【課題】試料の大きさに影響されない低転送倍率の試料測定装置を提供することである。
【解決手段】エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光ＣＬを測定する試料測定装置１であって、試料Ｗを収容する試料収容部２と、前記試料収容部２内の試料Ｗにエネルギ線ＥＢを照射するエネルギ線照射部３と、前記エネルギ線ＥＢが照射された試料Ｗから生じる光ＣＬを集光する集光ミラー４１と、前記集光ミラー４１により集光された光ＣＬを受光して、前記試料収容部２外に伝送する光ファイバ４２と、を備え、前記光ファイバ４２が、前記試料収容部２内において、前記集光ミラー４１に近い支持部４２ａと、前記集光ミラー４１から遠い支持部４２ｂとで支持されている。 （もっと読む）

【課題】厚さが厚い試料の分析に好適でかつ凹部の形状が鮮明な画像を得ることができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ１８に合焦位置を変更可能にして荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づきウエハ１８の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡１７と、回転楕円反射鏡１７に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器３３と、ウエハ１８の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器２５と、荷電粒子検出器２５の検出信号に基づき凹部の位置を求める信号処理部２４とを備え、照射系により荷電粒子を凹部に照射するときに、信号処理部２４は光検出器３３の検出信号に基づいて荷電粒子の合焦位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】厚さが厚い試料の分析に好適でかつ試料の材質の同定も行うことができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ１８に荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づき試料の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡１７と、回転楕円反射鏡１７に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器３３と、試料の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器２５と、荷電粒子検出器２５の検出信号に基づき試料の形状を求めると共に光検出器３３の検出信号に基づきウエハ１８の材質を同定する信号処理部２４とを備え、照射系は荷電粒子をウエハに間欠的に照射するように制御され、信号処理部２４は荷電粒子の間欠照射終了時点から間欠照射開始時点までの期間における光検出器３３からの検出信号の減衰特性に基づき試料の同定を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら電子顕微鏡による高分解能観察及びカソードルミネッセンスの高分解能観察を可能としたカソードルミネッセンス測定装置を提供することである。
【解決手段】試料Ｗに電子線ＥＢを照射して生じるカソードルミネッセンスＣＬを測定するカソードルミネッセンス測定装置１であって、前記電子線ＥＢを収束して前記試料Ｗに照射する電磁型対物レンズ７５と、前記電子線ＥＢが照射された試料Ｗから生じるカソードルミネッセンスＣＬを集光する集光ミラー部４１１と、を備え、前記集光ミラー部４１１が、前記電磁型対物レンズ７５の試料Ｗ側の端部よりも上方に設けられており、前記電磁型対物レンズ７５の漏洩磁場が前記試料Ｗに印加されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】同一粒子線照射条件及び走査条件の下で試料上の所定の測定範囲の拡大画像の取得と同時に該範囲のスペクトル分析を行うことにより、測定時間の短縮を図るとともに測定の正確性を向上させる。
【解決手段】操作部２４から走査速度などの走査条件と測定範囲とが設定され測定開始指示が与えられると、同期制御部２２は、測定範囲内で電子線照射位置が走査されるように試料ステージ４の駆動を開始し、それと同時に、電子検出器１５による検出信号に基づく二次電子画像の作成と、Ｘ線検出器９によるＸ線パルスに基づくＸ線スペクトルの作成とを開始させる。走査の進行に伴って徐々に二次電子画像が現れ、徐々にＸ線スペクトル強度が上昇するから、表示部２５の画面上で同一ウインドウ内に両者をリアルタイムで表示する。これにより、１回の走査が終了した時点で、測定範囲の二次電子画像とＸ線スペクトルとを共に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる薄膜等の試料を破壊すること無く、品質をより正確に評価することが可能な試料の評価方法及び評価装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料の評価方法は、試料保持部２にて保持された試料Ｓを、移動部４によりその面内の一方向に沿って一定の速度にて移動するとともに、この移動しつつある試料Ｓに電子線発生源５により電子線Ｅを照射し、ＣＬ分光検出器６により試料Ｓから発生するカソードルミネッセンスＣＬを検出し、このカソードルミネッセンスＣＬの検出結果に基づき試料Ｓを評価する。 （もっと読む）

