【課題】実装基板に配設されたハンダ部分を確実に抽出して、クリームハンダの配設状態を判別する。
【解決手段】クリームハンダが配設された実装基板Ｗに対して小入射角で赤外光７３３および可視光７３４を照射し、前記実装基板Ｗからの前記赤外光および可視光の正反射光を撮像し、この撮像結果に基づいてクリームハンダの配設状態を判別する。赤外光によりハンダの中央部分が明るく撮像されてしまう事態を防止することができるとともに、赤外光とともに照射する小入射角の可視光によりパッド部分をハンダ部分より十分明るく撮像してハンダ部分とパッド部分とを区別することができる。 （もっと読む）

【課題】円筒体等の被検査物の外周面の異常箇所を検査する外観検査装置において、装置構成を簡略化し、且つ、正確に異常箇所を検査することが可能で、しかも被検査物の取扱い、すなわち、入れ出しが容易な外観検査装置を提供すること。
【解決手段】円筒状、円柱状、略半円筒状、略半円柱状の被検査物Ｗ２の外周面の異常箇所を検査する外観検査装置において、前記被検査物の両端に配置された半円形状又は半リング形状の一対の照明手段２１０を有し、前記被検査物の長手方向中心上の所定の高さに撮像手段２２０を有し、円筒状及び円柱状の前記被検査物を回転させる機構を有することすることによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
近年，回路パターンの微細化に伴い，欠陥の検出感度の向上が求められている。このため，照明用レーザとしてUV帯域の波長を持つレーザを用いて高感度化を図っている。ＵＶレーザとしてパルス発振レーザを用いることが多いが，パルス発振レーザは必要な平均出力に対して，尖頭値（最大出力）は非常に大きくなる。例えば，平均出力２[Ｗ]，パルス間隔１０[ｎｓ]，パルス幅１０[ｐｓ]のレーザの場合，尖頭値（最大出力）は２[ＫＷ]にもなり，試料にダメージを与える恐れがある。このために，平均出力を維持したままで尖頭値（最大出力）を低減させて試料にダメージを与えないようにする必要がある。
【解決手段】
パルス光を光学的に分割し、この分割したそれぞれの光路の長さに差を設けることにより，平均出力を維持したままで尖頭値（最大出力）を低減させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 磨耗しやすいローラの表面を適正に撮像する。
【解決手段】 ローラ３の表面に光を照射する光源７と、ローラ表面からの反射光を受光してローラ表面の画像を撮像するカメラ８とを具備した撮像装置において、ローラ表面の磨耗による変位を検出する変位検出センサ１８と、変位検出センサからの変位データに基づいてカメラ位置の補正量を演算し出力する制御部２０と、制御部からの出力によりカメラ位置を補正する位置補正機構とを具備する。シートの製造等に伴いローラの表面が磨耗しても、位置補正機構でカメラの位置を調整することができ、従ってカメラは十分な光量によってローラ表面の明確な画像を撮像することができ、例えば製造するシートの良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光塗料を用いて離型剤を可視化することを図り、金型のキャビティ形成面に塗布された離型剤の分布や塗布厚を簡易観察により判別して、離型剤塗布状態の良否を判定することが可能である離型剤塗布状態検出方法及び離型剤塗布状態検出装置を提案する。
【解決手段】蛍光物質を含有する離型剤が塗布された金型のキャビティ形成面８に紫外光を照射し、前記キャビティ形成面８にて発される可視光の発光強度に基づいて離型剤塗布状態を検出して、離型剤の分布や塗布厚などの、前記キャビティ形成面８への離型剤塗布状態の良否を判定する。離型剤塗布状態のうち塗布量の多少を推定するに際しては、離型剤塗布量と可視光の発光強度との関係を示す測定ゲージを用いる。 （もっと読む）

