【課題】
車体歪みによる基準レーザ光の上下変動の範囲を抑えることで車両の床下と車体フレームとの間に車体歪み測定装置を設置することが可能でかつ検測車の床上には多くの機器、測定装置を搭載するスペースを確保することができる検測車の車体歪み測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レーザ投光器と第１の受光器との間にレーザビームを受けてその光軸の角度を調整する角度調節器を設けることで歪みによるレーザビームの光軸の変動、特に、上側への変動を角度調節器で調節できるようにして検測車の床下に設ける第１，第２の受光器の高さを低く抑え、この角度調節器とレーザ投光器と第１および第２の受光器とを検測車の車体フレーム上でかつ検測車の床下に配置することができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】露光工程のスループットを高め、基板の複数のパターン形成領域に互いに異なるパターンを露光できるようにする。
【解決手段】シート基板Ｐの露光装置であって、シート基板Ｐを走査方向Ｄ１に移動する基板駆動装置１０と、マスクＭ１〜Ｍ３を保持して上面ＭＢａに沿って移動するマスクステージＭＳ１〜ＭＳ３と、駆動対象のマスクステージＭＳ２の走査方向Ｄ２の位置情報を計測する干渉計３３ＸＡ，３３ＸＢと、この計測結果に基づいて、マスクステージＭＳ２を走査方向Ｄ２に移動する駆動装置と、マスクステージＭＳ１〜ＭＳ３の走査方向Ｄ２の位置を相互に入れ替えるステージ入れ替え装置２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画にかかる時間を短縮することが困難である。
【解決手段】ワークＷに対向した状態で、液状体をワークＷに向けて液滴として吐出する吐出ヘッド３３と、吐出ヘッド３３の駆動を制御するヘッド制御部と、ワークＷと吐出ヘッド３３との間の隙間量Ｇを検出する変位測定装置１５と、を含み、ヘッド制御部は、変位測定装置１５からの前記隙間量Ｇの検出結果に基づいて、吐出ヘッド３３における前記液滴の吐出タイミングを補正する、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】 計量皿に載置された被測定物の単位重量あたりに対する天秤ビームの他端部が変位する変位の量が小さくても、天秤ビームの他端部の変位を正確に算出することができる電子天秤を提供すること。
【解決手段】 一端部に被測定物１５が載置される計量皿９が連結され、他端部に電磁力発生装置６、７が連結される天秤ビーム４と、光束を出射する発光部２と、光束を受光する受光面２１、２２、２３、２４を有する受光部Ｒとを備える光学的位置センサ２０と、受光部Ｒの受光面２１、２２、２３、２４で受光された受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する制御部５とを備える電子天秤１であって、受光部Ｒは、４個以上に分割された受光面２１、２２、２３、２４を有し、制御部５は、４個以上の受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】被検出体の端部位置間距離の測定精度を向上できるようにする。
【解決手段】各センサ１１−１及び１１−２で端部位置が検出された検出開始タイミングの差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方のセンサ１１−１又は１１−２の出力値をシフトし、シフトした出力値と他方のセンサ１１−２又は１１−１の出力値とに基づいて、被検出体１００の第１及び第２の端部位置間の距離を測定する。 （もっと読む）

【課題】レーザ計測装置を用いて複雑な形状を有する検査物の検査を行う際にも、短時間に高精度な測定を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、実装済み基板１１０を撮像する撮像部３１と、実装済み基板１１０上の計測位置にレーザ光を照射して実装済み基板１１０からの反射光を受光することにより、実装済み基板１１０の形状を計測する第１レーザ計測部３３および第２レーザ計測部３４と、撮像部３１による実装済み基板１１０の撮像画像に基づいて、撮像画像中に含まれるレーザ計測に不適な領域（レーザ計測除外領域）を判定し、レーザ計測除外領域を第１レーザ計測部３３または第２レーザ計測部３４による計測対象から除外する演算処理部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットの位置を高精度に推定する。
