【課題】運搬が容易で、作業時間を短縮することができる軌道検測装置を提供する。
【解決手段】基準アーム１１が、一方のレール１ａの長さ方向に沿って、レール１ａ上を走行可能に設けられている。基準アーム１１は、一端が上下方向の回転軸１１ａを中心として回転可能に連結部１４に取り付けられている。可動アーム１２が、一端に取付部１２ａを有し、他端側に可動アーム本体１２ｂを有し、取付部１２ａと可動アーム本体１２ｂとが自在継手２２により接続されている。可動アーム１２は、レール１ａ上を走行可能に設けられ、取付部１２ａが上下方向の回転軸１２ｃを中心として回転可能に連結部１４に取り付けられている。軌間アーム１３が、一端が連結部１４に取り付けられ、他端が他方のレール１ｂ上を走行可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】長尺の条材を高精度でかつ短時間で測定する方法と、この測定する方法を用いて効率よく定尺長さに切断する方法との提供である。
【解決手段】ビレット２８を搬送装置１０により搬送しつつ、第一センサー１８と第二センサー２０とで搬送方向先端と後方とを検索する。第一センサー１８がビレット２８の先端を検出してから第二センサー２０がビレット２８を検出しなくなるまでのパルス数を測定する。搬送装置の１パルス当たりの搬送距離Ｐとパルス数とを乗算して通過長さＬ２を算出する。第一センサー１８と第二センサー２０とにより定まる間隔長さＬ１にこの通過長さＬ２を加算して、ビレット２８の長さを算出する。このビレット２８は、この長さ情報を基に切断装置１２で定尺に切断される。第二センサーを複数にしてビレット２８の後方を検索してビレット２８の長さを算出してもよい。 （もっと読む）

【課題】官能検査の結果とその傾向が一致するようにショックラインの程度を数値化し，定量的な合否判定を可能にする面形状評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状評価方法では，検査対象品のショックラインの深さおよび幅の測定を，ショックラインの両側の凸部の高さの差が１．５μｍ以内となるように検査対象品をセットした状態で，ショックラインと垂直な走査線上で行い，あらかじめ検査対象品の種類に応じて合否判定ラインが定められた深さ−幅空間に前記測定の結果を当てはめ，合否判定ラインより浅いまたは幅広側である場合にその検査対象品を合格と判定し，深いまたは幅狭側である場合にその検査対象品を不合格と判定するものである。 （もっと読む）

【課題】
回転移動軸の角度割り出し精度測定を容易し、測定時間の短縮とコストの削減を可能にする角度割り出し精度測定装置、及び角度割り出し精度測定方法を提供すること。
【解決手段】
エンコーダ１１と、エンコーダ１１の摺動抵抗の大きさに対応する外径形状と長さとを有する取付けシャフト１２と、補正値を算出する演算部とを備えた角度割り出し精度測定装置１０により回転移動軸１３の角度割り出し精度を測定する。 （もっと読む）

