【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】導電性高分子膜を用いた小型かつ安価なガスセンサであって、特に、湿度変化に対する安定性が高く、アンモニアやアルコール等のにおい成分の選択的な検出が可能で、車載用として好適なガスセンサを提供する。
【解決手段】基板１０上に設けられた一対の電極１２ａ，１２ｂおよび１３ａ，１３ｂの間に、導電性高分子膜２０が形成されてなり、導電性高分子膜２０にガス成分が付着した際の抵抗値変化を測定して、該ガス成分の濃度を検出するガスセンサであって、導電性高分子膜２０が、ガス成分の付着により抵抗値が変化するアニオン性高分子感ガス膜３２と、アニオン性高分子感ガス膜３２の電荷を打ち消すカチオン性高分子膜３１との、第１の交互積層膜４１を有してなるガスセンサ１００とする。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、ガス中のフタル酸ジアルキルを検出できるガスセンサ及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】メソポーラスシリカを充填した捕集カラム１と、捕集カラム１を加熱する加熱装置２と、ＳｎＯ_２を主成分としてなる金属酸化物の表面に、所定の細孔を持ったシリカマスクが形成されたセンサ素子４と、センサ素子４の電気抵抗値を測定する検出器５と、測定すべき空間から採取された空気を試料ガスとして、捕集カラム１に流通させると共に、同空気を脱離用ガスとして、捕集カラム１及び前記センサ素子４に流通させる空気流通手段とを備えているガスセンサを用いてガス中のフタル酸ジアルキルを検出する。 （もっと読む）

本発明に従い新規な水素センサーの製造方法が提供されるが、該方法は、弾性基板の表面に遷移金属またはその合金薄膜を形成するステップと、上記弾性基板に引張力を印加して、上記基板表面に形成された上記合金薄膜に複数のナノギャップを形成するステップと、を含み、上記薄膜への上記ナノギャップは、上記引張力の印加時には上記薄膜が該引張力の印加方向に伸長すると共に該印加方向に対して垂直方向に収縮し、該引張力を解除すると上記薄膜が該印加方向に収縮すると共に該印加方向に対して垂直方向に伸長することにより形成されることを特徴とする。
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【課題】生体情報に含まれるマーカに対して、マーカ選択性と高い性能とを有する化学物質センシング素子を製造できる方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を特定化学物質に特異的に吸着し得る材料で表面修飾してなる、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子を製造する方法であって、特定化学物質との結合に関係する特定化学物質の電子軌道に吸着し得る可能性を有する候補材料について、それぞれの特定化学物質との吸着エネルギーを算出し、その結果に基づいて、上記候補材料の中から導電性基体の表面修飾材料に適すると予測される材料を選択する工程を含む、化学物質センシング素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】多成分系のガスから特定化学物質を高選択的および高感度に検出でき、さらに装置の小型化および測定時間の短縮化を達成できる化学物質センシング素子を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を化学式（１）または（２）で示される化学構造を含む化合物で表面修飾してなるセンシング部を備え、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する（Ｒ¹とＲ⁴とはＨ、ＣおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ²とＲ⁵とはＨおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ³とＲ⁶とはＨおよびＮａのうちいずれかを含む化学構造である）。
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【課題】薄膜型センシング部材を利用した化学センサを提供する。
【解決手段】第１電極及び第２電極間の薄膜型センシング部材を具備し、センシングしようとする化合物がセンシング部材に吸着しつつ発生する電気的性質の変化を測定する化学センサである。該薄膜型センシング部材は、化学センサの面積が広く、化学センサの感度が向上する。第２電極はナノ構造体であって、センシング部材の表面を露出させることができる構造である。第２電極は、１０ｎｍ〜１０μｍ幅を有し、第１電極及び第２電極間のギャップは、１０ｎｍ〜１μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】その目的は、雰囲気中の特定物質を高選択的かつ高感度に検出できるとともに、装置の小型化及び測定時間の短縮化を達成でき、更に、長期に渡って性能を維持できる化学物質センシング素子、化学物質センシング装置、及び、化学物質センシング素子に含まれる表面修飾カーボンナノ構造体の製造方法、並びに、化学物質センシング素子の製造方法を提供する。
【解決手段】
