【課題】点光源とはみなせない光源を用いた場合でも、光学系の全長を小さく抑えながら、軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑える。
【解決手段】干渉計２に適用されるコリメータ光学系１１は、光出射面３１ａを有する光源３１と、平凹レンズ３２と、コリメータレンズ３３とを備えている。コリメータレンズ３３は、正の光学パワーを持ち、光源３１の光出射面３１ａの１点から射出される光束を平行光に変換する。平凹レンズ３２は、負の光学パワーを持ち、一方の面が平面３２ａで他方の面が凹面３２ｂからなる。平凹レンズ３２の倍率の絶対値は、１よりも小さい。また、平凹レンズ３２は、光源３１の光出射面３１ａに平面３２ａを密着させて、光源３１とコリメータレンズ３３との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】 信頼性を維持しつつ小型化を図ることができる分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１は、導光部７が設けられたキャップ４と、ステム５と、を有するパッケージ２と、パッケージ２内においてステム５に支持された支持部材２９と、支持部材２９に支持された基板１１と、基板１１に搭載された光検出素子１２と、基板１１とステム５との間に配置され、導光部７から入射した光を分光すると共に光検出素子１２に反射する分光部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型で持ち運びやすく、設置場所に制限されない装置が実現可能となる、ＰＤを用いた波長スペクトル検出方法を提案することにある。
【解決手段】任意の光の波長スペクトルφ（λ）を検出する方法であって、フォトダイオードの光電変換領域に前記任意の光を入射可能に構成するとともに前記任意の光の入射方向に電界を印加して光電流を生じさせるように構成し、前記任意の光の入射後若しくは遮断後における出力である光電流値の過渡応答Ｉ（ｔ）を検出し、この過渡応答Ｉ（t）に基づいて、前記任意の光の波長スペクトルφ（λ）を計算することにより求める。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすＣＤ測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する２つの偏光成分間の位相差（δ）を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分（ＤＣ）、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分（ＡＣ）をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比（ＡＣ／ＤＣ）に前記位相差の変調振幅（δ_０）を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外乱による信頼性の低下を抑えた分光特性測定装置とその制御方法、分光特性測定方法、及び光路長差伸縮機構を提供する。
【解決手段】本発明は、被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つにまとめた後、分割光学系によって第１反射部と第２反射部に導き、前記第１反射部と前記第２反射部の相対位置に影響を及ぼす外乱を推定し、該外乱を解消するように前記第１反射部と前記第２反射部の少なくとも一方を移動させることにより前記第１反射部によって反射された第１反射光と前記第２反射部によって反射された第２反射光の光路長差を伸縮させつつ、前記第１反射光と前記第２反射光を結像光学系によって同一点に導き、その点の干渉光強度変化に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する。 （もっと読む）

【課題】光路長差を伸縮させるために低価格の駆動装置を用いながらも、高精度なインターフェログラムを得ることができる分光特性測定装置及び分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Ｓの測定点から発せられた光を対物レンズ２によって固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６２に導き、これらミラー部１６１、１６２によって反射された光を結像レンズ１８によって同一点に導く。制御部２２は可動ミラー部１６２を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６１によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部２４は、前記可動ミラー部１６２が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の低下を招くことなく高精度に眼底の分光特性を測定することができる眼底分光特性測定装置及び眼底分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の眼底分光特性測定装置１は、光源からの光を被検眼眼底Ｓｂに照射して該眼底Ｓｂから発せられる光を対物レンズを通して第１反射部１６と第２反射部１５に導く。そして第１及び第２反射部１６、１５で反射された第１及び第２反射光を結像レンズで同一点に導き、干渉光強度を検出部２４で検出する。位相シフター１４によって第１及び第２反射光の光路長差を伸縮させつつ検出部２４で干渉光強度変化を検出し、処理部３０はその干渉光強度変化からインターフェログラムを求める。このとき、処理部３０は結像レンズの光軸と結像面の交点から受光素子までの距離、結像レンズの焦点距離、第１反射部１６の移動量から光路長差を算出し、光路長差に応じてスペクトルを補正する。 （もっと読む）

【課題】広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】測定モードでは被測定物の各輝点から発せられた光を分割光学系を通して第１及び第２反射部に入射させ、そこで反射された光を結像光学系によって干渉像を形成する。第１反射部を移動させることにより分割光学系から第１及び第２反射部を経て結像光学系に向かう第１及び第２反射光の間の相対的な光路長差を伸縮させ、そのときの干渉像の光強度変化に基づき被測定物の各輝点のインターフェログラムを求める。校正モードでは、輝点から出射される所定波長λの光を分割光学系に入射させることにより、該輝点に対応する複数の干渉像を形成させ、そのときの光強度変化に基づき該光強度変化の１周期に対応する第１反射部の移動量を求め、輝点の波長λ、第１反射部の移動量、前記干渉像の画角θから前記第１反射部の設置角を求める。 （もっと読む）

