【課題】 過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 被測定物２０５を特定する特定情報を入力する入力部２０１と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部２１０と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部２０８と、特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベース２０９と、を備え、測定情報は、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、表示部は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、撮像部で得られる被測定物の測定部位画像と、データベースに蓄積されている測定情報のうち入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からウェハ３表面にＸ線ビームが照射され、ウェハ３表面が走査されてウェハ３表面の各粒子の蛍光Ｘ線スペクトルが測定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトル及び標準スペクトルデータベース２８１に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトルから、同定元素の蛍光Ｘ線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース２８２から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分解能が良好な１次元の位置感応型Ｘ線検出器を用いることで、受光側にモノクロメータを配置することなく、蛍光Ｘ線に起因するバックグラウンドを低減する。
【解決手段】入射Ｘ線２８と回折Ｘ線３０とのなす角度を変更しながら試料２０からの回折Ｘ線３０の強度をＸ線検出器１０で検出する。Ｘ線検出器１０はシリコン・ストリップ検出器であり、細長く延びる単位検出領域を複数個備えている１次元の位置感応型検出器である。この検出器は、受光したＸ線のうち、そのＸ線エネルギーが上限値と下限値の間にあるものだけを弁別する機能を備えている。ＣｕＫαにおけるエネルギー分解能は２０％以下である。上述の上限値と下限値を適切に設定することで、蛍光Ｘ線の大半をカウントしないようにすることができて、本来の回折Ｘ線の強度をあまり下げずに、バックグラウンドを大幅に下げることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

【課題】特性に大きな影響を与える鉄基粉末の表層に付着する結合剤、副原料、潤滑剤や流動性改善粒子の被覆率、特に、結合剤、副原料および潤滑剤等としてカーボンブラック以外の炭素含有物を用いる場合や、流動性改善粒子としてカーボンブラックを用いる場合に好適な、鉄基粉末の被覆率を定量的に測定する方法を提供すること。
【解決手段】鉄基粉末の表層に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、鉄基粉末の表層から放出される二次電子量を測定し、該二次電子量から鉄基粉末の表層における炭素含有物の被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。または、鉄基粉末の表層に０．１〜２ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、同様に鉄基粉末の表層に被覆している炭素含有物に対するカーボンブラックの被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】フェライト系ステンレス鋼板とオーステナイト系ステンレス鋼板との異材溶接継手で、優れた耐食性を有する溶接金属および耐食性評価方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼異材溶接継手の溶接金属であって、Ｃｒ：１８〜２１質量％、Ｍｏ：０．１質量％以下、Ｃｕ：０．５質量％以下、Ｎｂ：０．０３〜０．２５質量％、Ｔｉ：０．０５質量％以下、Ｎ：０．０４質量％以下を含有し、粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差が１０質量％以下、かつ粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差が５質量％以下。粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差、および／または粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差により耐食性を評価する耐食性評価方法。 （もっと読む）

【課題】コンクリートを削る必要がなく、鉄筋の腐食電位から腐食量を推定するための専門知識を必要としない鉄筋コンクリート構造物の鉄筋腐食量の測定技術を提供すること。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１００の１次フィルタ３は、Ｔｉをフィルタ成分として含み、その厚み寸法が５０μｍである薄膜状に形成されており、Ｆｅから発生する固有Ｘ線に対してバックグラウンドとなる、固有Ｘ線よりもエネルギの低い帯域である第一エネルギ帯域を１次Ｘ線Ａから主に吸収する。吸収後の１次Ｘ線Ａには、第一エネルギ帯域よりもエネルギの大きい帯域である第二エネルギ帯域がＦｅを励起する励起成分として含まれ、この第二エネルギ帯域のＸ線は、元素Ｆｅを励起する励起成分の１つとして作用する。１次フィルタ３によってバックグラウンドが低減され、励起成分となる第二エネルギ帯域のＸ線の割合が著しく高くなるため、Ｆｅを精度良く分析可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料の測定面がフラットであり、試料作成の段階で凹凸の波又は反り等が発生せず、高精度の試料を得ることができる蛍光Ｘ線分析用試料ホルダー及び同試料の作成方法を得る。
【解決手段】金属リングと該リングの中に充填され、かつプレスされたパウダー状濾紙からなるフラットな面を備えた蛍光Ｘ線分析用試料ホルダー。金属リングと共にパウダー状濾紙がプレスされている。プレス前の金属リングの内径が３０ｍｍ以下、厚さが５ｍｍ以下である。パウダー状濾紙の充填量が２〜５ｇである。金属リングがアルミニウム若しくはアルミニウム合金又は銅若しくは銅合金である。蛍光Ｘ線分析用試料の作成方法は、金属リングの中にパウダー状濾紙を充填した後、軽くプレスし、次に分析すべき物質を含有する液を濾紙に滴下吸収させ、これを乾燥させた後、再度プレス成形してリングの内径を縮小させるとともに、濾紙を圧縮してフラットな面を得る。 （もっと読む）

