【課題】凹凸を備えた３次元形状の被検査体を正確に検査できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る外観検査装置１０は、３次元形状の被検査体としてのワーク２０を画像化する１次元画像化部１１と、被検査体２０から出射した光を入射し、入射した光を収束させるように出射する第１レンズ１２と、第１レンズ１２と１次元画像化部１１との間に配置され、第１レンズ１２からの光を結像する第２レンズ１４と、を備えており、被検査体２０から出て第１レンズ１２に入射する光束の主光線が、第１レンズ１２の光軸に対して平行であり、１次元画像化部１１は、被検査体２０からの上記主光線を含む出射光を、第１レンズ１２及び第２レンズ１４を介して入射して画像化する。 （もっと読む）

【課題】透明体の不良について、より明瞭に検査できる透明体検査装置、透明体検査方法、および透明体検査システムを提供する。
【解決手段】普通人が視認すると透明に見える透明体を検査する透明体検査装置に、前記透明体に含有されている蛍光成分を発光させる所定波長の照明光を照射する照明手段と、該照射を受けて発光している前記透明体を撮影して撮影画像を取得する撮影手段と、該撮影画像に基づいて前記透明体に不良がないか判定する判定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置１では、ワーク２を照明する円環状の光源部３３を有する照明部３と、ワーク２を撮影する撮影部４とが設けられ、ワーク２を保持する保持部５が、照明部３と撮影部４との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部３の光源部３３からワーク２に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部４が配されている。そして、ワーク２に異物を含む不確定な物がある場合、光源部３３からワーク２に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部４にて撮影される。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】 被検物の検査において、良品／不良品の選別の工数を低減すること。
【解決手段】 被検物からの反射光に基づいて、被検物を一括的に撮像する第１撮像部を備え、撮像部により第１の被検物画像を取得する第１取得部と、第１の被検物画像と、予め記憶された第１の参照画像とを比較する第１比較部と、第１比較部による比較結果に基づいて、第１の被検物画像中の欠陥候補領域を検出する検出部と、欠陥候補領域に相当する第２の被検物画像を取得する第２取得部と、第２の被検物画像と、予め記憶された第２の参照画像のうち、欠陥候補領域に相当する領域の第２の参照画像とを比較する第２比較部と、第２比較部による比較結果に基づいて、欠陥候補領域が欠陥領域であるか否かを判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、上方検出系や斜方検出系などの複数の検出系を使用する場合、一つの検出系の検出視野に対して照明光およびウェハ高さを合わせた場合、他の検出系においてデフォーカスした像を検出してしまうため、欠陥検出感度が低下するという問題を解決する。
【解決手段】欠陥検査装置において、上方検出系や斜方検出系などの複数の検出系を使用する場合、一つの検出系の視野に対して、他の検出系の視野の位置を補正することによって、検査感度の低減を防ぐことが出来る。また、部品ばらつきや組立て誤差による、検査装置ごとの光軸ばらつきを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】装置の冗長性及び長期安定性を確保しつつ、基板表面Ｗａ上又は裏面Ｗｂ上の欠陥を区別することができる。
【解決手段】基板表面Ｗａに検査光Ｌ１を照射した場合の光検出信号から表面照射検出欠陥の位置、基板裏面Ｗｂに検査光を照射した場合の光検出信号から裏面照射検出欠陥の位置を算出し、その表面照射検出欠陥の位置及び裏面照射検出欠陥の位置の位置関係をパラメータとして、表面照射検出欠陥及び裏面照射検出欠陥が前記各測定系により共通して検出された同一欠陥であるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】部品の表裏二面あるいは両端面の形状異常あるいは傷の有無を簡単に検出する部品検査装置の提供。
【解決手段】本発明は、保持穴８ａが周縁に複数個設けられた回転ディスク８を直立するように配置する一方、この保持穴８ａに両端面が検査対象面となるスタッドピン１ａを供給する部品案内シュート５を配置するとともに、保持穴８ａの通過位置の２個所に回転ディスク８を挟むように第１カメラ１２および第２カメラ１４を配置し、これらカメラ１２，１４で取り込んだ画像データによりスタッドピン１ａの両端面を検査するように構成されている。そのため、スタッドピンがカメラの前方を通過する際に、スタッドピン１ａの両端面を露出させることができ、スタッドピン１ａの両端面の状態を画像データとして取り込み、この画像データからスタッドピンの両端面の形状異常あるいは傷の有無を未検査部分なく確実に検出することができる。 （もっと読む）