【課題】照明光源が発光した光を受光して光学測定を行うときに、照明光源に熱のダメージを与えることなく正確に光学測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明の光学測定装置は、ＬＥＤ８に対して電源部７が駆動電流を供給することでＬＥＤ８を発光させる発光部２と、ＬＥＤ８が発光した光Ｌを受光してＬＥＤ８の光学測定を行う測光部５と、発光部２と測光部５との間を接続し、発光部２の発光タイミングと測光部５の測定タイミングとを同期させるためのトリガ信号ｔｒｉｇを伝送するトリガ信号伝送部２０と、を備えている。これにより、光学測定を正確に行うことができ、ＬＥＤ８に対して作用する熱のダメージを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】分光された光のスペクトルを検出して分光測定を行うときに、測定時間を短縮化することを目的とする。
【解決手段】本発明の分光測定装置は、ＬＥＤ１１からの光を分光した光を波長ごとに受光する複数の受光素子を有する光センサ１６と、光センサ１６の各受光素子についてのスペクトルデータを順番に生成するＡＤ変換部２１および補正部２２と、補正部２２が全ての前記受光領域のスペクトルデータを生成するよりも前に、既に生成されたスペクトルデータを用いて演算処理を開始する演算部２４と、を備えている。これにより、スペクトルデータの生成動作と演算動作とをオーバラップさせることができ、分光測定の時間を短縮化できる。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）

【課題】対象物からの反射光の波長スペクトルを計測タイミングに応じて適切に計測することができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 第１結像光学系１２は、互いにレンズピッチが異なる３つのマイクロレンズアレイを含み、開口系１３は、互いに開口ピッチが異なる３つの開口部材を含み、分光系１５は、互いに格子ピッチが異なる３つの回折素子を含んでいる。駆動装置１２３によって、任意の１つのマイクロレンズアレイを反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１３３によって、任意の１つの開口部材を反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１５３によって、任意の１つの回折素子を反射光の光路上に配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】入射光の直交する偏光毎の強度測定が行え、且つ高分解能、低コスト、小型な光スペクトラムアナライザを提供する。
【解決手段】被測定光Ｐｘを第１レンズ２２で平行光にして偏光分離部２３に入射して直交偏光成分を分離し、その一方の偏光方向を１／２波長板２４で９０度回転させて、他方の偏光方向に合わせて、波長選択部２９の回折格子３０に入射させている。また、偏光保存型光ファイバ４１、４２へ各偏光成分を集光入射するためのレンズと、偏光保存型光ファイバ４１、４２で折り返された各偏光成分を平行ビームにして回折格子３０へ再入射させるためのレンズとを単一の第２レンズ４０によって共通化している。さらに、最終次選択光（この例では第４次選択光）を、第３、第４レンズ４５、４６で集光しスリット４７、４８を通過させて受光器５０、５１で受光している。 （もっと読む）

【課題】フォトダイオードの配列集積度が比較的高くないフォトダイオードアレイや欠陥フォトダイオードが存在するフォトダイオードアレイであっても、所定の測定波長範囲で高い波長分解能が得られる分光装置を提供すること。
【解決手段】被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、
前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】光学基板に備わるアクチュエータの特性のバラツキにかかわることなく、高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜第４センサが、一対の光学基板の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置された可変分光素子であって、第１〜第４アクチュエータ４_１〜４_４の各々が、一対の光学基板の対向面の重心から第１〜第４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置され、第１〜第４センサの信号から、一対の光学基板の対向面の重心同士の間隔を算出し、第１・第３センサの信号、第２・第４センサの信号から、夫々、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度、第２の角度を算出し、第１・第２センサの信号から夫々の配置位置での一対の光学基板の対向面同士の面間隔との差分を算出し、間隔、角度、差分に基づいて第１〜第４アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】
周波数コム光を利用して分光機器の較正を高精度で行う技術、較正がなされた分光機器を用いて高精度分光を行なう分光技術を提供することである。
【解決手段】
周波数安定化光源からの光を周波数シフタに入射して、当該周波数シフタから周波数シフト量設定値に応じて“周波数がシフトした複数の光”を順次出射し、周波数コム光発生器からコム周波数間隔が高精度に設定された中心角周波数が異なる周波数コム光を順次生成し、分光機器に異なる周波数シフト量設定値ごとに順次入射して、“近接する２つの特定コム”のそれぞれについて、“周波数がシフトした複数のコム”の光スペクトルを、所定のサンプリング周波数間隔で順次検出し、分光機器から、前記“近接する２つの特定コム”のそれぞれについての“周波数がシフトした複数のコム”の光スペクトルデータを取得して周波数較正演算を行う。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）