【課題】作動距離（ＷＤ）を可及的に小さくすることである。
【解決手段】エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光Ｌを測定する試料測定装置であって、エネルギ線ＥＢを発生させるエネルギ線発生部２１と、前記エネルギ線発生部２１から発生したエネルギ線ＥＢを収束して前記試料Ｗに照射する対物レンズ２２５と、前記エネルギ線ＥＢが照射された前記試料Ｗから生じる光Ｌを集光するミラー面２３と、を備え、前記対物レンズ２２５の少なくとも一部を、前記ミラー面２３における前記エネルギ線入射側端部よりも前記試料側に設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不純物準位や欠陥準位を正確に求めることができる技術を提供する。
【解決手段】試料１５にイオンビーム２１を照射すると、イオン照射によって励起した正孔が捕獲中心に遷移するとき、価電子帯と捕獲中心のエネルギー準位の差に応じた波長の光を放出するので、放出光の強度のピークとその波長を測定すると、捕獲中心の準位が分かる。 （もっと読む）

【課題】集光素子上の金属薄膜は、帯電を防ぐ大きな効果をもたらすが、逆にこの金属薄膜による軟Ｘ線の吸収が行われ、信号強度の大きな減衰を招き、結果として検出感度の大幅な劣化となる。
【解決手段】試料と集光素子の間に接地電位の金属グリッドを置くことにより集光素子上での帯電による電界を遮蔽し、照射電子線の位置変動を抑える。又、集光素子上の金属薄膜の蒸着を止めることにより、軟Ｘ線の金属薄膜による吸収を無くし、検出感度の向上を行う。 （もっと読む）

【課題】被測定物の応力を非破壊で測定する。
【解決手段】希土類元素を含有した被測定物にレーザーまたは電子線を照射して、発生した蛍光スペクトルのピーク波数が応力によってシフトする量を測定することによって応力を測定する。凹凸のある被測定物の蛍光スペクトルのピーク強度ができるだけ高く安定するように、被測定物を揺動させて向きを調節する。これによって被測定物の形状、種類等に影響されずに、製品あるいは製品を構成する部材、素子などの応力や歪を非破壊で測定することが可能となる。また、本発明は、希土類元素の発する蛍光を利用するので、高温で変性することがなく、セラミックスなどの、高温で形成する固体物質にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】極微量の欠陥や不純物から、高い輝度のCL信号を得、大電流まで制御可能な電子ビームを発生させる電子銃を提供する。
【解決手段】カソードルミネッセンス検出装置の電子ビーム照射系で使用される電子銃であって、６桁のダイナミックレンジを持つ電子ビーム電流制御(6×10^-7マイクロアンペア〜400 マイクロアンペア 以上)及び３桁のダイナミックレンジを有する電子ビームスポット径制御（0.016 マイクロメートル〜100 マイクロメートル 以上）である複数の電子銃を用意し、それぞれの熱電子銃を切り替えて活用するためのハイブリッド接続できる離脱着機構を導入したことを特徴とするカソードルミネッセンス検出装置のための電子銃。 （もっと読む）

【課題】
不完全部分を有する半導体結晶を予め製造プロセスから取り除くことができる、半導体結晶のスクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の半導体結晶のスクリーニング方法は、半導体結晶に電子線又は光を照射することによって半導体結晶の不完全部分での欠陥を誘起し、その後、カソードルミネッセンス法又はフォトルミネッセンス法により半導体結晶の欠陥検査を行い、その結果に基づいて半導体結晶のスクリーニングを行う工程を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の水準よりもさらに１桁から２桁以上の超高感度検出可能なカソードルミネッセンス装置を提供する。
【解決手段】（１）電子ビーム照射系、（２）真空容器、（３）真空排気系、（４）試料を保持するためのステージ、（５）試料から放出されたカソードルミネッセンスを集光するための集光光学系、（６）集光された光を分光器へ転送するための光転送系、（７）転送された光を分光するための分光系、（８）分光された光を検出するための検出系、（９）検出された信号を分析するための分析系から構成るカソードルミネッセンス検出装置において、（５）集光光学系を構成する集光ミラーに色収差と球面収差を同時に補正できるカセグレン式光学配置とし、電子ビームを試料に照射しながら、電子ビーム照射領域からのカソードルミネッセンス取得と同時に試料の高倍率の光学顕微鏡像をリアルタイムで取得することを特徴とするカソードルミネッセンス検出装置。 （もっと読む）

【課題】容易に変造または偽造ができず、かつ、同定可能なコインの提供。
【解決手段】少なくとも一方の面に凹部を有するコイン本体と、前記凹部に充填されている、電磁波の照射により発光する物質を含有する組成物とを具備する、コイン。 （もっと読む）