【課題】コンベアレールの下フランジの上面の摩耗状態の検査を、簡素な構成により迅速かつ高精度に行う。
【解決手段】コンベアレール４上を走行するトロリ２からコンベアレール４の下フランジ７，８よりも下側に垂下する支持部材３２により非接触変位センサ３４，３５を上向きに支持し、該センサ３４，３５により下フランジ７，８の下面７Ｂ，８Ｂまでの距離Ｄ１，Ｄ２を測定し、この距離Ｄ１，Ｄ２を基準値と比較することによりコンベアレール４の下フランジ７，８の上面７Ａ，８Ａの摩耗状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】整流子の軸方向の異常に対して、定量的な診断を行うことが可能な直流電動機の整流子診断装置及び整流子診断方法を提供する。
【解決手段】変位量測定手段２から照射したＹ軸レーザ光Ｌ１により、変位量測定手段２から整流子１２の表面までの距離を測定し、位置検出手段８から照射したＸ軸レーザ光Ｌ２により、変位量測定手段２の整流子１２の軸方向への移動量を検出し、変位量測定手段２から整流子１２の表面までの距離の測定結果を含む変位量測定信号Ｓ１と、変位量測定手段２の整流子１２の軸方向への移動量の検出結果を含む移動量検出信号Ｓ２を、表面形状診断手段１０へ出力し、変位量測定手段２から出力される変位量測定信号Ｓ１と、位置検出手段８から出力される移動量検出信号Ｓ２に基づいて、整流子１２の表面形状を診断する。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダボアの真円度等を測定する際、シリンダヘッドとベアリングキャップ部材とをシリンダブロックに締結し、実際のエンジンの作動状態に近似させた状態で測定を行って、エンジンの作動状態における正確な真円度の測定データを得る。
【解決手段】測定するエンジンのシリンダブロック１に、シリンダヘッド３とベアリングキャップ部材とをボルトにより組み付けてシリンダ組立体９とする。これをベアリングキャップ部材８が上側となるように設置し、ウォータージャケットに高温の流体を送り込む。この状態で測定装置２０を組立体９の上方からシリンダボア２に挿入して測定することにより、エンジンの作動時の状態を再現し、内部応力や熱膨張の影響を反映した真円度を測定することができる。測定装置２０を設置するため、主軸受部には載置ブロック２１が掛け渡され、位置決めのため、シリンダボア２と合致する基準部材２２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおける熱処理装置で使用されるウェーハを載置するための熱処理治具を製造するにあたり、ウェーハに発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを測定できる熱処理用治具の形状測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】形状測定時における熱処理用治具５の支持部９、１８、２７の位置を、縦型熱処理装置における保持部の位置と同一にした。これにより、熱処理用治具５の自重による撓みが計測器上で便宜的に再現できる。よって、半導体製造プロセスにおける縦型熱処理装置で使用されるウェーハ３を載置するための熱処理治具５を製造するにあたり、ウェーハ３に発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを、簡易でかつ正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の勾配に応じてサンプリング間隔を設定するとともに、その間隔にしたがって探針を制御することにより、表面形状に適応し、測定時間の短縮と、測定精度の向上を実現すること。
【解決手段】 探針を走査時に、直前までの観測データを履歴として記憶し、観測データ形状を元に、ＸまたはＹ方向のサンプリング間隔をその都度設定し、次のサンプリング位置まで探針を走査することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】加工対象のうねり量を取得し、そのうねり量に基づいて光学系に設けられた焦点調整機構を制御して加工対象上に焦点を合わせる焦点調整方法において、よりスムーズに焦点調整機構を動作させる。
【解決手段】加工対象１５０上に焦点を合わせる焦点調整機構を有する複数の光学系１６２および加工対象１５０との距離を測定する距離測定手段１８４と加工対象１５０とを相対的に移動させ、その移動により距離測定手段１８４によって上記移動方向に沿って測定された測定データに基づいて、各光学系１６２の位置における加工対象１５０のうねり量を取得し、その取得したうねり量を上記移動方向について補間することによって各光学系１６２の焦点調整機構の制御データを生成し、その生成した制御データに基づいて焦点調整機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、測定操作が比較的に容易であり、しかも凹凸を高精度で簡易に測定することができる剛体電車線凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の剛体電車線凹凸測定装置は、レール２上を移動する自走式架線工作車１に固定される固定枠６と、この固定枠６に対して可動する可動枠７と、可動枠７に固定されて剛体電車線のパンタグラフ摺接面との間の変位を非接触状態で測定する計測するレーザ変位センサ１０と、レーザ変位センサ１０の上下振動の加速度を計測する上下加速度センサ９とからなる。 （もっと読む）