【課題】 粒界のある多結晶半導体ウエハでも、汚れを検出することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】 コンピュータ１０は、表面撮像装置２０および裏面撮像装置４０によって、各面の低角度画像および高角度画像を撮像する。撮像された低角度画像および高角度画像を、多結晶シリコンウエハ２の同じ位置の画素毎に明度差を算出し、算出された明度差が予め定める明度差より小さい位置の画素を、汚れを表す画素候補とする汚れ候補画像データを、各面について生成する。２つの面の汚れ候補画像データを、２つの面が対向する位置の画素毎に比較して、汚れを表す画素候補であるか否かを示すデータが不一致である対向する画素の位置に対応する位置の画素を、不一致画素とする不一致画像データを生成する。不一致画像データが示す画像の画素のうちで、不一致画素からなる領域が予め定める汚れ条件を満たすとき、汚れがあると判定する。 （もっと読む）

【課題】 低コストで照明装置の校正を行うことができる照明装置の校正方法を提供すること。
【解決手段】 照明装置３におけるＲＧＢの各色ＬＥＤ群３５１，３５２，３５３から単独で光を出射させ、照度色度校正具６に照射する。照度色度校正具６には、ＲＧＢ各色のカラーパターンが設けられており、当該各色のカラーパターンを介して照明光からＲＧＢの各色成分が抽出され、ＣＣＤカメラ４２によって撮像される。このように、ＣＣＤカメラ４２によって、各色ＬＥＤ群３５１，３５２，３５３の出射光の強度をＲＧＢの各色成分ごとに取得することができ、この取得データに基づいて各色ＬＥＤ群の照度および色度に関する特性を算出することができるので、この特性に基づいて照明装置３の校正を行うことができる。この際、高価な色彩照度計などを用いる必要がないので、低コストで照明装置３を校正することができる。 （もっと読む）

【課題】 照明光を全反射し得る読取対象物でも当該装置のセット位置を変更することなく容易に読み取り可能な光学読取装置を提供する。
【解決手段】光学情報読取装置１０では、複数のＬＥＤ３２から照射されるそれぞれの直接光Ｌの光路上に位置し、入射した複数の直接光Ｌの出射方向を個別または所定の集まりごとに任意方向に変更可能な２枚の扇状レンズ５１と、複数のＬＥＤ３２と読取対象物との間における扇状レンズ５１の位置を直接光Ｌの光路上において調節可能な位置調整機構４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハー検査の工程速度（検査スピード）を向上させることのできるウエハー表面照射装置及び方法の提供
【解決手段】ウエハー表面照射装置は、第１の光ビームを発する第１のフラッシュ光源２１と、第２の光ビームを発する第２のフラッシュ光源２２と、偏向光学系３０と、制御手段と、を備える。フラッシュ光源２１、２２は、偏向光学系３０に向かって発光するよう配置されており、前記制御手段が、所定の周波数で、フラッシュ光源２１、２２を交互に発光させるとともに、偏向光学系３０が、ウエハーの手前側に設定された共通光路に、第１、第２の光ビームを偏向させる。 （もっと読む）

【課題】
軸を有した農産物における軸周囲の障害を特定することができ、選別のばらつきを抑制することができる農産物の検査装置を提供する。
【解決手段】
軸Ｊを有した農産物Ｎを撮像手段３にて撮像し、得られた画像に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ周囲に発生した亀裂から成るつる割れを検出し得る外観検査手段と、農産物Ｎに光を照射し、透過した透過光に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ側内部に生じた空洞から成る陥没を検出し得る内部検査手段と、外観検査手段及び内部検査手段により得られた検出結果に基づき、農産物Ｎがつる割れ、陥没、又はつる割れ且つ陥没を生じているか否かを判定する陥没・つる割れ判定部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 薄物化が進む印刷用紙では印刷の裏抜けが問題となることに鑑みて、目視により行っていた裏抜けの評価を、定量的に行えるようにすると共に、官能的な評価と十分な相関性を確保できる裏抜け評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】 一定条件で印刷を行った印刷用紙印刷部の裏面と、印刷していない白紙部の裏面について、面積が1600〜10000mm²の測定領域を、一辺の長さが0.20〜3.0mmである正方形の微小領域に分割し、投光手段により測定光を照射しその反射散乱光の画像を撮影手段で撮影し、該撮影画像から微小領域の全てのＹ値を測定し、下記式で算出される裏抜け評価指標を算出して該裏抜け評価指標で裏抜けを評価する。
