【課題】 ワークの寸法を測定するための測定設定データを容易に作成することができる測定設定データ作成装置を提供する。
【解決手段】 形状線の位置情報、寸法線の位置情報、並びに、寸法線に関連付けられた設計値及び公差からなる設計値情報を含む設計データを取得する設計データ取得手段と、ワークを含むマスター画像に対し、測定対象箇所及び測定種別を指定するための測定対象箇所指定手段と、指定された測定対象箇所について、マスター画像からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を算出する寸法値算出手段と、算出された寸法値に近い設計値からなる設計値情報を設計データから抽出する設計値情報抽出手段と、指定された測定対象箇所及び測定種別からなる測定対象箇所情報、並びに、測定対象箇所に関連付けた設計値情報を含む測定設定データを生成する測定設定データ生成手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型接着剤が硬化した樹脂部を検査対象とする場合において、樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる電子部品の実装状態検査方法を提供する。
【解決手段】基板３の電極３ａ上に端子４ａを有するチップ型電子部品４を半田粒子入りの熱硬化型接着剤を介して搭載した後、この基板３を加熱することにより半田粒子を溶融させて端子４ａと電極３ａとを接合する半田部１５ａを形成するとともに、熱硬化型接着剤を硬化させて樹脂部１５ｂを形成した状態の実装済基板において、基板３に実装されたチップ型電子部品４を撮像して画像データを取得し、この画像データに基づき基板３上におけるチップ型電子部品４の装着状態を検査するとともに樹脂部１５ｂのチップ型電子部品４の周囲における分布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、輪郭の不一致度合いを容易に識別することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像Ａ２からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワーク画像Ａ２及び予め保持されたマスター画像Ａ１を比較する画像比較手段と、比較結果に基づいて、ワーク画像Ａ２のエッジ位置とこのエッジ位置に対応するマスター画像Ａ１上の位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、複数のワーク画像Ａ２について算出された誤差の統計情報をエッジ位置ごとに算出する統計情報算出手段と、統計情報を、その値に応じた表示態様でワーク画像Ａ２又はマスター画像Ａ１から抽出されたエッジ位置に沿って表示する統計情報表示手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 ワークのエッジ位置に沿って誤差を識別することができるとともに、ワーク画像との対応関係を容易に把握することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワークの輪郭情報及び輪郭位置の公差を含む測定設定データを保持する測定設定データ記憶手段と、ワーク画像及び輪郭情報を位置合わせし、ワーク画像上のエッジ位置とこのエッジ位置に対応する輪郭位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、算出された誤差を公差と比較し、良否判定を行う誤差判定手段と、抽出されたエッジ及び良否判定の結果をワーク画像上に表示する測定結果表示手段により構成される。測定結果表示手段は、誤差が不良と判定されたエッジ位置について、誤差の大きさが極大となるエッジ位置の誤差を数値表示する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの寸法を測定するための測定設定データを容易に作成することができる測定設定データ作成装置を提供する。
【解決手段】 形状線の位置情報、寸法線の位置情報、寸法線に関連付けられた設計値及び公差からなる設計値情報、並びに、寸法種別情報を含む設計データを取得する設計データ取得部２１と、形状線の位置情報、寸法線の位置情報及び寸法種別情報に基づいて、寸法線を形状線によって規定される位置に対応づけることにより、形状線における測定対象箇所及び測定種別を特定する測定対象箇所特定部２３と、形状線の位置情報に基づいて、ワーク画像からワークを検出するための特徴量情報を生成する特徴量情報生成部２４と、特徴量情報、測定対象箇所情報、並びに、測定対象箇所に関連付けた設計値情報からなる測定設定データを生成する測定設定データ生成部２５により構成される。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラのライン周期と比べてＰＷＭ周期が十分に短くなくても、所望の光量を各ライン周期に供給することができ、撮像された画像における明暗差が出るのを防ぐことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】検査対象Ｗに光を照射する光照射機構１と、所定のＰＷＭ周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すＰＷＭ制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するＰＷＭ制御部２と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、１期間分又は数期間分であり、前記ＰＷＭ周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が１ライン周期に撮像する１画素のアスペクト比が大きくなるほど、１ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。 （もっと読む）