【課題】大型の揚水ポンプや遠心圧縮機，往復圧縮機の内部に設ける羽根車を、安全かつ速やかに自動三次元測定する三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】羽根車の測定に際し、測定対象物の設計データたる三次元ＣＡＤデータから、最適なスキャンパス情報を作成し、そのスキャンパス情報に基づき、アーム型三次元測定機の測定機手先部を三次元移動させる測定機取り付け部と、取得した表面形状情報を座標点群として順次記憶する制御端末とからなる。
制御端末内に設けた仮想空間内で、測定対象物を含めた実際の三次元測定にかかる構成機器から、装置の挙動をシミュレートし、最適なスキャンパス情報を作成する。スキャンパス情報は、中継ポイントと呼ばれる測定機取り付け部の三次元移動経路点と、その経路点間における測定機手先部の姿勢に関する情報からなる。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ取付具の幾何学的データを自動的に決定することができる方法および装置を作り出すための解決法を提供する。
【解決手段】ワイヤ取付具の非接触走査のためのこの方法において、ワイヤ取付具は、第１距離センサ１４によって、かつ第２距離センサ１５によって走査される。第１距離センサ１４は、ワイヤ取付具を、この場合はクリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、複数回、下から非接触的に走査する目的を果たす。第２距離センサ１５は、クリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、上から非接触的に走査する目的を果たす。関連するｘ、ｙ軸を備える測定値から、ワイヤ取付具の幾何学的データが決定される。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】 短時間に、精度の高いＳＰＭ測定を行うことができる複合型顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブにより試料３表面を走査し物性値の力を検出し画像化可能にしたＳＰＭ６、試料３の表面形状の３次元情報を取得可能にしたＬＳＭを有し、ＬＳＭにより取得された３次元情報に基づいて制御部１１によりＳＰＭ６の走査軌道情報を求め、該走査軌道情報に基づいてプローブの走査軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータなどを用いて３次元測定器による物体の測定を行う際に、３次元測定器と物体との相対的な位置および姿勢を容易に決定できること。
【解決手段】３次元測定器または物体の一方を固定し、他方を位置および支持姿勢が変更可能なようにマニピュレータで支持点において支持し、支持点を第１の位置Ｐおよび姿勢Ａとして第１の測定を行い、支持点を第２の位置Ｐ’および姿勢Ａ’となるように変更し、その際に、第２の位置Ｐ’が、第１回の測定における３次元測定器の測定可能領域内の基準位置Ｃｆを中心として、第１の姿勢から第２の姿勢への変化分ｄＡと同じだけ反対側へ姿勢を変化させた位置Ｐ’となるようにし、位置および姿勢の変更を行った後で第２の測定を行う。 （もっと読む）

サンプルの表面形状を測定するためのＳＰＭベースの計測技法は、表面形状のＳＰＭ走査の結果取得された形状端部ポイントの一群に曲線をフィットさせる。２つの曲線が注目する形状の両端部でフィットされる場合、それらの曲線間の最大または最小距離を決定して、最大ビア幅、最小ライン幅などの注目する寸法を確定することができる。走査は、好ましくは、Ｙ方向には比較的低い解像度の走査であり、一般に、注目する形状全体で８〜１２個の走査プロファイルを有し、従来技法で一般に使用される解像度の約半分の低解像度である。低解像度走査は比較的迅速に高い併行精度で行うことができる。併行精度も従来技法の場合よりも高く、併行精度のレベルはＹ方向の解像度に比較的影響されない。低解像度を使用するとチップ摩耗も著しく減少し、高解像度走査と比較して処理能力が向上する。
（もっと読む）

【課題】 被測定物（例えば自動車用ガラス又はその検査用枠材）の形状を高精度に検査することができる物体形状検査装置の提供。
【解決手段】 被測定物の２点以上の測定点についての少なくとも鉛直方向に関する位置情報を、接触方式又は非接触方式の測定手段を用いて取得する物体形状検査装置６０において、被測定物の各測定点に対応する各測定位置に、測定手段を案内する案内機構６６と、測定手段６２ｂの測定データを、測定手段の水面に対する移動軌跡に関する事前取得情報に基づいて補正して、各測定点の鉛直方向の位置情報を生成するデータ処理装置８０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）