半導体薄膜タイプのガスセンサー装置には、その片面に、少なくとも１個のガスセンサー、抵抗発熱体薄膜、及び当該センサー及び抵抗発熱体薄膜を電気的に接触させるためのパッドが含まれている。当該発熱体素子、ガスセンサー薄膜及び接点パッドは、全てスパッタ法によって作製される。
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【課題】 被検知ガスに対して応答時間及び応答復帰時間が短い半導体式ガス検知素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部２を備える半導体式ガス検知素子１であって、前記ガス感応部２のガスを検知する側の表面と内部とに亘る孔部を有し、当該孔部が前記表面における溝状の開口部に連通している。 （もっと読む）

【課題】ガス流路を通過するガスに含まれる煤の量を高精度かつ連続的に検出することが可能な煤検出センサを提供する。
【解決手段】本発明の煤検出センサ１は、煤を含むガスが通過するガス流路内に設置して、このガスに含まれる煤４を検出する煤検出センサ１であって、多孔質の導電性物質から構成された煤検出電極２と、この煤検出電極２に配設され、煤検出電極２の電気抵抗の値を測定するための少なくとも一対の導電性電極３とを備えた煤検出センサ１である。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 センサ素子を加熱するヒータへの印加電圧の制御を行うための構成を簡易化することができるセンサのヒータ制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ワンチップマイコンの出力ポート（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４）のそれぞれに、抵抗値がそれぞれ１４０，１４０，４３０，４３０（Ω）の各抵抗器３１，３２，３３，３４の一端を接続する。抵抗器３１〜３４の他端は、一端が接地された抵抗値Ｒｚのヒータ３０の他端に接続する。ガスセンサを駆動させてから３０秒間、すべての出力ポート（Ｐ１〜Ｐ４）からＨｉレベル（５Ｖ）の信号出力を行うと、抵抗器３１〜３４の合成抵抗値とヒータ３０の抵抗値との分圧として４．２Ｖの電圧がヒータ３０に印加される。その後、出力ポート（Ｐ３，Ｐ４）をＬｏレベル（ＧＮＤ）に切り替えると、ヒータ３０には分圧として３．２Ｖの電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】結晶粒または微粒子セラミックスから構成されるガスセンサでは、粒径縮小による高感度化と、粒成長による経時変化がトレードオフの関係にあるため、高感度化と信頼性耐久性の両立が困難であった。また、高感度かつ高耐久性・高信頼性を有するセラミックスセンサを、Ｓｉ集積回路とモノリシックに集積化するのが困難であった。
【解決手段】熱により粒成長等のセラミックス構造変化が生じない人工的なナノ構造体セラミックス膜によりガスセンサを構成する。ナノメータレベルのパターン状テンプレートに、ゾルゲル法を用いてセラミックス薄膜を形成するとともに、十分に焼成して緻密化する。さらに、上記ガスセンサを、集積回路とモノリシックに集積化する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、処理回路と制御回路と変換回路とを一体的に集積することができ、余計なマスクや工程を必要としないガス検知半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス検知半導体装置１は、シリコン基板２上に形成され、当該シリコン基板２は、ＣＭＯＳ技術互換性のある高温金属からなるヒーター６が埋め込まれた酸化ケイ素絶縁薄膜３を有している。上記高温金属は、タングステンである。上記装置１は少なくとも、絶縁層４によってヒーター６から隔離されるガス感受性層を備える１つの検知領域を有している。最終製造過程工程の１つの工程として、検知領域内に薄い膜を形成するために、基板がエッチバックされる。当該エッチバック工程及びガス感受性層の形成工程を除いて、タングステンヒーター６を含む他のすべての層は、タングステン金属化を用いたＣＭＯＳプロセスが利用される。 （もっと読む）

【課題】センサ部を均一に昇温することができ、且つ、簡便に製造することができる酸素センサおよびそれを備えた駆動装置ならびに自動車両を提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、互いに対向する主面１１ａおよび裏面１１ｂを有する基材１１と、基材１１の先端部において主面１１ａ上に設けられ、所定のガスを検出するためのセンサ部１２と、基材１１の裏面１１ｂ側においてセンサ部１２に対応する位置に設けられ、センサ部１２を昇温させる第１加熱素子１５と、基材１１の裏面１１ｂ側に設けられ、第１加熱素子１５よりも基材１１の基端部側に配置された第２加熱素子１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供する。
【解決手段】 複数の孔を有する多孔質部材と多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたナノ構造体とを含む吸着剤である。ここで、ナノ構造体は炭素からなり得る。また、多孔質部材は２００℃以上の耐熱性を有することが好ましい。さらに、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサである。 （もっと読む）

【課題】危険有害性物質を高精度かつリアルタイムに識別することができ、識別のために危険有害性物質に測定者が近接する必要のない危険有害性物質センサユニットおよびセンシングシステムを提供する。
【解決手段】カプセル（Ａ）と、該カプセル（Ａ）に取り付けられ危険有害性物質特異的認識物質（Ｂ）と、前記カプセルに取り付けられ前記危険有害性物質特異的認識物質（Ｂ）が前記危険有害性物質と特異的に結合したことを検知するセンサ（Ｃ）と、前記カプセル（Ａ）内に収納された警告表示物質（Ｄ）と、前記センサ（Ｃ）の検知信号を受けて前記警告表示物質（Ｄ）を前記カプセル（Ａ）の外に放出させる表示物質放出手段（Ｅ）と、を少なくとも構成要素としてセンサユニットを構成する。また、前記センサ（Ｃ）の検知信号を受けて位置情報を発信する位置情報発信手段（Ｇ）を必要に応じて組み合わせ使用する。 （もっと読む）

