【課題】試料表面の付着物質を精度よく検出できる半導体装置の検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２の上に反射膜１３と薄膜１４とを順に形成してなる試料１１の表面に、反射膜１３の臨界角θｃよりも浅い入射角θで入射Ｘ線８２ａを照射し、入射Ｘ線８２ａの照射により薄膜１４表面の付着物質８６から放出される蛍光Ｘ線８３を検出することで、試料１１の表面の付着物質８６を検出する。 （もっと読む）

【課題】試料表面及び厚さ方向の構造を精度よく分析できる試料構造の分析方法及び分析装置を提供する。
【解決手段】この分析装置は、試料２００が配置されるステージ１０３と、Ｘ線照射機１０１と、Ｘ線検出器１０２と、針状電極１０５と、針状電極１０５と同期してレーザーを走査するレーザー照射装置１０６と、少なくともステージ１０３、該ステージ１０３に設置される試料２００、及び針状電極１０５が収容される真空チャンバ１２１と、電源装置１０８とを備え、試料２００にＸ線１１１を照射して、該試料にて回折されたＸ線１１２をＸ線検出器１０２で検出する工程と、試料２００に高電圧及びレーザー１１３を印加して、針状電極１０５と試料２００の間に生じた電界強度とレーザーパワーにより、該試料表面を電界蒸発して掘削する工程とを交互に行うように制御されている。 （もっと読む）

