【課題】ヒータの電気抵抗値の誤差を正確且つ簡便に補償し得るガスセンサを提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、ガス検出部１と、温度に応じて電気抵抗値が変化するヒータ２と、ヒータ２の動作を制御し、ヒータ２への加熱のための通電を行う制御部３とを備える。制御部３は、ヒータ２への加熱のための通電が停止されている期間にヒータ２へ電流を供給する電流供給部６と、電流供給部６からヒータ２に電流が供給されているときのヒータ２の両端電圧を検知する電圧検知部７と、ヒータ２の冷間時に、周囲の温度および電圧検知部７によって検知されるヒータ２の両端電圧に基づいて、電流供給部６から供給される電流の大きさを調整する電流調整部８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】感応層と電極との接合強度を高めるようにしたガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサのセンサ素子１は、絶縁基板１０と、この絶縁基板１０上に設けた接着層２０と、この接着層２０上に設けた一対の櫛歯状電極３０、４０と、この一対の櫛歯状電極３０、４０を介し接着層２０上に設けた感応層５０とを備えている。ここで、一対の櫛歯状電極３０、４０は、所定量のウイスカーを含有する電極材料でもって作製され、感応層５０は、所定量のウイスカーを含有する感応材料でもって作製されている。従って、ウイスカーによるアンカー効果が一対の櫛歯状電極３０、４０と感応層５０との間に発揮される。 （もっと読む）

【課題】複数の特定ガス成分のうち、ある一つの特定ガス成分を他の特定ガス成分より優先的に検出可能なガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、環境気体中の複数の特定ガス成分の濃度変化を検出する第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂと、内部に第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを収容し、ガス導入口９１が形成されたケース９０と、ガス導入口９１を閉塞するフィルタ膜８０とを備える。
複数の特定ガス成分のうち他に対して検出優先度が求められる特定ガス成分を第１ガス成分とし、第１ガス成分に対応した感ガス膜を第１感ガス膜１１ｂとし、環境気体がガス導入口９１の重心Ｃ０を通過してから各第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂに達するまでの距離を通気最短距離Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３としたとき、通気最短距離Ｄ１は、通気最短距離Ｄ２、Ｄ３よりも短い関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層（ＳｎＯ_２層）の導入孔を大きくし、ガス感応層（ＳｎＯ_２層）内部におけるガスの浸透能力を向上させた薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】一対の感知電極層５１，５１を渡すように電気絶縁層４上に設けられるガス感応層５２は、電気絶縁層４の表面に対して傾斜する多数の傾斜柱状晶５２１を成長させることで導入孔５２２が多数形成されるような層とした。大きくなった導入孔５２２を通じてガスがガス感応層５２の内部へ浸透し、検出能力を高める。 （もっと読む）

【課題】基板表面の研磨残渣を除去し、清浄な基板表面を得る基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素（ＳｉＣ）研磨材などで研磨されたアルミナ基板を、５００〜８００℃に加熱された炭酸ナトリウムと炭酸リチウムとを混合した溶融塩中へ含浸することにより、アルミナ基板表面に存在する無機研磨材の残渣を除去する。その後、無機研磨材の残渣が除去されたアルミナ基板表面に、白金又は白金合金による薄膜電極及び白金又は白金合金によるヒータを形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成を追加することでセンサ特性に与える影響を最小限に抑えつつガス感応層とガス選択燃焼層との接合強度を増大させ、パルス駆動時の昇温・降温による歪みに影響されにくくした薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁層４・一対の感知電極層５１，５１・ガス感応層５２を覆う島状あるいは網目状の接合層５３と、この接合層５３を介して一対の感知電極層５１，５１の一部・ガス感応層５２の全部・これらの周囲の電気絶縁層４の一部を覆うように設けられるガス選択燃焼層５４と、を備えるような薄膜ガスセンサ１とした。そこで、接合層５３を薄くして島状あるいは網目状に形成する製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】ＧＣオーブン内で水素等の可燃性ガスの漏洩により爆発などの危険な事態が生じることを防止するためのシステムを提供する。
【解決手段】ガス検出システムの一例はガスクロマトグラフオーブンと、ガス検出器と、試料ガス移動デバイスと、フロー検出器とを備えている。ガス検出方法の一例は上記オーブンから試料ガスを流出させる工程と、その流量が最小値以下であるかどうかを判定する工程と、上記試料ガス中の、可燃性ガスなどの第１のガスの濃度が最大値以上であるかどうかを判定する工程とを備えている。上記流量または上記濃度がエラー状態を示すかまたは限界値から外れている場合、警報応答が開始される。上記警報応答には、上記第１のガスの上記オーブンへの流れを遮断し、安全ガスなどの第２のガスを上記オーブンに流すことが含まれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】油脂の種類によらず、油脂火災をその発生前に検知することが可能となる油脂火災防止用ガス検知器、並びに、油脂火災防止用ガス検知方法を提供する。
【解決手段】炭素数２〜８のアルカンのうちの少なくとも１つのガス成分に感度を有するセンサ素子３と、そのセンサ素子３の出力情報に基づいて、油脂の温度を推定する油温推定手段１００とを備え、センサ素子３が、酸化物半導体であるタングステン酸化物を主成分として、Ｒｕを０．５％〜５．０％の範囲で含有する１層構造の感ガス体材料より構成される （もっと読む）