【解決手段】パーティクルフィルタ処理部２８が、ランダムに複数のサンプルを設定するサンプル事前設定部７２と、設定されたサンプルをカメラ１８にて取得されたターゲットの画像に基づいて評価するサンプル評価部７４と、当該評価結果に基づいて複数のサンプルを再設定するリサンプリング部７６と、サンプルの再設定後に、外部モデルに基づいてサンプルの修正処理を行う第１修正部７８と、移動量検出部２２の計測結果に基づいて、第１修正部７８による修正処理後のサンプルを更に修正する第２修正部８０と、を有しているので、移動量検出部に計測誤差がある場合であってもロボットの移動中に実測結果に基づいてサンプルの修正処理を適宜行うことで、ロボットの位置を高精度に推定することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出することのできる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の光学式位置検出装置は、位置検出光Ｌ２を出射して基準面２００Ｐに沿って変化する光強度分布を形成する光源１４０と、位置検出光に対する反射能を変更可能な反射部３０１と、反射部の反射能の変更態様を制御する反射能制御部３０２とをそれぞれ有し、反射部が相互に異なる反射選択期間ｔａ〜ｔｄにおいて位置検出光を反射する複数の前記検出対象物３１０〜３４０と、検出空間Ｓで検出対象物により反射された位置検出光を検出する光検出器４１０と、複数の反射選択期間にそれぞれ対応する検出選択期間Ｐａ〜Ｐｄにおける光検出器の光検出値に基づいて複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出する位置検出部４００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】たとえ撮像部の設置位置がずれた場合でも、オブジェクトの目標位置への移動に時間が掛かることを抑制できるオブジェクト制御システムを提供する。
【解決手段】オブジェクト制御システムは、オブジェクトに対して予め定められた第１オブジェクト線を示す第１基準目印を含む第１画像を撮像する第１撮像部と、第１画像内の第１基準目印に基づいて、第１画像に対して予め定められた第１目標オブジェクト線と第１オブジェクト線との間の角度を示す第１差分角度を取得する角度取得部と、前記第１差分角度に基づいてオブジェクトを回転させる回転機構を制御するオブジェクト制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測能力を向上すること。
【解決手段】所定の移動面内を移動する移動体の移動情報を検出する計測装置であって、ピッチが互いに等しくなるように配置された格子をそれぞれ有し、当該格子の位相が互いにずれるように移動体に設けられた複数の回折格子と、光源からの光を複数の回折格子のそれぞれに向けて射出すると共に、複数の回折格子のそれぞれにおいて得られた回折光を個別に干渉させる光学系と、光学系を介して得られた干渉光を検出し、検出結果に基づいて移動情報を検出する検出装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の露出面の撮像部に対する位置関係に影響されることなく、正確に被測定物の位置などを計測できる画像処理装置およびそれに向けられた画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】ワーク２の露出面５０が基準面Ｐ１とは平行ではない状態で生成される画像データ２００上における露出面５０の頂点６１，６２，６３の座標位置が指定される。また、ワーク２の実際の大きさに対応する、露出面の頂点６１，６２，６３の基準面Ｐ１における座標位置が指定される。すなわち、基準面Ｐ１に設定した２次元座標系において、ワーク２の露出面５０を基準面Ｐ１に重ねたときの各頂点６１，６２，６３の座標位置が実寸法で指定される。ワーク２の露出面５０に含まれる複数の特徴点について、基準面Ｐ１における座標値および画像データ２００上における座標値をそれぞれ対応付けることで、モデル画像を生成するための変換式が決定される。 （もっと読む）

【課題】３次元視覚センサから出力される座標や回転角度がロボットの制御に適合するものになるように、３次元モデルのモデル座標系を変更する。
【解決手段】３次元認識のために作成された３次元モデルおよびその基準の姿勢を示すモデル座標系を透視変換して両者の関係を表す投影画像を生成し、投影画像を含む作業画面を立ち上げる。この画面の作業領域２０４，２０５では、投影画像中の原点Ｏの座標やＸ，Ｙ，Ｚの各軸の回転角度ＲＴｘ，ＲＴｙ，ＲＴｚを表示して、これらの値を変更する操作を受け付ける。変更操作が行われると、投影画像の表示もこれに応じて変化する。また、変更後に画面下のＯＫボタン２０８が操作されると、作業領域２０４，２０５に表示されている座標や回転角度が確定されて、これらの値に基づきモデル座標系が変更される。３次元モデルの各構成点の座標も、変更後のモデル座標系による座標に変換される。 （もっと読む）