本発明は、タイヤ（Ｐ）の表面の外観を評価する装置であって、リニアカラーカメラ（１）を有し、カメラ（１）が、タイヤ（Ｐ）の表面により反射されてカメラ（１）に入った光ビーム（Ｆ）を所与の波長の少なくとも２つの基本色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に分離し、基本色の各々についてグレーレベルの基本的画像（４１，４２，４３）を得ることができる等しい数のセンサ（１１，１２，１３）に光ビームを差し向けるようにする手段（１４，１５，１６）と、基本色と同数の照明手段（２１，２２，２３）とを有し、照明手段は、互いに異なる角度で評価されるべき表面を照明するよう差し向けられ、照明手段（２１，２２，２３）の各々は、その他の照明手段の光とは異なる光（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を発生させ、この光の波長は、カメラにより選択された基本色のうちの１つの波長に実質的に一致していることを特徴とする装置に関する。
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【課題】本発明は、跨座式モノレールの軌道桁下面における亀裂や損傷の有無及び塗装の剥離や劣化の有無を点検することが可能な軌道点検装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る跨座式モノレールの軌道点検装置は、軌道桁下面を撮影可能としたものであって、軌道桁Ｃの下方に反射鏡３４ａ，３４ｂを設置し、軌道桁の側方に撮影装置１４ａ，１４ｂを設け、前記反射鏡３４ａ，３４ｂに映った軌道桁下面の反射像を前記撮影装置１４ａ，１４ｂにより撮影できるようにしたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】パターン検査のスループットを低下させることなく、反射照明手段の照度測定を行えるようにし、ピットの存在を見逃すことがないようにすること。
【解決手段】撮像ユニット５１がワークＷの幅方向に走査され、反射照明手段２１により照明された配線パターン像が、撮像ユニット５１で受像され、図示しない制御部にて記憶される。また、反射照明手段２１からの照明光が反射部材（ミラー）６０に反射して、撮像ユニット５１で受像される。制御部は、反射部材６０による反射光を画像処理して輝度を求め、この輝度を、下限値と比較し、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下として、制御部は装置を停止し警報等のトラブル表示を行なう。また、反射部材６０の輝度が、下限照度による輝度以上であれば、制御部４は、撮像した配線パターンの検査を行なう。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端面部の画像取得において、複数の場所の像の向きがそろう光学系の装置の提供。
【解決手段】結像光学系は、集光レンズ２、視野絞り４、リレーレンズ５、ロンボイドプリズム６Ａ、および落射照明ユニット１０から構成され、ウエハ１の端面部である、上側周辺部＋上ベベル部、下側周辺部＋下ベベル部の像の偏向後の光が１つに合成されるように複数配置される。このとき、複数の結像光学系のそれぞれにおける光を偏向する回数は、偶数回または奇数回でそろっており、撮像素子７は、複数の結像光学系のそれぞれによる、偏向後の端部の各部位の像を同一の面で撮像する。 （もっと読む）

対向する第1および第２面を有する１層の強化ガラスに形成した破片パターンを画像化する方法を開示する。初めに、破片パターンの領域を画像キャプチャデバイスに対して位置決めして、透過光で照らす時に当該領域の画像をキャプチャするために１層ガラスの第１面に関して間を空けて画像キャプチャデバイスを配置する。上記領域を第１照射方向から照射して該領域の第１画像をキャプチャし、続いて少なくとも第２照射方向から領域を照射して該領域の少なくとも第２画像をキャプチャする。当該領域の複合画像を形成するために画像を重ね合わせる。好適には４つの画像を得る。またこのような方法を実行するための自動車用ガラス光学検査装置を開示する。
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【課題】傷の発見や傷の凹凸の判別を容易に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数の光源を有し、複数の光源を一つずつ順番に点灯させて、その度ごとに被検査物の画像を撮影する。また、被検査物表面の傷部分の周囲において、被検査物への光源からの光の入射方向と反対方向に傷部分の影が生じているか否かを検知、判定することにより、傷部分が表面から出っ張った傷なのか、引っ込んだ傷なのかを判断することができる。更に、撮影された複数の画像について排他的論理和の演算処理を行うことにより、傷部分を強調して表示させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定を短時間でできる印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】基板に対して垂直上方から光照射する１つの光照射手段２３と、前記基板で該照射光路に対し両側方向にそれぞれ反射した光を入射する２つの撮像手段３２、３３とを備え、該入射光に基づいて当該印刷半田を３次元画像処理して検査する。