【課題】
ディスクブレーキやドラムブレーキに使用される摩擦材において、摩擦材内部の気孔の状態や亀裂による空隙の有無を迅速、正確、且つ容易に観察することができる摩擦材の分析方法を提供すること。
【解決手段】
摩擦材の成分に含まれず、且つＸ線に対する感度の高い元素である塩素を含む物質を含浸させ、Ｘ線分析装置を用いて摩擦材内部に侵入した塩素を検出し、検出した塩素の分布状態を分析する。
前記塩素を含む物質は、４,４’-メチレンビス（２-クロロアニリン）が好ましい。
摩擦材の内部構造を分析することにより、要求される摩擦特性や振動特性を得るための好適な製造条件を求めることができ、所望の特性の摩擦材を容易に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】濃度に拘わらずに液体試料中の元素の定量分析を行うことができる蛍光Ｘ線分析方法及び蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明においては、平坦な試料台２上に所定量の液体試料を滴下し、乾燥させ、残渣試料（残渣）３１を作成する。蛍光Ｘ線装置は、駆動部４１で試料台２を移動しながらＸ線源１１から試料台２へＸ線を照射することにより、残渣試料３１を含む試料台２上をＸ線で走査する。検出部１２は、蛍光Ｘ線を検出する。分析部１３は、特定の元素に起因する蛍光Ｘ線の強度分布を生成し、蛍光Ｘ線の強度の積算値を計算し、予め記憶部１６に記憶された検量線を用いて、積算値から液体試料中の特定の元素の濃度を計算する。液体試料の濃度に拘わらず、残渣試料３１の全体にＸ線が照射され、液体試料に含まれる特定の元素の定量分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】良好な分析感度を有し、且つ、分析結果のバラツキが少なく、蛍光Ｘ線分析に用いるのに好適な固体試料が容易に得られる蛍光Ｘ線分析用試料作製器具を提供する。
【解決手段】試料原料収容孔１１が形成された金枠１２と、金枠収容孔１４が形成された金枠収容板１５と、金枠収容板１５を載置するための基台１３と、金枠収容板１５に収容された金枠１２を挟むように金枠収容板１５に対向した位置に配置されて金枠１２を加圧するための加圧盤１６とを有する試料成型治具１０と、金枠１２を含む金枠収容板１５を載置するための土台２１と、土台２１に対向する位置に配置されて土台２１に載置された金枠収容板１５を保持するための保持部材２２と、保持部材２２で土台２１に保持された金枠収容板１５から成型された固体試料を押し出すための試料押出手段２３が形成されたレバー２４とを有するオーバーフロー除去治具２０とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ポリマ材料内での無機充填剤の分散状態の解釈が容易な無機充填剤を含むポリマ材料の観察方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２種類以上の高分子材料と、１種類以上の無機充填剤を原料として混合しているポリマ材料の相分散構造解析に際し、高分子材料の内、少なくとも１種類以上と化学反応して重金属化合物を形成し、かつ無機充填剤とも化学反応する電子染色溶液に、ポリマ材料の試料片を浸漬させた後、水洗し、その試料片を走査型電子顕微鏡で観察して、化学反応した高分子材料と化学反応しない高分子材料と無機充填剤とが分散した反射電子像を収得し、その反射電子像中の無機充填剤が溶出した跡の孔の部位と溶出しない無機充填剤の部位との輝度を一致させた反射電子像を得るようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】銅を高濃度に含有する溶液であっても、蛍光Ｘ線分析装置によって正確に銅を定量することができる銅の定量方法を提供する。
【解決手段】銅を含有する硫酸酸性溶液を、吸湿性を有する吸湿性部材に滴下して蛍光Ｘ線分析装置を用いて銅を定量する分析方法であって、硫酸酸性溶液は、銅濃度が、硫酸酸性溶液を吸湿性部材に滴下して乾燥させたときに、吸湿性部材表面に銅化合物が析出しない濃度となるように希釈されている。硫酸酸性溶液中の銅濃度が、吸湿性部材の表面に銅化合物が析出しない濃度に調整されているので、吸湿性部材の表面に銅化合物が存在することに起因する測定誤差や析出した銅化合物の剥離等に起因する測定誤差の発生を防ぐことができる。吸湿性部材の表面に銅化合物が析出しないので、同一の吸湿性部材を繰り返し測定する場合において、定量される銅の測定値が変化することを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の強度を損なわず、鉄筋の状況を広範囲に簡易かつ安価に測定できる鉄筋状況測定方法を提供する。
【解決手段】 コンクリートの柱１等に鉄筋１１、帯筋１２が配筋されているコンクリート構造物において、当該構造物の表側に対して鉄筋１１が配筋されている裏側で、Ｘ線の撮影可能な範囲内で、構造物の側面と側面を斜め方向に貫通させる貫通孔２０を形成し、当該貫通孔２０に短冊状の感光フィルム３０を挿入し、構造物の表側からＸ線を照射して鉄筋状況を測定し、感光フィルム３０を抜いて下側の貫通孔２０ｂから樹脂を充填する鉄筋状況測定方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、結晶基板の検査方法に関するもので、結晶の検査工程に要する時間を短縮することを目的とするものである。
【解決手段】準備工程として、結晶基板に樹脂溶液を塗布する第１の工程と、検査工程として、前記樹脂溶液を塗布した結晶基板を検査装置に固定し、検査を行い、その後、結晶基板を検査装置から取り外す第２の工程と、検査後工程として、検査装置から取り外された結晶基板を樹脂除去溶媒に浸漬し、結晶基板表面の樹脂を除去する第３の工程と、を備えた結晶基板の検査方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より理想的な荷電粒子線装置の分解能評価用の標準試料を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板にコロイド金属又はイオン液体に分散した金属微粒子を滴下するステップと、前記基板に滴下した溶液を除去するステップと、を有することを特徴とする試料作成方法を提供する。また、荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板表面にスパッタにより金属微粒子を付着させるステップと、を有することを特徴とする試料作成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】摩擦材の構成をより正確に解析可能な技術を提供する。
【解決手段】前記摩擦材を構成する材料とは異なる性質を有する所定の液体を、前記摩擦材の空隙に含ませる含浸ステップと、前記所定の液体を含む前記摩擦材からなる試料に対して所定のＸ線を照射し、前記空隙に存在する前記所定の液体の反応から、少なくとも前記空隙の位置に関する情報と形状に関する情報とのうち少なくともいずれか一方を含む摩擦材の構成情報を取得する構成情報取得ステップと、前記構成情報取得ステップで取得された前記構成情報に基づいて画像を生成する画像生成ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象試料を実条件に近い状態で計測でき、且つ、単純な構成のイオンビーム分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料３に向けてイオンビーム６を照射するイオンビーム照射手段１と、該イオンビーム照射手段１に接続され、前記イオンビーム６の通路となる低圧部２と、該低圧部２の外部に配置されて、前記試料３に前記イオンビーム６が照射されるよう試料３を保持する試料保持手段と、前記イオンビーム６によって前記試料３から放射された放射エネルギーを検出する検出手段４とを備え、前記低圧部２が、イオンビーム６の出口部分となる開口部を有し、該開口部には、隔壁部材５が前記低圧部２の内部を気密保持可能に設けられ、前記隔壁部材５が、イオンビーム透過性を有し、且つ、前記低圧部２の内外の圧力差に耐えうる強度を有する材料からなるイオンビーム分析装置１０。 （もっと読む）

