【課題】位置センサを用いた移動部材の移動情報の検出精度を向上させることができる移動情報検出方法、移動情報検出プログラム、計測装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ステップＳ１１では、レンズをＺ軸方向及びθｘ方向に移動させると共に、複数の位置で位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄを検出させ、さらに、Ｙ軸移動量ｄを検出したときのレンズのＺ軸方向に関する位置及び傾斜角を検出させる。そして、ステップＳ１２，１３では、位置センサのスケールの傾き角度θを算出させる。その後、算出した傾き角度θに基づいて、位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄが補正される。 （もっと読む）

【課題】２つのセンサを設けずにクラッチを組み付けた状態で駆動軸と被駆動軸の芯ずれを測定することができるとともに、作業性を向上することができる回転軸の測定装置を提供する。
【解決手段】回転軸の測定装置１０は、駆動軸と被駆動軸の芯ずれをフライホイール６１上で測定するセンサヘッド２０と、センサヘッド２０の測定データを処理するデータ処理装置４０と、を備え、センサヘッド２０は、被駆動軸に設けられたスプライン軸部の外周の周方向変位を検出する平面コイルを有する変位センサ２１を備え、変位センサ２１は、平面コイルからスプライン軸部の外周までの距離に起因する第１信号成分と、スプライン軸部の外周の凹凸形状に起因する第２信号成分とが重畳された電気信号を出力し、データ処理装置４０は、第１信号成分および第２信号成分に基づいて芯ずれ量および芯ずれ位相の情報を取得する構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 動き検出装置および方法を提供する。
【解決手段】 １つ以上の第１回転角測定センサを用いて第１角を測定し、１つ以上の第２回転角測定センサおよび前記１つ以上の第１回転角測定センサと相違する１つ以上の２軸の角速度センサを用いて第２角を推定し、１つ以上の第３回転角測定センサおよび前記１つ以上の２軸の角速度センサを用いて前記２軸のうちのいずれか１つである第３角を推定する動き検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】測長距離の制限を受けることがないと共にリニアモータの能力を十分に発揮させて制御時間の短縮を図ることができるリニアモータ位置検出システムを提供する。
【解決手段】リニアモータ５により移動されるテーブル４の直線運動をラック１２とピニオンギア１３により回転運動に変換するようにしたので、直線運動系での検出は有限目盛りであるのに対して回転運動系での検出は無限目盛りとなり、理論的には直線運動系の測長距離が無限であっても、直線運動系の測長距離を回転運動系の測長距離に容易に変換することができ、測長距離の変更に容易に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】コークス炉の移動機の現在位置を正確且つ安価に検出できる位置検出装置及び位置検出方法を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、レール３１〜３５に接し移動機２１〜２５の移動に伴って回転するローラ４２の絶対的な回転角度を測定するアブソリュート回転角度検出装置４１を備え、移動機２１〜２５の現在位置を示す位置情報を出力する位置情報出力手段と、位置情報出力手段により出力された移動機２１〜２５の位置情報の誤差を修正する誤差修正手段と、を備える。誤差修正手段は、コークス炉１０に設置された基準標識５１と、移動機２１〜２５に搭載され基準標識５１を検出する非接触式センサ５２と、非接触式センサ５２により基準標識５１を検出した場合には、その時点において位置情報出力手段から出力された移動機２１〜２５の位置情報を、基準標識５１に予め付与された基準位置情報に置換する位置情報置換手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体に固定された軸を使用せず、任意の方向にある撮影対象物の位置を取得することができる撮影対象位置特定装置、地図画像統合データベース生成装置及び撮影対象位置特定プログラムを提供する。
【解決手段】撮影装置１０が撮影対象を撮影すると、制御装置１６は、この画像情報とともに、撮影装置１０のシャッターに同期あるいは非同期で角度距離計測器１２が計測した撮影装置１０の撮影位置と撮影対象との距離データと撮影装置１０の撮影方向の方位角及び仰俯角を取得する。また、上記シャッターに同期あるいは非同期で、座標計測装置１４から撮影装置１０の撮影位置の座標情報を取得する。次に、制御装置１６は、上記取得した、距離データ、方位角及び仰俯角のデータ及び座標情報のデータに基づいて、撮影対象の座標情報を演算する。また、撮影対象の画像情報及びその座標情報は、互いに関連付けて出力する。 （もっと読む）

