【課題】ライン状（線状）の撮像領域を用いて移動する計測対象物の撮像を行う際にも、高輝度な照明光を用いることなく明るい画像を取得することが可能な三次元形状計測装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機１００は、各々がＸ１方向に並べられるとともにＸ１方向と直交するＹ２方向にライン状に延びるライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを含み、部品１２０を撮像する二次元イメージセンサ６３と、二次元イメージセンサ６３に対してＸ１方向に相対的に移動する部品１２０に向けて正弦波状の光強度分布を有するパターン光Ｇを投影する照明部６１と、二次元イメージセンサ６３が、ライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを用いて部品１２０の領域Ｐ１を順次撮像する場合に、領域Ｐ１の画像信号を、投影されたパターン光Ｇが有する周期Ｌの２分の１の積分範囲ｄで積算する制御を行う撮像制御部７３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ショット領域間の相対位置の計測を容易に行いうるインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、基準マークが形成されたモールドを保持する支持体と、各ショット領域に第１マーク及び第２マークが形成された基板を保持する基板ステージと、前記各ショット領域に形成された前記第１マーク及び前記第２マークと前記モールドに形成された前記基準マークとを検出することによって前記各ショット領域間の相対位置を計測する検出器とを備える。前記検出器は、隣接しあう２つのショット領域のそれぞれに形成された隣接しあう前記第１マーク及び前記第２マークそれぞれの前記基準マークに対する位置を検出することによって、隣接しあう前記２つのショット領域間の相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】テーブルの位置決めに有利なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース部と、ＸＹ平面に沿って移動可能なテーブルと、Ｙ軸方向に沿った前記第１の端面の位置を計測する第１のＹ軸干渉計２２２と、前記Ｙ軸方向に沿った第２の計測光路を有する第２の端面の位置を計測する第２のＹ軸干渉計２２４と、前記第１のＹ軸干渉計及び前記第２のＹ軸干渉計から前記ＸＹＺ座標系のＸ軸方向に離間して、且つ、前記Ｙ軸方向に沿った第３の計測光路を有する第３のＹ軸干渉計２２８と、前記第１のＹ軸干渉計の計測値、前記第２のＹ軸干渉計の計測値及び前記第３のＹ軸干渉計の計測値に基づいて前記テーブルの変形量を求め、前記変形量に基づいて目標位置を補正した補正目標位置を求め、前記第１のＹ軸干渉計の計測値と前記第２のＹ軸干渉計の計測値から求まる前記テーブルの位置が前記補正目標位置に位置するように前記テーブルを位置決めする制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】シート材に形成されたレンチキュラレンズの傾き方向と角度とを検出する。
【課題を解決するための手段】多数のレンズ１４が表面に形成されたウエブ１１に対して、その垂直方向から幅広にしたスポット光ＳＰを照射する。ウエブ１１から下方に離れ、またスポット光ＳＰの光軸ＳＰＬから搬送幅方向に離してラインセンサ２２を配置してある。このラインセンサ２２により、搬送幅方向に対する屈折光ＴＰのずれを直線方向のずれとして検出する。この検出結果に基づいて、スポット光ＳＰの光軸回りに回転した屈折光ＴＰの傾き方向，角度θを判定部２３によって特定し、その特定した傾き方向，角度θをレンズの傾き方向，角度θとする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、二つのワークの位置合わせを行うことができるワークの位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 二つのワークの姿勢を平行な状態に保ちながらワークの位置合わせをする方法であって、第１ワーク１の締付穴１０，１１を１台のカメラ３で撮像して記憶する第１工程と、第２ワーク２の締付穴１２，１３をカメラ３で撮像して認識する第２工程と、カメラ３の視野中心点１５と第１ワーク１の締付穴１０，１１の中心１０ａ，１１ａを通る直線１６，１７上に第２ワーク２の締付穴１２，１３の中心１２ａ，１３ａが位置するよう第２ワーク２を移動させる第３工程と、直線１６，１７上に第２ワーク２の締付穴１２，１３の中心１２ａ，１３ａが位置する状態で、第２ワーク２を移動させて第１ワーク１の締付穴１０，１１に第２ワーク２の締付穴１２，１３を接近させる第４工程を備えた。 （もっと読む）

【課題】合焦精度の低下を軽減する。
