【課題】基板の膜種、表面状態等に影響されることなく、基板の保持状態を正確に検出することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置において、基板が載置される載置台３２と、載置台３２に載置されている基板の周縁部を保持する保持部４４と、保持部４４に光を照射する光源９８と、保持部４４からの光の光量を検出することによって、保持部に保持されている基板の保持状態を検出する検出部９９とを有する。 （もっと読む）

【課題】正確に測定位置を制御でき、かつセンサの取り付け位置調整機構や位置調整作業を必要とせずに測定位置の制御精度を保つことができるレーザー高さ測定装置を提供する。
【解決手段】レーザー光Ｌ１を照射するレーザー光照射部６１および対象物で反射されたレーザー光を検出する反射光検出部６２を有するレーザー高さセンサ６と、レーザー高さセンサ６を平面内で移動させるセンサ移動機構（ヘッド駆動機構４１〜４３）と、所定の較正位置（光入射軸ＡＯ上）に配置された画像カメラ（部品カメラ５）と、レーザー光Ｌ１を減衰しつつ透過する減光フィルタ７１と、レーザー高さセンサ６を較正位置ＡＯに位置決めしてレーザー光Ｌ１を照射し、減光フィルタ７１を透過したレーザー光を画像カメラ５で撮像してレーザー光画像を得るレーザー光撮像手段と、座標位置の補正値をレーザー光画像上でのレーザー光の位置に基づいて求める補正値取得手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 原点出し用治具の設置再現性の問題を解決すると共に、原点出しを簡易にする。
【解決手段】 被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の６軸を同時に検出できる６軸測定装置を用いて、６軸基準位置を設定するための原点出し用治具１であり、治具本体１ａの面に、煽りの原点出しのための鏡面加工された第１の加工部２、高さの原点出しのための凹状の第２の加工部３並びに平面位置及び平面回転位置の原点出しのための穴状の第３の加工部４，５を設け、治具本体１ａにはこの治具本体原点位置を位置決めするための穴からなる位置決め部６，７を設けてある。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている断面形状出力範囲の複数の測定点における変位を測定し、測定された変位から測定対象物の形状データを算出する際に、複数の測定点に対応する複数の変位情報を大きさで順番付けした場合に、最も大きい側から予め定められた第１割合に含まれる変位と、最も小さい側から予め定められた第２割合に含まれる変位と、を除いた中間変位情報を選出し、この中間変位情報を圧縮係数を用いて圧縮処理した圧縮変位情報を加算して測定対象物の断面積を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている範囲を含む変位測定範囲の変位を測定し、測定された変位に平準化処理を実行して第１処理情報を生成し、第１処理情報から断面積測定範囲を決定する。変位測定装置は、断面積測定範囲における前記変位情報から測定対象物の断面積を検出する。第１処理情報から断面積測定範囲を決定することで、配線パターン等などによって生じるノイズを除去することができ、断面積測定範囲を正確に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】より正確に体積変化を測定することが可能な体積測定装置を提供すること。
【解決手段】熱硬化性樹脂の熱硬化における体積を測定する体積測定装置であって、熱硬化性樹脂の加熱を行う加熱用台座部と、加熱用台座部の上面にくぼみ状に形成され、少なくともくぼみ状の内面は界面張力エネルギーが１５ｍＮ／ｍより大きく３０ｍＮ／ｍより小さい素材で形成された、熱硬化性樹脂が載置される載置部１３と、加熱用台座部を加熱するヒーター１６と、加熱用台座部の温度を測定する熱電対１７と、熱電対によって測定された温度に基づいてヒーターを温度制御する温調器１９と、各温度における、載置部１３に載置された熱硬化性樹脂の体積を測定するレーザー変位計２０とを備え、加熱用台座部は、加熱ステージ１０と、加熱ステージの上面に配置されたフッ化炭素樹脂板１１とを有し、フッ化炭素樹脂板に載置部１３が形成されている、体積測定装置である。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動量と、移動体の移動方向と直交する方向におけるずれ量との測定にかかる測定時間を短くすることができるとともに、測定にかかるコストを低減できる追尾式レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】追尾式レーザ干渉計１は、レトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２２を用いて移動体Ｍまでの距離を測定する測長部２１と、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２とを有する本体２と、検出器２２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備え、制御手段３は、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させることを停止させた状態で、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１の検出器２２２における受光位置Ｑ２に基づいて、移動体Ｍの移動方向に対して直交する方向における移動体Ｍのずれ量を測定するずれ量測定部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位情報を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、ガラス板及び測定対象物に対して垂直方向に光を出射し、当該光と同軸方向に反射される反射光を複屈折性のクリスタル及び偏光板を用いて受光し、反射光に含まれる各反射光成分に応じた反射面の変位の複数個を、各反射光成分の反射強度に関連付けて検出する。変位測定装置では、検出される変位のうち、最も高い反射強度の得られた変位Ｚ１と、変位Ｚ１の次に高い反射強度の得られた変位Ｚ２と、の差である差分変位をガラス板の同軸方向の厚さに設定された基準変位ＺＫと比較し、差分変位が基準変位ＺＫよりも小さい場合、変位Ｚ１を測定対象物までの変位Ｚと判断し、差分変位が基準変位ＺＫ以上である場合、変位Ｚ１と変位Ｚ２のうちの短いものを測定対象物までの変位Ｚと判断する。 （もっと読む）

