【課題】管状品の内表面検査を行うに際に、カメラおよび光源の設置スペースを最小限に抑えつつ、有害な凹凸欠陥と無害な模様を確実に判別し、凹凸欠陥のみを検出することができる内表面検査方法を提供する。
【解決手段】管状品の中心軸に対して傾斜した光学中心軸を有し、管状品の開口端から管状品の内表面の所定領域を撮像するカメラと、カメラの光学中心軸および管状品の中心軸を含む面を挟んで対称に配置され、開口端から所定領域を照明する一対の光源と、を用い、光源からの照明を順に切り替えて同一の所定領域をカメラにより撮像し、それぞれの画像の同一画素間で濃淡の差分を演算し、その濃淡差分の情報に基づいて、凹凸欠陥５、６により出現した影５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂを認識し凹凸欠陥５、６を検出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理を行わずに検査を行うことができ、検査速度を向上することのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像データ幅方向の複数の所定位置ごとに照射線Ｌの高さ方向位置データを求めることにより成る照射線位置データ群を各撮像データごとに作成し、各高さ方向位置データのうち幅方向所定範囲の高さ方向位置データから撮像データ幅方向の前記所定位置ごとに設けられた基準データを引いた値を加算し、加算した値が所定の基準範囲内か否かを判定することから、長尺物であるホースＨの表面に成形不良等により凹凸が形成されていることを検出可能である。 （もっと読む）

【課題】画像処理を行わずに検査を行うことができ、検査速度を向上することのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像データ幅方向の複数の所定位置ごとに照射線Ｌの高さ方向位置データを求めることにより成る照射線位置データ群を各撮像データごとに作成し、撮像データ幅方向に隣接する２つずつの高さ方向位置データによって複数の高さ方向位置データ平均値を求め、撮像データ幅方向に隣接する２つの高さ方向位置データ平均値の一方から他方を引いた値を撮像データ幅方向の複数個所で求め、前記引いた値が所定の基準値を超え、且つ、超えた量が最大である撮像データ幅方向の位置を求め、該位置が撮像順に所定個数連続するか否かを判定することから、ホースＨの外周面に長手方向に延びる凹状の傷Ｋや凸状部が形成されていることを検出可能である。 （もっと読む）

【課題】導体パターンの検査と、導体パターンから露出する絶縁層の上に存在する異物の検査とを、容易かつ同時に実施することのできる、配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース絶縁層２と、その上に形成される導体パターン３とを備える配線回路基板１を用意し、配線回路基板１を、支持台４の上に配置し、光１０を、配線回路基板１の上側から配線回路基板１に向けて照射することにより、パターン反射光７と台反射光８と異物反射光９とを検知して、それらの間のコントラストによって、導体パターン３および異物１１を検査する。この検査工程において、台反射光８の反射率を３０〜７０％に調整し、異物反射光９の反射率を１０％以下に調整する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの端縁に存在する欠陥を検出できると共に検出した欠陥を観察することができる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】半導体ウェハ１の端縁を異なる複数の角度方向から照明する欠陥検査用の第１の照明光学系１０ａ〜１０ｂと、半導体ウェハの端縁に向けて観察用の照明光を投射する第２の照明光学系１６ａ〜１６ｂと、欠陥検査時において半導体ウェハの端縁から出射した散乱光を集光し、観察時において半導体ウェハの端縁から出射した正反射光を集光する対物レンズ１２とを具える。対物レンズにより集光された散乱光は光検出手段１５により受光され、対物レンズにより集光された正反射光は撮像装置１９により受光する。光検出手段からの出力信号及び撮像装置からの出力信号は信号処理装置５に供給して欠陥検出信号を発生すると共に半導体ウェハの端縁の２次元画像信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】属人的な知識や経験に頼らなくても良好な検査精度を容易に実現することができる被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、被検査体１０００を撮像する撮像部と、被検査体画像１００４の各画素に複数の属性を対応づけて一般化画素１０１２を生成する画像統合部と、一般化画素１０１２に基づいて代表画素１０２１を設定する代表画素設定部と、複数の属性を次元とする空間１０１６における一般化画素１０１２と代表画素１０２１との距離に応じて決定された輝度を有する画素からなる新たな検査画像１０２８を作成する輝度演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の良否の判定を効率よく、しかも高精度にて行える検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段にて搬送されてきた検査対象物に検査用光を照射する照射部２と、照射部２の検査用光が照射された検査対象物の画像を取り込むための画像取込部３と、画像取込部３にて取り込んだ画像に基づいて検査対象物の良否を判定する判定処理部４とを備え、照射部２が、青色の光を照射する青色照射手段５と、赤色の光を照射する赤色照射手段６とを備え、画像取込部３が、色の異なる２種類の照射手段にて照射されている検査対象物のカラー画像を取り込むためのカラー画像取込部から構成し、青色照射手段５からの検査用光が検査対象物の外観表面を照射し、かつ、赤色照射手段６からの検査用光が検査対象物の内部に入り込むように、青色照射手段５及び赤色照射手段６を配置した。 （もっと読む）

