【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの検査対象領域に対する照明光の光量の安定化・均一化を図り、ディスク表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査への適用にも好適なハードディスク検査装置を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク（12）の面に対し、照明装置（112，114,116,118）からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ（102,104）によって撮像する。ディスク（12）の表面側及び裏面側の各検査面に対して、それぞれ１台ずつ光源装置（310,311）を備え、１台の光源装置（310又は311)から光ファイバー（312又は313）を２分岐して、ディスク検査領域に対して２方向（左右）から対称的に照明する。 （もっと読む）

【課題】長手方向に沿って延長する標識線を有する被測定物の幅方向断面における標識線の位置を確実に検出して被測定物の形状の良否判定の精度を向上させる。
【解決手段】上部側カメラ１２により撮影したトレッド２の表面側のカメラ像から作成した上形状画像から、当該トレッド２の両端部２ｃ，２ｄの位置を検出し、この両端部２ｃ，２ｄの位置からトレッド２のセンター位置を算出し、上記上形状画像の上記センター位置近傍の画素データから標識線２ｚの位置を検出することにより、上記上部側カメラ１２により撮影したトレッド２の上形状画像と下部側カメラ１４により撮影したトレッド２の裏面側のカメラ像から作成した下形状画像との合成画像に、正確な標識線２ｚの位置を示す標識線表示Ｚを付加した検査画像Ｇを作成することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】被検査線条の振動による誤検知を防止し、線状に伸びる線材の欠陥や汚れ等の欠陥を正確に検出することのできる線条表面検査装置を提供すること。
【解決手段】複数の受光素子３ａ、３ｂを被検査線条８０の幅方向に対称に配置し、対称に配置された受光素子３ａ、３ｂの出力信号を信号処理部４の加算処理部５に入力させて互いに加算することにより被検査線条８０の幅方向の振動成分を相殺する。これにより、振動による誤検知を防止する。 （もっと読む）

【課題】連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行うこと。
【解決手段】外観画像検査システム１は、カメラ２と照明５，６とを備え、照明５，６の照明条件を切り替えつつカメラ２による連続撮影を行う外観画像検査システム１であって、カメラ２の露光終了タイミングに応じて、照明条件の切り替えを開始する。これにより、露光終了タイミングに応じて照明条件を切り替えることができるので、好適な照明条件の切り替えのために利用可能な期間をフル活用することができる。したがって、連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行える。 （もっと読む）

【課題】直接接合により貼り合わされた化合物半導体からなる透明基板の貼り合わせ界面のボイド等の欠陥を検出するのに好適な欠陥検出装置、更にチッププロセス終了後のチップ外観検査において該不良部を確実に取り除くことができる欠陥検出システムおよび欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】化合物半導体基板の欠陥を検出する装置であって、少なくとも、内径が前記化合物半導体基板より小さく前記化合物半導体基板を載置するためのリング状ステージと、該ステージ上の前記化合物半導体基板に対し少なくとも２方向から光を斜入射させるようにステージ上方に配置された照明手段と、前記化合物半導体基板の上方に配置された前記欠陥から散乱された光を検出するエリアセンサーとを具備することを特徴とする欠陥検出装置。 （もっと読む）

【課題】検査設備を縮小するとともに検査工程を簡略化することができるレンズの検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象とするレンズ１０に対して光を照射してその反射光を撮影してレンズ１０の検査を行なう装置であって、上記レンズ１０の光軸Ｒの周りの第１の環状領域１７からレンズ１０に対して光を照射する第１の照明手段１１と、上記第１の環状領域１７の内側でレンズ１０の光軸Ｒに沿ってレンズ１０に対して光を照射する第２の照明手段１２と、上記第１の環状領域１７よりもレンズ１０側において第１の環状領域１７よりも外側の第２の環状領域１８からレンズ１０に対して光を照射する第３の照明手段１３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回路素子のはんだ付け、特にはんだ付けロボットやはんだコテを用いた手作業によるはんだ付けの良否を判定する検査において、簡便に、且つ、確実な信頼度を以って良否の判定を行うことができるようにする。
【解決手段】図１（Ａ）のようにして、緑色の基板２に配置された抵抗３を、当該抵抗３の上方に配置されたカメラ（撮像装置）４により、当該カメラ４側から赤色の同軸照明５により乳泊アクリル製特殊フィルタ６を介して照射しつつ撮影し、撮影された撮像を白黒の２値化処理してはんだ付けの良否を判定する。この方法によれば、図１（Ｂ）のようにフィレット８に覆いかぶさるフラックス９の影響を受けることなく判定できる。 （もっと読む）

【課題】
欠陥を搬送中に早期に検知し、不良フイルムの流出を防ぐフイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】
フイルム１２に幅方向への張力を負荷する張力付加機構１３を設け、フイルム１２に生じるツレシワの有無を検知するツレシワ検出部１４と、フイルムの欠陥を検知する測定部１５とを設け、測定部１５はツレシワ検出部１４よりもフイルム１２の搬送方向の下流側に位置し、ツレシワ検出部１４によりツレシワが無いと検知されたフイルム１２の欠陥を測定部１５により検知する。 （もっと読む）