【課題】生物試料を培養し、かつこの生物試料に対して高効率でＸ線を照射することのできるシャーレを得る。
【解決手段】このシャーレ１０における本体１１は、円形の底面１２と、その周囲の側壁１３で構成され、底面１２上に液体（培養液等）を収容できる。底面１２の中央部には、円形の開口部１４が設けられ、開口部１４の周囲は、底面が掘り下げられた窓枠固定部１５となっている。Ｘ線は、この開口部１４を通してシャーレ１０の内部に照射される。窓枠固定部１５に矩形形状の窓枠部２０が嵌合して固定される。窓枠部２０は、上下のシリコーンゴム膜（弾性膜）２１に窒化シリコン膜２２が挟まれた矩形体形状の構成を具備する。上下のシリコーンゴム膜２１の中央部には、丸形の弾性膜開口（開口）２１１が設けられており、弾性膜開口２１１の中心は、シャーレ１０の底面の開口部１４の中心と略一致するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子線マイクロアナライザ分析用の試料ホルダであって試料の着脱が容易で且つチャージアップが発生しない試料ホルダを備えた電子線マイクロアナライザを提供する。
【解決手段】包埋試料を収納する空間を形成するＵ字形保持枠を有し、枠の底部に設置したコイルバネにて包埋試料を力が作用した状態で保持し、しかも上面には試料マスクを載置してホルダと試料間の導電系を保持させつつ保持するものである。したがってチャージアップは生起しない。 （もっと読む）

【課題】 金属元素の深さ方向分析方法及び二次イオン質量分析装置に関し、分析に用いる一次イオンとしての酸素イオンビーム照射に誘起される金属元素の拡散現象を抑制する。
【解決手段】 一次イオンに酸素を用いて単結晶シリコンを母材とする試料中のＧａ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ａｕ或いはＡｇの少なくとも一つの金属元素の深さ方向分析を二次イオン質量分析法によって行う際に、前記試料が前記一次イオンとしての酸素により酸化される領域より少なくとも深い領域を、予め試料の酸化に伴う前記金属元素の拡散を抑制する拡散抑制領域に改質しておく。 （もっと読む）

【課題】不具合箇所を容易に特定することのできる半導体装置の解析装置及び解析方法の提供。
【解決手段】半導体装置の解析装置は、荷電粒子ビームを試料に照射し、検出した２次電子強度に応じた２次電子像を表示する機能を備える。解析対象の半導体装置に対し、第１の照射パターンで、荷電粒子ビームを照射して、電荷を注入する。次に、前記解析対象の半導体装置の電荷の蓄積状態を観測する。電荷の蓄積状態が正常でない箇所を、半導体装置の不具合箇所として検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 多量の反応ガスを流しながらＸ線回折で試料（亜鉛フェライト脱硫剤）の反応過程（炭素析出）をその場で観察する。
【解決手段】 試料を流通する前と流通した後の反応ガスの組成が変化しない状態に試料２１を保持する微分反応評価試料保持部１５を備え、検証条件を保持した状態でＸ線回折装置（Ｘ線発生手段２５、二次元Ｘ線検出手段２６）により試料２１の組成の形態変化をその場で直接解析し、炭素の析出が生じる過程での形態変化を検証する。 （もっと読む）

【課題】被検査試料の外周部と中心部とで帯電特性が異なることから、被検査試料外周部と中心部とで同等の検査感度を得ることができない。
【解決手段】被検査試料を載置する試料ホルダの外周部に試料カバーを設け、被検査試料の帯電特性にあわせて試料カバーの帯電特性を変更する。これにより、試料外周部と中心部とで均質な帯電状態を形成でき、試料外周部の検査・観察が従来よりも高感度に実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む０．６〜６ｎｍの波長領域の軟Ｘ線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて試料へのダメージを抑制すること。
【解決手段】
本発明の試料支持部材（１１）は、窒化シリコン膜またはカーボン膜の試料支持膜（１１ａ）の一方主面に、電子線照射により０．６〜６．０ｎｍの波長領域の特性Ｘ線を放射する金属膜（１１ｂ）が設けられている。これは、電子線の照射を受けた金属膜（１１ｂ）から軟Ｘ領域の特性Ｘ線を高効率（高強度）で放射させるためであり、このような高強度の特性Ｘ線を試料（１０）に照射させることにより、観察画像のＳＮ比を向上させることができる。また、金属膜（１１ｂ）には、試料支持膜（１１ａ）内での電子の拡散範囲を抑制するという効果もあるため、入射電子線の加速電圧を高めることが可能となり、ＳＮ比の向上のみならず分解能の向上にも効果がある。 （もっと読む）