【課題】反射画像の輝度を適切な輝度に調整することができ、被計測物の三次元形状を正確に計測することが可能な三次元形状計測装置を提供すること。
【解決手段】三次元形状計測装置１００は、輝度が正弦波状に変化する縞状の光パターンを異なる位相で複数回、被計測物に投影する投影手段１０と、光パターンが投影された被計測物の反射画像を撮像する撮像手段２０と、被計測物の反射画像を基に、被計測物の三次元座標を計測する計測手段３１と、を有し、光パターンを被計測物に投影する前に、投影手段１０より所定の光を被計測物に投影し、所定の光が投影された被計測物の反射画像における各画素の輝度階調値と、所定の光の輝度階調値と、を基に、被計測物の光の最大反射率を算出する反射率算出手段３２と、最大反射率に応じて、撮像手段２０が受光する受光量を調整する調整手段３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。
【解決手段】基板に形成されたパターンに関する設計情報を得る第１のステップと、前記設計情報を用いて、前記基板の表面粗さを得ることができる表面粗さ測定領域を得る第２のステップとを有する基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置である。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ測定の精度を向上する。
【解決手段】１つの実施形態によれば、位置合わせ測定方法では、測定光学系の測定領域内が２次元的に分割された複数の部分領域のそれぞれに位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置を順次にシフトさせながら前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を予め測定して、前記測定光学系の特性ずれに関する装置要因誤差を前記複数の部分領域のそれぞれごとに求め、前記複数の部分領域ごとに求められた前記装置要因誤差に基づいて前記複数の部分領域のうち使用すべき部分領域を決定し、前記決定された前記使用すべき部分領域に前記位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置をシフトさせた状態で前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を測定する。 （もっと読む）

【課題】空孔付き光ファイバの空孔径の測定に際して、空孔付き光ファイバを切断することなく、簡便にその空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失などの特性値を知ることができるようにする。
【解決手段】空孔付き光ファイバ３の両端にレファレンス用光ファイバ２をそれぞれ接続し、この接続光ファイバ２の両端からから測定光をそれぞれ入射して後方散乱光を計測する双方向ＯＴＤＲ測定を行い、これにより得られた２つの後方散乱光波形からレファレンス用光ファイバ２部分における相加平均値Ｉｒｅｆと、空孔付き光ファイバ３の位置ｘでの相加平均値Ｉｈｆ（ｘ）とを算出し、相加平均値Ｉｈｆと相加平均値Ｉｒｅｆとの差分（Ｉｈｆ−Ｉｒｅｆ）ΔＩを求め、予め求められた差分ΔＩと空孔付き光ファイバ３の空孔径との相関関係に基づいて、位置ｘにおける空孔径、空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失を求める。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に形成されたチップ内の直接周辺回路部の近辺に存在する致命欠陥を高感度に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置において、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから領域毎に複数の異なる欠陥判定を行い，結果を統合して欠陥候補を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の光軸方向に対して高低差がある検査対象の欠陥の寸法を正確に測定する。
【解決手段】平面座標取得部３０２は、画像データに含まれる検査対象の欠陥を示す画素の平面座標を取得する。空間座標変換部３０５は、平面座標取得部３０２が取得した平面座標を、仮想空間に配置された検査対象の外観を表す３次元モデルの表面と平面座標が示す点に対応する仮想空間上の直線との交点を示す空間座標に変換する。仮想寸法算出部３０７は、空間座標変換部３０５が変換した複数の空間座標を用いて仮想空間における前記欠陥の寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】セル内に直径数μｍ〜数十μｍの粒子群を数層〜数１０層に積み上げて充填した場合でも、精度良く粒子充填量の測定を行うことができる情報表示用パネルにおける粒子充填量の測定方法を提供する。
