【課題】シリコンウェーハの表面、またはＳＯＩウェーハの表面に存在する欠陥や異物等に起因する微細な凹凸を高精度に検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】内部にシリコン酸化膜を形成しないシリコンウェーハの場合、シリコンウェーハの表面に入射させるレーザ光および光検出器に入射させる散乱光を共にＰ偏光とするＰＰモードか、または、シリコンウェーハの表面に入射させるレーザ光をＣ偏光、光検出器に入射させる散乱光を偏光させないＣＵモードとすることによって、表面検査時のバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査を効率よく行うことのできるレーザー散乱式欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】本発明のレーザー散乱式欠陥検査装置１００は、被検物Ｗを回転しつつ一方向に移動させるステージ装置２と、ステージ装置２に設置された被検物Ｗに向けてレーザー光ＬＢを射出するレーザー光源１と、レーザー光源１から射出されたレーザー光ＬＢを被検物Ｗ上で走査する光偏光器１５と、被検物Ｗの表面で散乱されたレーザー光ＬＢを検出する光検出器１６と、ステージ装置２による被検物Ｗの回転速度及び移動速度、並びに、光偏向器１５による被検物Ｗ上でのビームのスキャン幅及びスキャン振動数を含む欠陥検査の条件を被検物Ｗの製造プロセスの検査工程毎に記憶する記憶装置２４と、検査工程毎に記憶装置２４に記憶された欠陥検査の条件を読み出し、当該条件でステージ装置２及び光偏向器１５の駆動を制御する制御装置２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】異物を感度よく検出することができる光学式の異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置を提供すること。
【解決手段】ステージ２上に水平状態に載置された被処理基板１と、前記基板１の幅方向に延びるスリット状吐出開口１１ｂを有する処理液供給ノズル１１とを相対的に移動させて処理液供給ノズル１１から帯状に吐出される処理液を、基板１の表面に塗布するように構成される。前記処理液供給ノズル１１の相対移動方向の前方に投光部５と受光部６からなる光透過形センサユニットが搭載されている。前記センサユニットの相対移動方向に沿って複数の検査エリアが設定され、異物の移動方向の履歴を追ってセンサユニットによる受光データを集計することで、異物に対する反応感度を向上させた光学式の異物検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）

【課題】画像処理により検査対象物の表面の欠陥を検出する表面検査において、数μｍオーダの微小欠陥の検出を可能にする照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置Ａに、レーザ光源１０と、レーザ光源１０が照射した光を反射させる鏡面２１ａ、および鏡面２１ａの傾きを変化させる可動部を有し、該可動部により鏡面の傾きを変化させ、レーザ光源１０が照射した光を放射線上に反射させるＭＥＭＳミラー２０と、ＭＥＭＳミラー２０からの反射光を集光し、平行光に変換して照射する凸状のレンズ４０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】広いダイナミックレンジを有する光を検出することができる欠陥検査メカニズムを提供する。
【解決手段】検出された出力信号は、分析されて欠陥が試料上に存在するか決定される。ターゲットダイからの強度値は、レファレンスダイの対応する部分からの強度値と比較され、大きな強度差は欠陥として定義される。試料上の欠陥を検出する検査システムは、入射ビームを試料表面に向けて導くビーム発生器、および入射ビームに応答して試料表面から来るビームを検出するよう配置された検出器を含む。検出器は、検出された信号を発生するセンサ１０およびセンサに結合された非線形要素１８２を有する。非線形要素は、検出された信号に基づいて非線形検出信号を発生する。検出器はさらに、非線形要素に結合された第１アナログディジタル変換器（ＡＤＣ）２０２を含む。第１ＡＤＣは、非線形検出信号をディジタル化して第１ディジタル化検出信号にする。 （もっと読む）

【課題】大きいダイナミックレンジを有する光を素早く検出することができる検査メカニズムを提供する。
【解決手段】混合モード機能と共に連続ゲイン調節および対数変換を有する混合モード検出器（ＭＭＤ）２００を示す。ＭＤＤ２００は、センサまたは計測ブロック２５０および出力プロセッサ２５１を含む。計測ブロック２５０は大きくは、試料から放射されたビームを検出し、その検出されたビームに基づいて検出信号を発生する。計測ブロック２５０はまた、センサへのゲインを自動的に調節し、そのようなゲインを出力プロセッサ２５１に出力する。出力プロセッサ２５１は大きくは、ゲイン調節によって引き起こされた検出信号からの効果を打ち消して、検出されたビーム強度に対応する出力信号を作る。出力プロセッサはまた、出力データをオフセットすることによって、それが「較正された」ゲイン値に対応するようにする。 （もっと読む）

