【課題】半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした表面検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の変化を検出することによって浅いスクラッチと異物とを弁別し、さらに、前記落射照明時における散乱光の指向性を検出することによって線状スクラッチと異物とを弁別することを特徴とする検査装置である。 （もっと読む）

【課題】ナットの表面で反射した反射光からナット表面の傷の有無を検出する部品傷検出装置の提供。
【解決手段】本発明は、ナット５に光を照射する投光装置２７ａを、その反射光を受ける位置にＣＣＤカメラ２９ａを配置し、ナット５での反射状態を画像情報として取り込み、この画像情報から傷の有無を判定する部品検査装置において、ＣＣＤカメラ２９ａをナット５の正面から偏心した位置に配置している。そのため、ナット５に傷が陰影として出やすい部分であるナット５の中心よりわずかに偏心した位置の表面を画像情報として取り込むことができ、確実な傷検出が可能となる。また、投光装置２７ａがリング状となっているため、傷に全周方向から投光されることとなり、傷で乱反射してＣＣＤカメラ２９ａに達しない反射光が多くなり、傷の部分と傷のない表面との画像の濃淡が大きくなり、確実な傷検出ができる。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置において、広い領域で良好な明視野観察が行えるようにすると共に、暗視野観察を可能にする。
【解決手段】外観検査装置は、ウェハＷの周縁部を照明する上部照明２１と、下部照明２２と、側部照明２３と、一対の斜照明３１と、一対のバー照明４１Ａ，４１Ｂとを有し、ウェハＷの周縁部を明るく照明する。上部照明２１には、隙間２１Ａが形成されており、この隙間２１Ａを通して落射照明部６０の照明光が投光される。落射照明部６０の照明光は、第一のミラー１４で折り返されてウェハＷの周縁部を照明する。必要に応じて第二のミラー１５Ａ，１５Ｂを共働させることで照明位置を変化させられる。周縁部の像は、落射照明部６０と同軸に配置された撮像部で取得する。 （もっと読む）

【課題】
レンズに汚れが付着した場合でも欠報を発生させることなく誤報を減らして、安定的に欠陥を検出する手法、及び装置を提供することである。
【解決手段】
フレーム間の欠陥候補位置フレーム座標比較手段に加えフレーム間の欠陥候補位置３Ｄ座標比較手段を有し、同一箇所を最低でも２回以上撮影して、欠陥候補については別のフレームで同一の３Ｄ座標を持つ欠陥候補が存在しない場合に該欠陥候補がレンズ汚れであると判定する欠陥マスク情報生成手段とレンズ汚れ警報生成手段を有する。 （もっと読む）

【課題】基板を保持するガラス定盤などの保持台の形状に起因する影部の発生を抑制することが可能な照明装置およびパターン修正装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、保持台としてのガラス定盤と照明部材１０とを備える。ガラス定盤はガラス基板を保持し、透光性部材としてのガラスからなる。照明部材１０は、ガラス定盤においてガラス基板を搭載する搭載面と反対側の裏面２５側に配置される。照明部材１０はガラス定盤の裏面２５を介してガラス基板に照明光を照射する。照明部材１０は、出射する照明光の光軸２３ａ、２３ｂがガラス定盤の裏面２５に対してなす角度である入射角θ１、θ２が互いに異なる複数の光源としての発光素子２２ａ、２２ｂを含む。 （もっと読む）

