【課題】Ｓ／Ｎの低下を防止したチューナブルフィルタと、これを用いた光源装置、或いはこれを用いたスペクトル測定装置を提供すること。
【解決手段】偏光分岐光学系と、波長分散型分光光学系と、偏光変調手段とを有し、外部入射光を当該偏光分岐光学系で直線偏光化して前記波長分散型分光光学系で所定のスペクトラム光にし、前記スペクトラム光の結像位置に配設された前記偏光変調手段で前記スペクトラム光に所定のリターデーションを付加して逆行させて前記前記偏光分岐光学系で外部出力光路に合致する直線偏光成分を選択して当該外部出力光路へ射出するチューナブルフィルタであって、前記偏光変調手段は入射側にウェッジ形状の透明媒質を有し、前記偏光変調手段の配置は、当該偏光変調手段に入射する入射光束の中心軸に対して所定の角度傾けて配設されているチューナブルフィルタ。 （もっと読む）

【課題】測定したスペクトルをライブラリに記憶された計算スペクトルと比較し、リソグラフィプロセスの少なくとも１つのプロセスパラメータを割り出す方法の提供。
【解決手段】第一系列の較正スペクトルが少なくとも１つの基準パターンから計算され、各スペクトルは基準パターンの生成に使用される装置のパラメータを考慮せずに個々の基準パターンの少なくとも１つの構造パラメータの異なる既知の値を使用して計算され、各スペクトルが中央ライブラリに記憶される。ターゲットスペクトルについて記憶されたスペクトルの少なくとも１つに対応する第二系列の較正スペクトルがターゲットスペクトルを測定する装置のパラメータを使用して計算される。測定ターゲットスペクトルは放射ビームをターゲットパターンに誘導することによって生成される。測定ターゲットスペクトルと第二系列の較正スペクトルを比較し、ターゲットパターンの構造パラメータの値を導出する。 （もっと読む）

【課題】 不均一な配光特性を有する発光素子についても、その光量を迅速且つ高精度に測定できる測光装置の提供。
【解決手段】 受信光の受信強度に対応した検出データＩｉを出力するｎ個の受光部と、受信光のスペクトル分布データＰ（λ）を出力する分光分析部と、受光部の感度を特定する分光感度データＰＤｉ（λ）を、ｎ個の受光部に対応して各々記憶する記憶部と、演算動作を実行する制御部と、を有して構成される。制御部は、ｎ個の検出データＩｉと、ｎ個の分光感度データＰＤｉ（λ）と、スペクトル分布データＰ（λ）とに基づいて、発光素子の放射エネルギーのスペクトル分布ＥＧｉ（λ）を算出する第一処理と、スペクトル分布ＥＧｉ（λ）に基づいて放射束ＥＧｉを算出する第二処理と、スペクトル分布ＥＧｉ（λ）と分光視感効率Ｖ（λ）とに基づいて光束Φｉを算出する第三処理とを有する。 （もっと読む）

【課題】達成可能な冷却温度を適切に設定できる測光装置を提供する。
【解決手段】ステップＳ３において、ＣＰＵ１１は、ステップＳ２で読み取られた温度Ｔ１を、予め設定された基準温度Ｔｒと比較する。比較の結果、Ｔ１＜Ｔｒである場合には、温度Ｔ＿Ｌが達成可能と判定し、ステップＳ４へ進み、冷却温度を温度Ｔ＿Ｌに設定する。一方、比較の結果、Ｔ１＜Ｔｒでない場合すなわちＴ１≧Ｔｒである場合には、温度Ｔ＿Ｌが達成不可能と判定し、ステップＳ６へ進み、冷却温度を温度Ｔ＿Ｈに設定する。 （もっと読む）

【課題】 分光されたスペクトルの出力波長間隔を任意の波長間隔で出力することが可能な分光器を実現する。
【解決手段】 入射光を回折格子で分散させ波長毎の分散光を受光素子アレイで受光してスペクトルを得る分光器において、入射光を回折させる回折格子と、複数の受光素子を直線状に配置した受光素子アレイと、回折格子からの分散光を受光素子アレイに集光するフォーカスレンズと、出力するデータの中心波長を中心に出力するデータの波長ピッチの１／２の幅の領域に含まれる１つの受光素子、或いは、隣接する２以上の受光素子で受光された光強度に基づき中心波長における光強度を演算する波長補間処理手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】分光式／光学式測定に対するセンサエレメントであって、該センサエレメントはビーム１０感応測定装置３を備えたセンサチップ２、センサチップに真空密の接続体５において固定されているキャップチップ６、該キャップチップと測定装置との間に形成されていて、接続体によってシールされている自由空間７、入射ビーム１０を測定装置に集束するフレネルゾーンストラクチャ１２を有しているセンサエレメントをコスト面および利便性の点で改良する。
【解決手段】レネルゾーンストラクチャはキャップチップ内に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高分解能でありながら、簡単な構成の波長センサを提供する。
【解決手段】光の波長を検出する波長センサであって、コリメートレンズ１と、前記コリメートレンズ１からの光を干渉させて干渉光を射出するものであり、対向する２つの反射面を有し、当該反射面間の距離が連続的に変化する干渉器４と、前記干渉器４を透過した干渉光を検出する光検出器５と、前記反射面間の距離及び前記反射板間の角度を調節する反射面調節機構と、を具備する。 （もっと読む）

