【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ７が、測定対象１２に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部１からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象１２の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部１及び光位置センサ７間の距離を距離センサ６が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ６が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部１１に表示する構成である。 （もっと読む）

【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の変位に追従して外周面が変位させられる追従部材の変位量を、回転体の偏心の影響を受けずに計測すること。
【解決手段】計測装置２００は、搬送路３２に沿って搬送される記録媒体Ｐに外周面を接触させ、記録媒体Ｐの変位に追従して当該外周面が変位させられる追従部材２１０と、当該外周面の変位量を光学的に計測する変位量計測手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】サブミリ波ビームの電磁気的強度分布を、光学系構成要素のセットアップに伴う誤差による影響を受けずに、且つ非接触で測定するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】サブミリ波ビーム受信部に３以上のコリメート光反射体を配置し、コリメータから送信され当該反射体により反射されたコリメート光の受光位置に基づいて、送信系と受信光学系との間のミスアラインメントを決定する。受信光学系にて受信されたサブミリ波ビームの電磁気的強度分布を、ミスアラインメントを用いて補正することにより、ミスアラインメントの影響が排された強度分布を決定する。 （もっと読む）

【課題】置の大型化を招くことなく移動ステージの位置検出を可能とする測定装置を提供する。
【解決手段】第１軸方向に沿って可動体に第１ビームを出射し、可動体で反射した第１ビームが第１光路で進む前記第１光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第２ビームを出射し、可動体で反射した第２ビームが第２光路で進む第２光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第３ビームを出射し、可動体で反射した第３ビームが第３光路で進む第３光学部材と、第１光路を進んだ第１ビーム、及び第２光路を進んだ第２ビームが互いに干渉する干渉計と、干渉計での干渉に基づいて、第３軸方向における可動体の位置情報を得る算出装置とを備え、第１軸方向に沿って可動体に向かう第３ビームの進路は、第３軸方向について、第１光路の進路と第２光路の進路との間に位置する。 （もっと読む）

【課題】パターン投影と簡便な画像処理で多重反射光領域の検出を行うことにより、多重反射によるノイズの影響を低減することを目的とする。
【解決手段】投影部によりエピポーララインと略平行な方向のラインパターンが投影された撮像対象物を撮像する撮像部と、撮像された画像からラインの方向を算出するライン方向算出部と、ラインの方向と、投影部と撮像部との相対的な位置関係を示す幾何配置に基づいて決定されるエピポーラライン方向との角度差に基づいて多重反射光領域を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行う。
【解決手段】ラインセンサ２５を構成するラインピクセル上の合焦時の光点像（レーザスポットＳ_１）では、レーザ光の光量が絞られる調整制御が行われ、合焦ピクセルから離れた位置となる非合焦時の光点像（レーザスポットＳ_２）では、レーザ光の光量が増加される調整制御が行われるように、あらかじめ定められたテーブルデータに従ったフィードフォワード制御が行われることで、確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行うことができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな構成で作業台の回転制御の精度の向上を図ることができる回転制御装置及び回転制御方法を提供する。
【解決手段】 回転体の回転に連動して回転するロータリーエンコーダの読取信号を処理して回転ムラ信号と回転ブレ量信号とを生成し、回転駆動部において回転ムラ信号に応じて回転体の回転速度サーボ制御をなすステップと、処理部において回転ブレ量信号に応じてワークに対する位置サーボ制御をなす。 （もっと読む）

【課題】光学的フーリエ変換を採用し、CMP用研磨パッドの複雑な表面形状を実時間でそのまま定量的に評価可能にする。
【解決手段】評価すべき三次元の微小凹凸面の上に溶液を介して溶液層定常化基板を載置する。レーザ照射部は、溶液層定常化基板を通して単一波長光のレーザ光を微小凹凸面に照射する。微小凹凸面から散乱及び回折した光を光学的にフーリエ変換したフーリエ変換像をフーリエ変換像取得部で取得する。このフーリエ変換像を、信号変換器により光強度分布として電気信号に光電変換する。この取得した光強度分布の波形を、基本波数及び少なくとも一つの高調波数に分解したそれぞれの波長とその振幅をスペクトル情報として抽出して、三次元の微小凹凸面の形状を評価する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】棒状ワークの曲がり角度を簡単に計測することができるのに加えて、棒状ワークの計測部位毎の曲がり角度を記録に残すことが可能になる三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】筒体や柱体等の棒状ワークの曲がり角度を計測するのに用いられる三次元計測治具であって、互いに合体してパイプＷの外周に嵌合装着される一対の半円形治具構成体２，２を備え、一対の半円形治具構成体２，２には、レーザ光Ｌｒの送受信を行うことで中心Ｒｐの三次元座標が求められる球状のリフレクタＲをスライド可能に保持する外向き溝２ｂが形成され、リフレクタＲを保持する外向き溝２ｂは、パイプＷの治具構成体２，２が装着される部位における断面を算出するのに必要な複数の位置を結んでパイプＷの外周に沿ってそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】穿孔機械の測定値を表示するための補助装置において安全かつ快適な作業が実現される補助装置を得る。
【解決手段】穿孔機械と連結可能な補助装置において、穿孔機械の作業平面に対する傾き、および／または、穿孔機械の作業平面までの距離を含む測定データを求めるための測定装置と、求められた前記測定データに応じて作業平面上にシンボルを投影するプロジェクタと、を設ける。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）