燃焼により放出されるガスのためのセンサであって、該センサは、吸着半導体を形成する１又はそれ以上の金属酸化物を含み、吸着されるガスによって電気抵抗が変化し、上記半導体は、触媒化学反応を伴わずにガスを直接吸着するための半導体であり、上記センサは、燃えさかる火災の場合には酸化窒素を検知するように配列され、及び／又はくすぶっている火災の場合には部分的未燃焼ガス、具体的にはアルコール、アルデヒド、ケトン、カルボン酸又はアミンを検知するように構成される。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体薄膜をガス感知膜として有するガスセンサであって、低濃度のＶＯＣ検出感度が高められたガスセンサを提供する。
【解決手段】絶縁基板上に一対の電極が形成されており、更に前記一対の電極を被覆するように前記絶縁基板上に形成された酸化物半導体薄膜を有するガスセンサであって、前記薄膜はディスク状の酸化タングステン粒子（好適には直径が１００〜３００ｎｍであり厚さが２０〜７０ｎｍである）を含有することを特徴とするガスセンサ。 （もっと読む）

【構成】 Ｓｎ(ＯＨ)_６^２−を内包する逆ミセル溶液に硝酸の逆ミセル溶液を混合して、逆ミセル内にＳｎ(ＯＨ)_４を析出させる。次いで、Ｐｄ^２＋を内包する逆ミセル溶液を混合し、Ｓｎ(ＯＨ)_４上にＰｄ(ＯＨ)_２を析出させる。Ｐｄ(ＯＨ)_２を析出させたＳｎ(ＯＨ)_４を分離、洗浄乾燥し、焼成してＳｎＯ_２とする。
【効果】 ＳｎＯ_２に、均一に触媒を担持させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易で高精度に水素ガスの検知位置を検出でき、ガスの漏洩箇所を発見することのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】ガスを検知すると抵抗変化するガス検知センサであって、略帯状に形成された検知膜５と、検知膜５の長手方向の面に接合して積層される抵抗層４と、検知膜５の長手方向の面に接合し、且つ抵抗層４と接合しない側に形成し所定のバイアス電圧を印加するための第１の電極１と、検知膜５と接合しない側の抵抗層４上の長手方向の両端に形成する第２と第３の電極と、を備え、検知膜５のガス検知位置を、抵抗層４を介して第１の電極１と第２及び第３の電極間の導電特性を測定して算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易で高精度に複数からの水素ガスの漏洩箇所を発見することのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】水素ガスを検知すると電気抵抗が変化する水素ガス検知センサであって、帯状の絶縁性の基材面端部の長手方向の長辺部に形成される共通電極と、共通電極２と一端が接続され所定の間隔で直線状に配置される所定の小領域の検知膜からなるセンサセル３と、共通電極２と対をなしてセンサセル他端部に形成される検出電極４とを有し、共通電極２にバイアス電圧を印加し、共通電極２とセンサセル３の検出電極４との間の抵抗値変化を検知して該抵抗値変化が検出されるセンサセル３の位置に基づいて水素ガス検知位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】セリウムを含む酸化物を用いた抵抗型酸素センサの検出精度を向上させる。
【解決手段】本発明による酸素センサは、酸化物半導体層１１と、酸化物半導体層１１の抵抗率を検出する検出電極１２とを備えた抵抗型の酸素センサである。酸化物半導体層１１は、セリウムを含む酸化物から形成された酸化物半導体粒子１１ａを含む。酸化物半導体粒子１１ａは、粒径が１μｍ未満の範囲にある第１のピークと、粒径が１μｍを超える範囲にある第２のピークとを有する粒径分布を有している。 （もっと読む）

【課題】電気的絶縁体上に電極を設ける構成に工夫を凝らし、電極の電気的絶縁体に対する密着性を強固に確保するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、電気的絶縁基板１０の右側表面部位に設けたガラス層２０を有する。櫛歯状の両電極３０、４０は、ガラス層２０の表面に設けられている。感応層５０は、両電極３０、４０を覆蓋するようにガラス層２０の表面に積層されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、汎用の半導体センサを用いて再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした油中ガス分析装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の油中ガス分析装置は、内蔵されている油を機器から取り出すガス抽出器と、ガス抽出器に取り出した油に含まれる複数の成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出した油から複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガス供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガス供給系統と、この試料ガス供給系統と基準ガス供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有する油中ガス分析装置を備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】室内空間において発生する一酸化炭素を、常温で効率的に除去でき、かつランニングコストの低い一酸化炭素除去機能付き空気調和機を提供する。
【解決手段】一酸化炭素を含む空気の導入口、清浄化された空気の排出口、および内部に空気通路を有する本体と、前記空気を空気通路に取り込む送風手段と、空気通路内に設けられた一酸化炭素除去触媒フィルタとを備えた空気調和機において、前記一酸化炭素除去触媒フィルタを流通する空気の湿度を高湿度（約６０〜９０％）に調節する湿度コントロール手段と、前記湿度コントロール手段の動作を制御する制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】湾曲する部位に貼付して湿度を計測する可撓性湿度センサを提供する。
【解決手段】有機高分子からなる支持基板１０上に一対の櫛状電極１２ｂと該電極から延設されるリード線接続端子１２ａとで構成される貴金属からなる電極構成体１２が接着剤１１により貼設され、該リード線接続端子１２ａには半田付けが可能な金属を析出させ、一対の櫛状電極面１２ｂには湿度に応答性するイオン伝導性感湿膜１３を被覆する構造からなり、該感湿膜の抵抗値の変化を測定することにより湿度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 大きなセンサ感度及び優れた応答性を同時に有した水素ガスセンサの提供する。
【解決手段】 水素ガスセンサ１００は、基板１０の表面上に両リード１１、１２が形成され、両リード１１、１２に電気的に接続するように両櫛歯状電極２０、３０が基板１０の表面上に形成され、両櫛歯状電極２０、３０を被覆するように感応層４０が形成されている。この感応層４０は、固体超強酸であるＷＯ_３／ＺｒＯ_２を主成分とし貴金属である白金を含有してなる感応層材料から構成されてなる。 （もっと読む）