【課題】試料の水平移動に伴って試料表面高さを一定にするべく高さ制御を行う場合に、高さの変化が急であると高さ制御が追従しきれずに不正確な分析となり、また急な高さ変化に追従可能とすると分析時間が長くなり過ぎる。
【解決手段】試料ステージ制御部１０はＸ、Ｙ座標値に応じたＺ座標情報に基づいて試料Ｓの表面高さの変化が急である場合には、水平方向への移動速度を遅くするべく駆動機構６、７を制御する。一方、これによって水平方向への試料Ｓの移動速度が変化するため、Ｘ線パルスの計数の開始・停止を決める同期信号の時間間隔を計測するべく、クロック信号を計数する計数器２３を設け、このクロック信号の計数値でＸ線パルスの計数値を除することで単位時間当たりの値に換算する。これにより、移動速度の変化の影響を受けない正確なＸ線強度を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】ゴニオメータの機械誤差を現在以上に正確に補正することができるＸ線回折測定方法の角度補正方法を提供する。
【解決手段】標準試料に関して回折角度（２θ）ごとの回折線強度（Ｉ_Ｒ））を測定よって求め、回折線強度（Ｉ_Ｒ）と標準試料の真値の回折線強度（Ｉ_Ｒｔｒｕ）との比較から回折角度（２θ）ごとの誤差（Δ２θ）を求め、誤差（Δ２θ）及び系統誤差（Δ２θ_０）を Δ２θ_ｍ＝Δ２θ−Δ２θ_０ の式に代入して回折角度（２θ）ごとの機械誤差（Δ２θ_ｍ）を求め、測定試料に関して回折角度（２θ）ごとの回折線強度（Ｉ）を測定によって求め、測定試料に関して求めた回折角度（２θ）及び機械誤差（Δ２θ_ｍ）を ２θ_Ｋ＝２θ＋Δ２θ_ｍの式に代入して校正回折角度（２θ_Ｋ）を求めと、校正回折角度（２θ_Ｋ）に基づいて等間隔回折角度（２θ_Ｔ）を設定し、測定試料の回折線強度（Ｉ）を等間隔回折角度（２θ_Ｔ）に所定配分比で配分する。 （もっと読む）

