【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】定形体群の立体的な配置を高精度に把握することができ、これにより定形体群の断面解析、時差比較解析などを高精度に行える定形体群の立体配置状況解析方法を提供する。
【解決手段】定形体群へ測定波を発し、３次元多点群と多数の３次元ポイントデータとを取得し、次に、３次元多点群を構成する３次元ポイントデータの中から定形体と推定される領域を順次抽出し、その後、あらかじめ取得した３次元定形体モデルを、抽出した定形体の推定領域に、画像サイズと位置とを３次元的に一致させて順次挿入する。全挿入後、定形体群の３次元ＣＧを３Ｄディスプレイまたは２Ｄディスプレイに立体表示するので、定形体群の立体的な配置を測定誤差の影響を小さくして高精度に把握でき、定形体群の断面解析、時差比較解析などを高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法
【解決手段】本発明は座標測定装置（１０）を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である１つまたは複数のセンサを使用できる。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】極めて簡単かつ低コストで測定して、当該測定結果から定量的に腐食速度を求め、さらにｎ年後の腐食量を推定することができる鋼管部材の内面めっきの腐食量推定方法を提供する。
【解決手段】ある期間毎に鋼管部材全体の厚さ及び外面めっき層の厚さを測定し、これを少なくとも４〜５回行い、各回の測定時の鋼管部材全体の厚さの測定値Ａから外面めっきの厚さの測定値Ｂを減じた値を算出してこれを算出値Ｃとし、第２回以降の各回の測定時に算出した算出値Ｃ_ｎから第１回の測定時に算出した算出値Ｃ_１を減じた値が第１回の測定時に対する第２回以降の測定時の内面めっき厚の減少値でありこの絶対値Ｄ_ｎを第２回以降の各回の腐食量とし、これらの腐食量から腐食速度を統計的処理により算出又は推定し、ｎ年後の腐食量を求める。 （もっと読む）

パターン化された構造の少なくとも１つのパラメータの測定で使用するための方法およびシステムが提供される。方法は：構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータと、理論的信号と測定された信号との間の関係は、構造の少なくとも１つのパラメータを示す理論的信号を示すデータとを含む入力データを提供する過程と；構造の少なくとも１つの性質を特徴付ける少なくとも１つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程と；フィッティングプロシージャの前記実行は、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するために前記ペナルティ関数を使用することと、構造の前記少なくとも１つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することとを含む、理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程と；からなる。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能なアーム部であって、接続されたアームセグメントを含み、各アームセグメントが、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、アーム部と、ＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。可搬型のＡＡＣＭＭを実装することが、データが送信される送信経路を判定することによって、データが受信される送信元デバイスを特定するステップであって、送信元デバイスが、ＡＡＣＭＭの第１の端部に取外し可能なように装着される、ステップと、送信元デバイスの特定情報に基づいてデータのデータタイプを判定するステップと、データタイプに応じてデータに対してアクションを実行するステップと、アクションを実行した結果を送信先デバイスに出力するステップとを含む。
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【課題】ウェブ又は板状の被測定物の温度分布が異なる場合であっても、ウェブ又は板状の被測定物の温度を正確に測定することができる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】ウェブ又は板状の被測定物ａの物理量を測定する際に、ウェブ又は板状の被測定物ａの温度を測定する温度測定装置である。エアーカーテン形成手段１０にて、ウェブ又は板状の被測定物ａの物理量測定部位を外部からの気流を遮断する気流流入防止雰囲気に形成し、その雰囲気中でウェブ又は板状の被測定物ａの温度又はウェブ又は板状の被測定物ａの近傍の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】多チャネルクリアランスセンサシステムの自己校正システムを提供する。
【解決手段】自己校正システム１１０は、固定物体と回転物体との間の少なくとも１つのクリアランスパラメータ信号を測定する少なくとも１つのセンサを有する。このセンサからの出力は、クリアランスパラメータ信号のオフセット誤差を求めるよう構成されたオフセット補正部１３７により、クリアランスパラメータとして処理され、このパラメータは、レベルシフタ１２０において用いられる。このレベルシフタは、クリアランスパラメータ信号と切替可能に結合されている。レベルシフタからの出力は、増幅及びデジタル変換可能であり、信号レベル解析器１５４により処理されて、チャネル利得信号が求められる。 （もっと読む）

本発明は、オブジェクト（２）の位置を決定するための位置決定システム（２０１）に関する。第一位置検出ユニット（２０５）が、送受信ユニット（２０３、２１４、２１６、２１７）によってオブジェクト（２）と基準位置に対して知られている転送位置との間で転送される放射に基づいて、オブジェクト（２）の第一の位置を検出する。第二位置検出ユニット（３５）が、オブジェクト（２）の加速度および決定された前記第一の位置に基づいて第二の位置を検出する。出力ユニット（１２）が、第一の位置および第二の位置の少なくとも一つを出力する。放射の転送が遮られても、第二の位置が出力ユニットによって出力されることができる。さらに、第一の位置が、第二の位置を決定するまたは第二の位置を更新するための初期値として使用されることができる。これはオブジェクトの位置決定の品質を改善する。
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【課題】備える機能素子を直接測定することなく、機能素子の寸法を精度よく測定することにより、機能素子の状態が把握されることができる電子装置を提供すること。
【解決手段】電子装置１は、基板２と、基板２上に配置され、固定電極３１および固定電極３１と空隙を隔てて対向配置された可動板３２２を備える可動電極３２を有する機能素子３と、基板２上に設けられ、機能素子３が配置された空洞部６を画成する素子周囲構造体５と、基板２上の空洞部６の外部に設けられ、固定電極３１に対応する第１の検査用膜４１と、可動電極３２に対応する第２の検査用膜４２とを有する検査体４とを有し、検査体４は、所定の部位の寸法が測定されることにより、機能素子３の所定の部位の寸法を求めるために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）