【課題】 その場分析で溶液中の微量物質の反応過程の解析が可能な溶液中の微量物質のｉｎ−ｓｉｔｕ ＸＡＦＳ分析装置を提供する。
【解決手段】 微量物質を含む溶液１１を一様に攪拌するとともに溶液１１中の特定の反応を進行させるヒータ付きスターラ１と、溶液１１の流入口、流出口とともに前記流入口及び流出口の間に溶液１１の貯留部３Ａを有して溶液１１の一様性を維持し得るとともにＸ線源から放射した入射Ｘ線１２を貯留部３Ａ内の溶液１１に照射するための受光窓３Ｂを有する測定セル３と、Ｘ線を照射した溶液１１が放射する蛍光Ｘ線１３を受光窓３Ｂを介して受光することにより溶液１１中の微量物質をその場で検出し得る７素子ＳＤＤ８と、ヒータ付きスターラと測定セル３との間を連通する流路４，５と、流路４，５の途中に介在されてヒータ付きスターラと測定セル３との間で溶液１１を循環させる送液ポンプ２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

【課題】測定物にクロムが含有されているか否かの判別精度を向上する。
【解決手段】ステンレス製の外パイプ（２１）のＸ線入射窓（２１ａ）の少なくとも内壁面（２１ｂ）を含む近傍部分に、チタンまたはチタンより重い元素によるコーティング（６０）を形成する。
【効果】ステンレスが含むクロムから生じる二次蛍光Ｘ線がコーティング（６０）により吸収される結果、クロムの不純線がバックグランドに生じることを抑制でき、測定物にクロムが含有されているか否かの判別精度を向上することが出来る。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線又は光学測定において迅速に、しかも空間分解能の高い二次元画像取得方法とその装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線による二次元画像測定装置に適用した形態では、二次元Ｘ線検出器と試料の間に２つの独立したコリメータを配置し、試料に近い側のコリメータで蛍光Ｘ線を二次元の平行光束とし、他のコリメータを経て検出器に導いて蛍光Ｘ線による二次元画像を得る。このとき、２つのコリメータのなす角度をＸ線全反射臨界角近傍で調整することにより、検出器に到達する蛍光Ｘ線のエネルギーを選別する。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造鋳片や厚板等の中心偏析を、定量的かつ高精度で、しかも広い領域を迅速に評価することができる中心偏析評価方法を提案する。
【解決手段】連続鋳造鋳片および厚鋼板の中心偏析を評価する方法であって、ＥＰＭＡ等を用いて中心偏析部を含む領域の濃度マッピング分析を行い、Ｎｂ等の指標元素の濃度が所定の閾値濃度以上である面積を求め、その面積をもって中心偏析を評価することを特徴とする中心偏析評価方法。 （もっと読む）

【課題】液体試料を前処理して含有成分を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光Ｘ線分析方法および装置において、蛍光Ｘ線分析用試料保持具からの不純線をなくし、バックグラウンドを抑制して検出限界を向上させるとともに分析精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、液体試料Ｓを前処理して含有成分Ｓ１を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具１であって、輪状の台座２と、台座２に所定の張力で保持される周辺部３ａおよびＸ線を透過させるための透過部３ｂを有する厚さ１２μｍ以下の熱収縮性フィルム３とを備え、透過部３ｂに窪み３ｃが形成されており、透過部の窪み３ｃに液体試料Ｓが滴下されて乾燥されることにより、透過部３ｂが平坦になるとともに、含有成分Ｓ１を保持する。 （もっと読む）