【課題】筒状物に存在する傷、ピンホール、薄肉部等の欠陥を精度良く簡便に検査し得る筒状物の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、筒状の形状を有し且つその中心軸方向の一端が開放されて開口端１ａとされ且つ他端が閉じている中空の筒状物１の欠陥を検査する筒状物の検査方法である。筒状物１の周囲に配置された照明手段２０から該筒状物１の外周面１ｃ全体に光を照射しつつ、開口端１ａから筒状物１の中空部２内に光が入らないように該開口端１ａを遮光した状態で、撮像手段４０によって開口端１ａから中空部２内を撮像し、撮像された中空部２内の画像を画像処理することによって、外周面１ｃを透過して中空部２内に漏洩する光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート中の異物やシート表裏面の汚れを共に精度良く検出することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査シートＳの一面側に設けられる第１の光源１と、被検査シートＳの他面側に設けられる第２の光源２と、第１の光源１から出射され被検査シートＳで一面側に反射した光と、第２の光源２から出射され被検査シートＳを透過して一面側に至った光とを受光する撮像素子を有するＣＣＤカメラ３等と、撮像素子から出力される画像信号を処理する画像処理部４と、を備える検査装置であって、第１の光源１が出射する光は、被検査シートＳに付着した黄色系汚れと補色関係にある青色光であり、第２の光源２が出射する光は赤色光である。 （もっと読む）

【課題】電子部品の実装状態に応じた分類ができる。
【解決手段】本発明の部品実装状態検査装置は、検査対象要素の状態を計測して、その計測結果を示す計測情報を取得するまたは複数の情報取得手段と、情報取得手段によって取得された情報に基いて、基板上の電子部品の実装状態を判別する判別手段とを有する。判別手段は、情報取得手段によって取得された計測情報に基づいて、前記検査対象要素が予め定められた実装状態判別条件を満たしているか否かを判定する、前記実装状態判別条件が互いに異なる複数の分別部を含み、判別手段は、一つの分別部によって該一つの分別部の実装状態判別条件を満たしていないと判定された検査物に対して、他の分別部が該他の分別部の実装状態判別条件を満たしているか否かを判定することによって、基板上の電子部品の実装状態を判別するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に光を照射する場合に、実装基板に多くのＬＥＤを取り付けて、すべてのＬＥＤからの光を検査ラインに向けられるようにする。
【解決手段】プリント基板４などの検査対象物に光を照射し、検査ライン５からの反射光をラインセンサ３で受光する検査装置１の照明装置２において、検査ライン５に沿った方向に第一列ＬＥＤ２１と第二列ＬＥＤ群２２を取り付けた一の実装基板２６と、この一の実装基板２６を取り付けるための平坦部２８を有する円弧状のブラケット２７とを備え、各実装基板２６における各列のＬＥＤ２３の光軸を検査ライン５に向けるようにする。また、第一列ＬＥＤ群２１と第二列ＬＥＤ群２２のＬＥＤ２３の光軸を、さらにそれぞれの列方向に沿ってそれぞれ異なる角度に設定する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な偏光画像撮像装置を提供する。
【解決手段】偏光画像撮像装置１０は、光を出射する光源１６と、構造上静的に構成され、光源１６からの出射光を入射する第１偏光子１８と、構造上静的に構成され、第１偏光子１８からの出射光の偏光方向を変換して対象物に照射する第１変換部２４と、構造上静的に構成され、対象物からの出射光の偏光方向を変換する第２変換部３０と、構造上静的に構成され、第２変換部３０からの出射光を入射する第２偏光子３２と、第２偏光子３２からの出射光による画像を撮像する撮像部３４と、第１変換部２４および第２変換部３０における偏光方向の変換を、それぞれ独立して電気的に可変に制御する制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成によって被検査物の検査精度を改善できる上、製造コストの低減を図ること。
【解決手段】 導光板５のそれぞれの端面部５ｃに光源部８を配置すると共に、導光板５の上面部５ａに断面形状がほぼＶ形状などの凹部６を交差するようなパターンで配置してなり、凹部６の内面部分６ａにハーフミラー的な機能を付与した。 （もっと読む）