【課題】シート体の欠陥の高精度の検出が可能で、特にカラーフィルター、絶縁用セパレータ、グリーンシート等の光透過性を有するシート体の検査に好適なシート体の検査装置及び方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のシート体の検査装置は、レーザー光線を出射する光源と、光源から出射されるレーザー光線の焦点を検査対象であるシート体表面近傍に合わせるレンズ光学系と、シート体裏面からの透過光を受光する光検出器とを備え、光検出器で得られた直接光成分以外の成分強度情報に基づいて欠陥を検出するシート体の検査装置である。シート体表面に略垂直にレーザー光線を照射するとよい。光検出器とシート体裏面との間にシート体裏面からの直接光成分を遮蔽するマスクを備えるとよい。シート体を設置するテーブルと、シート体表面に照射されるレーザー光線の位置を相対的に移動させる走査手段とを備えるとよい。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が透明であっても欠陥を確実に且つ高速に検出する。
【解決手段】検査対象物５の平坦な検査対象面に対して検査対象面を横切るスリット光Ｓを検査対象面の垂直方向から照射するとともに該照射方向と同方向から上記検査対象面からの正反射光を撮像し、得られた画像の濃淡から欠陥検出を行う。検査対象面に垂直にスリット光を照射すると同時に垂直方向から撮像することで、被検査対象面が透明であってもその表面状態に応じた反射光を得ることができ、また得られた画像の濃淡から欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高解像度を維持又は向上させつつ、十分な焦点深度を確保することのできる光学式外観検査装置及び光学式外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体９に検査光４を照射する検査光照射部と、該検査光照射部から照射された検査光４に対して被検査体９を位置決めする位置決め部８と、被検査体９に反射した検査光４の反射光と被検査体９を透過した検査光４の透過光とのうち少なくとも一方を受光する受光部と、該受光部で受光した前記反射光と前記透過光とのうち少なくとも一方に基づいて画像処理を行う画像処理部とを備えた光学式外観検査装置において、内部に被検査体９を収容すると共に液体Ｗが充填されて、被検査体９に向かう検査光４を屈折させる液浸収容部ａ５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液中調査機器の姿勢とは別にカメラの視界を変更できると共に、照明機器の数を減少でき、液中調査機器の機体の流体抵抗の増加及び重量の増加を抑制し、制御も単純化できる液中調査機器の照明方法及び液中調査機器を提供する。
【解決手段】液封状態の中で調査する液中調査機器２０において、液中調査機器２０の機体２１の一部又は全部に形成した透明な壁２１ａａ、２１ａｂの内側に、カメラ２５と照明機器２６を配置して、照明機器２６の照明方向をカメラ２５の視界の方向と連動させて変更して照明を行う。更には、液中調査機器２０の透明な壁２１ａａ，２１ａｂのカメラ２５の撮影視界とする部分２１ａａと照明光が透過する部分２１ａｂとの間に、光を通さない隔壁２１ｂを設けて、透明な壁２１ａａ，２１１ｂ内部における光の伝播を防止する。 （もっと読む）

【課題】細長い欠陥がウェーハ表面に存在した場合に、欠陥の方向に依存せず、どの方位に伸びる欠陥であっても一様に検出することで、欠陥の実体を正確に把握することを低コストで実現できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、ウェーハ表面にレーザー光を走査しつつ照射する入射系と、前記ウェーハの欠陥により一定角度に散乱する散乱光を捕らえるように配置された受光器を有する受光系とを備えた欠陥検査装置であって、前記入射系は、光源から発せられた一本のレーザー光を複数に分岐し、該分岐されたレーザー光を複数の方向から前記ウェーハ表面の同一領域に入射するものであって、前記受光系は、一つの受光器で前記散乱光を捕らえるものであることを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、特にＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージャー用フォトマスクのようにセルピッチやパターンの方向性が多岐にわたるような被検査体に対し、数ｎｍオーダーの寸法ズレや位置ズレによって生じるムラを高精度に撮像、検出可能な周期性パターンのムラ検査装置、および方法を提供する。