【課題】対向配置された対象物同士の相対的な傾きをを高精度にかつ容易に調整することができる傾き調整の技術を提供することを目的とする。
【解決手段】基板５５には第１検出部である電極が形成され、基板５６には第２検出部である電極が基板５５の電極と対を構成する位置に形成されている。そして、基板５５および基板５６をステージ部１５の保持部２９およびヘッド部３９の保持部４４にそれぞれ保持し、基板５５および基板５６の電極の対の間の静電容量を検出部５０により検出する。そして、検出された静電容量が所定の値になるように、Ｘ−Ｙテーブル制御部５２によってＸ−Ｙステージ機構１１を移動させ、基板５５および基板５６の相対的な傾きを調整する。 （もっと読む）

【課題】車体と路面との距離を高精度に測定が可能な車高測定装置を提供する。
【解決手段】車体４に設けられ、車体４と路面との距離を超音波を用いて測定する車高測定装置１Ｒは、超音波を路面の所定部位に向けて発信するとともに前記所定部位から跳ね返った反射波を受信する受発信手段を備え、前記所定部位は、自車の移動に伴い自車の車輪が踏んだ跡であり、前記受発信手段の車体４に対する取り付け位置は、車幅方向において車両直進時の左後輪２Ｒの車輪幅内であり、且つ、左後輪２Ｒに対し車体後方側に設けられたマッドガード３の後方とした。 （もっと読む）

【課題】被測定対象物の周囲に障害物がある場合においても正確に３次元形状を測定することのできる３次元形状測定システムおよび測定された３次元形状によって容易に強度を評価することのできる評価強度評価システムを得ることにある。
【解決手段】被測定対象物の３次元表面形状を測定する表面形状測定装置１と、被測定対象物の３次元内面形状を測定する内面形状測定装置２と、被測定対象物の構造材内部の状態を測定する非破壊測定装置３と、この表面形状測定装置、内面形状測定装置、非破壊測定装置によって計測された３次元点群データを入力合成する点群データ変換入力合成装置４と、この点群データ変換入力合成装置によって合成処理した点群データから３次元形状を作成する３次元形状変換処理装置５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被加工物と工具取付け軸の位置を常に正しく検知しながら正しい寸法の加工物が得られる工作機械の状態検知装置および方法を提供する。
【解決手段】数値制御自動工作機械１において工具取付け軸６はＸ軸方向の正逆両方向へ駆動され、工具保持部材７はＺ軸方向の正逆両方向へ駆動され、移動テーブル１３はＹ軸方向の正逆両方向へ駆動される。工具取付け軸６先端の工具８は移動テーブル１３上に固定して載置される被加工物に対して相対的にＸＹＺの３次元方向へ移動しながら被加工物を所定に形状に加工する。工具取付け軸６の下部に配設された波動発信器９から所定の波動エネルギーが常時発信され、据付テーブル３の一方（図の左方）の端部の２個の波動受信機１２ａ、１２ｂ、長短４本の波動受信機設置アーム１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂに設けられた４個の波動受信機１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆにより常時工具取付け軸６の位置と被加工物との位置関係を検出しながら工具８により被加工物が加工される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の温度分布が異なる場合であっても、被測定物の温度を正確に測定することができる温度測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物ａの物理量を測定する際に、被測定物ａの温度を測定する温度測定方法である。外部気流流入防止手段１０にて、被測定物ａの物理量測定部位を外部からの気流を遮断する気流流入防止雰囲気に形成し、その雰囲気中で被測定物ａの温度又は被測定物ａの近傍の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】対象物品の計測メッシュからユークリッド対称性認識を行うユークリッド対称性認識システムを提供する。
【解決手段】本発明は、計測メッシュに対してメッシュ各頂点の主曲率を計算し、メッシュ各頂点の主曲率を用いて、平面領域の境界近傍にある頂点集合を特徴領域として抽出し、特徴領域群から形状が一致するシード特徴領域ペアを抽出し、ＩＣＰ法とRegion Growing法により同一の変換パラメータでマッピング可能な頂点ペアを逐次的に各シード特徴領域に追加することで特徴領域ペアを拡大し、互いにユークリッド対称な領域ペアとそれらの変換パラメータを抽出し、ユークリッド対称な領域ペアから平面反射、回転若しくは平行移動で表現できる領域ペアを見出し、当該領域ペアと共に対称性を表現するシステムを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精度良く、シリンダライナとピストンとの間における油膜の膜厚を計測することのできる膜厚計測装置を提供する。
【解決手段】ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間の膜厚については静電容量方式により計測された膜厚データを選択し、ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間以外のピストンの壁面とシリンダライナの壁面との間の膜厚についてはレーザ誘起蛍光法により計測された膜厚データを選択する。そして、選択した膜厚データを記録する。 （もっと読む）

本発明は、物体の上に誘導される寸法測定デバイスによる物体の寸法取得の効率を向上させる方法であって、a)測定デバイスを物体の上に誘導して、その寸法を取得するステップと、b)取得した領域の分解能の指示をもたらすステップと、c)測定デバイスを、取得した領域の、所定の基準に基づいて不十分な分解能を指示する少なくとも一部分の上に再度誘導するステップと、d)取得した領域の分解能の指示を更新するステップと、e)所定の基準に基づいて十分な分解能が指示されるまで、ステップc)およびd)を繰り返すステップとを含み、それにより、物体の寸法を十分な分解能で効率的に取得する方法に関する。本発明は、そのためのコンピュータプログラムにも関する。
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