【課題】半導体ウエーハに傷が付いて抗折強度が低下することなく、厚さを正確に計測しながらウエーハを研削する。
【解決手段】チャックテーブル１４上に保持したウエーハ１上に水を供給して水膜Ｗを形成し、この水膜Ｗに、計測器５１の滑走部材５２を滑走させながら、滑走部材５２に固定した送受器５３の送波部５７からウエーハ１に向けて超音波を送波する。送受器５３の受波部５８で、ウエーハ１１の上面と下面から反射波を受け、その時間差に基づいてウエーハ１の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 船体のデッキプレートとロンジの接合部等、測定困難な箇所における隅肉溶接部の経年劣化後ののど厚値を簡便に高精度で測定することが可能な隅肉溶接ののど厚値測定方法及びのど厚値測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るのど厚値測定装置１０は、フェイズドアレイ探触子１１と、フェイズドアレイ探傷器制御部１５と、解析手段１７で構成されている。本発明によれば、元板の表面（船体のデッキの上面側等）からフェイズドアレイ超音波計測し、隅肉溶接部の未溶着端と隅肉表面ラインとの間の距離を算出することで、のど厚値を測定することができる。そのため、船体のデッキプレートとロンジの接合部等、従来は測定困難とされていた溶接部について、腐食衰耗等の検査を楽に行える。 （もっと読む）

【課題】 反応容器等のように容器鏡部が球面状或いは円錐状の曲面で構成され、容器胴部に各種の障害物がある場合でも容器鋼板の板厚を容易に測定することが出来る容器鋼板の板厚測定装置を提供する。
【解決手段】 走行台車であって、前輪または後輪に走行軌跡の曲率半径を変更可能なステアリング機構を有し、且つ所定の曲率を有する曲面からなり投影形状が円形で形成された容器鏡部１ａの鋼板上を走行し得る走行台車６と、該走行台車６に搭載され、複数の超音波探触子７が搭載された超音波探触子ユニットと、容器鏡部１ａの軸中心に設定される支点に対して着脱可能な支点部材20と、一端部に回転ガイドジョイントを介して回転自在に走行台車６が連結されると共に、他端部が該支点部材20に対して該支点部材20を中心に回転自在に設けられ、容器鏡部１ａの軸中心に設定される支点と、走行台車６との離間距離を規定する回転半径規定部材19とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定対象までの距離を正確に測定できる距離測定システムを提供する。
【解決手段】発信装置１０は、赤外線信号を一定の送信間隔で送信する赤外線発信部１１と、超音波信号を複数の異なる送信タイミングで交互に送信する超音波発信部１２を有する。受信装置２０は、発信装置１０から送信された赤外線信号および超音波信号をそれぞれ受信する赤外線受信部２１および超音波受信部２２と、該受信した赤外線信号および超音波信号の受信タイミングの時間差に基づいて、自装置から発信装置１０までの距離を算出する演算処理部２３を有する。演算処理部２３は、赤外線信号の受信タイミングによって定められる周期のうち、超音波信号を発信装置１０から直接受信した直接波が、該直接波の送信タイミングより前に送信された超音波信号の遅延波と重畳される周期を測定対象外とし、該測定対象外とした周期を除く周期について上記時間差を測定する。 （もっと読む）

