【課題】構造が簡易で、大視野化が容易となり、さらにはコスト低減が可能になるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０は、必要量のＸ線を、格子２０に向けて照射する。格子２０は、格子２０に向けて照射されたＸ線を回折することにより、格子２０の自己像を形成する。Ｘ線画像検出器３０は、格子２０により回折されたＸ線を検出する。かつ、Ｘ線画像検出器３０は、自己像が形成される位置又はその近傍に配置されている。Ｘ線源１０と格子２０との間隔R₁と、格子２０とＸ線画像検出器３０との間隔R₂とは、所定の条件を満足している。さらに、画像検出器３０における空間分解能と、自己像の周期とも、所定の条件を満たしている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの安価な簡単な構造でありながら確実な動作で効果的にＸ線センサを保護して寿命を改善できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送手段４の搬送面５の上方にＸ線源６を有し、搬送面５の下方にセンサ９を有し、照射位置７の手前には、操作部材１１と遮蔽部材１２からなるシャッタ装置１０を備える。ワークＷが操作部材に接触しない状態では遮蔽部材がセンサをＸ線から遮蔽し、ワークが操作部材を押した場合には遮蔽部材が移動してワークを透過したＸ線がセンサ９に到達する。検査中にＸ線を常時照射しても、センサに到達するＸ線は検査に必要な最小限に止まる。センサがＸ線で過剰に損傷し、寿命の劣化が早まる恐れは少ない。 （もっと読む）

【課題】電車線材料の状態を任意の位置で移動しながら簡単に非破壊で高精度に検査することができる電車線材料の非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１４Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１６Ａが測定する。その後に、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内から開放されて、収容部６が所定の間隔Δだけ移動する。次に、図（Ｂ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１５Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１７Ａが測定する。その結果、透過Ｘ線測定部１６Ａ，１７Ａが出力する透過Ｘ線情報が測定結果記録部に記録される。 （もっと読む）

【課題】冷却フィンなどの異物による影響を受けずに、実装状態（はんだ付けの状態）を確実に検査することができる透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線Ｘを被検体１０１に向けて放出する放射線源１と、検体を透過した放射線Ｘを検出する放射線検出器４と、被検体１０１への放射線Ｘの入射角度を変化させる入射角度変更手段９と、放射線検出器４により検出された放射線量の二次元分布を画像化する信号処理手段６と、入射角度変更手段９及び信号処理手段６を制御する制御手段１０とを備え、制御手段１０は、被検体１０１に放射線Ｘが第１の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像と、被検体１０１に放射線Ｘが第２の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像とを合成して、被検体１０１に重なっている異物１０２によるノイズ画像を除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】保護対象に作用する磁場の変化を簡単な構成で確実に抑えることが可能な磁場変化抑制機能付き電子機器システムを提供する。
【解決手段】試料分析システム１００は、磁場を形成する超電導マグネット２に対してその磁場の影響を受ける位置に設置される保護対象としての分析装置１と、この分析装置１に作用する磁場の変化を抑える磁場変化抑制装置３とを備えている。磁場変化抑制装置３は、分析装置１を通過する超電導マグネット２からの漏れ磁場２１の磁束を囲むように分析装置１の近傍に配置されて、漏れ磁場２１が変化することに起因してその変化を打消す向きの補正磁場４１ａ，４１ｂを分析装置１に作用させるような誘導電流を発生させる補正コイル４ａ，４ｂを含んでいる。そして、補正コイル４ａ，４ｂは、漏れ磁場２１の磁束を囲むように巻回された超電導線材を有する超電導コイルである。 （もっと読む）

【課題】物品供給装置からＸ線検査装置の搬送コンベアへの物品供給量を適正に制御することにより、正確な異物検査を実行することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品５０を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、上流の物品供給装置１２から供給された物品５０を、Ｘ線照射部７とＸ線検出部８との間のＸ線照射経路１００を通過するように搬送する搬送コンベア６と、Ｘ線検出部８の検出結果（データＳ１）から求めた物品５０の厚みに基づいて、物品供給装置１２から搬送コンベア６への物品供給量を制御するコンピュータ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

