【課題】基板の表面の高さを求める。
【解決手段】外観検査装置は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体１２を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体１２を検査する。外観検査装置は、被検査体１２にパターンを投射する投射ユニットと、パターンが投射された被検査体１２のパターン画像に基づいて被検査体１２の表面の高さ分布を求める高さ測定部と、を備える。高さ測定部は、高さ分布における高さ値の出現頻度に基づいて基板表面の高さを特定する。 （もっと読む）

【課題】低価格な距離画像センサ及び距離画像生成装置並びに距離画像データ取得方法及び距離画像生成方法を提供する。
【解決手段】距離画像センサ１００は、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸からなる座標空間において、入射された平行光が複数の分割光に分割され、ｚ軸に交差する所定の投光平面上に、複数の分割光が形成する複数の投光スポットによって画定される複数の線分とｘ軸とが成す複数の角度が所定の角度となるように、入射される平行光の進行方向を変更する回折格子が形成された回折光学素子１３１及び１３２を備える。さらに、距離画像センサ１００は、複数の分割光によって対象物上に形成される複数の投光スポットで画定される複数の線分のｘ軸に対する傾きに基づいて、複数の投光スポットとの複数の距離を測定する（決定する）距離測定部（距離決定部）１１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測対象の信号に発生するノイズを低減し、当該計測対象の三次元形状の計測精度を向上する。
【解決手段】空間を２分割する複数のパターン２１７〜２２０を順次計測対象に投射し、そのときの計測対象の画像データを得る。次に、アダマール行例に基づいて符号化された複数のパターン２２０〜２２３を順次計測対象に投射し、そのときの計測対象の画像データを得る。次に、アダマール行列の逆行列を用いて、アダマール行例に基づいて符号化されたパターン２２０〜２２３を投射して得られた画像データを、複数のスリット光からなるパターンのスリット位置をシフトさせた複数のパターンを投射して得られる画像データに変換する。次に、当該変換した画像データと、空間を２分割するパターン２１７〜２２０を投射して得られた画像データとに基づいて、三角測量の原理で計測対象の三次元形状を得る。 （もっと読む）

【課題】 安定的に検査領域を特定することが可能な画像処理装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 濃淡画像を取得する濃淡画像取得手段１１０と、距離画像を生成する距離画像生成手段１３０と、濃淡画像と距離画像の一方の画像において、他方の画像上で検査範囲に相当する検査領域を特定するための特定パターンを検出する特定パターン検出手段１５０と、濃淡画像と距離画像の他方の画像において、特定パターン検出手段により検出された特定パターンの位置及び傾斜角度の少なくとも一方に基づいて、検査領域を特定する検査領域特定手段１７０と、特定された検査領域から特徴量を算出する特徴量算出手段１８０と、算出された特徴量に基づいて、ワークの良否を判定する判定手段１９０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特に、布片に付されたマークを十分な精度で認識できるマーク読み取り装置、および方法を提供する。
【解決手段】布片Ｔを撮影するカメラ１１と、撮影した布片画像を処理する画像処理装置とを備える。布片画像の明度勾配方向θを演算し、あらかじめ記憶された複数種類のテンプレート画像のうち、布片画像の明度勾配方向θに一番近似する明度勾配方向を有するテンプレート画像に対応する種類を、布片Ｔの種類と判断する。織り目により生じる細かい凹凸や、シワ等に起因するノイズが大量にある布片画像でも、そのノイズに惑わされることなく、精度の良い判断ができる。布マークを十分な精度で認識し、布片の種類や表裏を識別することで、その結果を基に布片のハンドリング方法を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】パターン投影三次元計測装置で境界の信頼度を精度よく算出する。