【課題】 駆動ベルトを位置エンコーダとして用いる方法および装置を開示する。
【解決手段】 位置制御装置は機構に接合されたベルトを備え、ベルトは機械可読位置指標を有し、機構を運搬する。位置制御方法は、機構を運搬するベルトから位置指標を読み取ることと、位置指標を用いて機構の位置を特定することとを含む。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面全体にまたがって弾性率を判定可能な非破壊試験方法を提供する
【解決手段】物品弾性係数を表すイメージを生成する本方法は、超音波の音波を利用して測定用サンプル上の点で飛行時間値を測定する段階と、点の位置を測定する段階と、測定用サンプルの厚さ値を計算する段階と、飛行時間値および厚さ値を利用して速度値を計算する段階と、測定用サンプルの密度値を計算する段階と、測定用サンプルのポアソン比を計算する段階と、速度値、密度値、およびポアソン比値を利用して弾性係数値を計算する段階と、イメージ上で弾性係数値にグレイの陰影または色を割り当てる段階と、点の位置および陰影を付けられたまたは色を付けられた弾性係数値を利用してイメージを構成する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】手書き筆跡データの正確な再現、筆記者の終筆の特徴などを表現でき、筆跡をデータとして評価できるような手書き筆跡入力システムを提供する。
【解決手段】ペンスイッチがオンからオフに移行した時に、予め設定された時間内は赤外線信号と超音波信号の発信を継続する機能と、赤外線信号と超音波信号の発信周期を連続的に可変可能とする機能を前記制御手段が具備している電子ペン、並びに少なくとも、一つ以上の赤外線受光部と、二つ以上の超音波受信部を有し、前記赤外線信号と前記超音波信号の到達時間差を計測する赤外線超音波測定部、並びに該赤外線超音波測定部から得られた到達時間差を用いて前記電子ペンの位置座標データを計算する座標演算部、並びに前記電子ペンの位置座標データを筆跡データに変換する変換処理部とから成ることを特徴とする手書き筆跡入力システム。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、リアクター（反応容器）等のように容器鏡部が球面状或いは円錐状の曲面で構成され、容器胴部に各種の障害物がある場合でも容器鋼板の板厚を容易に測定することが出来る容器鋼板の板厚測定装置を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 左右の前輪10と左右の後輪11で走行する走行台車５であって、容器鋼板に対して吸着力が作用する磁性体を搭載すると共に、左右の後輪11が左右独立して駆動して前進／後退を可能とする走行駆動機構を有し、且つ略円筒形状の容器胴部１ｂの鋼板上を走行し得る走行台車５と、複数の超音波探触子７が搭載された超音波探触子ユニット13と、走行台車５に対して該走行台車５の進行方向と交差する方向に移動可能で、且つ複数の超音波探触子７が搭載された超音波探触子ユニット13を搭載するキャリッジ部材15と、走行台車５の進行方向の障害物を検知する障害物検知手段とを有して構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属部材同士を溶接した溶接部の、該金属部材内に溶け込んだ溶け込み深さを精度良く測定できる溶接部溶け込み深さ探査方法及びその探査装置を提案する。
【解決手段】金属部材同士を接合した溶接部２３と該金属部材の非溶込部２４との溶接界面２５に向けて、超音波を発信し、この反射波から二次高調波を取り出すことにより、界面反射波を割り出し、該界面反射波を受信するまでの経過時間である界面反射波到達時間に基づいて溶接界面位置Ｂを算出することにより、溶接部２３の溶け込み深さｔ₀を測定するようにした溶接部溶け込み深さ測定方法及び装置１である。この方法及び装置によれば、反射波の二次高調波から界面反射波を容易かつ正確に割り出すことができるため、超音波の反射した溶接界面位置を正確に求めることができ、溶接部の溶け込み深さを精度良く測定することができ得る。 （もっと読む）

【解決手段】プローブホルダと、物体の支持体とを有し、プローブホルダと物体の支持体との間にて三次元的に相対的に動く形態とされた座標測定機と、プローブホルダにより保持された超音波試験プローブとを備える、物体の肉厚を測定する装置である。座標測定機は、超音波試験プローブの変換器を物体の支持体にて物体の表面における位置と接触させ、プローブがプローブの接触位置における物体の肉厚を測定することができるようにする。
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【課題】 コーティング層等の異質層と材料の超音波の減衰差を利用して、異質層を除去することなく材料の厚さを簡便に、且つ、精度よく測定することを可能にした超音波による厚さ測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 表面にコーティング層２２を有する鋼管２１の厚さを超音波によって測定する方法において、鋼管２１内に超音波パルスを送信して得られる受信信号の内、鋼管２１での多重反射によって生じるエコー（多重エコー）を選択し、その間隔に基づいて鋼管２１の厚さを求める。 （もっと読む）

【課題】金属パイプの肉厚を打音により高精度に簡単に測定する方法およびシステムを提供する。
【解決手段】金属パイプに所定の強度の打撃を加えて音圧信号標本値を採取、保存する打音データ取得部１と、保存された音圧信号標本値を解析して肉厚を求めるデータ解析部２とを備え、データ解析部は、計測対象である金属パイプと同じ外径を有する複数の肉厚の異なるサンプル金属パイプの打音検査に基づいて求めた固有振動数と肉厚との関係を表す肉厚−固有振動数直線を表示する手段２３，２１と、保存された音圧信号標本値に自己相関処理を施して時系列データを求める自己相関処理手段２４と、時系列データにＦＦＴを施して周波数成分をグラフ表示する周波数成分分析手段２５とを含む。肉厚計測時には、周波数成分のグラフ表示から金属パイプの固有振動数を求め、求めた固有振動数および肉厚−固有振動数直線のグラフ表示を用いて金属パイプの肉厚を求める。 （もっと読む）

【課題】 リアルタイムに実生体系での真値の計測が可能な体腔内診断装置を提供する。
【解決手段】 被検体に対して信号を発振し、被検体からの反射信号を取得する機能を有するプローブと、該プローブと共に術中に用いられる既知の寸法を有する部品とを備える体腔内診断装置で、取得された反射信号から既知の寸法を有する部品の測定寸法を算出し、算出された測定寸法と既知の寸法との比較から、当該装置のキャリブレーションを行なう。更に、キャリブレーションされた結果に基づき、被検体の体腔の寸法測定を行なう。 （もっと読む）

