照射量変調照射システムは電子ビームを方向付けるためのグリッド電極（１１０、１１２）を有する静電グリッドを有するＸ線管（２０）を有する。グリッドバイアスは、電子ビーム（９４）の第１時間変化強度変調を生成するグリッド電極（１１０、１１２）に時間変化電気バイアスを加えるために備えられている。フィラメントの電流（８０）は、電子ビーム（９４）の第２時間変化強度変調を生成するように変調される。制御器（５２）は、結合された時間変化強度変調を生成するように第１及び第２時間変化強度変調の強調的な結合を制御する。
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【課題】 光電子顕微鏡内の１０^-5Ｐａ以下という超高真空下において確実にガス吸着を実現でき、かつ、この超高真空を安定して維持できる試料装置を提供する。
【解決手段】 光電子顕微鏡内において試料表面のガス吸着反応を観察するための試料装置において、試料ステージ上に保持した試料の表面に反応ガスを吹き付ける噴霧ノズルを該試料ステージと一体に設置し、該噴霧ノズルによる反応ガス吹き付け角度を該試料表面に対して５〜３０度、該試料表面から該噴霧ノズルの先端までの高さを１〜５ｍｍとしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加速電圧、WD、ラスターローテーションなどの、任意の観察・分析条件下において、高精度な画像ドリフト補正を行う。
【解決手段】ドリフト検出用の基準画像を取得するときに、イメージシフト量の異なる画像も同時に取得して、イメージシフト感度を随時計測する。この基準画像とイメージシフト感度を自動的に登録し、ドリフト補正時にこれら登録条件に従って、ドリフト量検出とイメージシフト制御（ドリフト補正）を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、光電子分析装置で分析した位置が、位置読み取り機能付き光学顕微鏡で得た像のどこに位置するかを示すことが困難であったという点である。
【解決手段】試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、前記試料の第１の像を読み取り、その座標を設定する第１の測定手段と、前記試料の第２の像を読み取り、その座標を設定する第２の測定手段と、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、を備えた試料分析装置において、前記試料ホルダを前記第１の測定手段と第２の測定手段との間で付け替えて分析し、前記第２の測定手段で得た試料部位の位置を前記第１の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。 （もっと読む）

【課題】 冷却した試料の交換操作時に、極低温に冷却された試料ステージ支持部の破損を防止できる試料交換機構の提供を目的とする。
【解決手段】 オペレータが試料交換の時に操作する搬送用グリップ12と試料搬送機構８と一体で動くブロック13の間を、ばね15と一方向のみに移動可能なスライダで連結する。試料ホルダ４が試料ステージ２に接触後、ばねが伸び始め、試料ホルダ４と試料ステージ２の接触面は、ばね15による密着圧力が働く。適切なばね定数を持つばね15を選択し、断熱材の最大許容付加圧力の範囲内でストッパ10がストッパ受け部11に当接するように設定すれば、断熱材３の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は分析方法及び装置に関し、試料の構成元素及び組成比が未知な場合においても正確な定量分析を行なうことができる分析方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 軽元素を主成分とする試料中に含まれる微量元素を分析する分析装置において、Ｘ線を放出する励起線源１と、該励起線源より放出される特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方が試料２によって弾性散乱された特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方と非弾性散乱されたコンプトン散乱線の強度比を算出する算出手段４ａと、予め用意されている複数の種々の材質に対する検量線から実測された強度比に対応したものを読み出し、この検量線を用いて目的元素の定量を行なう定量手段４ａとを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 隣接する元素マッピング像のオーバーラップ部分に濃淡のパターンが存在しない場合でも精度の高い合成を可能とする。