【解決手段】ラインピクセルにより受光される光量データが飽和したとき、ラインピクセルの略中央のピクセルである合焦ピクセルを過ぎたときの前後２ピークのピークピクセルを決定し（Ｓ１１）、決定したピークピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を取得し（Ｓ１２）、取得したＺ軸カウンタ値を直線補間して、合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を推定し（Ｓ１３）、推定された合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値に基づいて、対象物２の面位置を検出する（Ｓ１４）ので、受光される光量が飽和したときでも、合焦精度の低下を軽減することができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができる。
【解決手段】基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向の第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載され、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備え、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定され、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定され、各プレート１１、２０、３０がその順で重なって配置された角度調整装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型で適正なカラー画像の位置検出ができるカラー画像位置検出装置を提供する。
【解決手段】用紙１２上の直交方向画像補正パターン１０と斜め方向画像補正パターン１１を検出するカラー画像位置検出装置であって、１つの共用緑色光源３と、それを中間にして一方側に設けられた第１の赤色光源２ａと、他方側に設けられた第１の青色光源４ａを用紙１２の搬送方向に対して直交する方向に配置した第１の検出グループ３６と、共用緑色光源３を中間にして一方側に設けられた第２の赤色光源２ｂと、他方側に設けられて第２の青色光源４ｂを用紙１２の搬送方向に対して斜め方向に配置した第２の検出グループ３９と、各光源からの反射光を受光する受光素子５ａ，５ｂとを１つの光源ホルダ１に設置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】立体物の複製を家庭やオフィス等で手軽に実現しする３次元複合機を提供する。
【解決手段】処理用空間としてのチャンバーと、３次元モデルデータに基づいて上記チャンバー内に立体物を造形可能な造形部３０と、上記チャンバー内に載置された測定対象物を３次元測定して３次元モデルデータを取得可能な測定部２０と、上記測定部２０により取得された３次元モデルデータに基づいて上記造形部３０に上記測定対象物の複製物を造形させる造形制御部とを備える３次元複合機１０とした。 （もっと読む）

【課題】動的な環境下においても、効率的にマップ更新処理を可能とする。
【解決手段】３次元環境復元装置１０は、環境を３次元で計測する環境認識センサ５と、計測された計測データから、観測物体の３次元形状を表す３次元点群を生成する３次元点群生成処理部１１と、３次元環境を表現するデータ構造であって、当該３次元環境が格子領域に区切られて観測物体が存在する格子領域に直方体が配置された３次元環境マップを多段マップとして、生成された３次元点群データを用いて多段マップを時分割で生成し、当該生成した多段マップを記憶手段に規定時間分蓄積する時分割多段マップ生成／蓄積処理部１２と、蓄積された規定時間分の多段マップと、新たに生成された多段マップと、を合成することで、新たな環境情報を反映させた全体多段マップを生成する全体多段マップ生成処理部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】把持機構等の不要部分のない対象物のみの姿勢別画像を簡便な画像処理で得る。
【解決手段】対象物の画像を生成する画像生成装置であって、対象物を把持する把持部と、対象物と把持部との少なくとも１つの画像を撮像する撮像部と、把持部により把持された対象物が、撮像部に対して複数の所定姿勢のうちの１つの所定姿勢となるように把持部を制御する制御部と、撮像部により撮像された１つの所定姿勢にある対象物および対象物が１つの所定姿勢となるように制御された把持部の画像と、１つの所定姿勢とを関連付けて、把持状態画像として取得する第１の画像取得部と、対象物を把持しておらず且つ対象物が１つの所定姿勢となるように制御された姿勢と一致する所定姿勢である把持部の画像を非把持状態画像として取得する第２の画像取得部と、把持状態画像と、非把持状態画像との差分に基づいて、１つの所定姿勢について対象物のみの対象物画像を生成する画像生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】第ｍの加工位置と第ｎの加工位置とのずれを精度よく計測することのできる加工位置の計測方法の提供を目的とする。
【解決手段】加工位置の計測方法は、第ｍの加工を施すとともに、第ｍのマーク２６、及び、基準寸法を示す基準マーク２９を形成し（Ｓ２）、第ｎの加工を施すとともに、第ｎのマーク２７を形成し（Ｓ７）と、第ｍのマーク２６及び第ｎのマーク２７の相対的位置を測定するとともに、測定した基準寸法Ｌ１と基準寸法Ｌ０との比にもとづいて、第ｍのマーク２６と第ｎのマーク２７との相対的位置を補正し、第ｍの加工位置と第ｎの加工位置との加工位置のずれを計測する（Ｓ９）方法としてある。 （もっと読む）

