【課題】本発明は、振動センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出レベルを安定させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１内に下蓋５上で振動可能に懸架された振動型センサ素子２と、振動型センサ素子２を制御する制御回路素子３を収納した振動型センサ装置において、振動型センサ素子２の接続部６と支持部７の境界部分、あるいは、この境界部分と対峙する下蓋５部分に拡開部１９を設け、この拡開部１９を接着剤２０の非流入部分とした。 （もっと読む）

【課題】クワドラチャーエラーを補正してバイアス出力を低減できる構造を備えた振動型ジャイロの提供。
【解決手段】駆動振動にＹ方向成分が含まれる場合、駆動質量体６と固定電極２４との間の静電容量が変化するので、Ｙ方向成分をクワドラチャーエラーとして電気的に検出することができる。駆動質量体６と固定電極２４との間の初期容量は、角速度検出用の電極の初期容量とは異なる大きさであり、クワドラチャーエラーの大きさも異なるので、それぞれの容量変化をＣ−Ｖ変換回路で電圧に変換し、電圧の振幅が一致するように可変アンプで調整し、位相を一致させて差分を出力すれば、クワドラチャーエラーが差し引かれた出力信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子から検出した信号に含まれる不正振動ノイズの影響を抑え、予め定められた値以上のＳＮ比を確保して歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コリオリ力に応じた電気信号ＳＲ，ＳＬと、コリオリ力に応じて変化しない基準信号ＦＢとを検出することが可能な振動子と、振動子を駆動する駆動回路２と、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬに対して予め定められた処理を行ない角速度を検出する検出回路１とを備える角速度検出装置である。検出回路１は、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬと基準信号ＦＢとの差分演算を行ない、電気信号ＳＲ，ＳＬから振動子に生じている不正振動によるノイズを除去する駆動ノイズキャンセル回路１２を有している。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に孔部４０を備えたシリコン製の第２部材２０と、第１部材１０および第２部材２０に囲まれるキャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部７０は、底面４１を備え、該底面４１の一部に設けられた連通孔７０によってキャビティー３２に連通し、孔部４０の一方の面２２側の開口４２面積をＳ１、連通孔７０の一方の面２２側の開口７２面積をＳ２、連通孔７０のキャビティー３２側の開口７４面積をＳ３、孔部４０の底面４１の面積をＳ４としたとき、Ｓ２＜Ｓ３＜Ｓ４＜Ｓ１の関係を有する。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に設けられた孔部４０と他方の面２４側に設けられたキャビティー３２とを備えたシリコン製の第２部材２０と、キャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部４０は、平面視で多角形の開口４２を有し、かつ、孔部４０の底面４１の一部に設けられた連通口７０によってキャビティー３２に連通している。 （もっと読む）

【課題】良好な感度特性および帯域特性を有するジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー１００は、駆動用バネ部１１４に接続されている駆動用支持部１１２を備えた駆動部１１０と、駆動用支持部１１２に検出バネ部１２４を介して接続されている検出用支持部１２２を備えた検出部１２０と、を含み、駆動用支持部１１２は第１軸（Ｘ軸）の方向に振動可能であり、検出用支持部１２２は第１軸（Ｘ軸）に直交する第２軸（Ｙ軸）の方向に変位可能であり、駆動部１１０の共振周波数をｆ_１とし、検出部１２０の共振周波数をｆ_２とし、駆動用バネ部１１４の幅をｗ_１とし、検出用バネ部１２４の幅をｗ_２とすると、下記式（１）を満たす。
０．８７（ｆ_２／ｆ_１）≦（ｗ_２／ｗ_１）≦１．１３（ｆ_２／ｆ_１） ・・・ （１）
（ただし、ｗ_１≠ｗ_２、かつｆ_１≠ｆ_２） （もっと読む）

【課題】検出質量体が駆動質量体と弾性的に分離されており、駆動質量体の駆動振動によって検出質量体が駆動変位相当の変位を伴わない構造を有し、かつ、製造ばらつきに起因する構造的非対称性により発生する検出質量体の変位を相殺する手段を有する振動型ジャイロの提供。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面の第３象限内及び第４象限内には、それぞれ、検出質量体１４の櫛歯電極４４に対向する第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２が基板２に固定配置される。第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２にＡＣ電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。 （もっと読む）