放射線を放射するための放射線発生器と、前記放射線発生器からの放射線を受信するための探知器と、放射線発生器に接続して放射線発生器を昇降させるための第１のフレキシブル部品と、探知器に接続して探知器を昇降させるための第２のフレキシブル部品と、第１のフレキシブル部品及び第２のフレキシブル部品を介して、水平方向上に所定の距離を空けて配置される放射線発生器と探知器とを同時昇降させる駆動装置と、を含む人体安全検査用放射線装置。本発明の人体安全検査用放射線装置は、検出の全過程において、放射線源と探知器とが同時運転することを保証するため、輻射結像の質を向上できる。また、本発明の人体安全検査用放射線装置は、コストを減少するとともに騒音を低減する。
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【課題】 ビニング処理を実行するか否かの選択等によって、画像データの画素数を切り替えても、所望の画像処理を実行し続けることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 標準画像データを作成する標準画像データ作成部３１と、複数個のブロック画素からなる画像を示すビニング画像データを作成するビニング処理制御部３２と、標準画像データかビニング画像データのいずれを作成させるかを決定する画像データ決定部３５と、コンボリューションフィルタを用いて所望の画像処理を実行するコンボリューションフィルタリング処理制御部３６とを備えるＸ線検査装置１であって、コンボリューションフィルタリング処理制御部３６は、画像データ決定部３５で標準画像データを作成させると決定されるに伴い、標準画像データ用コンボリューションフィルタに切り替え、一方、ビニング画像データを作成させると決定されるに伴い、ビニング画像データ用コンボリューションフィルタに切り替えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ビーム照射を行う軟質材料の試料を測定装置に動かないように簡易に固定することができ、さらに試料に溶液を均一になるように流した状態を簡易に維持して計測を行うビーム照射による軟質材料の構造解析方法及び軟質材料保持装置を提供する。
【解決手段】軟質材料の皮膚１が溶液透過性を有する板状の試料収容部材２２の試料収容孔２３に挿入され、試料収容部材２２が保持金具２５の保持孔２７ａに保持され、保持金具２５の両面に薄肉の被覆材３８を被せられ、さらに一対のケース金具４１，４２が保持金具２５に固定されることにより、皮膚１が試料収容孔２３内に動かない状態で固定される。さらに、ペリスタポンプ装置５５によって保持孔内に溶液を所定の割合で流通させることにより、試料収容部材２２を溶液が流れて皮膚１を均一に溶液が流れる。Ｘ線回折装置によってビーム通過孔４７を通して皮膚１にＸ線を照射して計測が行われる。 （もっと読む）

【課題】測定種別の選択と光学部品の交換作業とを関連付けて、交換すべき光学部品の情報を図を用いて画面に表示することで、測定準備作業を容易にする。
【解決手段】Ｘ線分析装置の測定準備作業に関連して、選択画面において、複数の測定種別の中からオペレータが所望の測定種別を選択すると、その測定種別に応じて、取り付けるべき光学部品及び取り外すべき光学部品の情報が、図を伴って表示装置の画面に表示される。オペレータは、その作業指示を見て、Ｘ線分析装置の光学系から光学部品を取り外したり、光学部品を取り付けたりする作業を実行する。図を伴って表示する形態には、交換すべき光学部品１６，１８の光学系上の位置を図示することや、取り付け作業と取り外し作業の区別を絵記号６９で表示することや、光学部品の識別マーク７０，７２を表示すること、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】 全受光面全体を使用でき、その上で、寿命をできるだけ正確に予測することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とフラットパネルＸ線検出器１２とからなるＸ線測定光学系１３が被測定物を挟むようにして対向配置され、フラットパネルＸ線検出器１２への入射Ｘ線量と同等なＸ線量を、累積的に測定または算出することによりフラットパネルＸ線検出器１２への累積入射Ｘ線量を見積もる累積入射Ｘ線量見積もり部３４と、予め設定された判定基準と見積もられた累積入射Ｘ線量との比較によりフラットパネルＸ線検出器の寿命を判定する寿命判定部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線異物検査装置において、被検査物品が転倒しないようなＸ線漏洩防護のれんと、被検査物の形状が変わると記憶されたデータに基づき、自動的にのれんの角度と高さを変えることができるＸ線漏洩防護のれん装置提供すること。
【解決手段】
Ｘ線漏洩防護のれんは、被検査物を搬送するコンベアの中心線において左右対称に屈曲可能な支持板によりのれん装置連結用支持枠から懸垂支持されており、Ｘ線漏洩防護のれんのＶ字形角度を変更することができる駆動装置と、前記Ｘ線漏洩防護のれんを上下に移動させることができる駆動装置とを備え、被検査物品が変更になったとき予め記憶されているデータにより変更になった被検査物に最適なＸ線漏洩防護のれんの角度や高さを変更する。 （もっと読む）

【課題】 干渉縞を確実に防止することができる放射線撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 天板１の長手方向Ｈ_HにＸ線グリッド４が往復移動しながら被検体の撮像を行う場合、駆動部５がＸ線グリッド４を回転させることで、そのＸ線グリッド４を天板１の短手方向Ｈ_Vにも往復移動可能になるようにする。つまり、長手方向Ｈ_Hに沿って金属ピース４ａの縞目が配置されるようにＸ線グリッド４に配設しつつ、長手方向Ｈ_HにＸ線グリッド４が往復移動しながら撮像すると、画像中の干渉縞を防止する。一方、短手方向Ｈ_Vに沿って金属ピース４ａの縞目が配置されるようにＸ線グリッド４を駆動部５によって長手方向Ｈ_Hから短手方向Ｈ_Vに回転させて往復移動させることで、短手方向Ｈ_Vに往復移動させた場合においても、干渉縞を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 樹脂封止された電子部品内部の軽元素異物の位置や形状を非破壊で調べる。
【解決手段】 Ｘ線源１６と、第１の結晶２、第２の結晶４及び第３の結晶６を備えるＸ線干渉計７と、Ｘ線検出器２０を備えたＸ線撮像装置１において、第１のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第１の集光用ゾーンプレート２６とそれと対になる第１の平行化用ゾーンプレート２８が設定され、第２のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第２の集光用ゾーンプレート３０とそれと対になる第２の平行化用ゾーンプレート３２が設定されたことを特徴とするＸ線撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
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