【課題】原板が有する凹凸パターンを容易にかつ高い位置精度で基板上の転写液層にインプリントすることのできる技術を提供する。
【解決手段】原板Ｍの凹凸パターンＰ面が基板Ｓ上に塗布された転写液層に接触した状態で、原板Ｍおよび基板のそれぞれに形成されたアライメントマークを、１つの認識手段３により、両アライメントマークが重なる方向から、一方のアライメントマークを撮像した後、他方のアライメントマークを撮像し、得られた両アライメントマークの画像にそれぞれ位置誤差補正処理を行う。そのため、補正後の両アライメントマーク画像を用いて高精度なアライメントを行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】コールドピルガー圧延時に、変形加工工程中に得られた測定データに基づいて、少なくとも１つの変形加工工具の位置調節を可能にする、自動化可能な製造方法及びこのために好適な装置を提供する。
【解決手段】外側から管８に作用する少なくとも１つの変形加工工具４に、少なくとも１つの位置調節装置７が作用結合されており、位置調節装置７は、測定装置５に接続されているようにした。 （もっと読む）

【課題】多数の板材を連続的に加工する加工機に好適な回転テーブルの回転角の誤差（ピッチエラー）を測定する方法に関し、ワークの連続加工中においても自動測定できるようにする。
【解決手段】ワークと略同形で、表面に所定角度毎に引いた放射状の計測線と、計測線の放射中心を検出させるマークを表示した測定用基板を用いる。加工機に設けられている搬入誤差検出手段により、テーブル上に搬入された測定用基板の中心の位置偏倚及び角度偏倚を検出し、次にテーブルを所定角度ずつ回動したときのカメラの画像上での各計測線の位置を検出し、先に検出した基板中心の偏差で補正した計測線の方向と、その本来の方向との差から、テーブルのピッチエラーを測定する。 （もっと読む）

【課題】面位置センサの設置位置を計測し、該計測された設置位置に基づいて面位置センサを用いて移動体の２次元移動面の垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、移動体を安定かつ高精度に駆動する。
【解決手段】 干渉計システムを用いてウエハステージＷＳＴのＸＹ位置を監視しながらウエハステージを移動させて、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊを用いてＹスケール３９Ｙ₃，３９Ｙ₄を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、面位置センサのＸＹ設置位置を計測する。得られた設置位置情報に基づいて、面位置センサを用いて、ウエハステージのＸＹ平面（移動面）に対する垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、ウエハステージを安定かつ高精度に駆動する。 （もっと読む）

【課題】照度の低い環境において、コントラストが低い移動面上を移動する移動体の位置及び姿勢、並びにその移動面の形状を検出する。
【解決手段】移動体及び移動面検出システム１は、移動体３と、移動体３上に配置された発光部４と、移動体３を俯瞰する位置に設けられたステレオカメラ５及び測距センサ６と、ステレオカメラ５及び測距センサ６の出力を処理する処理部７と、処理部７の出力を表示する表示部８とを備える。ステレオカメラ５は、発光部４のステレオ画像を撮像する。測距センサ６は、移動面に光を出射し、移動面で反射されて戻ってくる光の飛行時間に基づいて移動面を測距する。処理部７は、ステレオカメラ５が撮像したステレオ画像に基づいて移動体３の位置及び姿勢を検出するとともに、測距センサ６の出力に基づいて移動面の形状を検出し、移動体３の位置及び姿勢と、移動面の形状とを表示部８に表示する。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】多段積みされた裁断対象を精度良く検査できる裁断対象検査装置等を提供する。
【解決手段】多段積みされた裁断対象Ｂｋを検査する裁断対象検査装置において、所定形状のレーザ光Ｌ１、Ｌ２が投影された裁断対象の画像データを取得し（Ｓ７）、画像データからレーザ光が投影された部分の画像を抽出し、抽出されたレーザ光の画像からレーザ光の投影形状の情報を算出し（Ｓ８）、所定形状の情報と投影形状の情報とに基づき、多段積みされた裁断対象の良否を判定する（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により曲折部における加工品位を向上させることができるセンサ角度の測定方法を提供する。
【解決手段】ワーク３上の各教示点Ｐｉ及び対応する追加点Ｑｉにセンサ４を順次位置させ、センサ４でワーク３までの距離を計測して各教示点Ｐｉにおけるセンサ４のワーク３に対する角度を測定する際に、溶接線１３がワーク３の曲折部１０の前後にわたる場合、各教示点Ｐｉに対応する追加点Ｑｉを、教示点Ｐｉが、曲折部１０に至る直前の加工ライン１３についての最後の教示点Ｐｍでない場合には当該教示点Ｐｉの前方に位置させ、最後の教示点Ｐｍである場合にはその後方に位置する追加点Ｑｍとする。 （もっと読む）