【解決手段】パターン光を対象物体に投影し、対象物体により反射された反射パターン光から対象物体の三次元形状情報を算出するための三次元計測装置であって、明部と暗部とが交互に配置された縞パターン光の反射パターン光を第１の画像データとして撮像し、当該縞パターン光の明部と暗部とが反転した逆縞パターン光の反射パターン光を第２の画像データとして撮像する撮像部と、第１画像データおよび第２の画像データに基づき、明部と暗部との境界位置を決定する決定部と、第１の画像データの第１の輝度勾配と、第２の画像データの第２の輝度勾配との相関から境界位置の正確性を示す信頼度を算出する信頼度算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一度の計測で、色相の異なる複数の色相データを取得して、高い空間分解機能をもち、迅速な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元形状計測装置は、計測対象物４０に対して、色相が連続的に変化するパターン光を投影する照射装置２０と、計測対象物４０からの反射光を撮像する一対のカラー撮像手段３０と、一対のカラー撮像手段３０から得られた一対の撮像画像の色相データを、動的計画法を用いたマッチングを行い、ステレオ対応付けを行い、三角測量法を用いて三次元形状の情報を算出する演算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの位置を計測する時間の短さの点で有利な位置計測装置の提供。
【解決手段】位置計測装置の制御部は、撮像系のテレセントリシティに関する情報を予め記憶し、基板に形成された複数のアライメントマークのうち少なくとも１つに関して、ステージの位置制御により撮像系に対するフォーカス調整を行って撮像系に撮像を行わせ、撮像によるアライメントマークの信号に基づいてＸ−Ｙ平面に平行な面における位置を求め、フォーカス調整のなされた少なくとも１つのアライメントマークに関して、基板表面の第１の位置を検出系に検出させ、他のアライメントマークに関して、フォーカス調整を行わずに、撮像系に撮像を行わせ、かつ基板表面の第２の位置を検出系に検出させ、撮像によるアライメントマークの信号と第１の位置と第２の位置とテレセントリシティに関する情報とに基づいて、Ｘ−Ｙ平面に平行な面における位置を求める。 （もっと読む）

【課題】１回のパターン投影、及び撮影により計測対象の３次元形状を復元する。
【解決手段】投影装置１は、所定の投影パターン（円形白黒コード群）を計測対象４に投影する。撮像装置２は、投影パターンが投影された計測対象４を撮影する。コード抽出部３−２は、撮影した画像からコードを抽出する。コード識別部３−３は、抽出したコードからコード番号を識別する。ワード生成部３−４は、着目コード番号の４近傍のコード番号を探索してワードを生成する。対応点算出部３−５は、生成されたワードを用いて、撮影画像中のワードと投影パターンのワードとの対応をとり、対応点の座標を得る。３次元位置算出部３−６は、３角測量の原理を用いて、撮影画像中のワードの中心座標と投影パターンの中心座標とから３次元座標位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を適用して基板などを３Ｄ検査する場合に、検査精度を落とすことなく、検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査物の検査領域を検査するために設定した条件に基づいて、該当する検査領域が２次元検査を行う領域か３次元検査を行う領域かを判断する。その判断処理で２次元検査を行う領域と判断した場合に、該当する検査領域を撮影部で２次元検査用に撮影し、その撮影された画像から２次元形状を検査する。また、判断処理で３次元検査を行う領域と判断した場合に、格子縞投射部で格子縞を投射させると共にその格子縞の投射位置をシフトさせながら、該当する検査領域を撮影部で複数回撮影して、その複数回撮影された画像から３次元形状を検査する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、低い装置コストのシステムにより、反射面及び特に、透明対象物に対して信頼性の高い形状測定が可能となり、システムの較正及び形状測定が特に処理しやすくなる選択肢を提案することにある。
【解決手段】本発明は、反射面（１４）で反射されるパターン（１５）を有するパターンキャリア（２）と、反射面（１４）に反射されたパターン（１５）を画素ごとに視認するカメラ（１）とを有するシステムを較正する方法に関する。カメラ（１）とパターン（１５）との位置及び向き、並びにカメラ（１）の画素（８）ごとの視認方向を較正するため、面積の広い２枚の平坦なミラー面（５、６）が平行な構成で用いられ、ミラー面（５、６）が液体によって生成される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に投光する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する照明装置１２０を制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像素子を用いなくても、検出空間全体にわたって対象物体の位置を正確に検出
することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出
機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、ピーク波長が８４０ｎｍから１０００ｎｍの帯
域の赤外光からなる検出光Ｌ２を検出空間１０Ｒに向かって出射する位置検出用光源装置
１１を設け、対象物体により反射した検出光Ｌ３を光検出器３０によって検出する。位置
検出用光源装置１１では、位置検出用光源１２から出射された検出光Ｌ２の光強度分布を