【課題】プリント板上の測定しようとするはんだ箇所に対し、高さの基準となる基準面を設定し、その基準面に対するはんだの高さを求めるときに、部品実装後のプリント板を分割するために加工された分割用加工部の影響を受けないようにする技術を提供する。
【解決手段】変位センサがはんだが印刷されたプリント板を光学的に計測し、このプリント板の高さの変位を示す変位情報を出力し、分割ライン決定部がプリント板を分割するための分割用加工部を変位情報に基づき検出し、プリント板の分割ラインを分割ライン情報として出力する。基準面算出領域設定手段は、分割ライン情報を受け分割ラインの内側の領域内に基準面算出領域を設定し、基準面算出手段が基準面算出領域内の変位情報に基づいて、基準面算出領域に形成される平面を基準面として設定する。変位測定部は、はんだ箇所のはんだの高さを、はんだ箇所の変位情報と設定された基準面とから算出する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の走査に要する合計の時間を短くすることが可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】このセンサユニット（形状計測装置）４は、レーザ光を照射するレーザ発生器１５と、レーザ発生器１５から照射されたレーザスリット光をワーク２００の載置されている領域に走査するミラー部１６と、ミラー部１６から照射され、計測対象物により反射されたレーザ光の反射光を検出することにより、ワーク２００の載置されている領域を検出するとともに、ワーク２００の３次元計測を行う高速カメラ１１と、高速カメラ１１によって検出されたワーク２００の載置されている領域に応じてミラー部１６による走査範囲を変更するように制御するセンサコントローラ１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は画像処理装置における撮影画面中の計測範囲設定の調整を容易にすることを目的とする。
【解決手段】視野内に搬送された対象物を撮像して２次元画像を得る撮像手段と、２次元画像を画面に表示する表示手段と、得られた２次元画像から対象物の輪郭を表す輪郭線を抽出する形状抽出手段と、輪郭線上の複数の点の位置を抽出する点位置抽出手段と、複数の点から２次元画像上の対象物の搬送方向における輪郭線の位置を代表する代表点の位置を決定する代表位置決定手段と、少なくとも代表点の位置と２次元画像上の対象物の搬送方向において予め設定された計測幅とに基づいて輪郭線を含む計測領域を得られた２次元画像上に設定する計測領域設定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像環境の変化を検出し、工具寸法を高精度に測定できるように撮像条件を自動的に調整したり、画像を補正するようにした、撮像式工具測定装置および撮像式工具測定方法を提供する。
【解決手段】撮像部１２からの工具像にかかる信号、または画像前処理部２０からの処理信号に基づいて撮像環境・条件を検出する撮像環境・条件検出部２５と、撮像環境・条件検出部２５の検出情報を基に、撮像の適正条件を判断し、調整指令を導出する撮像条件判断・調整指令部２７と、前記撮像条件判断・調整指令部２７からの調整指令信号により、撮像条件を調整する調整手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の視差候補の中から最適な視差を精度よく選択することができる画像処理装置等を提供する。
【解決手段】画像取得部１１は、同一被写体について視差のある２つの画像を取得する。特徴点候補取得部１２は、画像取得部１１により取得された一方の画像から特徴点候補を取得する。視差候補取得部１３は、ステレオマッチングを行い、他方の画像から特徴点候補毎の視差候補をそれぞれ取得する。特徴点選択部１４は、取得された特徴点候補の中から所定の条件を満たすものを特徴点として選択する。隣接点取得部１５は、特徴点選択部１４により選択された特徴点に隣接する隣接点を、特徴点毎にそれぞれ取得する。視差決定部１６は、特徴点と、視差候補と、隣接点と、に基づいて、確率伝搬法によるアルゴリズムを用いた処理を実行し、各特徴点に対応する視差を決定する。 （もっと読む）

【目的】マスク面上のパターン領域と非パターン領域の間に段差があるマスクであっても、効率的に検査可能なマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法を提供する。
【構成】マスク面に対するフォーカス合わせを行うフォーカス合わせ機構と、パターン画像の取り込み時の検査視野走査方向上の検査視野を挟む第１箇所と第２箇所のマスク面におけるフォーカスを、それぞれ検出する第１のフォーカス検出部および第２のフォーカス検出部と、第１および第２の箇所が、パターン領域と非パターン領域とのいずれに位置するかを判定する判定部と、判定部の判定結果に基づき、フォーカス合わせ機構に対しフォーカス合わせ方法を指示するフォーカス合わせ方法指示部と、を有することを特徴とするマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法。 （もっと読む）