【課題】被検査体の立体形状を精度良く把握するための画像データを簡易な構成で取得することができる被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置において、第１ラインセンサ〜第３ラインセンサは、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４のそれぞれの映像を各々が走査する。パターン照明源は、基板の被検査面に斜め方向から光を照射して被検査面に検査パターンを形成させる。解析ユニットは、基板を走査して得られた画像データを利用して、位相シフト法により被検査面の高さを検査する。第１ラインセンサ〜第３ラインセンサ、およびパターン照明源は、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４の数をｎ、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４の間隔をａ、副走査方向における検査パターンの周期をＰｖとしたときに、ｎ×ａ＝Ｐｖとなるよう走査ラインの間隔および検査パターンの周期が設定されている。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に要するコストを抑制しつつ基板上の部品の高さを把握する。
【解決手段】基板検査システムにおいて、ミラー角度制御部は、被検査面の垂線に対する角度の絶対値が互いに異なる撮像角度から見た基板２の映像をラインセンサが走査できるよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、基板２からの光をラインセンサに向けて反射するハーフミラー４２の角度を、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう変更して撮像角度を切り替える。このときミラー角度制御部は、基板２の表面に対して垂直な垂直撮像角度と、基板２の表面に対して傾斜した傾斜撮像角度とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】印刷物を擬似欠陥検出が少なく、高精度に検査することが可能な印刷物検査方法を提供すること。
【解決手段】基材の少なくとも一方の面に印刷が施された印刷物を検査する方法であって、前記印刷物に白色光を照射する照明段階と、前記印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記印刷物を撮像する撮像段階と、前記撮像段階にて得られた印刷物の画像データ中で検査対象としない非検査エリアを設定する、非検査エリア設定段階と、前記画像データを用いて、前記印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理欠陥判定段階と、を有し、前記非検査エリア設定段階では、非検査エリアは画像データ中の輝度差のある箇所に設定され、かつ、非検査エリアのサイズを輝度差の大きさによって調節することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】微小はんだ領域と通常サイズのはんだ箇所とが混在するクリームはんだ印刷基板に対して、高分解能３次元検査と基板全面のはんだ箇所３次元検査とを実用的な検査時間において実現する。
【解決手段】基板に対してそれぞれ斜め姿勢の高分解能撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと基板全面撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、高分解能撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第１色相光光源と、基板全面撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第２色相光源によって照明装置を構成し、微小はんだ領域についてはスキャン撮像による高分解能３次元検査を、又その他の通常サイズはんだ箇所については基板全面のスキャン撮像による３次元検査をすることによって、検査時間が実用的な範囲に収まるようにした。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面の状態に個体差がある場合であっても、個体差の影響を除去して被検査体の表面を精度良く検査できる外観検査方法および外観検査装置を提供すること。
【解決手段】基準画像および検査対象である被検査体の外観を撮像することができる撮像手段３０と、外撮像手段が撮像した基準画像を記憶することができる記憶手段６２と、前記被検査体の外観を撮像した画像から一部のエリアを抽出するとともに、前記記憶手段に記憶される基準画像から前記抽出したエリアに対応する座標のエリアを抽出し、前記被検査体の外観を撮像した画像から抽出されたエリアの輝度と前記基準画像から抽出されたエリアの輝度を比較して、該比較結果に基づいて前記被検査体の外観を撮像した画像の輝度を補正する演算手段６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異物の見逃しを防止して高精度に異物の有無を検査可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】内容物が充填された透過性を有する容器Ｂの底面側からの画像を取得し、その画像に基づいて容器内の異物の有無を検査する異物検査装置１において、容器Ｂの側面を保持して直線的に検査位置Ｐに搬送するコンベア２と、検査位置Ｐで容器Ｂの上方から赤外域の照明光を照射する上部照明ユニット３と、検査位置Ｐで容器Ｂの底面側へ向けてその外周斜め下方から可視域の照明光を照射する下部発光器４と、赤外光によって形成される画像を撮像する第１カメラ６Ａと、可視光によって形成される画像を撮像する第２カメラ６Ｂと、上部照明ユニット３から照射された光束を第１カメラ６Ａに、下部発光器４から照射された光束を第２カメラ６Ｂにそれぞれ分配するコールドミラー７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】円筒体の位置ずれを簡単かつ正確に把握できる円筒体の表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗを回転させつつ、表面状態を検査する表面検査装置を対象とする。本装置は、円筒体Ｗを照明する照明光源１と、照明光源１からの照明軸線Ｘ１を対称軸として、対称な位置に配置され、かつ照明された円筒体Ｗの表面からの反射光を検出する両側カメラ２，２と、を備え、円筒体Ｗの表面のうち、両側カメラ２，２によって最も高い輝度の反射光が検出される位置を輝度ピーク位置Ｐ１，Ｐ１としたとき、円筒体Ｗの表面における両側カメラの検出位置が、対応する輝度ピーク位置Ｐ１，Ｐ１から周方向に沿って相反方向に等距離、位置をずらせた輝度ピーク逸脱位置Ｐ２，Ｐ２に設定される。 （もっと読む）