【課題】ウェハを基板検査装置に取り付ける際の偏心等に影響されることなく、ウェハの外周端部が検査できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る基板検査装置１は、ウェハ２を保持するウェハ支持部１０と、ウェハ２の端部を観察するラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４と、ウェハ支持部１０とラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４とを相対移動させる移動部と、相対移動中にラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４がウェハ２の端部を観察できるように移動部を制御する制御部とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】塗装面に塵埃等の異物が付着している場合であっても、塗装面の不具合の有無を精度良く判定することが可能な塗装面検査装置および塗装面検査方法を提供する。
【解決手段】斜めに紫外線が照射された塗装面１ａの画像である傾斜照射画像１１を撮像し、平行に紫外線が照射された塗装面１ａの画像である平行照射画像１２を撮像し、平行照射画像１２に二値化処理を施して二値化画像１３を生成し、二値化画像１３に膨張処理を施して膨張画像１４を生成し、膨張画像１４に収縮処理を施して収縮画像１５を生成し、傾斜照射画像１１から収縮画像１５を減算した画像である減算画像１６を生成する。 （もっと読む）

【課題】正常粒（白色粒）から異常粒（半透明粒）を選別する。
【解決手段】色彩選別機では、蛍光灯５６、５８が消灯されると共に、蛍光灯６０、６２が点灯されて、フロントカメラ５２が選別粒Ｇを透過する透過光によって選別粒Ｇを撮影すると共に、リヤカメラ５４が選別粒Ｇによって反射される反射光によって選別粒Ｇを撮影する。また、第１背景板４０の第１背景面４０Ａが黒色にされると共に蛍光灯６０、６２によって照明されず、フロントカメラ５２が撮影する第１背景面４０Ａの光量レベルが、フロントカメラ５２が撮影する選別粒Ｇの正常粒（モチ米）の光量レベル以下にされている。さらに、第２背景部８４の第２背景板９０が発光可能にされて、リヤカメラ５４が撮影する第２背景板９０の光量レベルが、リヤカメラ５４が撮影する選別粒Ｇの正常粒の光量レベル以上にされている。このため、正常粒から異常粒（ウルチ米）を選別できる。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】コレットチャック等の保持手段により被検査物に弾性変形が生じて反射光分布が変化しても、それを欠陥として誤検知することなく、微小欠陥を検出することができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】ロール状の被検査物(13)を支持し回転させる被検査物支持手段と、被検査物表面に光を照射する照明手段(11,12)と、この被検査物表面で反射あるいは拡散する光を検出するラインセンサ(15)を有し、このラインセンサからのラインセンサ出力を処理して被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置(10)を前提として、
複数の照射条件におけるラインセンサ出力を合成して、表面欠陥を算出する演算手段を備えて成り、被検査物の微小欠陥を誤りなく検査することである。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮影手段が撮影する背景部の光量レベルを容易に調整する。
【解決手段】色彩選別機では、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が背景部８４の背景板９０を背景として撮影した選別粒Ｇの光量レベルに基づいて、選別粒Ｇのうちの正常粒と異常粒とを選別する。ここで、背景部８４内における冷陰極管８６の発光光量が調整可能にされており、背景板９０は冷陰極管８６によって発光可能にされると共に、背景板９０の発光光量が調整可能にされている。このため、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が撮影する背景板９０の光量レベルを容易に調整できる。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤのような指向性の高い点光源を用いた照明装置を拡散板を導入せずに使用しても、表面の傾斜状態の判別を安定して行って、検査の精度を確保する。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１を受光面が基板面に対向するように配備するとともに、このカメラ１と基板Ｓとの間に照明装置２を設け、基板Ｓ上のフィレット７１に対する検査を実行する。照明装置２は、同心円状に配備されたＬＥＤ２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにより、赤、緑、青の各色彩光がカメラ１の視野に対しそれぞれ異なる方向から入射するように構成されるが、光出射面には拡散板が設けられていない。検査の際には、カメラ１により生成された画像から各照明色による高輝度領域を抽出し、これらの領域がＬＥＤ間の距離に応じた間隔を隔てて分布する範囲全体を、照明色に対応する色領域として特定し、各色領域の構成画素の数を所定の基準値と照合する。 （もっと読む）