【解決手段】 隣接する２枚のマッピング像のオーバーラップ部分に属する画素のＸ線スペクトルの形状を所定の判定条件の下で比較し、形状が一致しているとみなせる場合には両マッピング像上にそれぞれその画素位置像を投影する。位置ずれの最大範囲を考慮して１画素ずつスペクトル形状を比較してゆき、最終的に両マッピング像上に形成された投影像を重ね合わせるように両マッピング像を合成する。これにより、オーバーラップ部分に濃淡パターンが存在するか否かに拘わらず、任意の元素のマッピング像の合成が高い精度で行える。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ装置について、従来における中間コリメータとポストコリメータの位置合せといった困難な問題を招くことなく、空間分解能の向上を可能とする。
【解決手段】被検体Ｍに放射線を照射する放射線源１ｔ、被検体を載置するテーブル４、および被検体を透過した放射線を検出する放射線検出装置７を備えたＣＴ装置について、一体型コリメータ２を設けるようにしている。一体型コリメータ２は、テーブル配置空間部２１が中間位置に形成されるとともに、放射線源の側に位置する前側貫通孔２２と放射線検出装置の側に位置する後側貫通孔２３がそれぞれ複数で、テーブル配置空間部を挟んで対向する状態に形成された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 浮遊粒子状物質中の元素状炭素、有機炭素および水分を連続的に測定することを可能にする浮遊粒子状物質の連続測定装置を提供する。
【解決手段】 連続測定装置１は、連続的に送給される捕集フィルタ４上に、浮遊粒子捕集手段２によって大気中で浮遊する粒子状物質を捕集し、捕集された浮遊粒子状物質３を容器６内へ捕集フィルタ４とともに送給し、光源９から出射されて浮遊粒子状物質３を透過した光の吸光度を検出器１１によって測定する。吸光度の検出に際しては、捕集されたままの状態にある浮遊粒子状物質３透過光の吸光度と、減圧雰囲気下で加熱された後の浮遊粒子状物質３透過光の吸光度とが、検出される。加熱前後の吸光度を用いて演算手段１２が、浮遊粒子状物質３中の元素状炭素、有機炭素および水分の定量値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＤＮＡプローブアレーなどのプローブ区画を最小にし、同一区画で数十ないし数千の試料分子を識別できる標識物とこれを用いる生体物質のマルチ検査法を提案すること。
【解決手段】プローブのインデクシング用に異なる元素の比率を変えて作成する粒子を用い、走査型電子顕微鏡でＳＥＭ像を得て容易にその位置と大きさを検出し、さらに、走査型電子顕微鏡で粒子に電子を照射する時に発生する特性Ｘ線をエネルギー分散型特性Ｘ線検出器により元素分析像を得ることで位置と大きさを得る。これにより、どのような元素を含むどのような大きさのナノ粒子が基板の区画上のどの位置に存在するかを検出する。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ＲＢＳ装置等のイオンビーム分析機器一般において、磁場型のエネルギー分析器を使用する場合に、分析管内で散乱した低エネルギーイオンに由来するノイズを低減することが可能なイオンビーム分析装置を提供する。
【解決手段】 高エネルギーイオンビームを照射する加速ユニット１０からイオンビームを試料２３に照射して、試料２３表面の元素分析を行うイオンビーム分析装置１００において、イオン検出器３４を移動可能に保持する検出器移動部３５を設け、静電型偏向器３３の電圧を所定の値に設定することにより、ノイズを大幅に低減することができ、精密な分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＡ検出器と低速アルゴンイオン銃とを備えたオージェ電子分光装置を用いた元素分析方法において、従来より定量誤差が少ない元素分析方法を提供する。
【解決手段】電子銃と同軸に配置されたＣＭＡ検出器と低速アルゴンイオン銃とを備えたオージェ電子分光装置において、低速アルゴンイオン銃を用いてイオンエッチングを行った後、電子を照射してＣＭＡ検出器を用いて単結晶含有試料のオージェ電子を検出するにあたり、電子銃の軸の延長線と試料設置面との交点を通る試料設置面の法線と前記電子銃の軸の延長線とのなす交角および／または試料設置面の法線回りの試料設置面の回転角を変化させたときのシグナルの強度の変化が少なくなるように、前記交角および／または前記回転角を調整し、検出したオージェ電子から該試料に含有される元素の定量を行う元素分析方法。 （もっと読む）

【課題】被検体のスキャンデータ自身からエラーしにくく回転中心を求めることが可能なＣＴスキャナの提供。
【解決手段】回転軸１３をＸ線管１の方向に相対移動させるｘシフト機構８により回転軸１３をｘ移動したとき、透過データ上で移動する回転中心位置を回転中心予想部２１により予想し、被検体４の多数の透過データを回転の間に加算した加算透過データ上で前記予想された回転中心位置を反映して回転中心位置を回転中心求出部２２により求める。 （もっと読む）