【課題】 異なる２つの物体の回転ずれを計測する際に、従来と比較して計測時間の短い検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】 異なる２つの物体にそれぞれ形成された格子マークが重なることによって生じる干渉縞を用いて、前記２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める検出装置において、前記干渉縞を検出する検出器と、該検出器で検出された前記干渉縞の傾きから前記異なる２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める演算部と、を有することを特徴とする検出装置。 （もっと読む）

【課題】電子部品を、高速に検査する光学システムを提供する。
【解決手段】センサは、カメラのアレイに対してノンストップで移動する加工対象物に関する画像データを取得するように構成されたカメラのアレイを含む。カメラのアレイが画像データを取得するとき照明のパルスを提供するために照明システムが配置されている。少なくともいくらかの画像データは、加工対象物上のスキップマーク又はバーコードに関するデータを含む。又取得した複数の画像により立体画像化する。 （もっと読む）

【課題】不良が生じている検査ポイント、および正常な検査ポイントを確実かつ容易に認識させる。
【解決手段】検査結果表示装置２は、個別的に付与された基板情報が二次元コードによって基板表面に記されると共に各検査ポイント毎の検査結果データＤ１が基板情報に関連付けて記録されている被検査基板１０を撮像して撮像データＤ２を出力する撮像部２１と、データＤ２に基づいて、データＤ２の画像内における二次元コードの位置決め用シンボルの位置を特定すると共に、被検査基板１０における位置決め用シンボルと各検査ポイントとの位置関係を特定可能な位置データＤ０に基づいてデータＤ２の画像内における検査ポイントの位置を特定し、かつ、データＤ１に基づいて特定した各検査ポイント毎の検査結果を示す結果表示をデータＤ２の画像内における検査ポイントの位置に重ねた検査結果表示画面を表示部２４に表示させる処理部２５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】テープギャップの手動測定は労働集約的であるため、構造物の大きな領域にわたる複数のテープギャップの測定を正確かつ効率的に実行し、しかもオペレーターの技能に大きく依存しないテープギャップの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面を構成する複合テープの細片間のギャップはゲージによって測定される。表面に沿ってゲージを移動するにつれて隣接するテープ細片のエッジの位置は検出され、隣接する細片間のギャップは検出したエッジの位置に基づいて計算される。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物が任意の方向を向いて配置されている場合であっても、それぞれの検出対象物の中心位置を算出することができる方法、装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】既知の半径を有する円筒または球を少なくとも一部に含む検出対象物の中心位置を算出する方法を提供する。当該方法は、少なくとも１つの検出対象物を撮像した入力画像を取得するステップと、検出対象物の形状に相当する領域を入力画像から抽出するステップと、抽出された領域についての高さ情報を取得するステップと、抽出された領域内において明るさが極大となる部分を特定し、当該部分の法線方向を決定するステップと、決定した法線方向と、既知の半径と、明るさが極大となる部分の位置と、対応する高さ情報とから、検出対象物の中心位置を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のレーザセンサを組み合わせて使用し、複雑な計測を行うことなく、アンテナの放射部が基準位置に入っているか否かを判定させることで、簡易な構成によるアンテナ位置判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 固定治具にアンテナが固定された後、第１透過型レーザセンサ部及び第２透過型レーザセンサ部並びに複数の反射型レーザセンサ部を制御してレーザ光を発光させ、第１透過型レーザセンサ部及び第２透過型レーザセンサ部が遮光を検知し、複数の反射型レーザセンサ部が導出した距離が適正距離であるときに、放射部が基準位置に配置されていると判定し、第１透過型レーザセンサ部又は第２透過型レーザセンサ部の少なくとも一方が透過を検知したとき、又は、複数の反射型レーザセンサ部が導出した距離が適正距離でないときに、放射部が基準位置に配置されていないと判定するアンテナ位置判定装置。 （もっと読む）

