【課題】Ｘ線透視画像の画質の向上と検出部の解像度の向上とを図り得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物４にＸ線を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２と、これらの間を通過するように被検査物４を搬送する搬送部３とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。Ｘ線検出素子における入射面の法線方向（ｚ´軸方向）は、Ｘ線６の照射方向（ｚ軸方向）と搬送方向（ｘ軸方向）とに平行なｚｘ平面内で、ｚ軸方向に対して傾斜させる。複数個のＸ線検出素子は、それぞれの入射面が、ｚ軸方向及びｘ軸方向に直交するｙ軸方向（紙面垂直方向）と、入射面内においてｙ軸方向に直交するｘ´軸方向とに沿ってアレイ状に並ぶように配置される。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】
本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】様々な大きさの基板を検査可能な低コストの被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査システム１０において、第１ラインセンサユニット５０は、第１走査ライン１６ａと第２走査ライン１８ａとが一直線上に並ぶように並設された第１Ｘ線ラインセンサ１６および第２Ｘ線ラインセンサ１８を有する。第２ラインセンサユニット５２は、第３走査ライン２０ａと第４走査ライン２２ａとが一直線上に並ぶよう並設された第３Ｘ線ラインセンサ２０および第４Ｘ線ラインセンサ２２を有する。第３Ｘ線ラインセンサ２０は、第１Ｘ線ラインセンサ１６の第１走査ライン１６ａおよび第２Ｘ線ラインセンサ１８の第２走査ライン１８ａとの間に存在する撮像不能領域２ａにおける基板２の透過像を補完して撮像する。 （もっと読む）

【課題】迅速に３次元的な位置情報を得ることで効率的に精度の高い検査を行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体ＳにＸ線を照射するＸ線源１１０と、被検査体ＳのＸ線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するＸ線検出器１４０と、被検査体を移動可能に支持する移動用ステージ１２０と、を備え、移動用ステージ１２０は、一つの被検査体Ｓに対し複数の照射角度範囲のＸ線透過像を検出できるように被検査体Ｓを移動させて、検査を行う。これにより、一つの被検査体Ｓについて、異なる照射角度範囲のＸ線透過像が得られ、複数のＸ線透過像から３次元的な位置情報を得ることができる。また、一回の検出で複数の検出領域についてＸ線透過像のデータを得て、効率的に精度の高い検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に形成されたスルーホールの内壁に施された導通用メッキ処理の
状態の検査を非破壊で行うことができ、大型のプリント基板の検査についても精度良く行
うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを載置するＸＹ軸方向に移動可能な試料台１１を上下に挟んで、Ｘ
線焦点１２ａを含んで構成されたＸ線発生器１２とＸ線検出器１３とが対向して配置され
、Ｘ線焦点１２ａから放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１３にて検出される
ように構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線焦点１２ａが、試料台１１の載置面と直交
する軸Ｌ２を中心に回転するように、Ｘ線発生器１２を回転させる回転機構１６と、軸Ｌ
２を中心にＸ線検出器１３を回転させる回転機構１８とを備えると共に、Ｘ線発生器１２
の回転とＸ線検出器１３の回転とを同期させる。
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【課題】放射線源と検出器が取り付けられたＣ型アームの回転角度に応じて生ずる透過像の位置ずれを補正して、分解能の高い検査画像を得る。
【解決手段】 放射線源１０１と検出器１０２との間に位置させて、校正ファントム１０４を支持構造部材１０３に着脱可能に取り付け、支持構造部材の予め設定された基準回転角度において検出器により取得された透過像を基準に、異なる回転角度における透過像の位置変化を求めて回転角度と透過像の位置ずれデータをデータベース１１５ａに格納しておき、被検体の検査実行時に、画像処理手段１１５はデータベースに格納された位置ずれデータに基づいて被検体の透過データを補正して検査画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラストＸ線撮像法と同じ密度分解能及びダイナミックレンジで、測定時間が短く、経時的な観察が可能で、かつ入射Ｘ線強度が時間的に変動している場合でも高い感度で試料を観察できるＸ線撮像装置及び撮像方法を提供する。
【解決手段】試料によって生じたＸ線ビームの屈折角を、複数のアナライザー結晶１１，１２による複数回のＸ線回折を利用してＸ線検出器１８で同時に検出する。 （もっと読む）

【課題】有害物質の含有量調査において目的とする有害物質の存在が確認できなかった場合でも、その含有量が規制値・管理値を超えている可能性があるか否かを分かり易く提示する。
【解決手段】目的元素が入力設定されると（Ｓ１）、各目的元素の特性Ｘ線位置におけるバックグラウンド強度から理論計算により検出下限が算出される（Ｓ１１〜Ｓ１４）。一方、蛍光Ｘ線スペクトルに対するピークサーチ処理から得られるピーク位置、ピーク強度に基づいて含有元素が同定され（Ｓ５）同定された元素が定量される（Ｓ６）。目的元素が同定されなかった場合（Ｓ７でＮ）、理論計算により求められた該当元素の検出下限が呼び出され（Ｓ８）、元素と定量値（又は検出下限）とが対応付けて表示される（Ｓ９）。これにより、存在が確認されなかった元素についての検出下限が規制値・管理値を超えているか否かを容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】ビューポイントがＸ線画像中から逸脱することのないようにする。
【解決手段】透視Ｘ線像をＸ線光軸を中心として撮影するＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、少なくともＸＹＺ方向に移動させるステージ駆動機構１６とを備えるＸ線検査装置１であって、ステージ位置データを記憶させる駆動信号発生部３６と、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂがポインタ６３で指定されることにより、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂの位置を含む基準点画像位置データを記憶させる基準点画像指定部３７と、異なるステージ１４の位置で記憶された２つの基準点画像位置データとステージ位置データとを用いて、Ｘ線光軸方向とステージ１４のＺ方向とのズレ量を算出する算出部３８と、軸補正を行う補正信号を駆動信号発生部３６に出力する補正信号作成部３９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】好都合な歪み補正の計算方法を使用して、試験物体内部の選択された断面平面の断面影像を効果的に生成すること。
【解決手段】断層撮影検査システムが、放射線源、影像平面を画定する複数の線形影像検出器、放射線源と影像検出器の間の固定された位置に試験物体を配置する固定式テーブル、および影像検出器から獲得された試験物体の複数の影像を処理するコンピュータ装置を備える。放射線源および影像検出器は、試験物体の全領域に亘り複数の平行な線形走査を実行して、異なる視角のもとでの試験物体の影像を獲得する。獲得されたデータに基づき、コンピュータ装置が、歪み補正を決定し、試験物体内部の選択された断面の断面影像を生成する。 （もっと読む）

