【課題】軸受の組立後のラジアル振れおよびアキシアル振れを高精度に測定する軸受の回転精度の測定装置を提供する。
【解決手段】内輪６の端面に当接して支持固定する内輪受け部材１０と、外輪７の端面に当接して支持固定する外輪受け部材１１と、この外輪受け部材１１上に載置され、適宜な重量からなる重錘１２と、外輪受け部材１１の上側に配設されて外輪７を回転させる回転ユニットとからなる支持部３と、案内部１３ａと、これに対して軸受２のラジアル方向およびアキシアル方向に摺動自在にそれぞれ配設された摺動部１３ｂと、これら摺動部１３ｂの先端部に装着され、外輪７の外径または端面に当接する球状の測定球１６ａを有する測定子１６と、摺動部１３ｂに適宜な測定圧を付与するコイルばね１７とからなる駆動機構１３と、測定子１６を介して駆動部１３ｂの変位を読み取るレーザ変位計１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺の真直形状や大型の平面形状を測定するために水準器に代わる道具として、被測定面に接する点と変位センサあるいは角度センサの組み合わせで多点方を実現するために、被測定面上を走査移動可能なセンサホルダを提供する。
【解決手段】被測定面に対して相対的に移動可能なセンサホルダを、被測定面に対して少なくとも２点の接点を有する形態にして、センサホルダと被測定面との２つの接点とセンサホルダの保持するセンサの測定点との３点によって、真直形状測定のための３点法と動揺の差動出力を得て、その出力から形状を求める。 （もっと読む）

【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Ｐを固定する基板保持部１１を載置する、Ｙ軸方向に離れた基板搬送部２２ａ及び２２ｃのベース構造体２上の位置を測定することによって、間接的に基板Ｐ上のＹ軸方向に離れた２箇所の位置のそれぞれと、ガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂと、位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂが測定した２つの距離が異なる場合に、該２つの距離が同じになるように基板搬送部２２ａ〜２２ｄを制御する走査制御部５と、基板Ｐとガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する相対位置測定部２９とを備え、ガントリ３に搭載されたヘッドユニット２５は、相対位置測定部２９が測定した距離に基づくタイミングで、基板Ｐにインク塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】被検出パターン配置が可能で、かつ、センサ配置領域を小さくする。
【解決手段】距離Ｄ以上の隣接センサ間ピッチで１次元配置されたｎ個（ｎ≧２）のセンサと、ｍ個（２≦ｍ≦ｎ）の被検出部位（スリット１２ａ）が、互いにユニークな配置パターンにてｋ箇所（ｋ≦_ｎＣ_ｍ）それぞれに形成されている被検出部材（立設部１２）と、を有する。そして、スリット１２ａの全てがｍ個にセンサに作用するときに、ｍ個のセンサで隣接センサ間ピッチをセンサ配列順に並べた組み合わせにおいて、少なくとも１つの隣接センサ間ピッチが、ｋ箇所から任意に選んだ２箇所で前記距離Ｄ以上異なるように、センサ配置パターンとスリット配置パターンとが決められている。 （もっと読む）

携帯型計測装置のための方法及びシステムが記載される。本発明の１実施形態は、第１のリンクと、第１の自由度で移動するように動作可能な第１の連結器によって第１のリンクと連結される第１のプローブと、第２の自由度で移動するように動作可能な第２の連結器によって第１のリンクと連結される第２のプローブと、第１の連結器の動作と関係付けられる第１のセンサ信号を出力するように動作可能な第１のセンサと、第２の連結器の動作と関係付けられる第２のセンサ信号を出力するように動作可能な第２のセンサとを有する装置である。また、実施形態は、第１及び第２のセンサと連絡するプロセッサであって、第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号を受信し、且つ少なくとも部分的に第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号に基づいて第１のプローブと第２のプローブとの間の距離を判断するように動作可能なプロセッサを有する。
（もっと読む）

