【課題】フライアッシュ、シリカフューム等の混和材や石灰岩からなる骨材が含まれている可能性のあるセメント系硬化体であっても、結合材全体の化学組成を高い精度で簡易に推定することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）セメント系硬化体において適宜定めた二次元領域をピクセル単位に区画した後、電子線マイクロアナライザーを用いて、ピクセル毎に化学組成を分析する工程と、（Ｂ）工程（Ａ）で得られた分析結果に基いて、上記二次元領域内のピクセルから、特定のしきい値を基準として、結合材に相当するピクセル群を選択する工程と、（Ｃ）工程（Ｂ）で得られた、結合材に相当するピクセル群を対象として、該ピクセル群に属するピクセルの化学組成の平均値を算出することによって、セメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定値を得る工程と、を含むセメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】試料透過後の線束を減ずる事無く、放射線検出素子に入力させることでＳ／Ｎを改善した放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線源と、該放射線源からの放射線を被検査物を介して受光する第１放射線検出素子と、該第１放射線検出素子の近傍に配置された前記第１放射線検出素子と同等の第２放射線検出素子を少なくとも一つ設けるとともに、前記第２放射線検出素子を前記放射線から隔離する隔離手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、試料パターンの輪郭線の余剰、重複またはヒゲだけでなく、輪郭線の途切れも解消することのできる技術を提供するものである。
【解決手段】検査対象試料を生成するためのデザインデータに対して細線化処理を行い、対象試料上に形成されたパターンの内側と外側を規定するパターン内外規定情報を生成する。そして、対象試料画像のエッジ強調画像の画素値を参照しながら、パターン内外規定情報で示される領域を膨張させることにより領域分割を行い、対象試料のパターン輪郭線を生成する。 （もっと読む）

【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】多様な試料を扱う二次イオン質量分析においても、装置周囲に付着した不純物の影響を排除し、精度のよい分析を行うことができる二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】電子線、放射線及び一次イオンから選ばれる１種以上を固体試料に照射し、該固体試料から発生する、電子、放射線及び二次イオンから選ばれる１種以上を検出して固体試料の分析を行う分析装置に用いられる試料ホルダーにおいて、封入された相変化材料が装着されている。 （もっと読む）

【課題】呼吸器官から侵入したナノ粒子の生体内における曝露状態、すなわち、どのようなナノ粒子がどの程度体内に蓄積されているかを、簡易かつ安全で、低侵襲な手段で分析する方法を提供する。
【解決手段】生体から採取した体液中の食細胞を観察して、この食細胞に蓄積した粒子を検出することにより、曝露によって生体内に蓄積した粒子を分析する。上記体液は血液または喀痰であることを特徴とし、検出方法はラマン分光顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて、該食細胞に蓄積した上記粒子を検出する。 （もっと読む）

【課題】規則構造を有する材料の規則構造を評価する方法を提供する。
【解決手段】被撮像物の原子配列を認識可能な画像データを用いる規則構造評価方法において、前記画像データに対し、フーリエ変換処理、空間周波数フィルタリング処理、及び逆フーリエ変換処理を行い、評価対象の規則構造の像強度の分布を示すデータを生成する工程と、前記画像データから前記規則構造を有する領域の境界の画素位置を得る工程と、前記像強度の分布を示すデータから、前記工程で得られた画像位置に対応する像強度を得る工程とを有することを特徴とする規則構造評価方法。 （もっと読む）

【課題】複合部材中の結晶性粒子の結晶方位分布の偏りを解析する、結晶方位分布の偏りの解析方法を提供する。
【解決手段】結晶方位分布の偏りの解析方法は、複合部材中の結晶性粒子の断面を画像化する画像化工程と、画像化工程によって作成された画像のうちの上記結晶粒子の個々の結晶方位を判定する判定工程と、判定工程によって判定された結晶方位の分布を特定する分析工程と、分析工程で得られた分布を解析して結晶方位分布の偏りを解析する解析工程と、を有している。判定工程と解析工程とは、電子後方散乱回折像法を用いて行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
半導体プロセスの立ち上げ時期のように、検査すべき項目が多種多様であり、かつそれらが時間と共に頻繁に変化する場合であっても、簡易な操作で対応可能なウェハ検査技術を提供する。
【解決手段】
検査画像を収集した後に、検査画像の中からテンプレートを作成する。このテンプレート上に複数の領域を定義し、各領域に検査手法と出力指標を対応付けて登録する。検査時は、取得した検査画像に対応するテンプレート画像を参照し、そこに登録されている検査情報に基づいて検査実行し出力定量値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 半導体単結晶基板の結晶欠陥を、高感度に検出し精度良く評価することのできる半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法であって、少なくとも、前記半導体単結晶基板を水素雰囲気下８００〜１１００℃で熱処理した後、該熱処理した半導体単結晶基板の表面に顕在化した結晶欠陥の検出を行うことによって、前記半導体単結晶基板の結晶欠陥の評価を行うことを特徴とする半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法。 （もっと読む）

