャー（例えば、虹彩）を有することができる。 （もっと読む）

本ステレオ光学モジュールは、前玉ユニット（２０ａ）の略後方であり、１次偏向ミラー（２１ａ）と２次偏向ミラー（２２ａ）の上方に存在する回路配置スペース（２７ａ）、又は前玉ユニット（２０ｂ）の略後方であり、１次偏向ミラー（２１ｂ）と２次偏向ミラー（２２ｂ）の下方に存在する回路配置スペース（２７ｂ）の少なくとも何れか一方の空間領域に構成部材を配置する。
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基板上の少なくとも１部分に製品を形成するためのインテリジェント被覆システムが開示される。インテリジェント被覆システムは、被膜塗布冶具、厚みモニタ、多軸デバイス、および選択が随意な少なくとも１つの制御器を含む。厚みモニタは、被膜塗布冶具の操作によって形成された基板上の製品の少なくとも１部分の厚みを測定し、被覆システムをインテリジェント被覆システムに変換することが可能である。多軸デバイスは、被膜塗布冶具と基板の少なくとも１部分との相対運動を容易にする。少なくとも１つの制御器は少なくとも１つの厚みモニタと情報の授受を行う。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出装置から吐出される液滴などの被計測物の物理量を計測することを容易にすること。
【解決手段】 計測装置は、光ビームを発生する光発生器と、前記光ビームを受光する光検出器と、前記光発生器と前記光検出器との間の前記光ビームの光路上に位置して、前記光路に垂直な第１方向に沿って前記光ビームの幅を細くする光学部と、を備えている。ここで、前記第１方向への速度成分を有する被計測物が前記光学素子と前記光検出器との間の前記光路の所定部分を通過するように、前記光路が配置されている。また、前記所定部分での前記光ビームの前記第１方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第１方向に沿った幅以下である。そして、前記所定部分での前記光ビームの第２方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第２方向に沿った幅よりも大きい。なお、前記第２方向は前記光路および前記第１方向の双方と異なる。 （もっと読む）

【課題】半透明フィルムの貼付位置および形状認識を、確実かつ高精度に光学カメラにて自動検査する半透明フィルムの位置検出および形状認識装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】青色ＬＥＤ２でなる照射光源と、円錐状あるいはドーム形状で乳白色の拡散板３を有し、半透明フィルム１０を有する被測定体９に対し照射光を照射するための照明体１でなる照明部、光学カメラ５、光学レンズ６および光学フィルター７（青色フィルター）でなり、照明光に照射された被測定体９の画像を撮影するための撮像部、撮像部より取り込んだ画像情報を演算あるいは処理して判別する画像処理部８、および駆動用の電源部４にて構成してなる。 （もっと読む）

本発明は、物体を共焦点測定する測定装置に関する。かかる測定装置は、光源（１）と、結像光学系（４）と画像受光部（１９）とを備える。像面の光学的距離は所定の方法で変更可能であって、絞り構造体（３）と物体（６）との間の光路の光路長を変更する手段（１１）と、撮影の撮影時間（ｔ_Ｂ１）中に特性（強度、周波数、スペクトル）の少なくとも一つにおいて光源によって物体（６）に射出される光（５）及び／又は物体（６）によって反射されセンサに入射する光（７）に影響を与える手段（１２、１３）を備える。本発明によると、撮影時間（ｔ_Ｂ１）中のプロフィルとして光（５、７）の特性と結像光学系（４）の像面の光学的距離との所定の関係が与えられている。更に、撮影時間（ｔ_Ｂ１）における観測光路（７）の光の特性に依存する測定値を送出する手段（１０）を備える。撮影時間（ｔ_Ｂ１）の測定値と比較値とから物体（６）の高さ座標（ｚ_ｓ）が構築される。 （もっと読む）

【課題】前面に保護ガラスが存在する固体撮像素子部内の半導体チップの傾きを正確かつ短時間に測定する。
【解決手段】１つまたは複数の撮像装置2からの情報を元にした半導体チップ１１の傾きの演算において、半導体チップ１１に照射したレーザ光３１の１次以上の次数の回折光３３、３４を少なくとも２つ以上測定することによって、保護ガラス１２で反射される０次反射光３２に影響されることなく、正確かつ短時間に固体撮像素子１部内の半導体チップ１１の傾き測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】レジストパターン、エッチング後のパターンに関わらず、被検査基板上のパターン形状の良否を短時間で判別することができる表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 被検基板に形成されたレジスト層に露光する工程を含む所定のパターン形成工程を経て形成された周期性を有するパターンを直線偏光光により照明する照明手段と、 前記直線偏光の振動面と前記パターンの繰り返し方向とが斜めになるよう前記被検基板の方向を設定する設定手段と、前記パターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な振動面を有する偏光成分を抽出する抽出手段と、前記抽出された光に基づいて前記基板表面の像を形成する像形成手段とを有し、前記像形成手段で形成された前記基板表面の像の光強度に基づいて前記パターンの形成工程におけるパターン形成条件を特定することを特徴とする表面検査装置を提供する。 （もっと読む）