本発明は、少なくとも一つの検出器（３）を備える逐次読み取りを行う絶対位置センサ（１０）に関し、前記検出器（３）は、当該検出器に対して可動な部材（１）上に設けられたターゲットパターン（２）の遷移を検出することができる。本センサは、前記検出器（３）から生じる所定の数の連続データを記憶可能なシフトレジスタと、前記レジスタの値（５）を、各々がターゲットパターン（２）に対する検出器（３）の位置に対応する所定の値のセット（６）と比較する手段とを備えていることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】光ビームの照射領域に対して糸を正確に位置決めする必要のないドップラー干渉に基づいた糸の速度を測定する装置を提供する。
【解決手段】課題は、第１及び第２コヒーレント光波６ａ、６ｂを干渉させる、糸５の速度測定方法であって、ここで、第１光波６ａは、糸５によって散乱させられた光を含み、そして、糸５に投射される第１光ビーム４ａから生じた光波であるものとし、第２光波６ｂは、第２光ビーム４ｂから生じた光波であるものとし、そして、糸５の速度を光検出器８において光波６ａ、６ｂ間のドップラー干渉から求めるものとする、前記方法において、糸５と接触させることなく、第２光ビーム４ｂを光検出器８へ導入させ、前記方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】
費用をかけずに製造可能である、測定精度が高くかつ再現性がある測長装置を提供することである。
【解決手段】
両連結部（１４１，１４２）の少なくとも一つが、少なくとも接触部（Ｐ）の領域内ではセラミック材料でできていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】摩擦力を最小にして２つの位置測定装置の回転指向性が得られるようなセンサ保持装置を提供する。
【解決手段】本発明は、シリンダ（３）と該シリンダに対し可動なピストン棒（５）とを備えたピストンシリンダアッセンブリ（１）のためのセンサ保持装置に関わる。センサ保持装置は、ピストン棒（５）と同期して運動を行ない且つ第１の位置測定装置（１１）を担持している保持要素（７）を有している。第２の位置測定装置（１３）は保持部（１５）を介してシリンダ（３）に対し軸線方向において位置固定して保持され、第１の位置測定装置（１１）と第２の位置測定装置（１３）との間に回転指向性の取り付け位置がある。この種のセンサ保持装置において、本発明によれば、シリンダ側の保持部（１５）と保持要素（７）とが互いに相対回転可能であり、保持部（１５）と保持要素（７）との間に作用する磁力が両位置測定装置（１１，１３）を互いに回転させて方向調整させる。
（もっと読む）

【課題】 取付面に段差等が存在する取付基台部に対して長尺のスケール部材でも全長に亘って水平状態等が保持される取り付けが行われる。
【解決手段】 段差７を跨って取付基台部３上に取り付けられるスケール部材５が、高位領域３Ａを基準面として高位対向部位５Ａを取付ボルト１５により固定しかつ低位対向部位５Ｂを基準面との高さ位置を補正する取付ボルト１７と高さ調整カム部材１８と保持リング部材２０とから構成される高さ調整取付ボルトユニット１６により固定する。
（もっと読む）

【課題】小型化を容易に図れ、製造上の負担を軽減でき、スピンドルの絶対位置を測定可能な絶対位置測定装置を提供すること。
【解決手段】スピンドル３の回転量を第１の周期で変化する位相信号として検出する第１のロータリーエンコーダと、スピンドル３の回転量を第２の周期で変化する位相信号として検出する第２のロータリーエンコーダとを備える。第１のロータリーエンコーダの第１のロータ４２の回転は、第１の回転円筒４３の外周に形成された第１の歯車４８と、第２の回転円筒５２の外周に形成された第２の歯車５５とに噛合する中継歯車５３によって、第２のロータ５１に伝達される。従って、二つの異なる周期の位相信号に基づいてスピンドルの絶対位置を算出できる。また、従来のようなスピンドルの螺旋状のキー溝を設ける必要がなく、小型化を容易に図れる。また、製造上の負担を軽減させることができる。 （もっと読む）

【課題】数値制御機械等において、制御部へ正確なデータを伝送する位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置は、位置測定ユニット１０、速度測定ユニット２０、算術ユニット３０、及びインターフェースユニット４０を持つ。位置測定ユニット１０で２つの測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）が測定され、速度測定ユニット２０で物体の移動値ｖが算出される。算術ユニット３０は測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）及び移動値ｖが供給されて、シーケンス電子部１００における実際の測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）の測定間の時間間隔を特定し、移動値ｖの訂正値Ｋを算出する。そのために、訂正値Ｋのデータワード幅が、移動値ｖのデータワード幅より実質的に小さい。 （もっと読む）