【課題】熟練の技術者による官能評価と同等又はそれ以上の精度で、塗装面の微小傷群（白ボケ）を検出することを可能とする、画像処理技術を提案する。
【解決手段】検査面に光を照射して該検査面で反射した光を撮像して得た検出画像データを加算平均した平均化画像を作成し、双一次補間法を用いて前記平均化画像を所定の縮小倍率で縮小した縮小画像を作成し、双一次補間法を用いて前記縮小画像を所定の拡大倍率で拡大した拡大画像を作成し、前記拡大画像の輝度ヒストグラムを作成し、前記輝度ヒストグラムを分析して標準偏差を算出し、前記標準偏差と予め設定された閾値とを比較して表面不良の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】周期性パターンのムラを安定的、高精度に撮像、検出可能な周期性パターンムラ検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象基板が持つ周期性パターンのムラの検査装置であって、検査対象基板を載置しＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる移動機構とその移動量及び現在位置の検知機構を備えたＸＹステージと、検査対象基板の周期性パターンに略平行光かつ斜め透過光の照明を個別に行う複数光源と、検査対象基板に対して平行な二次元平面内で、前記光源の各々を個別に移動させる光源移動手段と、光源の各々の向きを個別に変えられる光源角度調整手段と、ＸＹステージを挟んで光源の反対側に配置され、斜め透過光照明された周期性パターンからの回折光を撮像するラインセンサカメラを用いた撮像手段と、前記ＸＹステージ、光源、光源移動手段、光源角度調整手段、撮像手段の動作の制御と、検査画像への画像処理を行う、処理手段を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の光源から照射される照明光の明るさを調整して、被検査基板を複数の光源で均一な明るさで照射することが可能なマクロ照明装置及び目視検査装置、ならびに基板の目視検査方法を提供する。
【解決手段】マクロ照明装置は、照明光Ｆを照射する複数の光源ユニット４ａ、４ｂを備えている。光源ユニット４ａ、４ｂは、照明光Ｆを照射する光源８と、調整手段である調光手段９とを備えている。複数の光源ユニット４ａ、４ｂのいずれか一つから照射される照明光Ｆの明るさを基準として、他の光源ユニット４ａ、４ｂで照射される照明光Ｆの明るさを調光手段９で調整して、略等しい明るさにする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を損傷させることなく効率よく検査対象物に付着している異物を除去することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ鏡筒２４の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤２６が設けられ、照明光導出用リング盤２６から導出された照明光Ｐによって対物レンズ２５の光軸Ｏとウエハ２２との交差部位Ｑを含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、照明光導出用リング盤２６にウエハ２２に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部２７が形成され、傾斜凹部２７の壁面に対物レンズ鏡筒２４の周回り方向から交差部位Ｑを含めてその周囲を照明する照明光Ｐを出射する照明光出射用輪帯部２８が設けられると共に、交差部位Ｑを含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズル３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物（フレキシブルプリント回路基板）の過検出を減らすことができるプリント回路基板の自動光学検査方法を提供する。
【解決手段】前記プリント回路基板上に形成されたパターン検査時に、一次に斜線方向に光を照射して得た第１反射イメージを用いて、パターン成分と空間成分をまず区別してパターン形状検査をまず行い、２次に垂直方向に光を照射して得た第２反射イメージを用いて、前記第１反射イメージから得たパターン成分の領域を参考にして表面の窪みを中心に検査する。 （もっと読む）

【課題】壜上の垂直、水平及びその他あらゆる角度の亀裂を検知することができるユーザーが使い易く且つ容易に調整できるガラス容器を検査するための装置の提供。
【解決手段】検査ステーションにおいて、回転しているガラス容器の口部を検査するための装置。一対の光源（２０，２１）が、容器（１０）の軸線に対して直角に関連付けられ且つ当該容器の軸線と交差する水平光軸を有している。光源は、容器の口部を照射する。照射された割れは、容器の軸線と一致しており且つ光軸及び水平に対して４５°の角度を形成しているカメラ軸線を有しているカメラによって見ることができる。 （もっと読む）

【課題】
金属パターンを有する基板の表面に施されためっきされていない非めっき部とめっきがされているめっき部の欠陥検査方法及び検査装置の提供である。
【解決手段】
めっきがされためっき部及びめっきされていない非めっき部で構成された金属パターンを有する基板を、一定速度で一方向へ移動する搬送し、５０と、金属基板を一定速度で一方向へ移動する搬送手段５０と同期を取り、かつ金属基板の表面に存在する圧延影響を軽減させるため仰角を持たせ金属基板表面を撮影し、金属基板の金属材料とめっき材料との反射強度差異が最も大なる波長域の光を利用し、かつ間接光で照射し、金属基板表面を撮影して得られた画像信号データを用いて、金属基板表面に存在する欠陥を判定する制御・画像処理による検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクに付着した異物を高精度で検知することが可能な蒸着マスクの検査方法及び蒸着マスクの検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】表示素子を構成するパターン化された薄膜を蒸着法により形成するのに必要な蒸着マスクの検査装置であって、蒸着マスク２１２が配置される支持台３１０と、支持台３１０の所定位置に配置された蒸着マスク２１２を照明する赤外線光源３２０と、赤外線光源３２０により照明された蒸着マスク２１２からの反射光に基づき蒸着マスク表面の異物の有無を検知する検知部３３０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】筒状の被検査体の外周表面にテーパ部が存在しても、被検査体の表面全体を正確に検査できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外周面にテーパ部を有する円筒状の被検査体が支持されるワーク支持部材3、ワーク支持部材3を円筒の周方向に回転させる回転機構65、同軸落射照明装置61、リング照明装置62、被検査体の軸心上に光軸を有する第一ＣＣＤカメラ63、該軸心と直交する光軸を有し、被検査体の側面と対向する第二ＣＣＤカメラ64、制御装置100を備える。制御装置100は、同軸落射照明装置61で光を照射しながら第一ＣＣＤカメラ63で被検査体の軸方向端面を撮像し、リング照明装置62で光を照射しながら第一ＣＣＤカメラ63で被検査体のテーパ部を撮像し、リング照明装置62で光を照射しながらワーク支持部材3を回転機構65で間欠的に回転させて第二ＣＣＤカメラ64により被検査体の側面を撮像するように各機器を制御する。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法を提供す
る。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板上の撮像対象エリアを少なくとも２つのエリアに分割し、前記基板下に左右上下の４箇所設置された光源の光量を個別に調整する。次に撮像エリア外描画部による底面反射が生じないように、前記基板の下のステージに前記基板の左右上下の４軸方向に平行に、それぞれ独立かつ単独で駆動する、照明光を遮蔽する遮蔽板を４つ設置し、撮像対象外エリア外描画部を覆うようにそれぞれの遮蔽板を移動させ、調整した輝度レベルで各分割エリアをそれぞれ撮像し、撮像した分割画像データをそれぞれ取り込み、取り込んだ分割画像の大きさに応じた条件で互いにつなぎ合わせて合成し、該合成画像を用いてスジ状ムラを判定する、擬似欠陥除去手段を具備するスジ状ムラの検査方法及び検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】異なる言語圏に属する複数のユーザーが、それぞれ自分の指定した言語により情報の入力や表示を行えるようにして、検査装置の使い勝手を向上する。
【解決手段】言語指定受付部１０２は、日本語、英語、中国語のいずれかの指定を受け付け、文字入力受付部１０１は、指定言語による文字情報の入力を受け付ける。入力された文字情報は、表示画面作成部１０５の作成したＧＵＩ上に表示されるとともに、翻訳処理部１０８により翻訳される。入力された文字情報や翻訳後の文字情報は、文字情報記憶部１０４の対応する言語用の情報記憶部に格納される。既に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する際には、検索処理部１０７によりその時点での指定言語に対応する情報記憶部から表示対象の情報に対応する文字情報が抽出される。表示画面作成部１０５は、抽出された文字情報を元の文字情報に差し替えたＧＵＩを作成する。 （もっと読む）

