【課題】 回路パターンからの散乱光の影響を抑えた方向から照明光の照射を行うことで、基板の端部近傍の欠陥検査をより正確に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 表面に回路パターンが形成されたウェハ１０の端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部３０と、前記照明光が照射されたウェハ１０の端部近傍の前記回路パターンからの散乱光を検出する撮像部４０と、撮像部４０を用いて検出された前記回路パターンからの散乱光に基づき、ウェハ１０の端部近傍の検査を行う検査部８０と、各種制御を行う制御部６０とを有し、制御部６０は検査時に前記回路パターンに対して照明部３０により照射する照明光の照射方向を照射可能な複数の方向から選択する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルコンテナの検査において、ピンホール等の欠陥部の発見率を高め、フレキシブルコンテナの再利用品を使用した場合において、屋外保管時における水濡れ防止等を図ることを課題とする。
【解決手段】フレキシブルコンテナの全体形状を保った状態で、該フレキシブルコンテナに発光ダイオードの光を照射し、該フレキシブルコンテナの欠陥部を透過する光を検出することにより欠陥部を検知することを特徴とするフレキシブルコンテナの検査方法。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物の検査の実行には、多数の検査条件データの設定が必要である。しかし、オペレータが各項目に、検査条件データのパラメータを任意の数値によって設定する方法は作業負担が大きい。また、設定作業に個人差が現れるパラメータもある。
【解決手段】オペレータが必要最低限のパラメータを最初に設定すると、当該パラメータに基づいて検査装置が被検査対象物を自動的に評価し、評価結果から被検査対象物の検査に必要な検査条件データのパラメータを算出し、検査レシピを自動的にセットアップする。 （もっと読む）

【課題】外観検査を行う検査対象の表面形状によらず、高い精度で欠陥を検出する技術または欠陥の検出を支援する技術を提供する。
【解決手段】検査対象の表面を、所定の曲率の範囲に納まるまで分割し、分割後の領域毎に画像を取得する。すなわち、検査対象の表面が曲率が一定でない曲面であっても、略平面とみなせる単位で撮像を行う。また、取得した画像を画像処理し、欠陥を検出する。欠陥の検出には、従来同様、閾値による判別手法を用いる。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両の車輪部のディスクを対象とした撮像による検査の技術に係わり、ディスクの表面状態を正確に撮像・検出ができる技術を提供する。
【解決手段】本検査装置において、ディスク１面を照明及び撮像する撮像光学系において、カメラ１１は、被検査面の法線（ｎ）から所定角度（α）傾けた位置に配置され、照明光源１２（１２ａ，１２ｂ）は、ディスク１面の被照明領域（例えば左下）に対して隣の領域（例えば右下）に対応する空間で、カメラ１１の光軸に対して所定角度（γ）及び法線（ｎ）から所定角度（β）の位置に配置される。これにより撮像画像における不要物の映り込み等が抑止される。 （もっと読む）

【課題】照明の光源として直接照明及び透過照明の２種類の照明光源を設けることを必要とせずに、直接照明及び透過照明の２種類の照明を使用した検査を実施することができる、検査装置、及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物の少なくとも輪郭形状の検査を含む検査を実施する検査装置であって、検査対象物を保持する対象物保持手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に臨む位置に配設された撮像手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に対して撮像手段と同じ側の第一の方向から照明光を照射可能に配設された照明手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に対して、第一の方向と反対側に配設されており、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物を外れた位置又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した照明光を、検査対象物の方向に反射する反射手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】浸透液や探傷剤を塗布することなく、線材表面に付いた微小な傷を抜け無く検出することのできる線材表面探傷装置を提供する。
【解決手段】線材１の表面に光りを照射してカメラ２で線材表面１ａの傷Ｋを探す線材表面探傷装置。線材表面１ａに対して垂直且つ上方にカメラ２を配置し、そのカメラ２と線材１との間にドーム形状をなすドーム部材５を設ける。ドーム部材５の内面を反射面４とし、カメラ側に向けて光りを照射して前記反射面４で反射させた光りを線材表面１ａに均一に照射させる光源６を、前記ドーム部材５の下側開口端内側に等間隔に設ける。 （もっと読む）