【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）

【課題】穿孔機械の測定値を表示するための補助装置において安全かつ快適な作業が実現される補助装置を得る。
【解決手段】穿孔機械と連結可能な補助装置において、穿孔機械の作業平面に対する傾き、および／または、穿孔機械の作業平面までの距離を含む測定データを求めるための測定装置と、求められた前記測定データに応じて作業平面上にシンボルを投影するプロジェクタと、を設ける。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】ファウルポール近傍のファウル領域に飛翔した打球を確実に検出して表示する。
【解決手段】野球場のファウルラインがフェンス２４と接する地点に設置されたファウルポール７に隣接したファウル領域に設けた複数の光ビームを投受光するビームセンサ２で打球がファウルポール７の近傍のファウル領域に飛んだことを検出して確認表示装置４に打球がファウルであることを表示させて、ファウルポール７の近傍に飛んだ打球がフェアであるかファウルであるかを正確にかつ容易に確認する。 （もっと読む）

【課題】シート材に形成されたレンチキュラレンズの傾き方向と角度とを検出する。
【課題を解決するための手段】多数のレンズ１４が表面に形成されたウエブ１１に対して、その垂直方向から幅広にしたスポット光ＳＰを照射する。ウエブ１１から下方に離れ、またスポット光ＳＰの光軸ＳＰＬから搬送幅方向に離してラインセンサ２２を配置してある。このラインセンサ２２により、搬送幅方向に対する屈折光ＴＰのずれを直線方向のずれとして検出する。この検出結果に基づいて、スポット光ＳＰの光軸回りに回転した屈折光ＴＰの傾き方向，角度θを判定部２３によって特定し、その特定した傾き方向，角度θをレンズの傾き方向，角度θとする。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置を高精度に制御しつつ、物体上の複数のマークの検出時間を短縮する。
【解決手段】 露光装置は、ウエハＷを保持してＸＹ平面内で移動するとともに、上面にＹ軸方向を周期方向とする格子を有する一対のＹスケール３９Ｙ_１、３９Ｙ_２が設けられたウエハステージＷＳＴと、Ｘ軸方向に関して検出領域の位置が異なる複数のアライメント系ＡＬ１、ＡＬ２_１〜ＡＬ２_４と、Ｘ軸方向に関して前記複数の検出領域の両外側に１つずつ配置される一対のＹヘッド６４ｙ_１、６４ｙ_２を含む複数のＹヘッド６４を有し、一対のＹスケールの少なくとも一方と対向するＹヘッドによって、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するＹエンコーダと、を備えている。このため、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動の際に、ウエハ上の複数のマークを複数のアライメント系で同時に計測可能になる。 （もっと読む）

【課題】変位計と測定対象物との間の相対移動に起因する誤差を適切に補正すること。
【解決手段】測定対象物の一次元形状を測定する変位計と測定対象物との間の相対位置をずらしながら測定対象物の平面度を測定する平面度測定装置は、第１方向の第１測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第１測定と、第１測定ラインと第１交差点Ｐ２で交差する第２方向の第２測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第２測定と、第２測定ラインおよび第１測定ラインとそれぞれ第２交差点Ｐ３および第３交差点Ｐ１で交差する第３方向の第３測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第３測定と、第１測定による第１の一次元形状を示す第１の測定値列ＤＬ１、第２測定による第２の一次元形状を示す第２の測定値列ＤＬ２、および第３測定による第３の一次元形状を示す第３の測定値列ＤＬ３を第１交差点Ｐ２乃至第３交差点Ｐ１においてそれぞれ一致させるように第１の測定値列ＤＬ１乃至第３の測定値列ＤＬ３を補正する補正処理と、を行う。 （もっと読む）