【課題】 リードの浮き沈みの良否判定が可能なリードの検査方法を提供する。
【解決手段】 リードを有する部品、及び、部品を一定の位置に固定し、２つの視野が同時に撮像されるリード検査装置を用意して、部品の内の良品の側部の樹脂エッジ及びリード先端の画像データを得て登録する工程、検査される部品の樹脂エッジ及びリード先端の画像データを得る工程、良品の画像データの登録樹脂エッジ像と、対応する検査される部品の画像データの樹脂エッジ像とを一致させて、検査される部品の画像データのリード先端となる境界点と、対応する良品の画像データの登録リード先端像との差異である画像ずれ量を算出する工程、画像ずれ量から、検査される部品のリード先端となる境界点が、対応する良品の登録リード先端に対して、浮き沈みする物理量である検査値を算出する工程、並びに、検査値を判定基準に比較して良否判定する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 偏光板が無い状態の液晶パネルを撮像装置を用いて検査する場合に、液晶パネルの両側の表面に付着したゴミの映像と、液晶パネルの内部の欠陥とを区別できるようにする。
【解決手段】 非点灯検査部１０では、偏光板が無い状態の液晶パネルに電圧を印加しない状態で、バックライトで照明して液晶パネルを撮像して輝点位置を求める。次に、傾斜照明光源で照明して輝点位置を求める。これらの撮像結果に基づいて、外部のゴミによる輝点を取り除いて、内部の欠陥位置を特定する。次に、液晶パネル１６を点灯検査部１１に搬送してから、点灯検査部１１で、バックライトを照明して輝点位置を求める。非点灯検査部で特定した欠陥位置と点灯検査部で特定した欠陥位置とが重なる位置を真の欠陥位置と判定する。 （もっと読む）

【課題】異物検出装置を小型にするとともに角柱状容器の照明された内底部を適正に撮影できるようにし、異物の検出の精度を高める。
【解決手段】有底で上部が開放された状態の角柱状容器Ａの内底部Ｅにおける異物の検出を行なう異物検出装置１を、角柱状容器Ａの対向する側面板Ｄの間で反射して内底部Ｅを間接照明する四つの面光源体８を配した照明部４と、照明部４による間接照明時に角柱状容器Ａの内底部Ｅ側を撮影する撮影部６と、照明部４の間接照明を行なわせ、撮影部６が撮影した内底部撮影画像と基準画像との対比を行なう制御部７とを備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１検査ドラムと第２検査ドラムを利用して小物品の表裏面の外観検査ができるとともに、各検査ドラムにおける検査精度確認の作業を自動的に行うことができる小物品の外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、第１検査ドラムと第２検査ドラムと各検査ドラム用の撮像装置を備え、第１検査ドラムに保持した小物品を第２検査ドラムに受け渡すことなく第１検査ドラムを回転させながら繰り返し小物品の一面の画像を取り込む運転動作と、第２検査ドラムに保持した小物品を排出することなく第２検査ドラムに保持したまま回転させながら小物品の他の面の画像を取り込む運転動作とを切り替え自在にしたことを特徴とする。 （もっと読む）