【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】安定した３次元認識画像を形成して正しい部品認識結果を得ることができる画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置を提供する。
【解決手段】計測対象面への入射方向を挟んで対称に配置され受光面の計測対象面に対する傾斜角度が各対毎に相異なる２対の位置検出素子群２５Ａ，２５Ｂを有し、走査光の計測対象面からの反射光の受光位置を検出する位置検出部２５と、各位置検出素子が受光する光量が所定の範囲内にあるか否かを判定する受光量判定部３４と、同一の位置検出素子群に属する位置検出素子による反射光の受光位置検出結果の差異の大きさが所定の基準値以下であるか否かを判定する受光位置検出結果判定部３５とを備え、位置検出部２５の受光位置検出結果に基づき受光量判定部３４および受光位置検出結果判定部３５の判定結果を加味して計測対象面の３次元認識画像を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】距離検出器の設定位置に変位があっても、短時間で、測定誤差の補正が可能な厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基準厚さを有する第１の厚さ部と第２の厚さ部を備える校正板３と、検出部１を移動させる移動機構部２と、検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部４と、を備え、位置設定部は、「校正」指令を移動機構部に送り、検出部を「測定位置」から「校正位置」に移動させ、予め設定された第１の厚さ部と第２の厚さ部との校正位置信号を厚さ演算部５に送り、厚さ演算部は、第１の厚さ部及び第２の厚さ部の厚さを求め、夫々の基準厚さとの差を求めて、「測定位置」で求めた厚さを補正し、厚さ校正板を固定し、検出部を移動させて、予め設定された第１及び第２の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動装置を用いることなく、小型であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる変位センサを提供する。
【解決手段】光源部を有する投光部と、光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第１受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、投光部は、光源部と、第１レンズと、第１ハーフミラーとを具備し、照射部は、第１ハーフミラーと、第２レンズとを具備し、第１受光部は、第１ハーフミラーと、少なくとも４つの穴を有し、この４つの穴はそれぞれｘｙ軸上に配置されているスリット板と、第３レンズと、第１受光素子とを具備し、照射部及び第１受光部は、照射部の光軸と第１受光部の光軸とが一致するように配置され、投光部は、該投光部の光軸が照射部及び前記第１受光部の光軸と垂直に交わるように第１ハーフミラーを介して配置する。 （もっと読む）

【課題】 従来の２次元画像と距離画像を併用した場合の位置姿勢計測手法に比べて、複雑背景下であっても高速かつロバストに位置姿勢を計測すること。
【解決手段】 ２次元画像対応探索部１４０は、撮像画像中における仮想物体の幾何特徴と、撮像画像中に映っている現実物体において該幾何特徴に対応する特徴部分と、の対応付けを行う。対応探索領域設定部１５０は、仮想物体を構成するそれぞれの図形を距離画像上に投影し、該投影された図形の領域から、特徴部分に対応する距離画像内の部分の周辺を省いた残りの領域を、対応探索領域として設定する。位置姿勢算出部１７０は対応探索領域内の画素の奥行き値が示す位置と該画素に対応する仮想物体上の位置との３次元空間における距離、幾何特徴と特徴部分との３次元空間における距離、を表す評価関数を最小化するように位置姿勢情報を繰り返し更新する。 （もっと読む）

【課題】可撓性シートに対する印刷型の配置が種々である印版を使用して印刷を行う際に、初期段階であっても段ボールシートに印刷される位置を正確に検出することができる、印刷位置検出方法を提供する。
【解決手段】可撓性シート２１上の印刷型２２の基準点Ｑ３から予め定める所定距離の第一基準点Ｑ１に、印刷型２２より高さの低い被検出体３０を取り付け、版胴１１の回転に伴う被検出体３０の通過を第一センサ３１によって検出し、挟持点Ｑ０に向かい搬送される段ボールシート１上に第二基準点Ｑ２を設定し、第二基準点Ｑ２の通過を第二センサ３２によって検出し、第一センサ３１による第一基準点Ｑ１の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ１、第二センサ３２による第二基準点Ｑ２の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ２、及び、印刷型の基準点Ｑ３と第一基準点Ｑ１との距離に基づき、段ボールシート１において印刷型の基準点に対応する点Ｑ３’を検出する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を回折格子が設けられた領域で反射させて、被測定面の変位を検出する変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１は、光源２と、対物レンズ３と、分離光学系４と、コリメータレンズ７と、非点収差発生部８と、受光部９と、位置情報生成部１０と、絞り部材１１とを備えている。そして、対物レンズ３から出射され、被測定面に向けて集光される光の光軸に対する角度をθ、光源２の波長をλ、被測定面１０１に形成された回折格子のピッチをｄ、回折格子による回折光の次数をｎとした場合に、遮蔽部１１は、