裏抜け評価指標
＝100×(印刷部裏面のＹ値平均値)／｛(白紙部裏面のＹ値平均値)×(印刷部裏面のＹ値の標準偏差)｝ （もっと読む）

【課題】検査用ステージの復路において検査しない時間を省略して検査の効率化を図り、短時間に多くの検査対象物を検査できるようにした外観検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板９を積層するスタッカ１０と、このスタッカ１０から一枚ずつプリント基板９を取り出すピックアップ機構２と、このピックアップ機構２によって吸着して取り出されたプリント基板９を載置する検査用ステージ４と、この検査用ステージ４に載置されたプリント基板９を検査する外観検査部７とを備えてなる外観検査装置１００において、検査用ステージ４０、４１を複数備え、これら複数の検査用ステージ４０、４１を上下方向にローテーションさせることによって順次外観検査部７にプリント基板９を通過させ、検査結果に応じて回収用スタッカ８３０に回収させるようにする。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受けモータにより１００００ｒｐｍ以上の回転ができるため、高速で検査することができるとともに、動圧軸受けは振動も少なく像の歪みによる分解能の差がなく、低騒音で高精度の内壁面の検査装置を提供する。
【解決手段】ケース体と、このケース体の一面のほぼ中央部より突出するように端部が固定されたスリーブ、このスリーブ内に気体空間を介して配置された光を軸心方向に通すことができるシャフト、このシャフトに固定された回転部材とを備える動圧軸受けモータとシャフトの両端部に位置するように取付けられたビームスプリッターとケース体内に設置された一方のビームスプリッターを介してシャフトに光を通し他方のビームスプリッターより測定する内壁面へ光を照射する発光素子と測定する内壁面からの反射光を他方のビームスプリッター、シャフト、一方のビームスプリッターを介して受光する高速の受光素子とで内壁面の検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】光学シートに生じるスジ欠陥を、光学シートの製造ラインにおいて、自動的に高感度で検出できるようにする。
【解決手段】光学シートの検査方法が、光学シート（レンチキュラーレンズシート１）を照明し、その反射光を線状領域撮像手段１１で受光し、線状領域撮像手段１１で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測し、スジ欠陥７を検出する光学シートの検査方法であって、線状領域撮像手段１１の撮像視野１２の方向を光学シートに対して一定方向に保持して、光学シート上で撮像視野１２をトラバースさせる間に、照明光２１ａ、２１ｂと線状領域撮像手段で受光される反射光とで挟まれる角（入射角α）が異なる複数の条件で、順次又は同時に、線状領域撮像手段１１で反射光を受光し、受光強度に生じる異常強度に基づいてスジ欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 均一でむらのないスリット光を生成できるスリット光照射装置を提供
する。
【解決手段】 本発明になるスリット照射装置は、パターン検査方法およびパタ
ーン検査装置に用いられるスリット光照射装置であって、光を照射する発光部と
、この発光部から照射された光を均一に拡散する光拡散部と、この光拡散部で得
られた均一な拡散光を受けて平行光を生成する第一の平行光生成部と、この第一
の平行光生成部からの平行光を受けて予め決められた幅のスリット光を生成する
スリット光生成部と、このスリット光生成部からの予め決められた幅のスリット
光を受けてそのままの幅の平行光を生成する第二の平行光生成部と、を具備する
ことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 容器への内容品の充填を行った後に、容器の充填口の外周面における内容品の付着の有無を、満足できる精度および速度にて検査する。