【課題】 円環状の測定対象物に対してレーザトラッカーから見て反対側の周面の空間座標を測定することを可能にし、測定時の取扱いが簡単で、一人でも容易に直径を測定することができる測定補助器具を提供する。
【解決手段】 測定補助器具２０は、ターゲットＴｇが設置されるターゲット設置部２１と、ターゲット設置部２１を測定対象物Ｗの円周方向に移動させる移動機構部２２とを備える。移動機構部２２は、測定対象物Ｗの測定対象周面である外周面Ｗａに転接する第１の周面接触部材２６と、測定対象物Ｗの内周面Ｗｂに転接する第２の周面接触部材２７と、測定対象物Ｗの上端面Ｗｃに転接する端面接触部材２８とを有する。第１の周面接触部材２６は、ターゲット設置部２１の中心を通る鉛直方向の軸Ｏ１回りに回転自在である。第１または第２の周面接触部材２６，２７を回転させる移動用回転駆動源４１を設ける。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招来することなく、簡単な構成により、自動的にセンサーの感度を調整することができるマーク検出装置およびマーク検出方法ならびに画像作成および切り抜き装置を提供しようとする。
【解決手段】投光手段から投光された光の反射光を受光手段により受光し、受光量に応じた検出電圧を出力するセンサーを備え、上記センサーにより検出した検出電圧を基準電圧と比較することにより、媒体上に形成されたマークを検出するマーク検出装置において、上記センサーにおける基準電圧を設定することが可能であるとともに、設定した基準電圧を出力する基準電圧出力手段と、上記基準電圧出力手段より出力された基準電圧と、上記センサーに出力された検出電圧との差分を増幅して出力する電位差出力手段とを有するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きとヘッド部の傾きとを容易に判別して、光ビームの歪みを抑制し、描画精度を向上させる。
【解決手段】光ビーム照射装置２０から照射される光ビームを受光する受光装置５１をチャック１０に設け、光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａを回転する回転機構２８を設ける。回転機構２８によりヘッド部２０ａを回転する前と回転した後に、光ビーム照射装置２０から照射された光ビームを受光装置５１により受光する。ヘッド部２０ａを回転する前後の、受光装置５１により受光した光ビームの位置の変化から、光ビーム照射装置２０の空間的光変調器２５の傾きとヘッド部２０ａの傾きとを判別し、判別結果に基づき、空間的光変調器の傾き又はヘッド部２０aの傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】道路のスロープ特性と渋滞予兆とを考慮して燃費を向上させるための車両の運転支援装置の提供。
【解決手段】カメラから路面映像を受信する路面映像入力手段１３５と、路面映像を鳥瞰変換する鳥瞰変換手段１３６と、鳥瞰変換された路面映像から複数個の車線を抽出する車線抽出手段１３７と、抽出された複数個の車線の傾きを算出する傾斜度算出手段１３８と、複数個の車線の傾の差異値を利用して路面傾斜度を算出する路面傾斜度算出手段１３９と、自車両の加速度を検出する手段と、検出した加速度の周波数分析から周波数に対応するパワースペクトルを算出する手段と、算出したパワースペクトルの単回帰直線を演算し、所定周波数範囲での当該単回帰直線の傾きの変化量の極大値を傾き極大値として算出する手段１３３とを備える。運転支援装置は、路面傾斜度が所定値よりも大きく、かつ傾き極大値が自車両前方での渋滞予兆を示す場合に、運転支援をおこなう。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の被測定物に対して精度を高めて測定する。
【解決手段】形状測定装置（１００）は、被測定物にライン光を照射する光照射部（２１）及びライン光の照射方向とは異なる方向から被測定物に照射されたライン光を検出する光検出部（２２）を有するセンサー部（２）と、光検出部（２２）からの検出結果に基づいて被測定物の形状を測定する形状測定部（５３）と、センサー部（２）と被測定物とを相対移動させる駆動部（１１）と、測定方向に相対移動する間に形状測定部（５３）によって得られた複数回の測定の結果に基づいて、測定時のセンサー部（２）と被測定物との少なくとも一方の姿勢を制御する測定制御部（５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】線幅見本を画像読取部で読み取ることによる線幅測定の結果の安定性を向上する。
【解決手段】画像読取部での読取画像を受け付ける読取画像受付部２５において、白黒２値画像取得部８１が、線幅測定用チャートの読取画像である白黒２値画像を取得し、領域決定部８２が、白黒２値画像上で線幅測定に用いる線幅測定領域を決定し、角度検出部８３が、線の読取角度を検出し、角度比較部８５が、この読取角度と線を読み込む角度として指定された指定角度との差分が閾値以下かどうか判定し、閾値以下でなければ、警告出力部８６が、線幅測定用チャートの再読み込みを画像読取部に指示し、閾値以下であれば、画素カウント部８７が、線を構成する画素のうち線幅測定領域内の画素数をカウントし、線幅決定部８８が、カウントされた画素数、線幅測定領域の線描画方向の長さに相当する画素数等に基づいて、線幅を決定する。 （もっと読む）