【課題】母基板への実装が容易となったセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ基板（１０）と、回路基板（３０）と、パッケージ（５０）と、を有し、パッケージ（５０）が母基板（２００）に実装されるセンサ装置であって、パッケージ（５０）は、底部（５１）と、該底部（５１）に形成された環状の側壁部（５２）と、該側壁部（５２）の開口部を閉塞する蓋部（５３）と、を有し、センサ基板（１０）は、底部（５１）、側壁部（５２）、及び、蓋部（５３）によって構成された密閉空間内に配置され、回路基板（３０）は、密閉空間の外部に配置され、回路基板（３０）が接続された底部（５１）の外壁面（５１ｂ）には、ｚ方向の長さが、回路基板（３０）よりも長い凸部（５６）が形成され、該凸部（５６）と母基板（２００）とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサ（２０）は、振動運動を受けるように構成された駆動質量（３０）と、駆動質量（３０）に連結された感知質量（３２）とを含む。軸上トーションばね（５８）は、感知質量（３２）に結合され、当該軸上トーションばね（５８）は回転軸（２２）と同一ロケーションに配置されている。慣性センサ（２０）は、軸外ばねシステム（６０）をさらに含む。軸外ばねシステム（６０）は、軸外ばね（６８、７０、７２、７４）を含み、その各々は、感知質量（３２）上の回転軸（２２）からずれたロケーションにおいて感知質量（３２）に結合された接続接合部分（７６）を有する。合わせて、軸上トーションばね（５８）および軸外ばねシステム（６０）は、感知質量（３２）が、駆動質量（３０）の駆動周波数に実質的に一致する感知周波数において回転軸（２２）を中心として平面外で振動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１の開口部１ａに振動型センサ素子２及びこれを制御する制御回路素子３を配置して上蓋４で封口する振動型センサ装置において、上蓋４を金属で成形し、この上蓋４に自己共振周波数を調節する自己共振周波数調整手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサは、クロスした４個の構成の４つの相互接続されたセンサ素子５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄを含んでいる。各センサ素子は、フレーム、５２Ａ，５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄおよびフレーム内にサスペンドされている共振器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、５４Ｄを含んでいる。隣接するセンサ素子のフレームが、互いに逆位相で動くことを可能にするが、互いに同位相で動くことを実質的に防止するように、センサ素子は配置されている。センサ素子は、横方向に連結された配置、縦方向に連結された配置、または完全に連結された配置で構成されている。一組の対のセンサ素子は、縦方向に連結され得る。 （もっと読む）

【課題】接着剤同士の凝集の問題を解消してパッケージ内の複数の電子部品の位置ずれによる問題を無くしたパッケージ部品を構成する。
【解決手段】パッケージ部品１０１は、パッケージ本体２２と、その内部に収納されたセンサチップ３０及びＩＣチップ３１を備えている。パッケージ本体２２は、内底面と内側壁とにより構成される中空部２３を備えている。パッケージ本体２２の内底面には凹部２４が形成されている。センサチップ３０は凹部２４に第１の接着剤３３で接着固定されている。ＩＣチップ３１は、凹部２４以外の領域に、第２の接着剤３４で接着固定されている。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、基体１０と、基体１０に載置されている蓋体２０と、基体１０および蓋体２０に囲まれるキャビティー３２に載置されている機能素子１０２と、を含み、基体１０および蓋体２０の少なくとも一方には、貫通孔４０と、貫通孔４０を塞ぐ封止部材６０と、が設けられ、基部１０および蓋体２０の少なくとも一方のキャビティー３２を規定する面１５ａに金属層７０が設けられ、金属層７０は、平面視において貫通孔４０のキャビティー３２側の第１開口４１に重なって設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】別部品を用意することなく、検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】隣接するリード３０がケース２１から突出している部分において固定タイバー３１によって連結されているものを備えるケース２１を用意し、ケース２１に接合部材４０を介してセンサ部１０を搭載する。その後、固定タイバー３１の一部をリード３０に残しつつカットしてリード３０を分離することにより、センサ部１０をリード３０のうちケース２１から突出する部分および固定タイバー３１の残部にて構成されるリード部３２の共振周波数に対する振動を吸収する動吸振器として作用させるカット工程を行う。 （もっと読む）

【課題】電力消費が低下したマイクロマシニングによるジャイロスコープを提供する
【解決手段】基板と、第１方向ｘ又はｙに沿って振動するように構成された３つの質量体ｍ１、ｍ２及びｍ３とを備え、第１質量体ｍ１は基板に機械的に連結され、第２質量体ｍ２は、第１質量体ｍ１及び基板に機械的に連結され、第３質量体ｍ３は、第２質量体ｍ２に機械的に連結され、各質量体ｍ１、ｍ２及びｍ３の重さ及びばね定数ｋ１，ｋ２、並びに、機械的連結ｋ１２，ｋ２３が、動作中に質量体ｍ１及び質量体ｍ３の共振周波数を充分に上回る周波数で質量体ｍ２が振動するように選択される。質量体ｍ２の共振周波数は、質量体ｍ１又はｍ３の共振周波数より、少なくとも２倍、更には２．５倍大きくてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】互いに直交の関係にあるｘ方向とｙ方向とに変位可能な振動子、該振動子をｘ方向に振動させる加振部、及び、振動子のｙ方向への変位量を検出する検出部を有する角速度センサ（１０）と、該角速度センサ（１０）を搭載する搭載部（３０）と、角速度センサ（１０）と外部素子とを電気的に中継するリード（４０）と、該リード（４０）と搭載部（３０）を支持する支持部（５０）と、を有し、リード（４０）が外部素子に機械的に固定される角速度センサ装置（１００）であって、搭載部（３０）は、支持部（５０）に片持ち支持された吊りリード（３１）を有し、該吊りリード（３１）の端部に角速度センサ（１０）が搭載されており、吊りリード（３１）の長手方向が、ｘ方向若しくはｙ方向に沿っている。 （もっと読む）

【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法に関する。
【解決手段】本発明による慣性センサーは、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含み、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置するサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含む。 （もっと読む）