【課題】適正な量子検出効率と高ＳＮ比を維持し、患者へのＸ線照射線量を抑制したデジタル放射線像形成組立体を得る。
【解決手段】高適合性画像形成組立体は、入射放射線を受けかつ対応する光信号を放出するように構成された単体蛍光体フィルム１０、単体蛍光体フィルム１０に結合される電子装置１２、着脱可能な電子強化層１４で構成する。電子装置１２は、単体蛍光体フィルム１０から光信号を受信しかつ画像形成信号を生成する。単体蛍光体フィルム１０は、シリコーン結合剤内に分散されたＸ線蛍光体粒子を含む。単体蛍光体フィルム１０の厚さは、１ｍｍより薄く、要件に応じて変える。 （もっと読む）

【課題】 本発明はカソードルミネッセンス分析方法及び装置に関し、本来の信号成分（ネット成分）を安価で得ることができるカソードルミネッセンス分析方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料５に電子線を照射し、該電子線照射により試料５から発生した光を光検出器１１で検出し、該検出した光の波長スペクトルを得るようにしたカソードルミネッセンス分析装置において、前記電子線が試料５に照射されないようにする遮断手段と、前記遮断手段を開放した状態で前記光検出器１１で検出した計数値と、前記遮断手段を動作させて電子線が試料５に照射されない状態で前記光検出器１１で検出した計数値とを比較して試料のカソードルミネッセンス特性を求めるようにした演算制御手段１３とを具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】薄膜の２次電子放出能を複雑な機構を用いることなく、感度よく、さらには成膜装置内でも測定して評価できる表面検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査対象物としての、基板８の表面に形成された薄膜８ａに高周波プラズマ１３を接触させて、高周波プラズマ発生手段の回路に接続させたインピーダンス測定器１４で高周波プラズマ１３のインピーダンスを測定し、そのインピーダンスの測定値より、予め求めたインピーダンスと薄膜からの２次電子の放出数との相関に基づいて、薄膜８ａの２次電子放出能を評価する。従来用いられていたイオンビームに代えて高周波プラズマ１３を使用するので、２次電子の放出量が多くなり、２次電子を高感度に測定できる。イオンビームを用いる従来法に必要であった基板８と電極とを覆うコレコタは不要なので、測定系をシンプルにすることができ、成膜装置内での２次電子の測定が可能となり、成膜工程の安定化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で測定位置の確認ができ、且つ高空間分解能で試料分析ができるカソードルミネッセンス（ＣＬ）を用いた半導体結晶欠陥検出方法等を提供する。
【解決手段】表面側にシリコン層を有する基板２をステージ３に載置する工程と、基板２を温度１００Ｋ〜４Ｋに冷却する工程と、ステージ３と基板表面を照射するための電子線とのいずれか一方を２次元的に走査して、基板表面の所定領域内を電子線により順次照射する工程と、基板表面から発生したＣＬ光のうちの波長１２００ｎｍ〜１７００ｎｍの近赤外光を検出すると共に、検出位置確認のために、基板表面から発生した２次電子を検出する工程と、検出された２次電子により基板表面の画像である２次電子像を表示すると共に、２次電子像に対応させて、検出された近赤外光の強度を表示し、基板表面で近赤外光の強度が大きい部位を特定する工程とを順に実行している。 （もっと読む）

【課題】 電子銃の制約を受けず、高い集光効率の光学系を設計することが可能なカソードルミネッセンス専用測定装置を提供する。
【解決手段】 試料（２）に電子線を照射するための電子線照射部（３）と、試料（２）から発光するカソードルミネッセンスを測定する発光測定部（４）と、カソードルミネッセンスを発光測定部（４）に集光する、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせとを備えたカソードルミネッセンス専用測定装置（１）であって、電子線照射部（３）、発光測定部（４）および楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジ（７）に固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料（２）からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うカソードルミネッセンス専用測定装置（１）とする。 （もっと読む）

核共鳴蛍光を用いて適応走査することにより試料内の核種を検出するための方法は、前記標的試料を光子源からの光子で照らす段階と、１つのエネルギーチャンネルで信号を検出する段階と、前記検出した信号を用いて走査評価パラメータを決定する段階と、前記走査評価パラメータが検出効率基準を満たすか否かを判断する段階と、前記走査評価パラメータが前記検出効率基準を満たすように、１つ又は複数のシステムパラメータを調節する段階と、１つのエネルギーチャンネルにおける前記信号を所定の核種検出判定基準と比較して核種検出イベントを識別する段階とを含むことができる。別の実施形態では、１つのエネルギーチャンネルで信号を検出する前記段階は、前記標的試料から散乱する光子を検出する段階を更に含むことができる。別の実施形態では、１つのエネルギーチャンネルで信号を検出する前記段階は、前記標的試料を透過すると共に少なくとも１つの基準散乱体から散乱する光子を検出する段階を更に含むことができる。
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