【課題】最表面２〜３原子層における元素と原子層とを選別した磁気構造解析を行う方法とその装置を提供する。
【解決手段】試料から散乱した散乱イオン強度を入射イオン種のスピン別に計測し、その計測データにより試料表面の磁気構造を解析する。 スピン偏極イオンを発生させるスピン偏極イオン発生部と、前記スピン偏極イオン発生部からのスピン偏極イオンを所望のエネルギーで試料表面に入射させるスピン偏極イオンビームラインと、試料を保持する真空槽と、前記真空槽内に位置して、前記試料に照射されて散乱したスピン偏極イオンを計測する計測器よりなる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ上に非検知元素よりなる疎水性膜２を設けた、液滴状分析試料の乾固を行う全反射蛍光Ｘ線分析用試料板の改良により、空実験でＳｉピークを確実に消滅させ、気相分解法と全反射蛍光Ｘ線分析を組み合わせる高感度化手法において、Ｓｉとエレルギー値の近いＰ，Ａｌ，Ｍｇ等も高感度化させる。
【解決手段】Ｓｉの特性Ｘ線が発生するのは、膜２の表面４で全反射するＸ線５が表面下８まで侵入し、この領域には微小欠陥群が存在してＸ線の散乱９が起こり膜界面のシリコンが励起する為と考え、試料板の試料乾固域の下方に十分の広さのシリコン欠如部分（凹部）を設けて、散乱Ｘ線９がシリコンと遭遇しないようにした。凹部の天井の乾固用膜は十分に薄く出来て不純物の絶対量が減るので、Ｓｉピークの消滅と同時に分析対象元素全般の空試験値も低減させ得る。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リアルタイムに材料を識別することを解決し、二重階調融合とカラー化などのアルゴリズムを利用して材料区分及び階調情報可視化することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物質識別方法は、高エネルギー放射線と低エネルギー放射線とで被検体を透過させて、各画素の値が高エネルギー放射線の被検体の該当部分に対する高エネルギー透明度を示す被検体の高エネルギー透過画像と、各画素の値が低エネルギー放射線が被検体の該当部分に対する低エネルギー透明度を示す被検体の低エネルギー透過画像とを取得するステップと、各画素ごとに、高エネルギー透明度の第１の関数の値と高エネルギー透明度及び低エネルギー透明度の第２の関数の値を算出するステップと、第１の関数の値及び第2の関数の値によって特定される位置を、予め作成した分類曲線で分類し、各画素に対応する被検体の該当部分の物質のタイプを識別するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】セメント硬化体から細骨材や混和材等を分離することなく、このセメント硬化体に用いられたセメントのクリンカ品種そのものを精度良く推定することが可能であり、しかも、１ｍｍ角程度の大きさの試料からも充分推定することが可能なセメント硬化体に用いられたセメントのクリンカ品種の推定方法を提供する。
【解決手段】セメント硬化体に用いられたセメントのクリンカ品種を電子プローブマイクロアナライザを用いて推定する方法であって、セメント硬化体中に残存している未水和カルシウムシリケート相を選択し、この未水和カルシウムシリケート相の微小部分の組成分析を電子プローブマイクロアナライザを用いて行い、この組成分析の結果に基づきセメントのクリンカ品種を推定する。 （もっと読む）

【課題】被検査物を連続的に検査して、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めＸ線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査物５を搬送する搬送装置１２と、被検査物に対し、搬送方向に直交する同一断面内で、２以上の異なる方向から、所定のエネルギー分布を有する入射Ｘ線７を、同時又は時間をずらして照射するＸ線照射装置１４と、入射Ｘ線が被検査物を透過した透過Ｘ線８から２以上のエネルギー領域のＸ線強度を弁別して計測するＸ線検出装置１６と、２以上のエネルギー領域における入射Ｘ線と透過Ｘ線の強度から、被検査物の実効原子番号Ｚ_effと電子密度ρ_eを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置１８とを備える。 （もっと読む）