【課題】電子線の照射に応じて試料から放出される特性Ｘ線等を検出して表面画像を作成する際に、ドリフトによる一方向の位置ずれだけでなく拡大／縮小、回転、台形歪みなどの位置ずれも補正して歪みが少なく高い空間分解能の画像を取得する。
【解決手段】特性Ｘ線画像の取得前及び取得中に短時間でＳＥＭ画像を取得し、その複数のＳＥＭ画像について複数に分割した小領域Ｂａ、Ｂｂ、Ｂｃ、Ｂｄ毎にずれの量及び方向を２次元ベクトルＶａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄとして算出する。そして、そのずれが各小領域Ｂａ、Ｂｂ、Ｂｃ、Ｂｄの中心点Ｃａ、Ｃｂ、Ｃｃ、Ｃｄにあるとみなし、画像Ｂ全体のずれを近似する式を求める。この式に従ったずれが各画素で生じているとして特性Ｘ線画像を取得するための２次元走査の際の電子線照射位置を調整する。これにより、１枚の特性Ｘ線画像を取得する間のドリフトによる画像ずれが軽減されて画像歪みを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】大型の試料でも、側面反射ラウエ法を用いて、確実に、単結晶材料の結晶方位測定する結晶方位測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１０からのＸ線を試料Ｓの測定表面に対して側方から入射して得られる反射Ｘ線回折像（ラウエ像）を、蛍光板３０とＣＣＤカメラ４０とから構成される検出器により検出する結晶方位測定装置において、検出器は、測定表面から得られる反射Ｘ線回折像が投射される方向に配置されると共に、その有感面（特に、蛍光板３０の表面）が、反射Ｘ線回折像が投射されるψ角方向に対して傾斜して設定することが可能であり、これにより、従来の側面反射ラウエ法の欠点を克服し、有感面を有効に利用してラウエ像による結晶方位の測定・検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＥＲＣＳ法により得られたＥＲＣＳスペクトルから、試料中に見出される水素の質量面密度、水素質量密度や、試料中に見出される包有物の大きさおよび密度を得る方法、さらには、ＥＲＣＳスペクトル歪みを補正する方法を提供する。
【解決手段】高エネルギーの陽子ビームを試料に照射して、前記試料の組成を分析する陽子−陽子弾性散乱同時計数法において、前記試料に入射した前記陽子ビームの入射陽子が、前記試料中で弾性散乱されることにより生じる、散乱陽子と反跳陽子とを、測定して得られる、前記散乱陽子と前記反跳陽子とのエネルギー値の和であるサムエネルギーを示すＥＲＣＳスペクトルであって、該ＥＲＣＳスペクトルの前記サムエネルギーを示すエネルギー単位を、下記式１により、質量面密度の単位に関連づけることを特徴とする、ＥＲＣＳスペクトルの単位変換方法である。
【数１】
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【課題】断層画像を利用して異常を表示する装置の価格が上昇してしまうという課題があった。
【解決手段】回路形成体２０３を保持する回路形成体回転機構２０２と、回路形成体２０３にＸ線を照射するＸ線発生手段２０１と、回路形成体２０３を透過してきたＸ線を検出するＸ線検出手段２０４と、Ｘ線を利用して、回路形成体２０３の透過画像を作成し、あらかじめ用意された、良品の透過画像と、回路形成体２０３の透過画像とを比較し、比較の結果に応じて、回路形成体２０３における異常の有無を判定し、良品の透過画像を含む、その枚数よりも多い枚数の作成された良品の透過画像のセットを利用して、良品の断層画像を作成する制御コンピュータ２０８と、異常が有ると判定された場合には、回路形成体２０３の異常が有る透過画像に対応する良品の透過画像に基づいて決まる断層画像の部位に、異常を表示する表示手段２０９とを備えた、Ｘ線ＣＴ装置３０１である。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構と制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置すると共に、Ｘ線源と被検体テーブル１３間距離を調整し、被検体２１の検査倍率を設定するように、被検体テーブル１３を平行移動させて位置設定するテーブル移動手段１４と、Ｘ線の照射領域内において、Ｘ線検出器を被検体テーブルのテーブル面に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段１５と、固定したＸ線源に対してＸ線検出器を位置設定させるように検出器移動手段１５を制御し、検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置するように被検体テーブルを位置設定させて検査領域のテーブル面法線から所定の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出させるようにテーブル移動手段１４を制御させる機構制御手段１６を有する。 （もっと読む）

【課題】搬送方向において所定の隙間を空けて配置された搬送プレートを組み合わせて構成される搬送部を備えたＸ線検査装置において、面倒な作業やコストアップ等を伴うことなく、高精度なキャリブレーションを実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置では、搬送方向において所定の隙間Ｘを空けて複数枚配置された搬送プレート１２ａを回転させて商品Ｇの搬送を行いながら検査を行うX線検査装置において、Ｘ線ラインセンサ１４における各画素ごとのＸ線の検出感度を調整するキャリブレーションを行う際に、搬送プレート１２ａの１ピッチ以上に相当するライン数分の検出信号をＸ線ラインセンサ１４において取得し、ここで取得した検出信号に基づいて算出された補正係数を用いてＸ線ラインセンサ１４の検出感度を補正する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に電子線を所定の間隔で複数回照射して、接合リーク不良発生箇所を特定でき、半導体製造工程途中のウエハで本検査を実行することにより接合形成プロセス条件の最適化を行うことができる検査方法及び装置、半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】工程途中のウエハに対して、接合が逆バイアスになる条件で、電子ビームを所定の間隔で複数回照射し、逆バイアスにおける帯電緩和の時間特性の差をモニタする。接合リークが発生した箇所は正常部よりも短時間に帯電が緩和するので、正常部と不良部で電位差が生じ、電位コントラスト像で明るさの差として観察される。この画像を取得し、リアルタイム画像処理を施し、不良部の位置と明るさを記憶する動作を順次繰り返すことにより、指定領域の自動検査を実施できる。不良部の画像、明るさ、分布等の情報は、検査後自動的に保存・出力される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置により予め検出された欠陥を高いスループットで再検出する。
【解決手段】解像度を変更することなく、外部の記検査装置における前記欠陥位置情報の精度分布に応じて再検出の際の画像サイズまたは画素数を変更する。 （もっと読む）