【課題】触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性が可能な水素ガス検知センサを提供する。
【解決手段】水素ガスを検知する水素ガス検知センサであって、電気的に絶縁性を有する基板１と、基板１上に積層される水素ガスを解離して水素ガスを検知する検知膜３と、基板１又は検知膜３のいずれかに接する一対の電極２と、検知膜３を所定の温度に加熱する絶縁基板１側に配置される加熱手段４とを備え、検知膜３は水素ガスを吸着してプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）に解離する作用を有する触媒と当該作用で生じたプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）との反応によって導電率が増加する金属酸化物からなることで、触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、汎用性が高く、膜剥離、歪や基板の反りを防止できる積層薄膜電気配線板を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の積層薄膜電気配線板は、基板上に下部電気絶縁層と上部電気絶縁層を有し、下部電気絶縁層と上部電気絶縁層との間に電気配線層を有している。更に、本発明の積層薄膜電気配線板によれば、電気配線層に孔部を設けることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】触媒膜に金属酸化物および金属窒化物を添加させることによって、触媒膜の膜厚を薄くすることなしに、触媒膜が検知膜の保護を行い、且つ、ガス感度が高いガスセンサを提供する。
【解決手段】特定のガス分子を解離させ、且つ、検知膜２０の保護を行う触媒膜３０と、前記解離されたガスイオンにより、電気抵抗率が変化する検知膜と、前記触媒膜３０と検知膜２０の合成抵抗を測定する一対の電極とを備えるガスセンサにおいて、前記触媒膜３０は、触媒材料に金属酸化物または金属窒化物を添加させことにより、触媒膜３０の電気抵抗を高くして、ガス感度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】呼気分析センサを高感度・小型化した携帯ヘルスチェック装置を実現し、特定利用者に対し、特定時間に呼気分析サービスを提供する。
【解決手段】腸内嫌気性細菌の異常増殖や消化不良症候群の検知に必要ながら小型センサでは検知困難だった水素に対し、気相成長三酸化タングステンを用いて携帯ヘルスチェック装置を実現する。
また、利用者の声紋等を用いた個人認証手段を携帯ヘルスチェック装置に搭載する。また、一定時刻に利用者を携帯電話で呼び出すような仕組みを携帯ヘルスチェック装置に搭載する。
さらに、呼気成分の検知情報を、通信回線を介してセンタサーバで受信し、該サーバで該検知情報を分析あるいは統計処理し、該分析または該統計処理の結果をデータベース内のアドバイス情報と照合し、該照合の結果に基づくアドバイス情報を前記サーバから当該利用者の携帯電話へ送信する。 （もっと読む）

【課題】 感応膜の形成材料及び膜厚に工夫を凝らし、熱的耐久性やセンサ感度をより一層向上させるようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】 アンモニアガスセンサの感応膜４０は、固体超強酸物質でもって、３０（μｍ）よりも厚くかつ１００（μｍ）以下の膜厚を有するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 アンモニアガス用感応材料の製造の際の焼成雰囲気に工夫を凝らし、熱的耐久性をより一層向上させ得るアンモニアガス用感応材料の製造方法及び当該感応材料を用いたアンモニアガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】 オキシ硝酸ジルコニウム溶解工程２００〜乾燥工程２６０を経て得られたＷＯ₃とＺｒＯ₂との混合物が、本焼成工程２７０において、窒素ガス雰囲気内で本焼成されて、感応材料である粉末状の固体超強酸物質として製造される。 （もっと読む）

【課題】 ガスセンサの応答性を良好としつつ、外部から導入空間を通じて進入した水がフィルタを透過してしまう虞が小さく、また、外部から導入空間を通じて進入した異物などによってフィルタが破損してしまう虞の小さいガスセンサユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のガスセンサユニット１００は、導入空間Ｓ１〜Ｓ４と、導入空間Ｓ１〜Ｓ４とフィルタ１４０との間に位置し、フィルタ１４０が臨むフィルタ前空間Ｔと、フィルタ後空間Ｕとからなるガス流路を有している。導入空間Ｓ１〜Ｓ４は、いずれも、ケーシング１０１の外部から、当該導入空間Ｓ１〜Ｓ４及びフィルタ前空間Ｔを通じて、他のいずれかの導入空間Ｓ１〜Ｓ４の少なくとも一部を視認できる位置に配置されている。フィルタ１４０は、導入空間Ｓ１〜Ｓ４のいずれを通じても、ケーシング１０１の外部からは視認できない位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】感ガス体を小型化しても特に一酸化炭素を検知するにあたっての検知感度の経時安定性を高く維持することが可能であり、消費電力を抑制すると共に高い信頼性を確保することができる半導体ガスセンサを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体として酸化スズを含有する感ガス体Ａを備える。感ガス体Ａは、その表面から深さ６０μｍまでの表層領域２に第一添加物としてパラジウムを含有すると共に、第二添加物としてタングステン、モリブデン、バナジウムから選択される少なくとも一種の金属を含有する。前記表層領域２における第二添加物の含有量は、表層領域２におけるスズ原子の総量に対して０．２〜６．０質量％の範囲である。 （もっと読む）

【課題】 被検知ガスのガス感度、ガス検知時の応答性、被毒ガスに対する耐久性に優れたガス感応部を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】 検出電極２，３を覆うと共に被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応層５を備えた半導体式ガス検知素子であって、ガス感応層５を、コア粒子５１ａと、コア粒子５１ａの表面を覆う金属酸化物の微粒子層５１ｂとからなる構成粒子が集合したポーラス構造に形成してある。 （もっと読む）