【解決手段】情報表示用パネルにおける粒子充填量の測定方法において、一方の基板１上に隔壁４で仕切って形成したセル７内に配置した粒子群３Ｂの粒子充填量を測定するにあたり、セル内に充填した粒子群に対し、上部から波長５６１ｎｍ以下のレーザー光を照射し、セル内に充填した粒子群の高さ方向の変位量を測定し、測定した変位量に基づき、セル内に充填した粒子群の充填量を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、対象物体の３次元形状データに基づいてその特徴的な部位を正確に設定できる３次元形状の骨格モデルの作成方法及び装置並びに骨格モデルを用いた３次元形状の寸法測定方法及び装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】骨格モデル作成装置の制御部１は、対象物体表面の３次元形状データを取得するデータ取得部１０、取得した３次元形状データを主成分分析により主軸を算出して予め設定された座標軸方向に主軸が一致するように座標変換処理を行う正規化処理部１１、正規化処理された３次元形状データを用いて対象物体を複数の異なる方向からみた輪郭に対応した輪郭形状データを抽出する輪郭抽出部１２、抽出した各輪郭形状データに対して中心軸変換処理を行って点集合で表現した中心軸データを抽出する中心軸抽出部１３、抽出した複数の中心軸データを特徴点で関連付けた骨格モデルデータを作成する骨格作成部１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ステレオカメラの経時的な位置ずれを補正し校正できる装置や方法を提供する。
【解決手段】 この校正装置は、移動体に搭載され、カメラ位置に関するパラメータを校正する装置であり、２地点において一方のカメラで撮影した２つの基準画像と、他方のカメラで撮影した２つの対応画像と２つの基準画像とを用い、各地点につき基準画像と対応画像の中の共通する複数の特徴点の位置から算出された複数の視差データとの入力を受け付ける画像取得部３００と、２つの基準画像の中の共通する複数の特徴点を探索する特徴点探索部３１０と、探索された各特徴点につき、２つの基準画像の各特徴点における視差データから、視差とその視差に対応する視差変化量とをそれぞれ算出する視差計算部３２０と、算出された複数の視差および視差変化量から、カメラ位置に関するパラメータの補正値を算出する補正値計算部３３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】分散型の光スポットを生成することのできる回折光学素子および計測装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有し、入射した光を２次元的に回折して、回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光により形成される一部または全部の光スポットの個数をｎとした場合、前記光スポットが照射される領域の面積により規格化された前記光スポットにおける平均最近隣距離Ｗは、１／（２×ｎ^１／２）＜Ｗ＜１／（ｎ^１／２）の範囲内であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】撮影画像に写っている撮影対象のサイズを簡易な方法で推定することのできる撮影対象サイズ推定装置を提供する。
【解決手段】撮影画像に写っている撮影対象の所望の算出対象サイズを表す算出対象画素の前記撮影画像内において占める画素数を検出する。また、撮影画像内において算出対象画素が占める画素数の代表値により、撮影対象の実空間上での算出対象サイズの代表値を除して、撮影画像内の１画素の実空間上におけるサイズの代表値を算出し、その値に、撮影対象の算出対象画素が撮影画像内において占める画素数を乗じることにより、撮影画像内に写っている撮影対象における算出対象サイズの実空間上のサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転軸心の運動の軌跡を計測する方法を提供する。
【解決手段】 主軸に回転体を取り付けることと、前記回転体の前記回転軸心に垂直な垂直面内に、前記回転体の一部を挟んで対向する３組の発光部及び受光部の組を配置することと、回転体を、前記主軸と一体的に回転させつつエッジ光の光量を測定することと、エッジ光の光量に基づいて、回転体の断面形状と異なる仮想断面形状を求めることと、エッジ光の光量及び仮想断面形状に基づいて、回転体の回転軸心の運動の軌跡を求めることとを備える方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】任意の画像を用いてジャギー発生量を適切に測定すること。
【解決手段】画像読み取り装置における画像読み取り部を移動方向に移動させ任意の画像
を読み取り、画像データーを取得することと、前記画像データーに基づいて、前記任意の
画像においてジャギー発生量を測定するための測定領域を特定することと、前記測定領域
における画像データーに基づいて、前記画像読み取り装置におけるジャギー発生量を測定
することと、を含むジャギー発生量の測定方法。 （もっと読む）

【課題】コネクタのピン曲がりを高精度に検出する。