【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】歪検出を簡易かつ高精度に行なうことができる。
【解決手段】検査面１ａに対し帯パターンが並行する所定の図形を照明パネル２Ａ，２Ｂによって所定角度で投影するステップと、投影された上記図形の画像をＣＣＤカメラ３Ａ，３Ｂにより検査画像として得るステップと、上記図形を上記所定角度と同一角度で平坦面に投影して得られた基準画像と上記検査画像の差分面積を検出するステップとを備え、差分面積の大きさによって前記検査面の歪の程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】微粉炭等の固体の燃料粒子のみならず、液体の燃料液滴の燃焼場における挙動を把握するための基礎データを得るべく粒子または液滴の形状・径と温度との同時計測システムを提供する。
【解決手段】２本のレーザー光Ｌ１，Ｌ２の交差点に形成される測定領域を通過する火炎Ｂ中の粒子Ｐでレーザー光Ｌ１，Ｌ２が遮光されることにより形成される影に基づく粒子Ｐの形状をシャドウドップラー光学系Ｉを介して撮影するとともに、粒子Ｐの形状を表す画像信号を送出する高速度カメラ５と、カセグレン光学系IIを介して得られる測定領域中の粒子Ｐによる特定波長の２種類の光強度Ｉ_λ１，Ｉ_λ２をそれぞれ表す発光信号を送出する分光器８と、前記画像信号を処理して粒子Ｐの全部が高速度カメラ５の撮像画面に取り込まれている期間である測定可能期間を検出するとともに、前記測定可能期間に対応する前記発光信号に基づき二色温度計の原理により粒子Ｐの温度を演算するパソコン６とを有する。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の撮像面の位置を簡易かつ安価に、しかも短時間で検出する装置を提供することにある。
【解決手段】レーザ光軸が互いに交差するように配置された少なくとも３台のレーザ光照射手段と、前記少なくとも３台のレーザ光照射手段に対する所定位置で、それらのレーザ光照射手段からレーザビームを照射された対象物の表面を撮像する１台の単眼の撮像手段と、前記撮像手段が前記対象物の撮像面を撮像した１枚の画像での前記レーザビームの少なくとも３つの照射点の位置と前記撮像手段の撮像光軸との位置関係から幾何学的演算により前記撮像手段に対する前記対象物の撮像面の距離と向きとを求めて出力する演算手段と、を具えてなる、撮像面位置検出装置である。 （もっと読む）

【課題】少ない数の検出用光源部によって、対象物体の２次元座標を広い範囲にわたって
検出することのできる光学式位置検出装置および当該光学式位置検出装置を備えた位置検
出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光
源部１２ＢがＹ方向の一方側Ｙ１から他方側Ｙ２に向けて検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂを出射し
、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂが出射される検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射した
検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂの一部を光検出部３０で受光する。第１検出用光源部１２Ａおよび
第２検出用光源部１２Ｂは、Ｘ軸方向で離間し、Ｙ軸方向で同一位置にある。このため、
第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを順次点灯させた際の結果、およ
び第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを同時点灯させた際の結果から
対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側にあるのか内側にあるのかを検出することのできる位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】位置検出機能付き機器１の光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出部３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出部３０は、複数の検出用光源部１２より内側に位置するとともに、複数の検出用光源部１２は各々、外側発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁と内側発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とを備えている。従って、外側発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁が点灯した際の光検出部３０での受光強度と内側発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂が点灯した際の光検出部３０での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Ｏｂが検出用光源部１２より外側あるいは内側のいずれに位置するかを判定することができる。 （もっと読む）

【課題】計測点の位置の違いによる法線算出の誤差を可及的に小さくし、計測対象物の３次元形状を精度良く算出するための技術を提供する。
【解決手段】形状計測装置は、カメラ１で撮像を行うことにより得られた画像から、計測対象物４の表面上の複数の注目点について特徴量を算出し、記憶装置６２に予め記憶されているデータを参照して特徴量の値から法線の向きを算出し、その算出結果から計測対象物４の表面の３次元形状を復元する。ここで、記憶装置６２は、カメラ１の視野内に設定された複数の基準位置のそれぞれについて作成された複数のデータを記憶しており、注目点の位置に応じて参照するデータが切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】二平面を備える層の両方の面に局所的な変形が生じた場合にも、より正確に層間変位を計測することができる変位計測装置を提供する。
【解決手段】変位計測装置１Ａは、天井２と、前記天井２に対し所定間隔を隔てて設けられた床３と、不動点部材とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する。天井２から前記床３に向かって基準光ＬＳを照射して、前記天井２と前記床３の相対変位を検出する基準変位計測部７と、前記天井２または前記床３と、前記不動点部材との間に参照光ＬＲを照射して、前記不動点部材に対する前記天井２または前記床３の相対変位を検出する参照変位計測部８Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において、マスター画像を用意することなくパターンマッチングによりタイヤの外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像した撮像画像の中から複数のモデル画像を設定するモデル画像設定ステップと、複数のモデル画像と撮像画像とを繰り返しパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の撮像画像の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像とマッチング画像との差分を演算し、差分画像を作成する差分画像作成ステップと、差分画像を閾値と比較して欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出ステップとを含むようにした。 （もっと読む）