【課題】成膜工程中の薄膜の膜厚を高い精度でモニタすることが可能な膜厚のモニタ方法を提供する。
【解決手段】水晶板１２_X（１２₁〜１２₁₂）を保持するステンレス鋼製の水晶板ホルダ１３と、共振周波数を検出するための羽型電極１４_X（１４₁〜１４₁₂）を保持するＰＴＦＥ樹脂製の電極ホルダ１５と、水晶板ホルダ１３と電極ホルダ１５とから成る回転可能な円板１６を回転させる真空用パルスモータ１８と、水晶板ホルダ１３と電極ホルダ１５と真空用パルスモータ１８とを被うステンレス鋼製の水冷式ジャケット１９と、水晶板ホルダ１３を成膜方向から被う窓２１付きのステンレス鋼製のマスク２０とを備え、あらかじめスパッタ成膜により、成膜工程で用いる成膜材料を前記水晶振動子のそれぞれの成膜側の表面に被覆し、その後、成膜材料を用いる成膜を行う際に、成膜材料が被覆されている水晶振動子を選択して切換えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 超音波探触子を管軸方向及び管軸回り方向にスムースに走査させることが可能で、作業性良く管内の管厚計測を行うことができる。
【解決手段】 超音波探触子１１を内部に格納すると共に、被計測面と超音波探触子１１との間に充填される接触媒質を放出する放出口１２Ａを備えた探触子格納部１２と、探触子格納部１２の導入方向前後に延設され、探触子格納部１２を管内に導入する導入部材１３と、導入部材１３の内部に備えられ接触媒質を放出口１２Ａに供給する供給ホース１４とを備え、探触子格納部１２の導入方向前後における導入部材１３の外周に、接触媒質を吸収して膨張することで管内面に密着して、被計測面と超音波探触子１１との間に充填される接触媒質を保持する接触媒質保持部材１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】 記録紙の通紙位置のバラツキを検知し、感光体ドラム上への書き込みタイミングを補正して、記録紙上に安定した画像位置を確保可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】 像担持体上のトナー像を転写する記録紙の有無を検知する紙検知センサと、前記記録紙を搬送する搬送経路とを有する画像形成装置において、前記紙検知センサは前記紙検知センサの検知面から通紙位置までの高さを検知し、前記紙検知センサからの検知信号により前記像担持体上への画像書き出し位置を決定することを特徴とする画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】 横シール部で形成した連続包装体の収容部のピッチ測定に際して、測定対象の収容部の切り換えが容易にでき、応答信号量が大きく取れてピッチ測定精度を上げることができ、収容部の中身の充填物が潰れたり包材にピンホールが生じたりしない、連続包装体のピッチ測定装置を提供する。
【解決手段】 搬送ライン上の連続包装体１０に、その厚さ方向の一方側から超音波信号を送信する超音波送信手段１４ａと、その連続包装体１０を透過した超音波信号を上記厚さ方向の他方側から受信する超音波受信手段１４ｂと、超音波受信手段１４ｂによって受信した超音波信号の大小に基づき、横シール部１０ａおよび収容部１０ｂの境界位置１０ｚを認識する境界位置認識手段１６と、認識された境界位置１０ｚに基づき収容部１０ｂ，１０ｂ間のピッチを計測するピッチ計測手段１８とを備えたピッチ計測装置である。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に付着した酸化膜の厚さを超音波共鳴によって簡単かつ高精度に測定することを可能にする。
【解決手段】被測定物１０の表面に付着した酸化膜１２の厚さを超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定するに際し、被測定物１０の厚さ方向における超音波共鳴周波数を２以上の共鳴次数で測定し、ｎ（任意整数）次共鳴周波数とｎ＋１次共鳴周波数の差の逆数にｎ次共鳴周波数を乗じる演算式により見かけの共鳴次数ｎｘを算出する。この見かけの共鳴次数ｎｘと整数の共鳴次数ｎとのずれを等価位相ψとし、この等価位相ψの周波数に対する傾きｋをあらかじめ用意した検量データと照合させることにより酸化膜の厚さｈを決定する。 （もっと読む）

【課題】配管の減肉状態を、軸方向及び周方向の位置を同定した上で高精度に測定する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】弾性波送信器５で弾性波送信素子１に非分散性弾性波を励起する。弾性波受信器７で弾性波送信素子３からの非分散性弾性波信号を受信し、Ａ／Ｄ変換器９で受信信号をデジタル信号に変換する。デジタル信号に変換された弾性波信号を複数の信号要素に分割する。次に、信号要素の伝播径路を決定し、特定の信号要素Ａの出現時間ＴＡを測定し、信号要素Ａと同一の伝播径路を経由した分散性の信号要素Ｂの出現時間ＴＢを測定する。そして、出現時間ＴＡと出現時間ＴＢとの差を肉厚データに変換する。 （もっと読む）

本発明は、構造の特性を測定する装置に関係し、この装置は、放射を異なる波長で出力するように適合された、ポンプ第１放射およびプローブ第２放射を発生する放射発生手段1,2と、構造からの反射またはその通過後の第２ビームを検出して、解析される信号を発生する検出器手段6により、構造上で第１ポンプと第２プローブ放射の間に時間オフセットを生成する手段3と、信号を処理し、ジャンプに対応するゾーンを確認し、ジャンプの振幅を異なる波長の関数として決定し、波長に従って振幅を振幅の変化の理論的な振幅変化パターンと比較し、理論的なパターンの波長特性と比較し、構造の厚さおよび構造内の放射伝播速度に関係する特徴値を決定する手段7と、を備える。
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