【課題】マスクとプレートとの間の高精度な位置合わせが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】マスクの上に配置されたマスクマークとプレートの上に配置されたプレートマークとの間の位置合わせを行う露光装置であって、マスクマーク及びプレートマークを同時に計測して画像を取得する画像計測装置と、画像計測装置により取得された画像からマスクマークとプレートマークとの間の相対的な位置誤差を算出する位置誤差演算装置と、画像計測装置による画像取得期間中に、マスクを搭載したマスクステージ又はプレートを搭載したプレートステージの駆動目標位置に対する位置偏差を計測する偏差計測装置と、偏差計測装置により得られたマスクステージ又はプレートステージの位置偏差と、位置誤差演算装置により得られた位置誤差とを用いて、マスクマークとプレートマークとの間の位置合わせを行うための補正量を算出する補正量演算装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、有効測定範囲を認識可能で高精度な測定を実現できる光学式寸法測定装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出力する発光部１０と、レーザビームによりワークＸが配置される測定領域を走査する走査部２０と、測定領域を通過したレーザビームを受光する受光部３０と、受光部３０で得られた走査方向の明暗パターン（受光信号）からワークＸの寸法を算出する寸法算出プログラム５１２と、を備えた光学式寸法測定装置１００において、レーザビームの走査中における点灯区間及び消灯区間をユーザ操作により設定するためのキーボード４８と、設定された点灯区間及び消灯区間におけるレーザビームの点灯制御を行う点灯制御プログラム５１１と、を備え、寸法算出プログラム５１２は、点灯区間を測定領域中の有効測定範囲とし、有効測定範囲における受光信号からワークＸの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】ワークの溶接部の検出に要する時間を短縮できるとともに、低コストで溶接部の検出を行うことができる溶接部検出方法を提供する。
【解決手段】ワークの溶接部Ｙを検出する溶接部検出方法であって、ワーク１００の伸長量とくびれの幅Ｌとの相関と、ワークの板幅Ｈおよび板厚Ｄの少なくとも一方のワーク１００の伸長前後における変化量とくびれの幅Ｌとの相関とのうち、少なくとも一方の相関を予め求めておき、伸長量および変化量とくびれの幅Ｌとの相関が求められているワーク１００の伸長量、板幅Ｈ、および板厚Ｄを取得することにより、相関に基づいて、くびれの幅Ｌを算出する算出工程と、算出工程で算出されるくびれの幅Ｌに応じて、搬送速度Ｖ２を設定する設定工程と、設定工程で設定される搬送速度Ｖ２でワーク１００を搬送しながら、所定の間隔でワークの板幅Ｈを測定することにより、くびれ１０１を検出する検出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップにダメージを与えないで最小厚さまでモールドを高速かつ精緻に、簡素な装置構成で除去できるモールド除去方法およびモールド除去装置を提供する。
【解決手段】モールドの除去条件を設定する工程と、レーザ光の出射位置にＩＣチップを設置する工程と、モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のＸおよびＹ方向座標位置の反射／散乱光量を測定し、測定値を記憶する測定工程と、前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したＸおよびＹ方向座標位置の測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】インク液滴の吐出不良をより簡易に検出可能とする。
【解決手段】光ビームを、インク滴の飛翔経路上の、複数のインク滴が合体して１つの主滴を形成する位置の近傍であって、且つ、飛翔経路に直交するように照射する。光ビームがインク滴と交差することで発生する散乱光を受光素子で受光した出力に対し、ハイパスフィルタ処理および増幅処理を施し、ピークを抽出する。このとき、ノズルから複数の液滴が吐出された直後から、複数の液滴が合体して１つの主滴を形成するタイミングの直前までの間の所定の時刻からのピークを抽出する。主滴によるピークおよび微小滴であるサテライトを容易に抽出でき、インク滴の吐出不良のより簡易な検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）