複数の個別のコンポーネントを有するプリント配線アセンブリにおいてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法を用いて有害物質を識別する方法に関する。検出分析計としてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法（μ−ＸＲＦ）及びＸ線吸収微細構造（ＸＡＦＳ）分光を用いて、電子デバイスにおいて問題の材料を識別する。検査されるデバイス又はアセンブリは、参照データベースにおける情報に応じて、プローブ下、そのデバイス又はアセンブリをＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動させ、アセンブリ上の選択された位置の元素組成を決定することによって分析される。プローブは分析のための各選択位置から最適な分析距離に位置する。各選択位置の決定された元素組成は参照データベースと関連付けられ、検出された元素はアセンブリにおける様々なコンポーネントに対し割り当てられる。
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【課題】一台の装置で、小角散乱、Ｘ線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、第１のＸ線収束ビームを試料表面に向け、第２のＸ線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、Ｘ線が試料表面にかすめ角で向けられる第１の光源位置と、Ｘ線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第２の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第１および第２の光源構成のいずれか、および第１および第２の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したＸ線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】 試料への電子線照射ダメージが抑えられる電子線照射量で、Ｓ／Ｎが良く試料の状態分析を２次元イメージとして得る。
【解決手段】 透過電子顕微鏡又は走査型透過電子顕微鏡のエネルギーフィルターを用いた試料の分析方法であって、所望の観察領域に電子照射を行う工程と、前記試料を透過した電子のエネルギーをエネルギーフィルターにより分光してＥＥＬＳスペクトルを得る工程と、前記ＥＥＬＳスペクトルにおけるプラズモン・ロス電子によるピークの位置及び強度を得る工程と、前記プラズモン・ロス電子のピーク位置及び強度を色情報及び輝度情報として２次元イメージを得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 試料のサイズの変化や、主成分の違いによる感度の変化、共存元素の影響によるバックグランドの大きさの変化があった場合でも毎回同じ検出下限で測定できる蛍光Ｘ線装置を提供する。
【解決手段】 試料サイズの変化や共存元素によるバックグランド強度の変化９をリアルタイムに測定し、測定時間を自動的に変化させ検出下限を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】薄層の積層構造を有する分析試料中の薄層測定層の元素組成を決定することをすることができる方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は、薄層の積層構造を有する分析試料に斜めエッチングまたは斜め研磨を行なって、測定層を露出させる工程；電子線照射によって、露出させた測定層から特性Ｘ線を励起させる工程；測定層からの特性Ｘ線のみを検出する工程；および検出した特性Ｘ線から元素組成を決定する工程からなる薄層の分析方法を提供する。本発明はまた、照射手段；試料保持手段；入射Ｘ線調整手段；および、Ｘ線検出手段を備える特性Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等の電子プローブＸ線分析装置において、メール等の自然文から分析条件を抽出し、自動的に分析条件の設定を行うことにより、条件入力を簡易化し間違いを減らす。
【解決手段】 正規表現などの文字列検索方法により、メールや一般のテキストファイルから分析方法、元素と特性Ｘ線種、その他分析条件に特徴的な単語を抽出し分析条件として設定する。抽出されなかった条件のうち設定が必要な条件については、抽出された条件から導かれた条件を設定するか、若しくは予め決めてある条件を設定する。 （もっと読む）