【課題】極めて小さい球状の検査対象物を安定して搬送し、その外観を検査することができる装置を提供する。
【解決手段】薄板材からなり、一又は複数の同心仮想円上に、周方向に所定ピッチ間隔で穿設された一列又は複数列の円孔列１１を備えた回転板１０と、回転板１０を支持する支持板１５と、回転板１０を回転させる駆動手段と、球体を収容する収容容器１７と、収容容器から球体を受け入れ、一列又は複列に整列して、回転板１０の円孔１１内に供給する整列供給手段３０と、回転板１０の円孔１１内に収容された球体の画像を撮像する撮像手段５０と、撮像された画像を解析して、球体の良否を判別する良否判別手段５７と、回転板１０の円孔１１内に収容されて搬送される球体を、良否判別手段の判別結果に従って、良品と不良品とに選別して回収する選別回収手段６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像認識に適した検査用の画像に用いる撮像画像を決定するための作業を簡素化するとともに決定基準を標準化することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、複数の照射角度で照明光を照射可能な照明部４１と、検査対象部位Ｐおよび非検査対象部位Ｑを複数の照射角度の照明光を用いてそれぞれ撮像する撮像部４２と、複数の照射角度の照明光を用いてそれぞれ撮像された複数の撮像画像中の検査対象部位Ｐにおける光の強度と、複数の撮像画像中の非検査対象部位Ｑにおける光の強度とに基づいて、検査用画像に用いる撮像画像を決定する演算処理部５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。
【解決手段】外観検査装置１０は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体１２を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体１２を検査する。外観検査装置１０は、被検査体１２にパターンを投射する投射ユニット２６と、パターンが投射された被検査体１２のパターン画像に基づいて被検査体１２の表面の高さ情報を生成する高さ測定部３２と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車両ボデーとなるワーク等に行った塗装における塗装不良の検出を、簡易な構成の機器を用いて確実に行う。
【解決手段】光源２０３は、ワークＷＫの表面の撮像を行うカメラ２０２の光軸ＡＸを軸回りに取り囲むように、複数配置される。これらの光源２０３は、制御回路チップ２０４の制御によって一つずつ順次点灯し、ワークＷＫの表面に様々な方向から光を照射する。カメラ２０２は、光源２０３が一つずつ順次点灯するその都度に、ワークＷＫの表面を撮像する。画像処理装置１０４は、カメラ２０２から送信された画像データを受けて画像処理を行い、その処理結果をモニタ１０５に出力する。 （もっと読む）

