【課題】放射線源と検出器を平行移動することで検査対象の様々な角度からの透過データを取得し、このデータを再構成することで検査対象の断層像を得る検査装置では、放射線源と検出器の各検出素子とを結ぶ線分の幾何配置をあらかじめ正確に認識しなければ画像再構成ができない。さらに、検査中の装置で振動が生じた場合、画像再構成の情報がデータ取得ごとに異なり、誤差が生じる。
【解決手段】放射線源と検出器を有する検査装置において、前記放射線源と検出器間に校正用ファントムを設置し、被検体の透過データを取得するのと同期して該校正用ファントム内に有する細線の透過像を得る。この細線の透過像を用いて、データ取得時の放射線源の位置と、放射線源と検出器間の距離を導出する。この幾何配置から透過経路の補正データを算出し、これを用いて画像再構成を実施することを特徴とする撮像データ補正方法、および検査装置。 （もっと読む）

【課題】 走査型電子顕微鏡を用いた、汎用性の高いドメイン観察方法を提供する。
【解決手段】
走査型電子顕微鏡を用いて、観察試料に電子線を照射して得られる反射電子像によりドメイン観察を行なう試料観察方法であって、試料を鏡面研磨し、研磨面に導電性を有する蒸着膜を形成して前記観察試料を作製する試料準備工程と、前記観察試料を、走査型電子顕微鏡で、前記電子線の加速電圧を３ｋＶ以上１０ｋＶ以下となるように設定するとともに、反射電子走査画像の輝度及び分布量を表示可能な輝度範囲内に平均的に分布するように設定するコントラストの条件に比べてコントラストを強調する条件で観察する観察工程と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】基板の検査に際し、被検査部位の種類等に応じた検査ができ、かつ、検査時間を短縮できる、検査方法、検査装置および検査用プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源２からＸ線が出力され、検査対象である基板を透過したＸ線が、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）において、Ｘ線透視画像として撮影される。Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成のための撮影は、トモシンセシスによる再構成データ生成のための撮影と同様に、Ｘ線源２の光軸Ｌを軸とした仮想円３００上の位置３０１〜３０８で行なわれる。そして、Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成の際には、位置３０２〜３０８のそれぞれで得られたＸ線透視画像が、位置３０２Ａ〜３０８Ａで撮影されたかのように、仮想円３００上の回転位置に応じて、各Ｘ線透視画像の中心を軸とし、アフィン変換を用いて、各画像が回転するようデータを変換された後、フィルタ処理を施される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線フラットパネル検出器を用いたＸ線検査装置において、クラスタ状の欠陥についても補完処理を行い、しかも、その補完処理により擬似的な像が生じても、オペレータによる良／不良判定に誤りが生じることを防止することができ、ひいては長期にわたってＸ線フラットパネル検出器を使用することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線フラットパネル検出器２の欠陥画素を抽出し、その欠陥画素の出力データを周囲の画素の出力データを用いて補完して表示器に表示する欠陥画素補完手段１３，１５を備えるとともに、その欠陥画素補完手段による補完の対象となった画素を、表示器１３の画面上で報知する補完対象画素報知手段を設けることで、欠陥画素の位置情報と、補完後の像の変化から、検査に影響を与えるか否かをユーザが判断できるようにする。 （もっと読む）

【課題】透過性放射線を用いて物体を検査するためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】複数の透過性放射線の供給源を用いて、物体を検査するための、検査および方法。上記供給源による、検査される物体の照射は、検出される散乱放射線の供給源が明白であるように、時間的に順序付けられる。こうして、ビームが、実質的に同一平面上にあるような、コンパクトな幾何学においてさえ、検査される物体の複数の視野が得られ得、そして、画像の品質が、向上され得る。本発明の検査システムは、物体の動きの方向に関して実質的に横断方向の第１ビーム方向に方向付けられた、特定の断面の透過性放射線の第１ビームを提供するための、第１の供給源を有する。この検査システムは、第２ビームの方向の透過性放射線の第２ビームを提供するための第２の供給源も有し、そして、この検査システムは、さらなるビームのさらなる供給源もまた有し得る。 （もっと読む）