化学物質センシング素子は、雰囲気中の特定物質である一酸化窒素（ＮＯ）７６と選択的に反応する錯イオン７２とイオン結合するカチオン性官能基７３を有するカーボンナノ構造体７４を含み、カーボンナノ構造体７４は、錯イオン７２によりイオン結合を介して表面修飾されるようにする。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存していても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に維持するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１０と、一対の櫛歯状電極２０、３０と、感応層４０とを備えている。一対の櫛歯状電極２０、３０は、金属酸化物でもって形成されており、これら櫛歯状電極２０、３０は、絶縁基板１０上に櫛歯状に設けられている。感応層４０は、一対の櫛歯状電極２０、３０を介し絶縁基板１０上に積層されている。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で、高導電性で、より大きな温度安定性及び化学検体に対する感度を有する頑丈なセンサ薄膜組成物と、これらのセンサ薄膜の製造方法の提供。
【解決手段】ポリマー吸収ケミレジスタ（即ち導電性センサ）のようなセンサ内の化学検体を検出するために使用されるセンサ薄膜の組成に関する。センサ薄膜組成物はシロキサンを含むポリマー樹脂と、少なくとも２つの異なる種を含む複数の導電性粒子を有するマトリックスを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】感度と応答性とに優れ、微量の水素ガスであっても迅速に検知することができ、しかも十分な耐久性を発揮することが可能な水素ガスセンサを提供すること。
【解決手段】中心細孔直径が１．５〜５．０ｎｍであるメソ多孔体１１と、メソ多孔体１１の細孔内に配列された水素吸蔵能を有する金属１２と、金属１２に電気的に接続されている電極１３とを備えること特徴とする水素ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、ＣＯ_２などのガス中においても、また水中などにおいても、水素濃度を正確に検知することができる、構造簡単で安価な新しいタイプの水素検知素子を提供する。
【解決手段】、感応部１及び感応部１における電気抵抗変化を検出する検出部２を備えて形成される水素検知素子に関する。感応部１は１０族元素を含む非晶質合金から形成され、水素と反応して電気抵抗が変化する特性を有するものであることを特徴とする。感応部１が水素と反応して、電気抵抗が変化することを検出部２で検出することによって、水素濃度を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】室内空間において発生する一酸化炭素を、常温で効率的に除去でき、かつランニングコストの低い一酸化炭素除去機能付き空気調和機を提供する。
【解決手段】一酸化炭素を含む空気の導入口、清浄化された空気の排出口、および内部に空気通路を有する本体と、前記空気を空気通路に取り込む送風手段と、空気通路内に設けられた一酸化炭素除去触媒フィルタとを備えた空気調和機において、前記一酸化炭素除去触媒フィルタを流通する空気の湿度を高湿度（約６０〜９０％）に調節する湿度コントロール手段と、前記湿度コントロール手段の動作を制御する制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】湾曲する部位に貼付して湿度を計測する可撓性湿度センサを提供する。
【解決手段】有機高分子からなる支持基板１０上に一対の櫛状電極１２ｂと該電極から延設されるリード線接続端子１２ａとで構成される貴金属からなる電極構成体１２が接着剤１１により貼設され、該リード線接続端子１２ａには半田付けが可能な金属を析出させ、一対の櫛状電極面１２ｂには湿度に応答性するイオン伝導性感湿膜１３を被覆する構造からなり、該感湿膜の抵抗値の変化を測定することにより湿度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、常温でも安定に動作するため低消費電力化および小型化が可能であり、生産性及び再現性よく、低コストで製造できるガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 絶縁性基板１に、厚さ１０〜３０ｎｍの、酸化スズ（ＳnＯ₂）などからなる材料非晶質層を形成した後、この非晶質層を急速加熱処理によって多結晶化して、ガス感応層である金属酸化物半導体微結晶層３を形成する。この結果、粒径が非晶質層の厚さとほぼ同じでよく揃い、ほぼ球形の微結晶粒子２が、面方向に結晶粒界を介して接合した単粒子層（単層構造）からなる微結晶層３が得られる。その中央部に白金（Ｐt）などからなる島状の増感体（触媒）４をスパッタリング法などで均一に配置し、センサ領域７を形成する。この際、単層の最密充填構造を有するポリスチレン微粒子層をマスクとして用いることにより、増感体４を蜂の巣（ハニカム）形の格子パターンに配置する。 （もっと読む）

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び／又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ガスを検出する感度を高められ、しかも、長期間に亘ってガスを検出する感度を高く維持できるガスセンサ用金属酸化物半導体材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 攪拌中のアルカリ水溶液中に金属塩を滴下して酸化物前駆体が分散した水溶液を生成する。酸化物前駆体が分散した水溶液と貴金属コロイド溶液とを加えて酸化物前駆体と貴金属コロイドとがほぼ均等に分散された分散液を生成する。分散液の沈殿物を焼成して金属酸化物半導体材料を製造する。 （もっと読む）