【課題】被検物を高精度に測定する。
【解決手段】測定装置１１の傾斜回転テーブル１４は、被検物が載置され、回転軸Ｌ１を中心に回転駆動する回転テーブル２１と、回転テーブル２１が回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸Ｌ２を中心に傾斜駆動する傾斜テーブル２２を備える。また、傾斜回転テーブル１４は、傾斜テーブル２２に対する回転テーブル２１の変位を測定する変位センサ３１乃至３３と、傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する変位センサ３４を備える。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】車室内にインストルメントパネルを高精度に取り付けることを可能にするインストルメントパネルの取付装置及び取付方法を提供する。
【解決手段】インストルメントパネルの取付装置１０は、ボディ１４における対称位置で左右一対の車体側測定基準部１２０の車幅方向位置を計測する一対の第１変位計１１２と、車室内に搬入される前のインストルメントパネル２４における対称位置で左右一対のインパネ側測定基準部１２２の車幅方向位置を計測する一対の第２変位計１１６と、第１変位計１１２及び第２変位計１１６によって得られる信号から、平面視のボディ中心位置Ｃ１及びインパネ中心位置Ｃ２を求める演算部１３４と、演算部１３４から供給される中心差ΔＣに基づいてインストルメントパネル２４の車幅方向位置を調整する調整手段８５とを有する。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の長尺シャフトなどの管状部材の内面を簡単に検査できる内面検査装置を提供する。
【解決手段】管状部材１の内面２を加工する内面検査装置であって、管状部材１を固定する固定装置１０と、固定装置１０により固定された管状部材１の内面２を加工する加工機２０、３０、４０と、内面２に区画された管状部材の内部空間に位置した状態で、加工機に加工された内面２を検知する内面検査ヘッド１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転によって変位する被測定物の初期位置から計測方向への変位を正確に計測することができる変位計測装置を提供する。
【解決手段】被測定物に設けられ、初期位置において基準面と平行な延在方向に延びるように形成されたターゲット２と、センサ本体を備えかつターゲット２とセンサ本体との計測方向の距離を計測するセンサ部と、センサ部からの出力に基づいて被測定物の計測方向の変位を算出する演算部と、を有し、ターゲット２のセンサ本体に対向する計測面２ａには、ターゲット２の回転による計測方向の変位誤差δを補償する補償面２ｃが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
軌条の挙動特に鉛直方向変位の計測は安全管理面から極めて重要であるにもかかわらず直接的に計測することは振動、衝撃等の影響から一般的には行なわれていないのが現状である。
【解決手段】
（１）電解液傾斜受感素子を内蔵し、取付面部とスペース部材を有した軌道鉛直変位計を提供する。
（２）前記軌道鉛直変位計を軌条の一定区間毎に複数設け、これら出力を鉛直方向変位量に変換するようにした軌道鉛直変位計測方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来のデジタル画像相関法では負荷試験前後の試料上の同一点を探索するために輝度画像上で識別可能な模様が必要であり、こうした模様がない場合にはマーキングを行う必要があった。本発明ではこうしたマーキングを行うことなく高い精度での同一点探索を行えるようにする。
【解決手段】金属試料片では表面の平滑化処理を行っても、微細で且つ試料毎及び部位毎に相違する凹凸プロファイルが存在する。そこで、負荷試験前の試料の凹凸プロファイル（基準高さ分布）と負荷試験後の試料の凹凸プロファイル（比較対象高さ分布）とを用い（Ｓ１、Ｓ２）、デジタル画像相関法と同様の手法により相関係数の分布を求め（Ｓ３〜Ｓ８）、最大の相関係数を与える位置が同一点であるとして（Ｓ９、Ｓ１０）、負荷試験前の試料上の注目点に対応する負荷試験後の試料上の点を求める。 （もっと読む）