本発明は、液体、ペースト状または固体の物質の特性量を分析するために光学的分光分析システムで使用される分光測定ヘッドに関し、とりわけ、長時間安定性、低メンテナンス性かつ簡単な構成を特徴とする。このことを実現するためにケーシング内に、回転可能に支承されたミラーと、光放射用の光源または放射光を出力結合する放射光出力結合装置とが設けられており、これらは、該回転可能に支承されたミラーのクラップにより、放射光が該ケーシング内の基準体に当たるか、または該ケーシングの窓を介して分析対象の物質に当たるように配置されている。こうするために前記ミラーは、駆動装置に機械的に結合されているか、またはケーシング内の撓み振動体でもある可撓性バルクに機械的に結合されている。さらに、ケーシング内に少なくとも１つの導光体が配置されており、該少なくとも１つの導光体は、基準体の表面によって反射された放射光または分析対象の物質の表面によって放出された放射光の少なくとも一部が該導光体に入力結合されるように配置されている。このような分光測定ヘッドでは有利には、光放射用の光源は発光手段として組み込まれている。このことにより、物質または基準体に低損失で照射することができる。
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【課題】低輝度測定時においても測定精度を高めることが可能な測光装置および測光方法を提供する。
【解決手段】測定動作（ライト測定およびダーク測定）の前後において、それぞれ、イニシャル動作が行われ、電荷が吐き出されている。ライト測定動作およびダーク測定動作の各測定動作においても、それぞれ、イニシャル動作と同様に、電荷が吐き出されている。ライト測定の前のイニシャル動作が終了する少し前にシャッター５を開けた後かつライト測定動作を行う前に、シャッター５を開けた状態でビニング動作を行うプレ蓄積期間を設けることにより、電位のディップ等を埋める。 （もっと読む）

３２チャネルＰＭＴセンサーに基づくファイバー化された単一光子の鋭敏な分光計は、広い検出ダイナミックレンジに非常に鋭敏である。分光計は、複数の蛍光マーカー（例えば複数の蛍光染料によって放出された多色蛍光信号または放射の構成など）でラベルが付けられた生体サンプルの正確かつ高速な検出、同定および解析を可能にする。分光計のファイバー化された光入力は、分析された蛍光のファイバー集束に基づいた任意の測定システムへの容易および高効率な結合を可能にする。分光計は非常に正確なＤＮＡ塩基配列決定を提供する。３２チャネルＰＭＴ単一光子検出器は、２０ビット以上の検出ダイナミックレンジを有して、毎秒約３３００のフレームのフレーム率を有している。検出器のピクセルのダイナミックレンジは、毎秒１０^８の光子計数に達する。 （もっと読む）

【課題】スペクトル調整可能フィルタを提供すること。
【解決手段】少なくとも１つのビームをスペクトルフィルタリングすることは、少なくとも１つのビームの複数のスペクトル成分を、スペクトル平面内でそれぞれに対応する異なる角度で分散させること、分散後のスペクトル成分の伝搬軸の角度の少なくとも一部を、複数のスペクトル成分の伝搬軸の間の最大角度分離が変わるように変更すること、反射面に入射する複数の分散後のスペクトル成分を、複数のスペクトル成分それぞれの中心光線が反射面上の異なる点に入射する位置で受け取ること、および受け取ったスペクトル成分のうち、選択された出力経路に誘導すべき少なくとも１つかつ全部未満を選択するように、反射面を傾動させることを含む。 （もっと読む）