【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。
【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高速、且つ高精度に測定対象の形状認識情報を得ることができる移動環境認識装置を提供する。
【解決手段】測定対象７に対して円錐走査を行う円錐走査手段１を備えている。円錐走査手段は、移動環境検出器３と、この移動環境検出器で計測した情報を加工する外界認識装置９を備えている。この外界認識装置は、円錐走査手段の測定データに基づいて前記測定対象の傾斜角、傾斜方向及び測定対象中心までの距離を算出する移動環境検出手段と、この移動環境検出手段が算出した前記測定対象の算出データに基づき、各測定対象の面形状を判断する面形状判断手段と、この面形状判断手段が水平面と判断した所定の測定対象の形状を認識する形状認識手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】どのような路線に対しても低コストで導入でき、また装置の保守や点検に手間をかけることなく、列車停止位置を正確に検出する。
【解決手段】本発明の列車停止位置Ｐの検出方法は、停止動作中の列車Ｔの前面に対してスポット状の測定光２を左右方向に沿ってライン状に走査しつつ照射する距離センサ３を用いて、距離センサ３から列車Ｔの前面までの距離を測定し、測定された距離に基づいて、列車Ｔの停止状態及び停止位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】被解析試料の巨視的な動きを伴った場合であっても材料や構造物などの被解析試料の微視的な領域の力学挙動を簡便に解析可能な新規な力学挙動解析システム、及び力学挙動解析方法を提供する。
【解決手段】力学挙動解析システムは、被解析試料の解析表面を少なくとも被覆し、変形自在であって、かつ、被解析試料側の少なくとも表層に所定の周期構造が形成されている表面ラベルグレーティング膜及び被解析試料からなるサンプル６０と、スポット光であるプローブ光を入射する照射手段２０と、表面ラベルグレーティング膜からの回折光を検出する受光手段３０と、被解析試料と受光手段との距離を検出する距離検出手段７０と、回折角のデータを保持する記憶手段１４と、記憶手段１４に保持された複数の前記回折角のデータから、回折格子の周期構造変化を算出し、当該周期構造変化から被解析試料の力学挙動を解析する解析手段１３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のレーザセンサを組み合わせて使用し、複雑な計測を行うことなく、アンテナの放射部が基準位置に入っているか否かを判定させることで、簡易な構成によるアンテナ位置判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 固定治具にアンテナが固定された後、第１透過型レーザセンサ部及び第２透過型レーザセンサ部並びに複数の反射型レーザセンサ部を制御してレーザ光を発光させ、第１透過型レーザセンサ部及び第２透過型レーザセンサ部が遮光を検知し、複数の反射型レーザセンサ部が導出した距離が適正距離であるときに、放射部が基準位置に配置されていると判定し、第１透過型レーザセンサ部又は第２透過型レーザセンサ部の少なくとも一方が透過を検知したとき、又は、複数の反射型レーザセンサ部が導出した距離が適正距離でないときに、放射部が基準位置に配置されていないと判定するアンテナ位置判定装置。 （もっと読む）

【課題】溶接部の溶け込み深さを直接測定することで、溶接部の品質の評価を高精度に行うレーザ溶接装置及びレーザ溶接方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、レーザ光で溶接部を溶接するレーザ溶接装置であって、前記レーザ光を照射するレーザ出力手段と、前記レーザ光と波長の異なる光である物体光を前記溶接部に照射すると共に前記溶接部で反射した前記物体光から前記溶接部の溶け込み深さを測定する光干渉計と、前記レーザ出力手段からの前記レーザ光と前記光干渉計からの前記物体光とを同軸にして前記溶接部に照射する光学部材と、測定した前記溶接部の溶け込み深さに基づいて前記溶接部の良否を評価する評価手段と、を備え、前記溶接部における前記物体光のスポット径が前記レーザ光のスポット径よりも大きいことを特徴とするレーザ溶接装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。 （もっと読む）