【課題】
不動点間に気中にて基準線を張架して、これを基準として変位を計測することが一般的に行われているが、基準線の揺動、温度変化による伸縮変化が著しく、計測精度が損なわれるという問題があった。
【解決手段】
本発明によれば、不動点間に液体を満に貯留してその中間部に変位計測部位を有する液路を設け、この液路内に線状部材を張架して、変位計測部位に取付けた非接触変位センサにより線状部材との間隙を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】エンジンやボデーにたわみ等の変形が生じた場合であっても、エンジンマウントの変位量をグローバル座標系において算出することができ、さらに、車両の進行方向等を考慮した車両座標系に対する変位量をも算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るエンジンマウントの変位量計測方法は、センサ座標系におけるエンジンマウント１０の変位量を計測する変位量計測工程と、重力作用方向及び東西南北方向を計測することでグローバル座標系を設定するグローバル座標系設定工程と、センサ座標系のグローバル座標系に対する姿勢角を算出する姿勢角算出工程と、姿勢角算出工程で算出した姿勢角に基づいて、変位量計測工程で計測したエンジンマウント１０の変位量を前記グローバル座標系における変位量に変換するグローバル座標系変換工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物体の形状を高精度に測定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００を、被測定物体１５の形状を測定して検出値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に保持する保持機構部（アーム部１１）と、プローブ１２を移動させて、プローブ１２により検出された被測定物体１５の検出値及びアーム部１１の位置情報から測定値を算出する制御部２０と、互いの距離の真値が既知の複数の基準器３１と、基準器３１間の距離をプローブ１２で測定し、基準器３１間の距離の測定値と基準器３１間の距離の真値とから、この測定値が真値に一致するように補正する演算部３２と、から構成する。 （もっと読む）

【課題】操作性や使い勝手に優れたマイクロメータ装置を提供する。
【解決手段】測定子９を用いて微少変位を測定するマイクロメータ装置２８において液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置からなる表示装置２２に操作プログラムや測定結果を分り易く表示し、また独立な機能をもつ多数のキーからなる操作パネル２４を備えることで入力操作が簡単に行える。更にマイクロメータ装置を何台並べる多連測定において測定条件が同一の場合、測定条件転送手段２０により１台目２９の測定条件を２台目以降２８，３０に一括に転送することで各本体の測定条件の入力が効率的になる。 （もっと読む）

ウェブの移動エンコーダ信号を検知したウェブ基準信号に位相固定すること含む、ウェブ位置の決定を向上させるための手法。基材の長手方向軸に沿って配置された基準が検知され、対応するセンサ信号が生成される。推定ウェブ位置は、１つ以上のエンコーダ信号によって提供される。センサ信号とエンコーダ信号との間の位相差が計算され、位相差に基づいてウェブ位置の誤差が決定される。ウェブ位置の誤差信号は、ウェブ位置の決定の精度を向上させるエンコーダ信号を調整するためにフィードバックすることができる。
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【課題】ロータの両側にピストンを有するピストン対向型ディスクブレーキであっても、正確なピストン変位量を測定可能とする装置を提供する。
【解決手段】ディスクロータを跨いで配置するディスクブレーキのキャリパに、対向する少なくとも１個のシリンダを設け、前記各シリンダに挿入したピストンで摩擦パッドを両側から押圧して前記ディスクロータに摺接しブレーキを働かせるようにしたディスクブレーキにおいて、前記ピストンまたはディスクロータの一方にギャップセンサを設け、そのセンサによりディスクロータまたはピストンとの距離を計測し、ピストンの軸方向の変位量を測定することを特徴とするピストン変位測定方法である。 （もっと読む）

【課題】改良型の往復動内燃機関と、特に往復動内燃機関の作動のための、特にシリンダ滑り面潤滑のための改良潤滑装置及び改良潤滑方法とを提案し、それにより、従来の問題を解決し、かつ往復動内燃機関の作動時の種々の構成要素又は過程の制御及び／又は調整を改善し、特に、シリンダ内への潤滑油供給の最適時点を決定する。
【解決手段】検出装置が、制御ユニット８１を有するセンサ装置８を含み、制御ユニット８１が、配量装置６と位置センサ８２とに信号接続をされ、位置センサ８２が作動時にシリンダ４の内室４３と測定技術的に連絡することで、作動時にシリンダ４の軸線方向Ａでのピストン５の位置Ｘが位置センサ８２によって検出可能であり、往復動内燃機関が、ピストン５の位置Ｘに応じて制御可能及び／又は調整可能である。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表裏面形状にかかわらず、１つのプローブで被測定物の表裏面を高精度に測定できる表裏面測定プローブ、表裏面測定装置および表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】プローブ本体１０と、両端に接触子２２，２３を有する検出軸２０と、この検出軸２０をプローブ本体１０に対して検出軸２０の軸方向へ移動可能に支持するガイド機構３０と、検出軸２０を軸方向へ移動させる駆動機構４０と、検出軸２０と同軸上において、検出軸２０の移動位置を検出する位置検出手段５０とを備える表裏面測定プローブ。 （もっと読む）