【課題】干渉計システムとエンコーダシステムを併用するハイブリッド方式のサーボ制御により、移動体を安定且つ高精度に２次元駆動する
【解決手段】干渉計システム、例えばＸ干渉計１２６とＹ干渉計１６とを用いてステージＷＳＴの第１の位置情報を計測する。同時に、エンコーダシステム、例えば１つのＸヘッド６６とＹヘッド６５，６４とを用いてステージの第２の位置情報を計測する。第１の位置情報と第２の位置情報の差分を所定の計測時間にわたって移動平均して座標オフセットを設定し、該座標オフセットを用いてエンコーダシステムの出力信号の信頼性を検証する。正常が確認された場合に、第１の位置情報と座標オフセットとの和を使用してステージをサーボ制御する。このハイブリッド方式のサーボ制御により、干渉計の安定性とエンコーダの精密さを兼ね備えたステージの駆動制御が可能になる。 （もっと読む）

【課題】筐体（２２）内に配置された基準尺（２０）と基準尺（２０）から間隔を開けたスキャナカートリッジ（１０）から成る測長装置に関する。
【解決手段】スキャナカートリッジ（１０）は、基準尺（２０）の互いに垂直な方向を向いた二つの案内面（２０１，２０２）上を移送されるとともに、磁気力によって、これらの面（２０１，２０２）に押し付けられる。スキャナカートリッジ（１０）内には、永久磁石（１６１，１６２）が配置されるとともに、筐体（２２）の溝（２３１，２３２）内には、スチールベルト（２６１，２６２）が嵌め込まれており、基準尺（２０）の面（２０１，２０２）に対してスキャナカートリッジ（１０）を押す磁気力が、永久磁石（１６１，１６２）とスチールベルト（２６１，２６２）との相互作用によって生じる。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の根底をなす課題は、高い測定精度を備えた測長装置を提供することにある。
【解決手段】
電気構成部品（１３）で発生した熱を帯行体（１４）に伝達するように、
かつ測定方向Ｘに対して少なくとも横方向での、帯行体（１４）と走査ユニット（１０）の間の相対運動を許容するように設計されている熱伝導部材１９を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】省スペースかつ低コストである手段により、シリンダに対するピストンの位置、ひいてはピストン棒の位置を検出できる位置調整要素を提供する。
【解決手段】本発明は、一端を閉止され加圧状態にある流体で充填されているシリンダと、シリンダ内を軸線方向に変位可能でありシリンダを第１の作業室と第２の作業室とに分割させているピストンと、ピストンの片側に配置され第１の作業室を貫通して密封案内装置を介して密封状態でシリンダの他端から突出するピストン棒とを備えた位置調整要素に関し、位置調整要素（１）はピストン棒の位置および該位置調整要素の突き出し長さを検出するための測定装置を有する。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
（もっと読む）

【課題】渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】高周波磁界を励磁して導電性膜９に渦電流を励起させるコイルと、渦電流に起因する渦電流損失の影響を受けた高周波電流を出力するコイルとを有する渦電流損失測定センサ２０と、コイルが出力する高周波電流から渦電流損失測定センサ２０のインピーダンスの変化、高周波電流の電流値の変化または高周波電流の位相の変化を測定して渦電流損失量を測定するインピーダンスアナライザ４８と、導電性膜９と渦電流損失測定センサとの距離を測定する光学式変位センサ３２と、インピーダンスアナライザ４８と光学式変位センサ３２の各測定結果に基づいて導電性膜９の膜厚を算出する膜厚演算部５４を含む制御コンピュータ４２と、を備える膜厚測定装置１。 （もっと読む）

【課題】 製作コストが廉価であって主材が鉄である構造を有する被読取部材を用いて線膨張係数が小さい位置検出手段およびその取り付け方法を提供する。
【解決手段】 相対移動装置の一方の部材にベースを介して取り付けられた被読取部材と、他方の部材に取り付けられた読取ヘッドとを備えた位置検出手段であり、ベースは線膨張係数が５μｍ／ｍ／℃以下の低熱膨張材製であり、被読取部材は主材が鉄である構造を有し、ベースに固着され且つ温度変化によるベースの相対移動方向の伸縮に同調し、ベースは一方の部材に位置決めの基準となる基点で固定されるとともに少なくとも１箇所の可動点で相対移動方向に摺動可能に押圧されて取り付けられた位置検出手段。 （もっと読む）