【課題】複数の検出器からの検出信号をパターン配置に応じた適切な配分比を用いて合成して、多層レイヤにおける下層パターンのコントラストを向上する技術を提供する。
【解決手段】複数の検出器から得られた検出画像を用いて画質改善を図ることを可能とする荷電粒子線装置およびその画質改善方法において、配置場所の異なる各検出器の出力に対応する検出画像を用いて、１枚以上の出力画像を生成する方法を、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度の情報等を用いて制御するものである。このように、複数の検出器を用いることで検出信号範囲を拡大し、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度を用いて検出信号を合成することで、コントラスト等の画質の改善を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の技術においては、設計データを用いることにより、ウェーハ上の配線等の構成物との相対関係を考慮し、欠陥の重要度の判定は可能であるが、設計データが無い場合は、判定ができなかったので、設計データが入手できない場合についても欠陥検出の実施を可能とする方法を提供する。
【解決手段】半導体デバイスにおいて、製造するための設計データの代わりに、実際のウェーハ上の画像を取得することにより、半導体デバイス上の構成物との相対位置を検出し、欠陥の重要度を判定することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ビームハードニングの発生を抑制しつつ、フラックスの空間的な強度分布を改善し、中央部と周辺強度のフラックスのエネルギー分布と線量を揃え、測定位置に起因する測定誤差を低減することを可能とするＸ線測定装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線源から出射されるＸ線を試料に照射し、試料の透過線量をＸ線検出器で検出するＸ線測定装置において、
前記Ｘ線源より円錐状に出射されたＸ線を扇状に薄くスライスしたスライスビームＸ線にビーム変換するコリメータと、
このコリメータと前記試料の間に介在し、前記スライスビームＸ線のフラックスの一部を通過または遮蔽し、ビームハードニングを抑制すると共に前記フラックスの強度分布を調整するフラックス遮蔽板と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。
【解決手段】１以上の試料を特徴付けるための超高速システム（および方法）である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が１ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは１ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号（たとえば、データ信号）を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。 （もっと読む）

【課題】
レビューＳＥＭにおいて、目標とする欠陥を間違いなく検査する。
【解決手段】
欠陥検査装置が検出した欠陥から目的とする欠陥を選定し、その座標を取得し、レビューＳＥＭの視野を目的とする欠陥の座標に合わせてＳＥＭ像を撮像し、ＳＥＭ像中の欠陥を画面内の座標と共に検出し、欠陥検査装置が検出した欠陥と対応するＳＥＭ像中の欠陥を重ねるための座標調整値を求め、目的とする欠陥の調整した座標に合わせて、拡大ＳＥＭ像を撮像する。 （もっと読む）

本発明は、文書を形成する媒質に吸収させたまたは埋め込んだナノ粒子の利用に基づいた文書の同定および照合システムならびに同定および照合する方法に関する。それによって、各々独自の特性を有する、異なるナノ粒子を組み合わせることによって、ナノ粒子の異なる光反射率特性を使用して、高性能の偽造特定を提供する。
（もっと読む）

【課題】性能指標が向上したスピン検出器、及び当該スピン検出器を用いた表面分析装置を提供する。
【解決手段】スピン検出器５は、電子線が照射される面に、面の法線方向に対して傾斜した傾斜面を有する突起部５２が形成されたターゲット５１と、突起部５２の傾斜面で電子線が電子線のスピン偏極度に応じて散乱する方向側に配置された電子検出器ＤＲｙ，ＤＬｙと、を有する。また、表面分析装置１は、試料Ｓ表面に１次電子線を照射する電子線鏡筒３と、上記スピン検出器５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶１３、波長分散型Ｘ線分析装置１０および元素分布測定方法を提供する。
【解決手段】分光結晶１３は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料１から検出器１４に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料１側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶１３は、基準直線が試料１と検出器１４とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器１４が、Ｘ線を検出する線状または面状の検出部１４ａを有し、検出部１４ａが試料１と検出器１４とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定値からノイズの影響を除去する。
【解決手段】測定対象物上に複数の測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nを設定し、測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nの並ぶ方向に沿って振動させながら測定ビームを照射する。測定ビームの振幅Ｗの範囲にＭ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈が含まれているとすると、Ｍ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈から得られる２Ｍ個の測定値ｆ₁〜ｆ_2Mから、下記(７ａ）（７ｂ)式、


に従って、フーリエ係数ｂ₁(振幅が測定ビーム径の１／２の場合)、又はｂ₂(振幅が測定ビーム径と等しい場合)を求め各測定点のフーリエ係数ｂ₁又はｂ₂の推移を求め、微小領域の分析を行なう。 （もっと読む）