（ｉ）第１の偏光および第１の周波数を有する第１のビーム成分と、第１の偏光と異なる第２の偏光および第２の周波数を有する第２のビーム成分を含むビームを、光接続を使用して干渉計ヘッドに向ける工程と、（ｉｉ）第１のビーム成分の偏光を第２の偏光まで回転させる工程と、（ｉｉｉ）第２のビーム成分の偏光を第１の偏光まで回転させる工程と、（ｉｖ）光接続を使用して、回転された偏光を有するビームを干渉計ヘッドから戻す工程と、を含む方法。例えば、この向ける工程は、第１のビーム成分を光接続の第１のファイバに向ける工程と、第２のビーム成分を光接続の第２のファイバに向ける工程とを含んでもよい。第１のビーム成分は、第２のファイバを使用して戻してもよく、第２のビーム成分は、第１のファイバを使用して戻してもよい。
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【課題】正確で再現性があり従って計測可能で予測性のある結果が得られ、人間の視覚では見つけることができない単独微細粒子を検出できる漏出粒子検出システムを提供する。
【解決手段】面１７上の清浄部分によって反射された平行光の量及びその面１７上にある粒子によって反射された平行光の量を計測することによって、略平滑面１７上の漏出粒子を検出する方法及び装置であり、この方法及び装置においてはＤＶＤ用やＣＤ用のそれと同様の光ピックアップ１０を使用できる。これにより窪み欠陥も検出できる。 （もっと読む）

【課題】 検査対象からの反射光もしくは回折光が検査対象のパターン密度に応じて変化する光学条件においても検出視野内でのイメージセンサの感度を均一にする。
【解決手段】 検査対象からの反射光もしくは回折光成分の分布を変更可能な複数の光学条件を任意に選択可能で、かつ、一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサを有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくはイメージセンサを走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、光学条件（照明光学系、検出光学系、走査方向等）毎に検査対象試料を撮像して取得したイメージセンサ検出視野内での光量分布とコントラストから、イメージセンサ出力補正データを生成し、イメージセンサ出力の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 配線部分と樹脂フィルム部分のコントラストが大きくなるようにし、反射照明により配線パターンを容易に検出できるようにすること。
【解決手段】 配線パターンが形成されたＴＡＢテープ５は、送り出しリール１１から巻きだされ検査部１に送られる。検査部１で、反射照明手段１ａで照明し、撮像手段１ｂでＴＡＢテープ５上の検査パターンを撮像する。撮像された検査パターンの画像は制御部４に送られ、基準パターンと比較されパターンの良否が判定される。反射照明手段の１ａの光源は、例えば波長５００ｎｍ以上の光のみを放射する例えば赤外ＬＥＤである。ＴＡＢテープ５を透過する波長５００ｎｍ以上の光のみで照明するので、コントラストの良い画像を得ることができる。またステージ１ｃの赤外線反射率を１０％以下としたり、ステージ１ｃを設けないことで、さらにコントラストのよい画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントシステムのアライメントビームの角度を算出、表面−裏面アライメント（FTBA）エラーの検証方法を改善する。
【解決手段】リソグラフィ装置のアライメントシステムのアライメントビームの角度の算出は、２つのアライメントマークの位置を計測し該２つのアライメントマークを計測基板上に形成するか、リソグラフィ装置の基板テーブルに配置する。第二マークを透明板でカバーし２つのマークの位置をアライメントシステムにて計測する。透明板でのアライメントビームの屈折で、アライメントシステムに戻るアライメントビームはシフトする。アライメントビームのシフトにより第二マークがずれて計測される。２つのマーク間距離が既知であるから、該シフトは算出できる。該シフトはアライメントビームの角度の算出に使用され、この角度でFTBAエラーの検証方法を改善する。 （もっと読む）

【課題】 丸棒体の径を簡易に、しかも精度良く検出することのできる簡易な構成の光学センサ装置を提供する。
【解決手段】 点光源と、この点光源に対向して配置されるリニアイメージセンサとの対により構成される光学系を２組準備し、これらの２組の各光学系をその光軸が互いに直交するように交差させて配置する。そして上記光学系内におかれた丸棒体の各リニアイメージセンサにて検出される影の中心位置から上記丸棒体の位置座標を求め、この位置座標に従って前記光学系での計測倍率を求め、この計測倍率に従って前記リニアイメージセンサの出力から検出される丸棒体の影幅２ａから丸棒体の径を高精度に求める。 （もっと読む）

【課題】検査精度及び検査効率の飛躍的な向上を図ることのできる外観検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、照明装置２２、各カメラ２３Ｅ，２３Ｈ，２３Ｓ及び画像処理装置２４等を備えている。シート異物・錠剤異物に関する検査、錠剤表面剥離に関する検査、及び、シール不良に関する検査がほぼ同一のポジションで行われ、１台の照明装置２２で照射態様が切り換えられる。また、所定の検査に際しては、他の１つの検査において認識した錠剤の位置情報及びポケット部の位置情報のうち少なくとも一方が利用可能とされる。所定の検査に際し、錠剤、ポケット部位置の検出ができなかったとしても、他の検査における正確な情報を利用できるため、正確な位置情報に基づいた正確な検査を実行でき、また手動入力といった煩わしさも払拭できる。 （もっと読む）

【課題】 変位測定のための干渉計システム及びこれを利用した露光装置を提供する。
【解決手段】 この干渉計は光線を発生させる光源、光線を基準光線と測定光線とに分ける光分配器、基準光線の進行方向を変更するための基準ミラー、測定光線の進行方向を変更するための変位変換器及び方向変更された基準光線と測定光線を測定するための検出器を具備する。変位変換器は測定光線の進行方向に垂直の変位を測定光線の経路差に変換させるために透過型格子または反射型格子を利用する。 （もっと読む）