を満たす反射光を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体の端面の平行度を測定する際、ハニカム構造体のセル構造をなす隔壁に欠陥が生じることを十分に防止できる外形検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る外形検査装置は、セル構造を有するハニカム構造体を検査対象とするものである。外形検査装置は、ハニカム構造体の端面に向けてレーザー光を照射する光源、及び、端面で反射したレーザー光を受光するとともにレーザー光の強度に応じた電気信号を出力する受光部を有する変位センサを備え、ハニカム構造体の端面の平行度を、ハニカム構造体に非接触で測定する。 （もっと読む）

【課題】液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。
【解決手段】露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液体１とを介して基板Ｐを露光する露光方法において、液体１に接する接液部を光学的に観察し、得られる第１画像データを記憶する第１工程と、接液部の液体１との接触後、例えば液浸露光後に接液部を光学的に観察して第２画像データを得る第２工程と、第１画像データと第２画像データとを比較して、その観察対象部の異常の有無を判定する第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で、精度よく他車両の位置を測定することが可能な周辺監視装置を提供する。
【解決手段】他車両２２が光を照射することにより路面上に形成された光投影パターンを検出することによって他車両２２の位置を測定する周辺監視装置であって、自車両２１進行方向の路面上の所定領域を検出領域Ｒとして、該検出領域Ｒに、他車２２両が路面上の所定の領域に形成した前記光投影パターンを検出する検出手段と、前記検出手段で検出された、自車両２１から見た前記光投影パターンに基づいて、自車両２１の進行方向に対する他車両２２の進行方向の角度を測定する測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶光学素子の光軸を対物レンズの光軸に位置合わせできる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子（１０３、１０）は、対物レンズ（１０４）よりも光源（１０１）側に配置され、液晶分子が含まれる液晶層と、その液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第１の透明電極とを有し、その液晶層を透過する光源から発した所定の波長を持つ直線偏光の位相または偏光面を、二つの第１の透明電極の間にその所定の波長に応じた電圧を印加することにより制御する液晶光学素子（３、１２、１３）と、液晶光学素子（３、１２、１３）の光軸を対物レンズ（１０４）の光軸と位置合わせ可能なように液晶光学素子（３、１２、１３）を対物レンズ（１０４）に対して相対的に移動可能な光軸調整機構（４、１４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー放射源を使用する指向エネルギーシステムにおいて、それぞれのエネルギー放射源から出力されるエネルギー束を目標に当てるための好適な制御を提供する。
【解決手段】指向エネルギーシステム（１）は、複数のレーザ光源（１０）と、複数の指向装置（２０）と、目標情報取得装置（３０）と、制御装置（４０）とを備える。複数の指向装置（２０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）の照射方向を変える。目標情報取得装置（３０）は、目標（１００）の方向を特定するための情報を含む目標情報（ＴＡＲ）を取得する。制御装置（４０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）が目標（１００）に照射されるように、目標情報（ＴＡＲ）に基づいて複数の指向装置（２０）を制御する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物における孔の三次元座標を正確に計測することが可能である三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ測定機ＬによってワークＷにおける孔Ｗｈの三次元座標を得るのに用いられるリフレクタＲを保持する三次元計測治具１であって、立形ＮＣフライス盤１０のスピンドル軸１２に取り外し可能に装着される連結部２と、立形ＮＣフライス盤１０の動作によりワークＷの孔ＷｈにリフレクタＲを相対的に接近させ、且つ、該ワークＷにおける孔Ｗｈの縁にリフレクタＲが接触した時点でリフレクタＲを孔Ｗｈに押し付け可能なターゲット保持機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】エネルギ照射装置と２次元撮像装置を用いることで、種々の条件下で頑健に動作する対象物認識システムおよび見守りシステム、監視システムを提供する。
【解決手段】観測対象となる空間に向けて、所定の位置から照射方向を変えながら、エネルギを照射する照射手段と、照射手段で照射されたエネルギの反射エネルギを２次元的に感知し、対象となる空間を２次元的に撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像上の切断曲線の特徴を用いて対象物の認識を行う認識手段とを備える対象物認識システムおよび該システムを備える見守りシステム、監視システム。 （もっと読む）