【課題】指定された座標に試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、ズレ量の測定を必要最小限にしてスループットの低下を抑え、また、検出画像の観察視野サイズを最適化する。
【解決手段】まず、ＡＤＲを開始する前に、上位の検査装置が出力した試料位置と実際に観察装置で検出した試料位置とのズレ量を測定して、ズレ量が最小となるように座標補正式を最適化するファインアライメント処理を開始するＳ２０１。ファインアライメント処理Ｓ２０１では、座標補正式に基づく補正座標と、実際に検出した試料位置とのズレを測定し（Ｓ２０２）、座標補正式を最適化する手順を繰り返す（Ｓ２０３）。ズレ量を算出した後に、ズレ量の収束判定を行う（Ｓ２０４）。ズレ量が収束していなければ、ファインアライメントを継続する（Ｓ２０８）。ズレ量が収束していれば、ＡＤＲの観察視野がズレの収束値以上になるように設定し（Ｓ２０５）、ファインアライメントを終了し（Ｓ２０６）、ＡＤＲを開始する（Ｓ２０７）。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、検査対象となる回路パターンの画像をモニタ画面を通して検査する際に、その画面の正確な情報により迅速に処理できると共に、製品全体に及ぶ欠陥又は特定領域における欠陥を迅速に検知することができる回路パターンの検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハの回路パターンが形成された基板表面に電磁波又は荷電粒子線を照射し、該照射によって前記基板から発生する信号に基づいて得られる検査画像から前記回路パターン上の欠陥を検出する回路パターンの検査装置において、前記検査画像を取得する前後において、前記検査画像の対応部分に電子線を照射し前記ウェーハの帯電状態を変化させる手順が設定される検査条件設定部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得し、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する方法の提供。
【解決手段】半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ１８に１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハ１８を移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ１８表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ１８面内分布を表示する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の着目点高さが未知であっても、確実に視野ずれをなくすことにある。
【解決手段】 Ｘ線源１と、テーブル２に載置された被検体３の着目点の透過像を検出するＸ線検出器４と、Ｘ線検出器４を移動させる移動機構６と、テーブル２を平行移動させる移動機構８と、データ処理部５とを備え、このデータ処理部５は、着目点までの推定高さを入力する推定高さ入力手段１７と、Ｘ線源とＸ線検出器との距離とＸ線源と着目点との距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定手段１１，１５ａと、Ｘ線の光軸が所要傾斜角度となるようにＸ線検出器を制御する移動制御手段１８と、拡大率と傾斜角度と推定高さをパラメータとし、テーブル２の移動位置を計算し、テーブルを移動制御する視野ずれ補正手段１１，１５ｂと、透過像上の着目点のずれ量に基づき、着目点の真の高さを求める高さ修正手段１１，１５ｃとを設けたＸ線透視検査装置である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを選択的に高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線センサ２３が取り付けられ、回転軸２１を中心に回転するセンサベース２２と、センサベース２２の回転角やＸ線センサ２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０等を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線センサ２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線センサ２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。画像制御取得機構３０はＸ線センサ２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置１５の中性子発生管１及び中性子検出器を有する。中性子発生管２は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子２０を発生し、保温材１２に照射する。高速中性子２０は保温材１２内に存在する水１４及び配管１１内を流れる液体１０によって減速されて熱中性子２１となる。高速中性子２０の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子２１は^３Ｈｅ比例計数管２で検出される。この計数管２からの出力信号は多チャンネル波高分析器８を経てデータ処理装置９に達する。データ処理装置９は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材１２内に水１４が存在する場合の水１４の位置及び水１４の量を求める。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を移動させながら行う検査において、被検査物中の異物を正確に検出することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を照射するＸ線源１と、Ｘ線源１と対向配置され、Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器３と、Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、被検査物７を載置し移動させるための被検査物載置部５と、Ｘ線検出器３のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部３１と、キャリブレーションデータに基づいて、被検査物７のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部３３とを備えるＸ線検査装置８０であって、キャリブレーションデータ作成部３１は、被検査物載置部５を所定の時間駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、キャリブレーションデータを作成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線測定装置の管理方法に関し、測定系の変動やサンプルの変化を早期に且つ的確に発見する。
【解決手段】 Ｘ線源４からの直接Ｘ線５を検出する点検用検出器１と、Ｘ線源４から試料を介した測定対象Ｘ線６を検出する測定用検出器２との２つのＸ線強度検出器のそれぞれの特性を測定し、測定結果に基づき測定用検出器２の安定性を確認する。 （もっと読む）