これにより、１つの光照射手段が、基板に対して垂直上方から光照射し、該光照射手段を挟んで相対する２つの撮像手段が、印刷半田によって生じる凹凸状態を斜め両側からそれぞれ撮像するので、照明の影を補うことが可能となって測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定ができると共に、同時撮像処理が可能となって測定時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】湾曲形状を有する大型の透明搬送物を撮像するための照明設備を小型化できる透明搬送物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】本発明による透明搬送物検査装置は、透明体の搬送物をカメラで撮像しその搬送物像を得て良否を検査する検査装置であって、撮像領域を複数のブロックに分割して透明体の表面の正反射像を撮像するエリアカメラと、ブロック毎に撮像された連続する画像を貼り合わせて重複連写合成画像を生成する重複連写合成画像部と、ブロック毎の重複連写合成画像から所定の閾値により白を真とする２値化画像を生成する２値化変換部と、重複連写合成画像から２値化変換された２値化画像の論理和を取り論理和合成画像を生成する論理和画像合成部と、合成された論理和合成画像を最終検出画像として良否判定を行う良否判定部と、透明体の搬送物像を得るためにエリアカメラを挟んで搬送方向に設けられた１対の照明部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】確実に欠陥を検出する。
【解決手段】固体撮像装置のカバーガラスの表面にピントを合わせて撮像し、表面画像を得る。同様に、カバーガラスの裏面にピントを合わせて撮像し、裏面画像を得る。表面画像と裏面画像を合成して合成画像６０を作成する。動的閾値法を用いて、合成画像６０の各画素ごとに第１閾値Ｔｈ１を設定する。輝度値が第１閾値Ｔｈ１を超える画像を欠陥候補画像６１，６２，６３として特定する。欠陥候補画像６１，６２，６３の最高輝度値ＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３に所定の比率を掛け合わせて、第２閾値Ｔｈ２１，Ｔｈ２２，Ｔｈ２３を設定する。輝度値が第２閾値Ｔｈ２１，Ｔｈ２２，Ｔｈ２３未満の画像をボケ画像４３，５１，５２として欠陥候補画像６１，６２，６３から除去する。これにより、合成画像６０には、ブツ欠陥画像４１、許容欠陥画像４２、ヨゴレ欠陥画像５３のみが残り、欠陥を確実に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】散乱方位角別の散乱光強度分布情報が得られ、かつ、高感度で異物・欠陥を検出可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡１６１と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡１６３とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡１６１及び結像用凹面鏡１６３を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系１６０を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部２００は複数の方位別検出光学系１６０のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系１６０からのデジタルデータを合算し、Ｓ／Ｎ比を向上することが可能である。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光を受光素子５で検出して被検査物Ｗの表面Ｗｓの検査を行うように構成された表面検査装置１において、束ねられた複数の光ファイバ４１からなり、入力側端部４ａにおけるファイバ位置（ｘ，ｙ）と出力側端部４ｂにおけるファイバ位置（ｘ^＊，ｙ^＊）とが光学的に１対１に対応付けられ、表面Ｗｓでの反射光Ｌreを受光素子５に導くファイババンドル４を備え、ファイババンドル４の入力側端部４ａが、被検査物Ｗの表面Ｗｓの形状と相補的でありかつ等倍または相似な形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】構成部品の表面欠陥を検出する方法の改良を行う。
【解決手段】構成部品５の表面に、光源４，４’からの光を側方から照射する。構成部品５の表面から反射した光をセンサで検出する。この方法の測定感度を高めるため、構成部品５の表面の後方部分１９，１９’だけに光源４，４’からの光を照射するか、構成部品５の表面の後方部分１９，１９’から反射した光をセンサで検出および／または評価装置で評価するか、またはその両方を行う。 （もっと読む）