【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ２３のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃１０によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置１５０に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー校正が必要であることを的確に分析者に知らせることで、不要なエネルギー校正作業をなくすとともに、大きなエネルギー位置ずれの下での信頼性の乏しい測定の実行も回避する。
【解決手段】被測定試料２に１次Ｘ線を照射して得られた検出信号に基づいて作成されるＸ線スペクトル上で、レイリー散乱線検出部１４はＸ線管１のターゲット元素に応じたエネルギー位置に出現する筈であるレイリー散乱線を検出する。エネルギー判定部１５は、この散乱線が検出されればエネルギー位置ずれがないと判断するが、散乱線が検出されない場合にエネルギー位置ずれが大きくエネルギー校正が必要であると判断する。その場合、制御部２０は測定を一時中断し、報知部２２はエネルギー校正が必要である旨の表示を行う。これにより、分析者は的確なタイミングでエネルギー校正を実施できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線放射器／検出器システム内の信号雑音を低減する。
【解決手段】共通クロックが、Ｘ線放射器／検出器システムの少なくとも２つのサブシステムに接続され、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも２つのサブシステムに関連付けられる複数の雑音源が共通クロックと相関できるようになる。複数のタップを有する少なくとも１つの適応フィルタが、所望の信号及び相関雑音推定信号を受信すると共に誤差信号を出力するように構成される。更新アルゴリズムが、出力される誤差信号を最小にするように複数のタップの値を更新するために用いられ、それにより、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも１つの可変フィルタのそれぞれにおいて複数の雑音源のうちの少なくとも１つが実質的に除去され、Ｘ線放射器／検出器システムの出力のより正確な表示が与えられる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査部と計量部とが単一のユニットとして構成された計量装置において、Ｘ線漏洩防止部材が計量に与える影響を低減し得る、計量装置を得る。
【解決手段】計量装置１は、物品通過用の搬出口３Ｂが形成されたシールドボックス２と、シールドボックス２の内部に配置され、物品５０の重量を計量する計量部４と、シールドボックス２の内部において計量部４に連続して配置され、物品５０にＸ線を照射し、物品５０を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査部５とを備え、計量部４は、物品５０を搬送する搬送コンベア１０と、搬送コンベア１０上を搬送されている物品５０の重量を計量する計量器１１と、搬送コンベア１０に取り付けられ、Ｘ線が搬出口３Ｂからシールドボックス２の外部に漏洩することを防止するためのシールド板１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 凹凸のある試料でも装置と試料との衝突を回避することが可能なＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、試料Ｓを載置する試料ステージ１と、該試料ステージ１上の試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３とを相対的に移動可能な移動機構６と、試料Ｓの最大高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した試料Ｓの最大高さに基づいて移動機構６を制御して試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３との距離を調整する制御部８と、を備えている。 （もっと読む）

入射Ｘ線が非晶質材料標本へ向けて広角セクターにおいて放射され、この標本がＸ線を反射する。
本方法は、
− 実験光子強度測定値を入射角の関数として記録するステップと、
− 反射の前に標本内への入射波の侵入長ｌに依存する状態で、少なくとも前記標本内での吸収現象を考慮しながら、前記実験強度を補正するステップと、
− 正規化係数（α）に従い、前記実験強度から得られた補正強度を電子強度に関連付ける正規化ステップと、
− 離散化された関数Ｑ．ｉ（Ｑ）を計算するステップ、但しｉは、補正および正規化された実験強度の測定値から得られた減衰強度、Ｑは量（ｓｉｎθ／λ）に比例する波散乱ベクトルの絶対値、２θは散乱角、λは放射された波の長さであって、前記正規化定数（α）は関数Ｑ．ｉ（Ｑ）の値に対する線形回帰により得られたアフィン直線（４２）の傾きを最小化すべく再帰的に変化し、各反復を行う間に減衰強度の値が侵入長ｌについて計算され、前記関数Ｑ．ｉ（Ｑ）が前記最小の傾きに対応して求められる（４１）ステップと、
− Ｑ．ｉ（Ｑ）に依存する動径原子濃度ρ（ｒ）の分布に基づいて構造因子を決定するステップとを含んでいる。
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【課題】
取得画像の像質や分解能の劣化を防ぐことができる走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡の画像の改良方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームを前記試料で走査する走査信号を補正する補正データを格納する記憶部と、該記憶部へ格納された補正データを用いて前記走査信号を補正する補正回路と、該補正回路で補正された走査信号を用いて得られた画像を表示するディスプレイとを備え、該ディスプレイには、さらに、前記補正データに基づいて生成された補正データ波形が表示される。 （もっと読む）