、光強度分布変換用液晶パネル１６０を備えた光強度分布変換用液晶装置１６によって変
換し、出射する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に投影されたターゲットが検出し難い場合に、投影用ターゲット画像を補正して、再度投影できるターゲット投影装置を提供する。
【解決手段】ターゲットＴが表示された投影用ターゲット画像Ｆ１を測定対象２に投影する投影部３、投影部３から投影用ターゲット画像Ｆ１を投影して測定対象２に映されたターゲット映像Ｆ２を撮影して撮影画像Ｆ３を得る撮影部４、撮影部４で撮影された撮影画像Ｆ３からターゲットＴの特徴を検出するターゲット特徴検出部６２、撮影画像Ｆ３におけるターゲットＴの特徴に関する所定の許容条件を記憶する許容条件記憶部５４、撮影画像Ｆ３が所定の許容条件を満たすか否かを判定する許容条件判定部７、許容条件判定部７が所定の許容条件を満たさないと判定した場合には、所定の許容条件を満たすようにターゲットＴの特徴を変更して投影用ターゲット画像Ｆ１を補正する画像処理部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象に投影されたターゲットが検出し難い場合に、投影用ターゲット画像を補正して、再度投影できるターゲット投影装置を提供する。
【解決手段】カラーコードターゲットＣＴが表示された投影用ターゲット画像Ｆ１を測定対象２に投影する投影部３と、投影部３から投影用ターゲット画像Ｆ１を投影して測定対象２に映されたターゲット映像Ｆ２を撮影して第１の撮影画像Ｆ３Ｂを得、照明された測定対象２を撮影して第２の撮影画像Ｆ３Ａを得る撮影部４と、第２の撮影画像Ｆ３Ａに対する補色関係にある補色画像又は第２の撮影画像Ｆ３Ａに対するネガ画像を形成し、形成された補色画像又はネガ画像を投影用ターゲット画像Ｆ１に合成して投影用ターゲット画像Ｆ１を補正する第１の画像処理部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 観察範囲を変化させることが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影ズームレンズ４０とビームスプリッタ５２とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ５２と撮影ズームレンズ７０を介してＣＣＤカメラ８０により撮像する撮像部と、ＣＣＤカメラ８０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部９２とを有し、投影部が、出射瞳位置を固定して投影倍率を変更可能に構成され、撮像部が、入射瞳位置を固定して撮像倍率を変更可能に構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
被写体の三次元計測時に用いる投影パターンをより高い密度で投影できるようにした技術を提供する。
【解決手段】
情報処理装置は、複数の計測線パターンと、当該複数の計測線パターンに対して複数の交点を有するとともに交点間の形状が特徴付けられる基準線パターンとを含むパターンデータを生成し、当該生成されたパターンデータに基づく投影パターン光が投影された被写体を撮像した撮像画像を入力し、当該撮像画像から交点を抽出し、撮像画像における基準線パターン上の交点間に特徴付けられた形状の一次元的又は二次元的な配置を示す情報を同定情報として取得し、当該同定情報に基づいてパターンデータにおける基準線パターンと撮像画像における基準線パターンとを対応付け、当該対応付け結果に基づいてパターンデータにおける計測線パターンと撮像画像における計測線パターンとを対応付ける。 （もっと読む）

【課題】パターン投影法による人の頭部等の３次元計測に用いられるパターン光を、簡易な装置で明るく、高精細に投影する。
【解決手段】フラッシュを光源とする事で簡易な構造とし、投影する直線状のパターンと平行な方向には広く、垂直な方向には狭いスリット状の絞りを設ける事により、投影された像のパターンと垂直な方向のぼけ幅を小さくし、高精細なパターン光を得る。また、ライトパイプを用いる事により明るいパターン光を得、高精度な３次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】極性マークの位置を正確に把握して極性検査をより容易で正確に実行することのできる３次元形状検査方法を提供する。
【解決手段】３次元形状検査のために、測定対象物としてプリント回路基板のベース基板上に形成された所定の検査対象部品を選定し（Ｓ１１０）、検査対象部品に対する検査領域を設定した後（Ｓ１２０）、検査対象部品の高さ情報に基づいた３次元形状を取得し（Ｓ１３０）、検査対象部品の基準点を検出し（Ｓ１４０）、検査対象部品に形成された極性マークの基準点に対する相対的な位置情報を確認した後（Ｓ１５０）、基準点に対する相対的な位置情報と測定された検査対象部品の高さ情報を用いて極性マークの位置を検出し（Ｓ１６０）、極性マークの基準点に対する相対的な位置情報と検出された極性マークの位置とを比較して検査対象部品の良否を判断する（Ｓ１７０）。 （もっと読む）