【課題】装置の運転途中でも搬送ベルトの蛇行検知および速度検出を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】物品Ｍを搬送する搬送ベルト５と、該搬送ベルト５によって搬送される物品ＭにＸ線を照射するＸ線源２１と、物品Ｍを透過したＸ線Ｌを検出するラインセンサ２２とを備えたＸ線検査装置に関する。搬送ベルト５におけるラインセンサ２２にＸ線Ｌが受光され得る領域の一部分に搬送ベルト５の他の部分とはＸ線透過率が異なる異透過領域１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイスの検査装置で、欠陥検出のための画像処理のようなある領域データに対する繰り返し演算を実行する場合、繰り返し演算数分の命令・データロード、演算、データストアを繰り返す必要があり、高速化にも限界がある。また、微細画像を扱う大容量画像処理で並列コンピューティング処理を行う場合、非常に多くのプロセッサが必要となり、装置コスト引き上げる要因となっている。
【解決手段】
前記課題を解決するために、本発明は次のような構成をとる。
まず、同時にリード・ライト可能なアクセス手段を持つデータメモリと、複数の数値演算手段と、該データメモリと数値演算手段とを接続する手段と、前記複数の数値演算手段の処理内容を一括制御する制御手段と、該数値演算手段と前記一括制御手段とを接続する手段と、数値演算手段同士のデータ移動制御手段とを設ける。 （もっと読む）

放射線源を支持する第１の車両を備える、対象物を検査するための放射線走査システムが開示される。第２の車両が検出器を支持する。線源および検出器は、車両間の貨物輸送物などの対象物を走査するために移動させることができる。第１および第２の車両は、伸張可能な長さを有することができ、線源および検出器は、長い対象物を走査するために伸張可能な長さ全域で移動することができる。放射線源は、ファンビームなどの、垂直に発散する放射ビームを放出するようになされることができる。放射線は、例えば、Ｘ線放射線とすることができる。車両は、トラックと開放可能にトラックに連結される伸張可能なトレーラを備えることができる。トレーラは、入れ子式のレールを備えることができる。第１および第２の車両は、検査場所に運転して運ぶことができ、そこで迅速に展開することができる。対象物を検査する方法も開示される。
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【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正すること。
【解決手段】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正する方法が提供される。最初に、ＥＢＳＤパターンが、電子顕微鏡内に配置された試料から生成される。顕微鏡内の磁場の所定の表現が用いられ、顕微鏡内の電子の軌道が異なった出現角度に対して計算される。次に、計算された軌道を用いて、顕微鏡の磁場が実質的に存在しない場合のＥＢＳＤパターンを表現する、修正されたＥＢＳＤパターンが、計算される。 （もっと読む）

【課題】 高分解能のマイクロ蛍光Ｘ線測定を実行するための、改善された方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 試料の表面に適用された材料を試験する方法は、既知のビーム幅および強度断面を有する励起ビームを試料の領域に方向付けることを包含する。励起ビームに応答して領域から放射された蛍光Ｘ線の強度が測定される。測定された蛍光Ｘ線強度および励起ビームの強度断面に応答して、ビーム幅よりも微細な空間分解能で、領域内の材料の分布が概算される。 （もっと読む）

【課題】 各種計測装置において検出された検出信号をA/D変換して得られるデジタル検出信号のノイズ成分を除去する。
【解決手段】 検出信号値の増減を検出し、検出信号値が予め設定された回数連続増加又は減少しているか否かに基づき、前後の検出信号値の差分値を予め設定された数で除した圧縮値を直前に出力された処理後出力値に加算するか、上記検出信号値をそのまま出力するかを判断して実行する構成とすることにより、ノイズ成分のみを低減することが可能となる。より処理精度を向上させるために、差分値と所定の閾値とを比較する構成とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡に関し、処理速度を向上させることができるエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数のスペクトルを一つの光電変換素子画像として記録する画像記録手段１０と、その後該画像記録手段１０からの画像を一括読み込みしてからピクセルの位置変換処理を行なって複数スペクトルに分割する画像処理手段１２とを具備して構成される。この結果、エネルギー損失分光装置の処理速度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料のマイクロ構造の特性についての事前知識も、ピーク位置のモデリングに基づいた算出も必要でない、散乱データにおける収差を補正する方法を記載する。
【解決手段】例では、X線散乱装置は、散乱角2θと、測定X線散乱パターンF_exp(H)のフーリエ変換とに依存する、収差のフーリエ表現F_inst(H,2θ)を用いて、収差補正出力X線パターンを自動的に算出し、出力するよう形成される補正装置を統合化する。 （もっと読む）