【課題】複数のライン光を照射する低コストで小型なライン照明装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のライン照明装置９Ａは、同一基板９４上に色別にそれぞれ複数個一列に配置された光源９１，９２と、複数個の前記光源から照射される色別の光をそれぞれライン状に結像する単一の集光光学系９３もしくは光軸方向に配列された複合の集光光学系と、を備えている。これにより、多種類の光源の光を、１つの集光光学系のみにより集光することができるので、多種類の集光光学系を設計・製作する必要がなく部品点数を減少させて低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の全域において、確実に異物を検出することができる異物検出装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】検出光の光軸Ａが送り方向に直交すると共にワークＷを跨いで配設され、検出光によりワークＷの表面に付着した異物を検出する異物検出ユニット５４，５５と、それぞれが、ワークＷに臨んでワークの先端および尾端の光軸Ａ位置への到達を検出すると共に、光軸Ａに平行な仮想線上において相互に離間して配設した一対のワーク検出センサー５６と、一対のワーク検出センサー５６による、ワークＷの先端の光軸Ａ位置への到達検出のうち、先の到達検出をトリガーとして異物検出ユニット５４，５５の検出動作を開始させ、ワークＷの尾端の光軸位置への到達検出のうち、後の到達検出をトリガーとして異物検出ユニット５４，５５の検出動作を終了させる制御装置１９と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ネジ山のいかなる変形も良好に認識できる検査装置を提供することである。
【解決手段】この発明に係るネジ山の検査装置は、回転するネジの外表面を部分的かつ連続的に照明する光源部２と、ネジからの反射光を受光する撮像センサ５と、ネジの回転情報と撮像情報に基づきネジ山の形状を認識する画像処理部６を有する構造において、前記撮像センサは、ネジ山形状が正常のときは前記反射光を認識することはないが、ネジ山に不所望な凹凸が存在する場合のみ当該凹凸に起因する反射光を受光できる領域を少なくとも観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チューブのような筒状体の搬送効率を低下させることなく、筒状体の内部について精密な品質検査を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】内部検査装置１は、搬送されるチューブ１０に対して撮像ユニット６を用いてチューブ１０の内部を撮像し、撮像された画像からチューブ１０の内部についての品質を検査する。チューブ１０は、これを水平に寝かされた姿勢で支持部材１４に支持されており、軸線方向でみた開口の向きと高さ方向でみた軸線の位置が一様に揃えられている。撮像を開始する前にチューブ１０は、位置決め機構４を用いてチューブ１０の開口の位置が揃えられる。ボアスコープ３４は、チューブ１０の開口から内部へ向けて軸線に沿って移動しながらチューブ１０の内面を撮像する。撮像して得られた画像に基づき、チューブ１０の内面についての品質を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象部の異常の判別の精度を向上させることができる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ケース２の隅Ｃに形成される隙間Ｄを含む所定の撮像範囲を撮像するカメラ１０と、ケース２を照明する照明器１１と、カメラ１０が取得した前記所定の撮像範囲の画像に基づいて隙間Ｄが映されている部分を含むように設定された検査領域Ｔ内の隙間Ｄの面積を取得し、取得した隙間Ｄの面積に基づいて隙間Ｄの異常の有無を判別する判別装置１３と、を備え、判別装置１３は、隙間Ｄが２つに区分されるように検査領域Ｔを二つの小領域Ｔ１、Ｔ２に分けて二つの小領域Ｔ１、Ｔ２毎に異常の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】レーザ計測装置を用いて複雑な形状を有する検査物の検査を行う際にも、短時間に高精度な測定を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、実装済み基板１１０を撮像する撮像部３１と、実装済み基板１１０上の計測位置にレーザ光を照射して実装済み基板１１０からの反射光を受光することにより、実装済み基板１１０の形状を計測する第１レーザ計測部３３および第２レーザ計測部３４と、撮像部３１による実装済み基板１１０の撮像画像に基づいて、撮像画像中に含まれるレーザ計測に不適な領域（レーザ計測除外領域）を判定し、レーザ計測除外領域を第１レーザ計測部３３または第２レーザ計測部３４による計測対象から除外する演算処理部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】色制御システムと欠陥検出システムの各機能の調整を図った印刷機用制御システムを提供する。
【解決手段】色制御サブシステムおよび欠陥検出サブシステムを統合し、かくして前記色制御システムおよび前記欠陥検出サブシステムが印刷機から得たデータを共有するようにされている印刷機用制御システム。 （もっと読む）

【課題】様々な汚れが付着しているコンクリート表面であっても、ひび割れや段差の存在を簡単に知ることができる。
【解決手段】コンクリート表面３に欠陥部分（ひび割れや段差）３ａがある場合、ライト４Ａ，４Ｂの照射方向によって該欠陥部分３aに影が出来たり出来なかったりする。いま、所定の領域Ａについての複数の画像データを二値化処理し、該二値化処理した複数の画像データの差分画像を生成したとする。コンクリート表面の汚れは、どの画像データにも映っているので、差分画像では相殺されて現れないが、欠陥部分３ａの影は、出来たり出来なかったりするので、差分画像に現れる。したがって、該差分画像を見れば、欠陥部分３ａの存在を簡単に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は基板の内部欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
まず基板の側面に、少なくとも光源を提供する。光源は、側面に向かって基板を透過する光線を発する。さらに基板の上表面のイメージを取得するイメージセンサモジュールを提供する。光線が側面に相対する入射角度は、光線が基板内で全反射によって伝達される第１所定角度内に制限する。これにより、光線が基板内を伝わり内部欠陥に遭遇した場合、欠陥部分に明点が形成され、イメージセンサモジュールがこの欠陥の位置を検出する。この種の方法は、内部欠陥の好適なイメージ解像度を確実に向上させる。このほか、本発明はさらに、上述の基板の内部欠陥検査方法に基づいた、基板の内部欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）