【課題】断層像の座標変換を伴うことなくリングアーチファクトを除去することを可能とし、断層像の精度を低下させることなく確実にリングアーチファクトを除去した断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】互いに対向配置されたＸ線発生装置１とＸ線検出器２の対と、これらの間に配置された試料ステージ３とを相対回転させることにより、複数の角度での対象物ＷのＸ線投影データを収集し、その投影データを用いて回転軸Ｒに直交する面に沿った断層像を構築するＸ線ＣＴ装置において、断層像を構成する各画素について、当該断層像上で回転軸Ｒに相当する位置を中心とした扇形状のコンボリューションフィルタカーネルを用いてフィルタ処理を施すことにより、断層像に現れるリングアーチファクトを抽出し、その抽出した画像をフィルタ処理を施す前の画像から減算することにより、リングアーチファクトを実空間において除去または低減することを可能とし、当初の断層像の精度を維持したままリングアーチファクトの除去を実現する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハを検査する技術として、回路パターンに電圧および温度等の電気的負荷をかけて信頼性評価を行う半導体検査方法を提供する。
【解決手段】半導体製造工程途中の回路パターンを含むウエハに対して、電子線を所定の時間照射して、回路パターンを所定の帯電電圧に帯電させる工程（ステップ９９）と、レーザー照射等により回路パターン周りの領域を所定の温度に制御する工程（ステップ１０６）とにより、回路パターンに電気的負荷を印加する。そして、電気的負荷印加の前後において、回路パターンを含む領域に電子線を照射することで二次電子画像を取得し（ステップ９０）、この電気的負荷印加の前後の二次電子画像を比較判定することで、回路パターンおよびそれを含むウエハを検査する。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー損失量と測定位置情報の二軸で形成される電子エネルギー損失スペクトル像について、各測定位置間での電子エネルギー損失スペクトルの相違点を高効率かつ高精度に補正する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 （もっと読む）

【課題】最表面２〜３原子層における元素と原子層とを選別した磁気構造解析を行う方法とその装置を提供する。
【解決手段】試料から散乱した散乱イオン強度を入射イオン種のスピン別に計測し、その計測データにより試料表面の磁気構造を解析する。 スピン偏極イオンを発生させるスピン偏極イオン発生部と、前記スピン偏極イオン発生部からのスピン偏極イオンを所望のエネルギーで試料表面に入射させるスピン偏極イオンビームラインと、試料を保持する真空槽と、前記真空槽内に位置して、前記試料に照射されて散乱したスピン偏極イオンを計測する計測器よりなる。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ボイドの形状に基づいて画像処理することにより効率よく被検体を検査すること。
【解決手段】検査方法は、（ａ）被検体のＸ線透過画像を撮像するステップと、（ｂ）前記Ｘ線透過画像から、第１輝度に基づいて互いに分離された検出候補画像を生成するステップと、（ｃ）前記検出候補画像の各々の縦横比に基づいて第１ボイド候補の画像を選択するステップと、（ｄ）第２輝度に基づいて残りの検出候補画像の各々から第２ボイド候補の画像を生成するステップと、（ｅ）前記第１ボイド候補画像と前記第２ボイド候補画像を合成してボイド候補の画像を生成するステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透視画像の画質の向上と検出部の解像度の向上とを図り得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物４にＸ線を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２と、これらの間を通過するように被検査物４を搬送する搬送部３とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。Ｘ線検出素子における入射面の法線方向（ｚ´軸方向）は、Ｘ線６の照射方向（ｚ軸方向）と搬送方向（ｘ軸方向）とに平行なｚｘ平面内で、ｚ軸方向に対して傾斜させる。複数個のＸ線検出素子は、それぞれの入射面が、ｚ軸方向及びｘ軸方向に直交するｙ軸方向（紙面垂直方向）と、入射面内においてｙ軸方向に直交するｘ´軸方向とに沿ってアレイ状に並ぶように配置される。 （もっと読む）