【課題】被検査物品の上面と側面とを同時に撮像でき、被検査物品と撮像手段との距離を長くすることなく、被検査物品の上面を照射する光の強度が十分に得られ、被検査物品の上面を高精度で検査できる物品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物品Ｓの側面Ｓ２からの反射光を反射させる反射手段と、照明手段と、反射手段２０から出射された光および被検査物品Ｓの上面Ｓ１からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段からの映像信号を処理する処理手段とを備え、反射手段が、被検査物品Ｓの上面Ｓ１側から見たときに被検査物品Ｓを取り囲むように配置された複数の反射体２２を備えたものであり、照明手段が、隣り合う反射体の間から被検査物品の少なくとも上面を照射する上面照明手段を備えている外観検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ裏面を検査し、検出した欠陥が、搬送手段の接触による汚染であるかの判定と、発生源の特定ができるような平面基板検査装置および平面基板の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送部２０等により保持されるウェハ１の保持面（例えば、ウェハ裏面１ｂ）の表面状態を検査する平面基板検査装置を、ウェハ裏面１ｂを照明する光ファイバー３，４およびコンデンサレンズ５，６と、照明されたウェハ裏面１ｂの像を結像する受光レンズ７と、結像された像を検出して被検査面情報として出力する撮像素子８および画像処理部９と、接触位置情報を記憶する接触位置情報記憶部１３と、被検査面情報と接触位置情報とを比較照合する比較照合部１２とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面疵の過検出を抑制して表面疵を精度良く検出することが可能な表面疵検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面疵検査装置１００は、渦流探傷又は漏洩磁束探傷を行うことによって被検査材Ｂに存在する表面疵候補を検出する探傷装置１と、探傷装置によって表面疵候補が検出された場合に、当該表面疵候補を含む被検査材表面の所定領域を撮像する撮像手段２と、撮像手段で撮像した前記所定領域の撮像画像に対して、表面疵に対応する画素領域を抽出するための所定の画像処理を施す画像処理手段３とを備える。画像処理手段は、前記画像処理によって表面疵に対応する画素領域が抽出された場合に、前記所定領域に表面疵が存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】略円形断面を有する長尺物の外周面に線状光が照射されて成る照射線を撮像装置によって撮像する際に、撮像装置側から見た照射線の輝度を長尺物の幅方向に亘って略均一にすることのできる長尺物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】ホースＨの外周面には複数の照射装置１０の線状光によって一本の照射線Ｌが形成され、各撮像装置５０は各照射装置１０のうちホースＨの周方向に隣り合う任意の２つの照射装置１０に対してホースＨの周方向の略中央に配置されているので、各撮像装置５０側から見た照射線Ｌの輝度をホースＨの幅方向に亘って略均一にすることができ、各撮像装置５０の光感度調整を容易且つ適切に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 被検査物に段差等が存在する場合であっても、被検査物の表面欠陥を検査することができる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 表面欠陥検査装置１においては、ステージ３によって支持されたガラス基板Ｓの表面に反射照明装置４によって光が照射され、ガラス基板Ｓの表面がカメラ６によって撮像される。このとき、ガラス基板Ｓの表面に照射される光の照射方向が変化するように制御装置８によって反射照明装置４が制御されるため、凸部Ｓ_２による段差がガラス基板Ｓに存在するものの、影になる領域が生じるのを防止して、ガラス基板Ｓの表面欠陥を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】必要性がますます増大している欠陥検出のための効率的な方法及びシステムを提供する。
【解決手段】対象物の初期走査に複数照明経路が対象物を同時に照射し；初期走査中に取得された検出信号に応答して対象物をセグメントにセグメント化し；各セグメントについて、セグメントの主材料及びセグメントの表面粗さレベルから選択された少なくとも１つのパラメータに応答して、セグメントの欠陥検出走査中に、活動状態にされるべき照明経路を選択し；対象物の各セグメントを、対象物の選択された照明経路のみによって照明し；当該照明するステップに応答して、欠陥を示す検出信号を発生する。 （もっと読む）

【課題】樹脂製キャップの外観自動検査に好適な画像を得るための照明撮像装置を提供する。
【解決手段】樹脂製のキャップ１を撮像し画像処理により検査する場合の照明撮像装置であって、回転するキャップ１の側方から照明をする面状の第１投光部１１と、第１投光部１１の反対側からキャップの側面を撮像するＣＣＤカメラ３と、ＣＣＤカメラ３側の斜上方からキャップ１の内面に照明をするスポット状の第２投光部１２とからなる。 （もっと読む）

【課題】外観検査と電気的特性検査の双方の設定作業によるユーザの負担の増加を軽減する。
【解決手段】基板検査システム１０Ａにおいて、外観検査装置１２は、基板の画像を撮像し、撮像された画像の解析結果を利用して基板の実装状態を検査する外観検査を実施する。インサーキットテスタ１４は、基板にプローブを接触させて基板の電気的特性を検出し、検出された基板の電気的特性を利用して基板の実装状態を検査する電気的特性検査を実施する。ディスプレイ１８に表示される検査内容設定画面は、外観検査を実施するための設定内容をユーザが設定できるよう設けられる。検査内容設定画面は、電気的特性検査を実施するか否かなど、電気的特性検査を実施するための設定内容もユーザが設定できるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査環境による検査対象物の形状の良否判定の精度が検査環境によって低下することを防止する。
【解決手段】形状検査装置は、検査対象物を照明するための検査光源と、撮像手段と、前記検査光源を点灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データである検査データを取得する検査データ取得手段と、前記検査光源を消灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データであるオフセットデータを取得するオフセットデータ取得手段と、前記検査データと前記オフセットデータの差分を示す差分データを取得する差分データ取得手段と、前記差分データに基づいて前記検査対象物の形状の良否を判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（“亀裂”）を“膨れ”から区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】検査ステーションにおいて回転しているガラス容器を検査するための装置。カメラが、ガラス容器上の関連する領域（例えば、口部）の像を撮像し、前記領域はある角度増分毎に撮像される。各像内で異常な対象物が分析され、データに対するその中心の偏りが測定される。最大値よりも小さい偏りによって、制御装置が、当該対象物を“膨れ”として特定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】容器の底面付近の形状や状態に拘わりなく不透明な異物を従来よりも高い精度で検出できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】透過性を有しかつ有底筒状に形成された容器２の底面２ａ側からの画像を取得し、その画像に基づいて容器内の不透明な異物の有無を検査する異物検査装置において、容器２をその上方から照明する第１の照明手段１０と、容器２をその外周側の略全周から照明する第２の照明手段２０とを備える。 （もっと読む）