ここで提案されるのは、試験体（１１２）の少なくとも１つの光学特性を決定する装置（１１０）である。装置（１１０）には、上記の試験体（１１２）に励起光（１２２）を加える調整可能な励起光源（１１４；４１０）が含まれている。装置（１１０）にはさらに試験体（１１２）から出射される検出光（１３２，１３６；３１４）を検出する検出器（１２８，１３０；３１２）が含まれている。上記の励起光源（１１４；４１０）には発光ダイオードアレイ（１１４）が含まれており、これは、少なくとも一部分がモノリシック発光ダイオードアレイ（１１４）として構成されている。このモノリシック発光ダイオードアレイ（１１４）にはそれぞれ異なる発光スペクトルを有する少なくとも３つの発光ダイオード（４２６）が含まれている。
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【課題】取付けが容易で安価な手法で製造でき、複雑な調整を必要とせず、空間的寸法が小さい、入口スリットを有する分光計および入口スリットの製造方法を提供する。
【解決手段】分光計は、ハウジング1と、入口スリット4と、ハウジング内に配置され、測定光を光電子検出素子に結像させる回折格子3とを有しており、検出素子はハウジング内に配置され、ハウジングおよび基板2は、規定された相互位置決めのための互いに協働する位置決め手段5a;5b;5c;5dによって相互連結される。入口スリット、基板の位置決め手段および検出素子を受容して取り付けるための保持手段6a;6bは、基板の恒久的な部分であり、レーザービーム切断または液体ジェット切断といった成形技術により、基板から、正確かつ適切に、規定された相互位置に作成される。基板の位置決め手段および検出素子のための保持手段のうちの少なくとも一つは、弾性要素として設けられる。 （もっと読む）

【課題】波長分散素子を回転駆動したときの振動の影響を極力軽減することができ、且つ、分析精度の向上を図ることができる分光光度計を提供する。
【解決手段】中央制御部は、蛍光検出器からの蛍光信号を取得すると振動収束判定用のサンプリング周期Ｔ１でＡ／Ｄ変換し、データ処理部に与える(Ｓ１）。振動収束判定を行うタイミングになると(Ｓ２)、データ処理部は取得したデジタル信号に対して所定の信号処理を行い(Ｓ３)、最新データから一定時間過去に遡った範囲に規定値を超えるデータが存在しないか否かを判断する(Ｓ４)。規定値を超えるデータが存在しない場合は、回折格子の振動が収束したと判断して振動収束判定動作を終了する。その後、中央制御部６１はＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を分析データ取得用の周期Ｔ２に変更して蛍光分光測定を実行する。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光検出素子４における本体部２側の後面４ａには、光通過孔４２の光出射開口４２ｂを囲むように溜部４３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方式により、外部共振器型半導体レーザから射出されるレーザ光について波長の変位を検出する波長変位検出装置を提供することである。
【解決手段】波長変位検出装置は、平行平板に入射された光について表面で反射された光と、裏面で反射された光を集光する集光手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光検出素子４における本体部２側の後面４ａには、光通過孔４２の光出射開口４２ｂを囲むように矩形環状の凸部４３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光通過孔４２の光入射開口４２ａの一部は、光透過板１６によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】波長多重化された光ネットワーク等の試験を、容易にできるようにする。
【解決手段】半導体レーザ２１、レーザ光用のコリメータ２３、回折格子２５、反射体２７と、反射体回動手段（２８、２９）、波長可変光出射手段（３０〜３２）とを備えて外部共振型の波長可変光源としての機能を有しているとともに、半導体レーザ２１から回折格子２５への光の入射を阻止するための手段（２２）、被測定光を入射させるための手段（４１）、被測定光用のコリメータ４３、ビームスプリッタ４０、集光レンズ５０、スリット部材５１および光電変換器５２とを有し、半導体レーザ２１から回折格子２５への光の入射が阻止され、且つ被測定光が入射されている状態で、反射体２７の角度を所定範囲変化させ、その角度毎の光電変換器の出力値を取得して、被測定光のスペクトラム波形データを求める。 （もっと読む）

【課題】光学要素およびハウジング内面の反射に起因する迷光を高精度に補正する。
【解決手段】２列のセンサアレイＤＡｓ，ＤＡｒを用いるデュアルチャネルポリクロメータ１０において、外部処理装置ＥＣはスリットＳＬｓからサンプル光Ｉｓを入射させたときのセンサアレイＤＡｒの出力から、入射光の分光分布に依存しない迷光の相対分光（画素）分布（基準迷光分布Ｓ０_ｎ）を求めて演算制御手段ＰＵに記憶させておき、測光時には、前記演算制御手段ＰＵは、前記Ｓ０_ｎと入射光の分光（画素）分布出力に応じて求められた迷光の強度係数（迷光強度係数Ｋｓ，Ｋｒ）とから、被測定光の分光（画素）分布出力に含まれる迷光の分光（画素）分布（迷光分布Ｓｓ_ｎ，Ｓｒ_ｎ）を推定して、被測定光の分光（画素）分布出力Ｉｓ_ｎ，Ｉｒ_ｎをＩｓ’_ｎ，Ｉｒ’_ｎに補正する。したがって、従来のように入射光から直接迷光分布を推定するよりも、高精度に迷光を補正できる。 （もっと読む）