【解決手段】ｙ軸方向に沿って所定間隔で配列された複数のピン３２を有するピン列を保持する保持面３４が設けられたコネクタ３０を、ｙ軸方向に移動する搬送・圧入装置１０と、ｘ軸方向に延びる撮像領域を有し、コネクタが移動されている間に、ピン画像を撮像するラインセンサカメラ１６と、ラインセンサカメラによる撮像結果から得られるピンのｙ軸方向に関する間隔を、撮像ピン間隔Ｐｙ（ｉ，ｊ）として取得するとともに、撮像ピン間隔のｙ軸方向に関する変化を近似して、ピン間隔近似曲線ｆｙ’（ｊ）を算出する近似曲線算出部５６と、撮像ピン間隔Ｐｙ（ｉ，ｊ）とピン間隔近似曲線ｆｙ’（ｊ）とに基づいて、ピンの曲がりを判定する判定部５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 表示領域の端部近傍に線欠陥が生じている平面表示パネルであっても、表示領域の端部の位置を誤って検出してしまうことを防止する。
【解決手段】 表示領域検出装置は、予め定める複数種類の表示パターンを平面表示パネルにそれぞれ表示させる表示パターン指定部と、各表示パターンを表示させたときの平面表示パネルを撮像した画像の画像データを取得する撮像画像取得部と、撮像画像取得部によって取得された画像データと該画像データに対応する表示パターンとに基づいて、表示領域の端部の位置の座標を推定する端部位置座標推定部と、端部位置座標推定部によって表示パターンごとに個別に推定された各座標を比較して、表示領域の端部の位置の座標を決定する端部位置座標決定部とを含む。 （もっと読む）

【課題】
安価なモノクロカメラを使用するとともに撮像画像の画像データ処理を少なくして画像処理を高速に行うことができ、撮像時にワークの影が発生してもワーク外形の検出に影の影響を排除することができ、低コストでワーク外形検出方法及び画像処理システムを提供する。
【解決手段】
第１ステップで取得した撮像画像を床面と支持部の中間値の輝度を閾値として二値化し、二値化した画像データをマスクデータにする。支持部の表面の明度と同レベルの明度を有するワークを、支持部に支持した状態でモノクロカメラによりワーク台とともに撮像し、ワーク撮像画像を取得する。ワーク撮像画像から、マスクデータにおける支持部に関する画像領域５２，５４を消去して支持部消去画像を取得する。支持部消去画像から、支持部消去部分を含んだワーク外形線５７を抽出し、支持部消去部分を補間処理してワーク外形線５８を取得する。 （もっと読む）

【課題】 メモリ容量が問題とならない位置ずれ量の検出を行い、位置ずれ量に基づき基板の位置を補正し基板の外観検査を行う。
【解決手段】 参照テーブル４２４に基づいて、推定基準点位置設定部４１３により推定基準点位置および仮基準点位置設定部４１５により仮基準点位置が設定される。距離指標値算出部４１４が推定基準点位置と仮基準点位置との距離の標準偏差を求め、該標準偏差が最小となるときの回転角および仮基準点位置と基準点位置との位置差分値を位置ずれ量４２５として取得する。該位置ずれ量４２５に基づき被検査基板６の位置合わせを行うことで、メモリの使用容量を増やすことなく、確実に位置合わせを行うことができるとともに、外観検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの設置毎に、事前に試験を行う必要がなく、不均一なひずみを有する変位であっても、正確に変位を計測することができる光ファイバ構造物変位計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】構造物２０は、非直線形状であり、かつ変位が発生した場合に不均一なひずみが発生する構造物である。構造物２０に固定された光ファイバ１に発生するブリルアン散乱光を検出して、ブリルアン散乱光から観測パワースペクトルデータを計測する。一方、構造物の変位の大きさに対応して発生するブリルアン散乱光のモデルパワースペクトル形状を理論的に算出し、このモデルパワースペクトル形状を観測パワースペクトルデータにあてはめる。あてはめられた最も適合する曲線形状のモデルパワースペクトル形状に基づき、構造物の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】 標線位置計算範囲の設定を自動で行うことが可能な材料試験機を提供する。
【解決手段】 試験実行前の試験片に貼着した標線シールの画像データから標線の色濃度プロファイルを作成するテンプレート作成部６１と、標線の色濃度プロファイルを記憶する記憶部６４と、試験片の色濃度プロファイルを作成するための領域を設定する色濃度計算領域設定部６２と、標線シールを貼着した試験片の画像データから試験片の色濃度プロファイルを作成するプロファイル作成部７１と、記憶部６４に記憶したテンプレートと試験片の色濃度プロファイルとの正規化相関係数によるテンプレートマッチングを行う相関係数演算部７２と、得られた相関係数から標線位置を決定する標線位置決定部７３と、その標線位置に基づいて標線位置計算範囲を設定する標線位置計算範囲設定部７４を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、溶接プロセスと同期してビードの画像を取得し、溶接プロセス直後の極めて短い時間でビードの終端部の穴欠陥を高精度に判定することが可能なビードの終端部の形状を判定する装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の装置１は、レーザ照射部２と、モニタ部３と、記憶部４と、画像取込部５と、ビード認識部６と、ビード形状判定部７とを備えている。ビード形状判定部７は、ビード認識部６によって認識されたビード領域に基づいてビード領域の終端部の位置を算出し、ビード領域の終端部がビード領域の延在方向に凸形状か凹形状かを判定するように構成されている。 （もっと読む）