【解決手段】照明部１０と、被検査基板６０の位置決め動作および検査撮像時におけるスキャンニング動作が可能なＸ−Ｙ−θステージ部２０と、被検査基板６０の位置決めを実施するためのアライメント用撮像部３０と、被検査基板６０の検査画像を撮像するための検査撮像部４０と、装置全体の動作制御および映像出力を画像情報として画像入力し、画像演算処理を行い、画像情報・検査情報の授受を行い、さらに画像を表示する機能を有する処理・制御部１００から構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】三次元形状の被検体に塵埃が付着しているか否かを簡便にかつ短時間で判断できる付着物検知装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源１１と、レーザー光を被検体１の検査面に対して走査する走査手段１２と、被検体１の検査面を撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３による撮像結果をデータ処理するデータ処理部１４と、を備える。データ処理部１４は、撮像手段１３から出力された撮像データに基いて明暗を区分けする二値化処理部１４Ａと、この二値化処理部１４Ａによる区分けを被検体１のイメージデータと共に表示する表示処理部１４Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】本基板検査装置は、基板上の被検査対象ａに上方から照明光を照射する上側照明具１１０と、斜め側方から照明光を照射する下側照明具１２０と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部１３０と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられた斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段１４０と、光学手段を移動、回転させることより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段１５０と、これらを制御すると共に、撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段２００と、を備える。この基板検査装置は、さらに、スリット光照射手段１９０を備えることができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画
像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いな
どから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する
。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置
を実現する。
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明では、同一パターンとなるように形成された２つの
パターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査
装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成した。
また、パターン検査装置を、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変
換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であ
っても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】高解像度で微細構造物の欠陥を検査できるようにする。
【解決手段】この欠陥検査装置は、光ビームを互いに特性の異なるＰ偏光ビームＰ１とＳ偏光ビームＳ１とに分岐すると共に、これら偏光ビームを互いに走査幅分の間隔で離隔する態様で、検査対象面９ａに照射させる第１及び第２の偏光ビームスプリッタ３、６と、検査対象面９ａ上を各偏光ビームＰ１、Ｓ１で走査する偏向走査手段２と、偏向走査手段２とＸＹステージとの駆動を制御して、検査対象面９ａ上を偏向走査手段２に各偏光ビームＰ１、Ｓ１で順次走査させ、全体として２重走査させる走査制御回路１０と、検査対象面９ａから反射する２種の反射光Ｐ２、Ｓ２を受光して電気信号に変換し、検出信号を生成する光電変換器１２、１３とを備え、光電変換器１２、１３から出力される検出信号を用いて、検査対象面を写すＰ偏光反射画像とＳ偏光反射画像とを取得して、微細構造物の欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】容器を正確に品質検査することができる容器検査方法及び容器検査装置を提供する。
【解決手段】容器検査装置は、容器を連続的に並進させて搬送する搬送手段と、外観に網目状の投影を形成する光源と、容器外観の網目状投影の画像を取得する撮像手段と、網目状画像から網目形状データを得る画像処理手段と、網目形状データによって、容器の良否を判定する判定手段と、判定手段からの出力に基づいて容器から不良品を排出する排出手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】
船のドック入り間隔が選定でき、特に船の船体の状況或いは状態に依存して延長できるシステムと方法を提供すること。
【解決手段】
船の船体（１０）の状況或いは状態、特に外板（１２）を調査及び決定又はそのいずれか一方を行うシステム（１００；１００’）と方法を提供するために、特に船の船体（１０）の状況或いは状態に依存して船のドック入り期間を延長させるように選択でき、外板（１２）が特に少なくとも一つ格子或いは回路網によって細区分を備えていて、その細区分は船の船体（１０）の状況或いは状態を調査し且つ決定するか、又は調査するか、或いは決定する少なくとも一つの浮動／潜水可能な調査／決定／測定ユニット（２０、２０’）と機能的に共働する。 （もっと読む）