【解決手段】 水平方向に設置されたカメラ２１と、斜めの方向から光を照射する照明装置２２とを具備する撮像ユニット２０を製造ラインの２箇所に配置し、充填口３の外周面４の表面色が内容品の色と異なる容器１を用いて内容品の充填を行った後、第１の撮像ユニットのカメラ２１によって充填口３の外周面４の一方の側を撮像して充填口３の外周面４の一方の側への付着物の有無についての第１の判定結果を生成し、第２の撮像ユニットのカメラ２１によって充填口３の外周面４の他方の側を撮像して充填口３の外周面４の他方の側への付着物の有無についての第２の判定結果を生成し、第１の判定結果と第２の判定結果に基づいて充填口３の外周面４の全周への内容品の付着の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板縁部における欠点を高精度に検査することを可能としつつ、検査時の位置決め作業を不要とする。
【解決手段】 本発明による欠点検出システムは、コンベア上に設定される縁部検査セクションまで搬送姿勢検出セクションを介してガラス板を搬送する搬送機構と、搬送姿勢検出セクションに設けられ、姿勢検出用の撮像手段１０６及び光源１０４を用いて、縁部検査セクションに搬送されるガラス板の搬送姿勢を検出する搬送姿勢検出装置と、縁部検査セクションに設けられ、欠点検出用の撮像手段２１２及び光源２１４が組み込まれたカメラ組立体２１０を、ガラス板の縁部に沿ってガラス板の全周に亘りカメラ組立体を移動させ、その際に撮像手段２１２により取得されるガラス板の縁部の画像情報に基づいて、ガラス板の縁部における欠点を検出する縁部検査装置と、を含み、カメラ組立体２１０の移動軌跡が、前記搬送姿勢検出装置から得られるガラス板の搬送姿勢情報に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】 表面疵を検出するために行う被検査物の表面の撮影に適した光量の反射光を、曲率が大きい被検査物の表面の広範囲から得られるようにする。
【解決手段】 検査対象物である小径パイプ１０に光を照射し、前記小径パイプ１０の表面を撮像カメラ１１２により撮影して検査対象画像３０を生成し、上記生成した検査対象画像３０から上記小径パイプ１０の表面の欠陥の有無を検出する表面疵検査方法であって、上記小径パイプ１０の被検査部位に第１の照明装置１１３による明視野照明と、第２の照明装置１１４及び第３の照明装置１１５による平行光線を用いた暗視野照明とを組み合わせた複合照明を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、撮像した画像に振動によるノイズが発生することがなく、自動的に且つ短時間で且つ正確に透明体に付着した異物等の欠陥を検査することが出来る欠陥検査装置及びその欠陥検査装置を用いた欠陥検査方法を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 撮像手段８と照明手段９ａ、９ｂを搭載したキャリッジ７の移動加速度を加速度センサ11ａ，11ｂにより検知し、走査制御手段となる動作コントローラ20によりキャリッジ７の停止動作が実行され且つ該加速度センサ11ａ，11ｂにより検知された加速度が所定時間、予め設定された値以下になった時点で撮像手段８による撮像を開始するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子部品供給部と整列機との間に無振動区間を形成し、電子製品が無振動状態で整列機に移送され得るようにする電子製品整列装置及び電子部品検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の電子部品検査システムは、電子部品を供給する電子部品供給部、電子部品を無振動状態で移送して整列する電子部品整列部、電子部品が配置されるガラス円板、トリガー信号とエンコーダ値を生成する電子部品位置検出部、電子部品の４面を撮影する電子部品撮影部、圧縮空気を噴射して電子部品を排出する電子部品排出部及びトリガー信号とエンコーダ値及び撮影映像を用いて、電子部品の良否判定を行った後、判定された結果に基づいて、電子部品排出部を制御する制御部を含む。本発明によれば、電子部品の安定的な整列、選別性能の向上、電子部品の排出反応速度の向上という効果がある。 （もっと読む）