【課題】小さい透明ディスクを備え、電子デバイスの底面を検査する機能を達成すると共に、該ディスクは、高硬度の性質を有し、検査すべき電子デバイスがディスクにぶつかって傷付けてしまうことを避け、画像取得する際の干渉現象を減少し、検査の正確度を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】複数の電子デバイス２００を置くための第１の透明ディスク１０と、第１の透明ディスク１０の下方に設けられ、電子デバイス２００の底面を検査するための第１の画像受取ユニット１１と、第１の透明ディスク１０に隣接する第２のディスク１２と、第１の透明ディスク１０と第２のディスク１２の隣接位置に設けられ、第１の透明ディスク１０上の電子デバイス２００を案内し第２のディスク１２に転送するガイドユニット１３と、第２のディスク１２の上方に設けられ、電子デバイス２００の他の表面を検査するための複数の第２の画像受取ユニット１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】 プラスチックペレットからの後方散乱光により、変色ペレット、異物混入ペレットや異形ペレットを検出し、これらのペレットの的確な除去を行うことができるプラスチックペレット選別機を提供する。
【解決手段】 プラスチックペレット選別機において、落下するプラスチックペレット２１の両側に対になるように、光源とラインセンサ装置とを備えるラインセンサカメラを配置し、前記光源からの照射光の後方散乱光を測定することにより、前記プラスチックペレット２１の異物、黒色、異形を検知して、前記プラスチックペレット２１の良品と不良品との選別を行うプラスチックペレット選別機であって、前記光源として前記落下するプラスチックペレット２１の上下方向に一対の蛍光灯２３を配置し、この一対の蛍光灯２３はそれぞれ遮蔽円筒体２４を備え、この遮蔽円筒体２４の窓２４Ａにシリンドリカルレンズ２５を配置し、このシリンドリカルレンズ２５からの光を前記落下するプラスチックペレット２１へ照射する。 （もっと読む）

【課題】液体が充填された透明な容器に混入した不透明な異物を検査する際、照明の不均一さや照射光の屈折による異物の誤検出を低減する画像処理方法を提供する。
【解決手段】検査する容器の原画像に対し平滑化などの雑音画像処理を施して擬似的な基準画像を取得し、その基準画像の輝度を基準として原画像との輝度差分を求め、差分画像を生成する。この差分画像を検査することにより、照明の不均一さや照射光の屈折により生じる画像の輝度変化の影響を回避し、誤検出を低減させる。 （もっと読む）

構造化光を用いて、製造された物品（９４）の合い具合及び仕上がりについての問題を検出する改善された方法及び装置。反対方向から取得される２つ以上構造化光画像（９２、９８）を用いて、継ぎ目の付近の小さい欠陥によって引き起こされる誤検出を回避しながら、接合面の合い具合を測定する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に長い溝等の凹凸部がある場合の表面検査精度を向上させる。
【解決手段】被測定物Ｗの凹凸部Ｗｅに直交するようにラインファイバ照明１０を配置し、被測定物Ｗからの反射光をラインセンサカメラ１１に入射させて画像信号を得る。凹凸部Ｗｅの斜面ではラインファイバ照明１０からの光の正反射光が少なくなるため、ラインファイバ照明１０の両側に複数の小型のファイバ照明１４、１５を設けて斜め方向から光を照射し、均一な照明による表面検査を行う。 （もっと読む）

【課題】形状の異なるモジュールであっても確実に欠陥部分を抽出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】リング照明でモジュールＭへ投光して撮像された第１の画像１０Ａの所定以上の輝度を有する領域を抽出する第１のステップを行い、抽出された所定以上の輝度を有する領域において所定の大きさ以上の面積を有する領域を第１の画像１０Ｂより除去する第２のステップを行い、第１の画像１０Ｃから直線または曲線形状で抽出された領域を除去する第３のステップを行い、モジュールＭをリング照明により投光して撮像された第２の画像１１Ａにおける第２のステップと第３のステップとにより第１の画像１０Ａから除去された領域に対して、第１のステップ、第２のステップ、第３のステップを再び実施する第４のステップを行うことにより、不要な高輝度領域を削除して欠陥部分８、１２のみを抽出することにより形状の異なるモジュールＭでも検査が可能になる。 （もっと読む）

【課題】大型サイズのガラス板のような透明板状体であっても、安定しかつ正確に、気泡や異物等の欠陥を検出する。
【解決手段】欠陥検出装置は、透明板状体の内部を照明する照明光源ユニットと、透明板状体の対向する上面及び下面の少なくとも一方の面の側に設けられ、透明板状体を撮影する、直列状に配列した複数の撮影カメラを有する撮影カメラユニットと、撮影カメラから出力された受光信号を用いて透明板状体の欠陥を検出する検出器と、を有する。直列状に配列した複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラには、光強度を減らす減光フィルタが設けられている。透明板状体と撮影カメラとを相対的に移動させて透明板状体を撮影する。 （もっと読む）

【課題】包装物を包装したシュリンクの状態の検査を可能とするシュリンク包装検査装置を提供する。
【解決手段】シュリンク包装検査装置１は包装物３を照らす第一から第四照明７１〜７４とカメラ７５とからなる光学系７６を備える。第一照明７１を包装物３天面２１の第一折り目３１に対して略平行に配置し、第二照明７２を第二折り目３２に対して略平行に配置する。第三照明７３を第三折り目３３に対して略平行に配置し、第四照明７４を第四折り目３４に対して略平行に配置する。各照明７１〜７４を水平方向に並設された複数の紫外線発光ダイオードで構成し、各照明７１〜７４からの紫外線８１を、対応する折り目３１〜３４に対して直交方向から照射する。カメラ７５をベルト５１の真上に設け、各折り目３１〜３４が形成された包装物３天面２１に対して略垂直方向に配置する。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板１からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置１０は、可視光画像に基づいて基板１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１のコーティングを検査する。特定された基板１の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）