【課題】 基準面に載った流動体が占める面積を測定する技術を提供する。
【解決手段】 流動体(20)が広がった所定の基準面(10)および前記流動体(20)の境目に対してポイント照射光を照射する照射ポインタ(70)と、 その照射ポインタ(70)によって照射される前記基準面(10)および前記流動体(20)の境目を連続撮影する連続撮影用カメラ(48)と、 その連続撮影用カメラ(48)の撮影領域に入るように固定された面積算出の基準となる面積基準体(80)と、 前記の連続撮影用カメラ(48)にて連続撮影された画像データにおける前記の面積基準体(80)および前記のポイント照射光がなぞった軌跡にて囲われた流動体(20)の面積を算出する面積算出手段と、を備える。 前記の照射ポインタ(70)が照射するポイント照射光は、前記の流動体(20)および前記の基準面(10)と明確に区別可能な色彩とする。 （もっと読む）

【課題】均一な光量分布の回折パターンが得られる回折光学素子を提供する。
【解決手段】複数の基本ユニットが２次元的に配列されており、入射する光に対して２次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光を平面上に投影させることにより、前記平面上の所定の範囲内に複数の光スポットを発生させるものであり、前記所定の範囲を４角形とした場合、前記所定の範囲を略同一形状となるＮ_ｘ×Ｎ_ｙ個以上の領域に均等に分割し、前記分割された領域のうち、前記所定の範囲の中心領域における領域の前記光スポットの数をＭ_ｃとし、前記所定の範囲の４隅における領域の前記光スポットの数の平均をＭ_ｏとし、前記所定の範囲に照射される最大の回折角度をθｄとした場合に、Ｎ_ｘ及びＮ_ｙはともに３以上の奇数であって、１５°≦θｄ、Ｍ_ｏ／Ｍ_ｃ＞−０．０２１７３×θｄ＋１．３１４であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】金属粗面上におけるエッジの検出が可能であるエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】フォーカス検出部１５０を備え、被測定物６を照射光ビームがスキャンしながら、かつ被測定物と投光系１１０との間の距離を変化させることで、被測定物にて反射した反射光を分割光検出器にて、複数回、検出を行う。得られた複数の反射光信号の振幅に着目し、振幅が最大となる場合の投光系の照射方向位置を求めることで、被測定物に対する投光系の合焦位置を検出する。このような合焦状態において、被測定物を光ビームでスキャンすることで、エッジ検出部１６０は、被測定物のエッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラＣＡＭ１は鏡筒ＫＴ１の一端と接続され、鏡筒ＫＴ１の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ１Ｃの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒ＫＴ１とチップ１Ｃとの間には、面発光照明ＳＳＬ１、拡散板ＫＢ１およびハーフミラーＴＫ１を内部に備え、カメラＣＡＭ１と同じ光軸でチップ１Ｃの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒ＫＴ２を配置する。 （もっと読む）

【課題】パターンを形成したウェハの検査において、表面の内部もしくは表面上の異常の有無を判定できる表面検査法を提供する。
【解決手段】サンプル表面２０ａからの散乱光は表面２０ａに対して垂直な線に対して略対称の光を集束する集束器３８，５２によって集束される。集束光は、異なる方位角で経路へと導かれ、集束した散乱光の線に対する相対的方位角位置に関する情報が保存される。集束光は、垂直な線に対して異なる方位角で散乱した光線を表すそれぞれの信号に変換される。異常の有無および／または特徴は、この信号から判定される。あるいは、集束器３８，５２によって集束された光線は、予測されるパターン散乱の角度差に対応する角度の環状ギャップを有する空間フィルタによって濾波され、狭角および広角集束経路から得た信号は比較され、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。 （もっと読む）